JPH01255142A - 電子顕微鏡のオートフォーカス回路 - Google Patents
電子顕微鏡のオートフォーカス回路Info
- Publication number
- JPH01255142A JPH01255142A JP63080702A JP8070288A JPH01255142A JP H01255142 A JPH01255142 A JP H01255142A JP 63080702 A JP63080702 A JP 63080702A JP 8070288 A JP8070288 A JP 8070288A JP H01255142 A JPH01255142 A JP H01255142A
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- JP
- Japan
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- scanning
- signal
- objective lens
- peak
- circuit
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- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、対物レンズ電流を最小値から最大値までスキ
ャンしてフォーカス点を求め対物レンズ電流を設定する
電子顕微鏡のオートフォーカス回路に関する。
ャンしてフォーカス点を求め対物レンズ電流を設定する
電子顕微鏡のオートフォーカス回路に関する。
第３図は従来のオートフォーカス回路の構成例を示す図
、第４図はオートフォーカス回路の動作を説明するため
の図であり、第３図の１は電子ビーム、２は対物レンズ
、３は試料、４は光電子増倍管、５は電源回路、８はＤ
／Ａコンバーク、９はインターフェース、１０はＣＰＵ
、１１はビデオアンプ、１２はＡ／Ｄコンバータ、１３
は表示制御回路、１４はデイスプレィを示し、第４図（
イ）の縦軸は対物レンズ電流値、横軸はＤ／Ａコンハー
ク８の入力ステップ、同図（ロ）の（）軸はビデオ信号
、横軸は人力ステップをそれぞれ示している。
、第４図はオートフォーカス回路の動作を説明するため
の図であり、第３図の１は電子ビーム、２は対物レンズ
、３は試料、４は光電子増倍管、５は電源回路、８はＤ
／Ａコンバーク、９はインターフェース、１０はＣＰＵ
、１１はビデオアンプ、１２はＡ／Ｄコンバータ、１３
は表示制御回路、１４はデイスプレィを示し、第４図（
イ）の縦軸は対物レンズ電流値、横軸はＤ／Ａコンハー
ク８の入力ステップ、同図（ロ）の（）軸はビデオ信号
、横軸は人力ステップをそれぞれ示している。
従来の電子顕微鏡において採用されているオートフォー
カス回路は、第３図に示すようにＣＰＵ１０からインタ
ーフェース９、Ｄ／Ａコンバータ８を通して対物レンズ
２の電源回路５を制御する対物レンズ２の電流側？ｌＩ
ｌ系と、試料３に電子ビーム１を照射することによって
試料３から放出される２次電子を光電子増倍管４で検出
し、ビデオアンプ１１、Ａ／Ｄコンバータ１２で増幅、
デジタル変換してＣＰＵ １０に取り込む２次電流検出
系からなっている。このオートフォーカスでは、例えば
８ビツト（Ｏ〜２５５）のステ・ノブ信号をスキャン信
号としてＣＰＵｌ０からインターフェース９を通してＤ
／Ａコンバータ８に出力することによって、第４図（イ
）に示すように対物レンズ電流＋ＯＬを最小値から最大
値までスキャンする。
カス回路は、第３図に示すようにＣＰＵ１０からインタ
ーフェース９、Ｄ／Ａコンバータ８を通して対物レンズ
２の電源回路５を制御する対物レンズ２の電流側？ｌＩ
ｌ系と、試料３に電子ビーム１を照射することによって
試料３から放出される２次電子を光電子増倍管４で検出
し、ビデオアンプ１１、Ａ／Ｄコンバータ１２で増幅、
デジタル変換してＣＰＵ １０に取り込む２次電流検出
系からなっている。このオートフォーカスでは、例えば
８ビツト（Ｏ〜２５５）のステ・ノブ信号をスキャン信
号としてＣＰＵｌ０からインターフェース９を通してＤ
／Ａコンバータ８に出力することによって、第４図（イ
）に示すように対物レンズ電流＋ＯＬを最小値から最大
値までスキャンする。
この場合、同図（イ）において横軸はそのまま時間軸と
して置き換えられる。そして、そこで得られたピーク（
映像信号の最大値）から対物レンズの持つヒステリシス
を考慮して対物レンズ電流を設定している。
して置き換えられる。そして、そこで得られたピーク（
映像信号の最大値）から対物レンズの持つヒステリシス
を考慮して対物レンズ電流を設定している。
一般に、第４図において、Ｏがフォーカス点であるとす
ると、同図（イ）に示すように対物レンズ電流Ｉ。Ｌを
最小値から最大値まで（ａ１方向にスキャンし、続いて
その逆の（ｂ１方向にスキャンした場合には、同図（ロ
）に示すようにそれぞれピークがフォーカス点○より遅
れて現れる。従って、この特性よりそれぞれのピークの
位置から一般にはその中間を真のピーク（点線のピーク
）とすればよいことが判る。この走査は、例えば２ｍＡ
のステ・２ブによる粗調整、１ｍＡのステップによる中
間調整、０．１ｍＡのステップによるＨＮ整のような３
段階のスキャンを行ってフォーカスに追い込んでいる。
ると、同図（イ）に示すように対物レンズ電流Ｉ。Ｌを
最小値から最大値まで（ａ１方向にスキャンし、続いて
その逆の（ｂ１方向にスキャンした場合には、同図（ロ
）に示すようにそれぞれピークがフォーカス点○より遅
れて現れる。従って、この特性よりそれぞれのピークの
位置から一般にはその中間を真のピーク（点線のピーク
）とすればよいことが判る。この走査は、例えば２ｍＡ
のステ・２ブによる粗調整、１ｍＡのステップによる中
間調整、０．１ｍＡのステップによるＨＮ整のような３
段階のスキャンを行ってフォーカスに追い込んでいる。
電子顕微鏡では、以上のようにオートフォーカス回路に
より対物レンズ電流をスキャンしピーク点検出、記憶を
行ってスキャンを終了すると、対物レンズ電流を検出さ
れたピーク点に移動させることによって、フォーカス点
での試料観察を行っている。
より対物レンズ電流をスキャンしピーク点検出、記憶を
行ってスキャンを終了すると、対物レンズ電流を検出さ
れたピーク点に移動させることによって、フォーカス点
での試料観察を行っている。
しかしながら、上記のような従来のオートフォーカスで
は、対物レンズの素材や加工のバラツキによりヒステリ
シス特性等が一定でない場合に、オートフォーカスが効
かないことがある。例えばＣＰＵｌ０からインターフェ
ース９を介してＤ／Ａコンバータ８に入力されるステッ
プが８ビツト（０〜２５５）であるとし、対物レンズ電
流を最小値から最大値の方向にスキャンした場合、検出
されるピーク点Ｐは、実オのフォーカス点０よりも数ス
テラプル数十ステップ上方になる。また、対物レンズ電
流を最大値から最小値の方向にスキャンした場合に検出
されるピーク点Ｑは、逆に数ステラプル数十ステップ下
方になる。このステップのずれは、対物レンズの特性や
スキャンする時間等により変化し、必ずしも一定ではな
い。
は、対物レンズの素材や加工のバラツキによりヒステリ
シス特性等が一定でない場合に、オートフォーカスが効
かないことがある。例えばＣＰＵｌ０からインターフェ
ース９を介してＤ／Ａコンバータ８に入力されるステッ
プが８ビツト（０〜２５５）であるとし、対物レンズ電
流を最小値から最大値の方向にスキャンした場合、検出
されるピーク点Ｐは、実オのフォーカス点０よりも数ス
テラプル数十ステップ上方になる。また、対物レンズ電
流を最大値から最小値の方向にスキャンした場合に検出
されるピーク点Ｑは、逆に数ステラプル数十ステップ下
方になる。このステップのずれは、対物レンズの特性や
スキャンする時間等により変化し、必ずしも一定ではな
い。
そこで、より精度よくフォーカス点に対物レンズ電流を
設定するには、結局は数段階でスキャンしなければなら
ない。そのため、オートフォーカスを高速化することを
難しくしているという問題もある。
設定するには、結局は数段階でスキャンしなければなら
ない。そのため、オートフォーカスを高速化することを
難しくしているという問題もある。
本発明は、上記の問題点を解決するものであって、ヒス
テリシス特性に影響されず高速に対物レンズ電流のオー
トフォーカスを可能にする電子顕微鏡のオートフォーカ
ス回路を提供することを目的とするものである。
テリシス特性に影響されず高速に対物レンズ電流のオー
トフォーカスを可能にする電子顕微鏡のオートフォーカ
ス回路を提供することを目的とするものである。
そのために本発明は、対物レンズ電流を最小値から最大
値までスキャンして得られる試料映像信号のピークから
フォーカス点を求め対物レンズ電流を設定する電子顕微
鏡のオートフォーカス回路において、交流信号発生手段
及び加算手段を有し、直線スキャン信号に交流信号を重
畳してスキャンすることを特徴とするものである。
値までスキャンして得られる試料映像信号のピークから
フォーカス点を求め対物レンズ電流を設定する電子顕微
鏡のオートフォーカス回路において、交流信号発生手段
及び加算手段を有し、直線スキャン信号に交流信号を重
畳してスキャンすることを特徴とするものである。
本発明の電子顕微鏡のオートフォーカス回路では、交流
信号発生手段及び加算手段を有し、直線スキャン信号に
交流信号を重畳してスキャンするので、１回のスキャン
により対物レンズ電流が増加する方向と減少する方向の
スキャンを行うことができ、スキャンタイムが従来の半
分になる。また、交流信号を重畳してスキャンすること
により減少から増加に向かうスキャン時に得られるピー
ク点はフォーカス点側にシフトして得られ、ピーク検出
の誤差を少なくすることができる。
信号発生手段及び加算手段を有し、直線スキャン信号に
交流信号を重畳してスキャンするので、１回のスキャン
により対物レンズ電流が増加する方向と減少する方向の
スキャンを行うことができ、スキャンタイムが従来の半
分になる。また、交流信号を重畳してスキャンすること
により減少から増加に向かうスキャン時に得られるピー
ク点はフォーカス点側にシフトして得られ、ピーク検出
の誤差を少なくすることができる。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係る電子顕微鏡のオートフォーカス回
路の１実施例を°示す図、第２図は本発明に係る電子顕
微鏡のオートフォーカス回路の動作を説明するための図
である。
路の１実施例を°示す図、第２図は本発明に係る電子顕
微鏡のオートフォーカス回路の動作を説明するための図
である。
第１図において、第３図と同じ記号はそれぞれ同じ回路
を示し、６は加算回路、７は変調回路を示す。このよう
に本発明に係る電子顕微鏡のオートフォーカス回路は、
第３図に示す従来のオートフォーカス回路に加算回路６
及び変調回路７を追加し、第２図（イ）に示す信号Ｂに
よりスキャンするようにしたものである。ここで、変調
回路７は、発振器を備えた回路であり、正弦波信号を出
力するものである。また、加算回路６は、変調回路７よ
り出力された正弦波とＤ／Ａコンバータ８より出力され
た直流電流信号とを加算するものである。従って、従来
は、第２図（イ）に示す信号Ａにより直線的にスキャン
していたのに対し、本発明のオートフォーカス回路では
、信号Ｂに示すように変調をかけた信号によりスキャン
することになる。
を示し、６は加算回路、７は変調回路を示す。このよう
に本発明に係る電子顕微鏡のオートフォーカス回路は、
第３図に示す従来のオートフォーカス回路に加算回路６
及び変調回路７を追加し、第２図（イ）に示す信号Ｂに
よりスキャンするようにしたものである。ここで、変調
回路７は、発振器を備えた回路であり、正弦波信号を出
力するものである。また、加算回路６は、変調回路７よ
り出力された正弦波とＤ／Ａコンバータ８より出力され
た直流電流信号とを加算するものである。従って、従来
は、第２図（イ）に示す信号Ａにより直線的にスキャン
していたのに対し、本発明のオートフォーカス回路では
、信号Ｂに示すように変調をかけた信号によりスキャン
することになる。
本発明のオートフォーカス回路によりスキャンした場合
には、フォーカス点Ｏを中心とした付近に注目すると、
正弦波工の点ＲとＲ′を結ぶ線上では対物レンズ電流が
減少している。そのため、減少方向に直線スキャンした
場合の点Ｐ′で検出されるピーク点は、点Ｐ′と同じ電
流値である点Ｑ′の位置となる。また、点ＳとＳ′を結
ぶ線上では対物レンズ電流が増加するので、増加方向に
直線スキャンした場合に検出される点Ｐのピークは、点
Ｐと同じ電流値である点Ｑの位置となる。
には、フォーカス点Ｏを中心とした付近に注目すると、
正弦波工の点ＲとＲ′を結ぶ線上では対物レンズ電流が
減少している。そのため、減少方向に直線スキャンした
場合の点Ｐ′で検出されるピーク点は、点Ｐ′と同じ電
流値である点Ｑ′の位置となる。また、点ＳとＳ′を結
ぶ線上では対物レンズ電流が増加するので、増加方向に
直線スキャンした場合に検出される点Ｐのピークは、点
Ｐと同じ電流値である点Ｑの位置となる。
このことから明らかなように、本発明の信号によりスキ
ャンすると、増加方向に１回スキャンするだけで、従来
の往復スキャンに対応するピークを得ることができ、し
かもそのピークの位置をフォーカス点○側によせること
ができる。従って、このスキャンによって得られるピー
ク信号は、同図（ロ）に示すようなものとなり、変調す
る周波数、電圧を加減することによりさらに検出曲線の
ピークを点線のように描かせることもでき、ピーク点を
フォーカス点と一致させることも可能となる。
ャンすると、増加方向に１回スキャンするだけで、従来
の往復スキャンに対応するピークを得ることができ、し
かもそのピークの位置をフォーカス点○側によせること
ができる。従って、このスキャンによって得られるピー
ク信号は、同図（ロ）に示すようなものとなり、変調す
る周波数、電圧を加減することによりさらに検出曲線の
ピークを点線のように描かせることもでき、ピーク点を
フォーカス点と一致させることも可能となる。
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例では
、正弦波信号を重畳（変調）したが、三角波その他の交
流信号を用いるようにしてもよい。また、１回のスキャ
ンによりオートフォーカスするような説明をしたが、２
回或いは複数階に分は変調する周波数、電圧を加減する
ことによりフォーカス点を設定するようにしてもよいこ
とは勿論である。
く、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例では
、正弦波信号を重畳（変調）したが、三角波その他の交
流信号を用いるようにしてもよい。また、１回のスキャ
ンによりオートフォーカスするような説明をしたが、２
回或いは複数階に分は変調する周波数、電圧を加減する
ことによりフォーカス点を設定するようにしてもよいこ
とは勿論である。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、従来
の２回スキャンにより得られるピーク情報を１回のスキ
ャンで得ることができるので、オートフォーカスの時間
を短縮することができ、しかも、対物レンズ電流の減少
から増加に向かうスキャンでピークがある場合にはフォ
ーカス点側に近い位置にシフトされ、フォーカス点の検
出精度を上げることができる。また、変調する周波数、
電圧を加減することにより容易に対物レンズの素材、加
工等のバラツキによるヒステリシスの変化でも影響され
ずにオートフォーカスさせることができる。
の２回スキャンにより得られるピーク情報を１回のスキ
ャンで得ることができるので、オートフォーカスの時間
を短縮することができ、しかも、対物レンズ電流の減少
から増加に向かうスキャンでピークがある場合にはフォ
ーカス点側に近い位置にシフトされ、フォーカス点の検
出精度を上げることができる。また、変調する周波数、
電圧を加減することにより容易に対物レンズの素材、加
工等のバラツキによるヒステリシスの変化でも影響され
ずにオートフォーカスさせることができる。
第１図は本発明に係る電子顕微鏡のオートフォーカス回
路の１実施例を示す図、第２図は本発明に係る電子顕微
鏡のオートフォーカス回路の動作を説明するための図、
第３図は従来のオートフォーカス回路の構成例を示す図
、第４図はオートフォーカス回路の動作を説明するだめ
の図である。 １・・・電子ビーム、２・・・対物レンズ、３・・・試
料、４・・・光電子増倍管、５・・・電源回路、６・・
・加算回路、７・・・変調回路、８・・・Ｄ／Ａコンバ
ータ、９・・・インターフェース、１０・・・ＣＰＵ、
１１・・・ビデオアンプ、１２・・・Ａ／Ｄコンバータ
、１３・・・表示制御回路、１４・・・デイスプレィ。 出 願 人 株式会社日電子テクニクス代理人 弁理
士 阿 部 記 吉（外４名）第１図 第２図 第３図 第４図
路の１実施例を示す図、第２図は本発明に係る電子顕微
鏡のオートフォーカス回路の動作を説明するための図、
第３図は従来のオートフォーカス回路の構成例を示す図
、第４図はオートフォーカス回路の動作を説明するだめ
の図である。 １・・・電子ビーム、２・・・対物レンズ、３・・・試
料、４・・・光電子増倍管、５・・・電源回路、６・・
・加算回路、７・・・変調回路、８・・・Ｄ／Ａコンバ
ータ、９・・・インターフェース、１０・・・ＣＰＵ、
１１・・・ビデオアンプ、１２・・・Ａ／Ｄコンバータ
、１３・・・表示制御回路、１４・・・デイスプレィ。 出 願 人 株式会社日電子テクニクス代理人 弁理
士 阿 部 記 吉（外４名）第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- （１）対物レンズ電流を最小値から最大値までスキャン
して得られる試料映像信号のピークからフォーカス点を
求め対物レンズ電流を設定する電子顕微鏡のオートフォ
ーカス回路において、交流信号発生手段及び加算手段を
有し、直線スキャン信号に交流信号を重畳してスキャン
することを特徴とする電子顕微鏡のオートフォーカス回
路。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63080702A JPH01255142A (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 電子顕微鏡のオートフォーカス回路 |
| GB8907072A GB2217158B (en) | 1988-04-01 | 1989-03-29 | Automatic focusing apparatus |
| US07/331,651 US4978856A (en) | 1988-04-01 | 1989-03-31 | Automatic focusing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63080702A JPH01255142A (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 電子顕微鏡のオートフォーカス回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01255142A true JPH01255142A (ja) | 1989-10-12 |
Family
ID=13725663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63080702A Pending JPH01255142A (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 電子顕微鏡のオートフォーカス回路 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4978856A (ja) |
| JP (1) | JPH01255142A (ja) |
| GB (1) | GB2217158B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2014503960A (ja) * | 2010-12-22 | 2014-02-13 | エクシルム・エービー | Ｘ線源での電子ビームの整列および合焦 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1308203C (en) * | 1989-06-01 | 1992-09-29 | Nanoquest (Canada) Inc. | Magnification compensation apparatus |
| JPH0656748B2 (ja) * | 1989-11-08 | 1994-07-27 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡のオートフォーカス方法 |
| JPH0689687A (ja) * | 1990-12-27 | 1994-03-29 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡における自動焦点合わせ装置 |
| JP2535695B2 (ja) * | 1992-01-13 | 1996-09-18 | 株式会社東芝 | 走査型電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法 |
| US5216235A (en) * | 1992-04-24 | 1993-06-01 | Amray, Inc. | Opto-mechanical automatic focusing system and method |
| JP3293677B2 (ja) * | 1993-02-15 | 2002-06-17 | 日本電子株式会社 | 走査電子顕微鏡 |
| JP3487705B2 (ja) * | 1996-01-29 | 2004-01-19 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子ビーム装置 |
| US6278114B1 (en) | 1997-12-19 | 2001-08-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for measuring dimensions of a feature of a specimen |
| EP1777728A1 (en) * | 2005-10-20 | 2007-04-25 | Carl Zeiss SMS GmbH | Lithography system |
| DE102005061687B4 (de) * | 2005-12-21 | 2008-04-10 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Abstandsmessung sowie Verwendung des Verfahrens und der Vorrichtung zur Topographiebestimmung |
| CN108526675A (zh) * | 2018-03-28 | 2018-09-14 | 河北众航高能科技有限公司 | 一种电子束设备的自动聚焦装置及方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1477030A (en) * | 1973-12-24 | 1977-06-22 | Jeol Ltd | Method and apparatus for the automatic focussing of electron beams in electron optical apparatus |
| GB1585158A (en) * | 1976-07-30 | 1981-02-25 | Cambridge Scientific Instr Ltd | Automatic focusing systems |
| JPS5457949A (en) * | 1977-10-18 | 1979-05-10 | Jeol Ltd | Automatic focusing unit for scanning electron microscope and so on |
| JPS5750756A (en) * | 1980-09-12 | 1982-03-25 | Jeol Ltd | Objective lens current control method for scan type electron microscope |
| JPS57193185A (en) * | 1981-05-25 | 1982-11-27 | Toshiba Corp | Automatic focus controlling circuit for electron beam of image pickup tube |
| GB2118009B (en) * | 1982-03-02 | 1985-09-04 | Cambridge Instr Ltd | Improvements in and relating to electron beam focussing |
-
1988
- 1988-04-01 JP JP63080702A patent/JPH01255142A/ja active Pending
-
1989
- 1989-03-29 GB GB8907072A patent/GB2217158B/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-03-31 US US07/331,651 patent/US4978856A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014503960A (ja) * | 2010-12-22 | 2014-02-13 | エクシルム・エービー | Ｘ線源での電子ビームの整列および合焦 |
| US9380690B2 (en) | 2010-12-22 | 2016-06-28 | Excillum Ab | Aligning and focusing an electron beam in an X-ray source |
| US9947502B2 (en) | 2010-12-22 | 2018-04-17 | Excillum Ab | Aligning and focusing an electron beam in an X-ray source |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4978856A (en) | 1990-12-18 |
| GB8907072D0 (en) | 1989-05-10 |
| GB2217158B (en) | 1992-03-25 |
| GB2217158A (en) | 1989-10-18 |
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