JPH01245417A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH01245417A JPH01245417A JP7195088A JP7195088A JPH01245417A JP H01245417 A JPH01245417 A JP H01245417A JP 7195088 A JP7195088 A JP 7195088A JP 7195088 A JP7195088 A JP 7195088A JP H01245417 A JPH01245417 A JP H01245417A
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Landscapes
- Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は強磁性金属薄膜を磁気記＠層とする磁気記録媒
体に関するものであり、特にこの磁気記録層とダイヤモ
ンド状炭素膜との間に芳香族炭化水素のプラズマ重合膜
を形成することにより出力を高め、走行耐久性を向上さ
せた磁気記録媒体に関する。
体に関するものであり、特にこの磁気記録層とダイヤモ
ンド状炭素膜との間に芳香族炭化水素のプラズマ重合膜
を形成することにより出力を高め、走行耐久性を向上さ
せた磁気記録媒体に関する。
従来の技術
従来、強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体
においては、様々な方法により耐蝕性、スチル耐久性、
走行耐久性の向上が続けられてきた。たとえば、第１に
、強磁性金属薄膜上にカルボン酸系、リン系の滑剤層を
設ける、第２に、同様に非磁性金属の保護膜を設ける、
第３に、同様に５ｉＯ２１ｉｉを設ける、等である。し
かし、これらの保護膜ではもう一歩走行耐久性と耐蝕性
が改善されないのが現状である。そこで最近では、ダイ
ヤモンド状炭素膜を薄膜型磁気記録媒体の保護膜として
用いることも検討されている。
においては、様々な方法により耐蝕性、スチル耐久性、
走行耐久性の向上が続けられてきた。たとえば、第１に
、強磁性金属薄膜上にカルボン酸系、リン系の滑剤層を
設ける、第２に、同様に非磁性金属の保護膜を設ける、
第３に、同様に５ｉＯ２１ｉｉを設ける、等である。し
かし、これらの保護膜ではもう一歩走行耐久性と耐蝕性
が改善されないのが現状である。そこで最近では、ダイ
ヤモンド状炭素膜を薄膜型磁気記録媒体の保護膜として
用いることも検討されている。
発明が解決しようとする課題
上記ダイヤモンド状炭素膜を用いる技術は走行耐久性を
著しく向上させる効果はあるが、その厚みによるスペー
シングロスによりｆｉｉＭ型磁気記録媒体の特徴である
短波長記録の高出力に大きなマイナスとなり、実用性に
欠ける。具体的には、ダイヤモンド状炭素膜による走行
耐久性の向上には、との膜厚が２００人〜３００人必要
であり、このため３＋ｍｎＶＴＲ規格の５ＭＨｚのＹ−
出力で約３．０〜４．０ （ＩＢ出力が低下してしまっ
ていた。
著しく向上させる効果はあるが、その厚みによるスペー
シングロスによりｆｉｉＭ型磁気記録媒体の特徴である
短波長記録の高出力に大きなマイナスとなり、実用性に
欠ける。具体的には、ダイヤモンド状炭素膜による走行
耐久性の向上には、との膜厚が２００人〜３００人必要
であり、このため３＋ｍｎＶＴＲ規格の５ＭＨｚのＹ−
出力で約３．０〜４．０ （ＩＢ出力が低下してしまっ
ていた。
本発明は、スペーシングロスを減少させるとともに、走
行耐久性、耐蝕性の優れた高出力の金属薄膜型磁気記録
媒体を提供することを目的とする。
行耐久性、耐蝕性の優れた高出力の金属薄膜型磁気記録
媒体を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために本発明は、ダイヤモンド状炭
素膜２と強磁性金属薄膜４との間にもう一層プラズマ重
合膜３を介在させたものである。
素膜２と強磁性金属薄膜４との間にもう一層プラズマ重
合膜３を介在させたものである。
具体的には、非磁性基板５上に形式した強磁性金属薄Ｗ
Ａ４上に、芳香族炭化水素のプラズマ重合膜３を５人〜
１００への厚みで成膜し、その上にダイヤモンド状炭素
膜２を６０八〜１００人の厚みで形成し、更に、滑剤層
１をトップコート層として形成しなものである。
Ａ４上に、芳香族炭化水素のプラズマ重合膜３を５人〜
１００への厚みで成膜し、その上にダイヤモンド状炭素
膜２を６０八〜１００人の厚みで形成し、更に、滑剤層
１をトップコート層として形成しなものである。
作用
このように構成した磁気記録媒体と、プラズマ重合膜３
として他の材料を用いた同一構成の磁気記録媒体とを、
走行耐久性、耐蝕性について比較試験を行った結果、芳
香族炭化水素より作ったプラズマ重合膜３を用いたサン
プルの走行耐久性と耐蝕性が非常に高かった。ここで芳
香族炭化水素とは、一般式ＣａＨｅ（ベンゼン）から誘
導される有機化合物である。このプラズマ重合膜３の厚
みが５Å以下では強磁性金属薄膜４の表面酸化層の変質
を防ぎきれず、走行耐久性を飛躍的に高めるためには、
出力をやはり−３，Ｏ（ｌ Ｂ程度低下させることにな
る。一方、厚みが５０Å以上のプラズマ重合膜３の場合
には、ダイヤモンド状炭素［２の厚みによらず走行耐久
性が劣化しはじめる。このように、芳香族炭化水素によ
るプラズマ重合膜３の最適厚みは約５人〜５０人である
。また、芳香族炭化水素のプラズマ重合膜３を有する磁
気記録媒体のダイヤモンド状炭素膜２の厚みは、６０八
以上あれば走行耐久性、耐蝕性的には十分であるか、ス
ペーシングロスとの関係から６０人〜１００人の厚みが
最適である。
として他の材料を用いた同一構成の磁気記録媒体とを、
走行耐久性、耐蝕性について比較試験を行った結果、芳
香族炭化水素より作ったプラズマ重合膜３を用いたサン
プルの走行耐久性と耐蝕性が非常に高かった。ここで芳
香族炭化水素とは、一般式ＣａＨｅ（ベンゼン）から誘
導される有機化合物である。このプラズマ重合膜３の厚
みが５Å以下では強磁性金属薄膜４の表面酸化層の変質
を防ぎきれず、走行耐久性を飛躍的に高めるためには、
出力をやはり−３，Ｏ（ｌ Ｂ程度低下させることにな
る。一方、厚みが５０Å以上のプラズマ重合膜３の場合
には、ダイヤモンド状炭素［２の厚みによらず走行耐久
性が劣化しはじめる。このように、芳香族炭化水素によ
るプラズマ重合膜３の最適厚みは約５人〜５０人である
。また、芳香族炭化水素のプラズマ重合膜３を有する磁
気記録媒体のダイヤモンド状炭素膜２の厚みは、６０八
以上あれば走行耐久性、耐蝕性的には十分であるか、ス
ペーシングロスとの関係から６０人〜１００人の厚みが
最適である。
このように、強磁性金属薄膜４の上に好ましくは膜厚５
人〜５０人の芳香族炭化水素のプラズマ重合１１！３を
設け、この上にダイヤモンド状炭素膜２を好ましくは膜
厚６０人〜１００人で形成し、更にこの上に、一般的な
滑剤、たとえば含フツ素脂肪酸を３０八〜８０人の厚さ
で設けることにより、前記強磁性金属膜４の表面酸化層
の変質を防ぎ、この残った表面酸化膜とダイヤモンド状
炭素１］５１２とが二重の保護膜となりダイヤモンド状
炭素Ｍ、２を薄くすることができるとともに、金属薄膜
型磁気記録媒体の走行耐久性、耐蝕性は著しく向上する
。−方、出力低下は１．０ｄＢ〜１．５ｄＢ程度に抑え
ることができる。
人〜５０人の芳香族炭化水素のプラズマ重合１１！３を
設け、この上にダイヤモンド状炭素膜２を好ましくは膜
厚６０人〜１００人で形成し、更にこの上に、一般的な
滑剤、たとえば含フツ素脂肪酸を３０八〜８０人の厚さ
で設けることにより、前記強磁性金属膜４の表面酸化層
の変質を防ぎ、この残った表面酸化膜とダイヤモンド状
炭素１］５１２とが二重の保護膜となりダイヤモンド状
炭素Ｍ、２を薄くすることができるとともに、金属薄膜
型磁気記録媒体の走行耐久性、耐蝕性は著しく向上する
。−方、出力低下は１．０ｄＢ〜１．５ｄＢ程度に抑え
ることができる。
実施例
以下、本発明の磁気記録媒体の一実施例を添付図面に基
づいて説明する。
づいて説明する。
ポリエチレンテレフレートからなる基板５上面に強磁性
金属薄１１ｆｉ４を形成し、この強磁性金属薄ＷＡ４上
に、芳香族炭化水素のプラズマ重合膜３を形成し、更に
、ダイヤモンド状炭素膜２を形成した後、滑剤層１を重
ねて形成する一方、前記基板５の下面にはバックコート
層６を形成して構成したものである。
金属薄１１ｆｉ４を形成し、この強磁性金属薄ＷＡ４上
に、芳香族炭化水素のプラズマ重合膜３を形成し、更に
、ダイヤモンド状炭素膜２を形成した後、滑剤層１を重
ねて形成する一方、前記基板５の下面にはバックコート
層６を形成して構成したものである。
次に、本発明の磁気記録媒体およびこれと比較するため
の各種材料のプラズマ重合膜３を有する磁気記録媒体を
、８ｎ＋ｎビデオ用金属薄膜型テープとして製造する方
法および比較試験結果について詳述する。
の各種材料のプラズマ重合膜３を有する磁気記録媒体を
、８ｎ＋ｎビデオ用金属薄膜型テープとして製造する方
法および比較試験結果について詳述する。
異常に大きな突起のない、表面粗さのコントロールされ
た５００ｎ１幅のポリエチレンテレフタレート、たとえ
ば、表面最大粗さ ３００人〜４００人、中心線平均粗
さ５０人〜１５０人、山伏突起の密度が１１１＋１２当
り１０４〜１０８個の基板５上に、真空蒸着法により酸
素を導入しながらＣｏ （８０）〜Ｎｉ （２０）
の強磁性金属薄［４を２０００人形成した後、この強磁
性金属薄膜４上へ真空度０． ＩＴ Ｏｒｒ 、１３．
５６ ＭＨｚの高周波出力ｉｏｏｗの条件で、芳香族炭
化水素をはじめとする各種材料のプラズマ重合膜３を５
人〜１００人形成し、サンプルとした。流量は材料によ
って異なり２０ＳＣＣＨ〜１００ＳＣＣＨである。これ
は連続巻取式の真空装置で処理する。次に、これらのサ
ンプルのプラズマ重合ＩＩ！３上へ、ＣＨ４／Ａｒの混
合ガスを０．３Ｔｏｒｒの真空度で、ＤＣ電圧を ７０
０ボルト印加して、（電極をプラス、強磁性金属薄［４
ｔｌｌ！Ｉをマイナスとする）プラズマＣｖＤ法により
ダイヤモンド状炭素膜２を６０人〜１００人の厚さで形
成する。これも連続巻取式の真空装置で処理する。更に
、溶楳と混合し塗工乾燥する方法或いは真空蒸着法など
の周知のコーティング法により、このダイヤモンド状炭
素膜２上に含フツ素脂肪酸を２０人〜５０人塗布して滑
剤層１を形成し、その後スリッターにより８１１幅に裁
断する。
た５００ｎ１幅のポリエチレンテレフタレート、たとえ
ば、表面最大粗さ ３００人〜４００人、中心線平均粗
さ５０人〜１５０人、山伏突起の密度が１１１＋１２当
り１０４〜１０８個の基板５上に、真空蒸着法により酸
素を導入しながらＣｏ （８０）〜Ｎｉ （２０）
の強磁性金属薄［４を２０００人形成した後、この強磁
性金属薄膜４上へ真空度０． ＩＴ Ｏｒｒ 、１３．
５６ ＭＨｚの高周波出力ｉｏｏｗの条件で、芳香族炭
化水素をはじめとする各種材料のプラズマ重合膜３を５
人〜１００人形成し、サンプルとした。流量は材料によ
って異なり２０ＳＣＣＨ〜１００ＳＣＣＨである。これ
は連続巻取式の真空装置で処理する。次に、これらのサ
ンプルのプラズマ重合ＩＩ！３上へ、ＣＨ４／Ａｒの混
合ガスを０．３Ｔｏｒｒの真空度で、ＤＣ電圧を ７０
０ボルト印加して、（電極をプラス、強磁性金属薄［４
ｔｌｌ！Ｉをマイナスとする）プラズマＣｖＤ法により
ダイヤモンド状炭素膜２を６０人〜１００人の厚さで形
成する。これも連続巻取式の真空装置で処理する。更に
、溶楳と混合し塗工乾燥する方法或いは真空蒸着法など
の周知のコーティング法により、このダイヤモンド状炭
素膜２上に含フツ素脂肪酸を２０人〜５０人塗布して滑
剤層１を形成し、その後スリッターにより８１１幅に裁
断する。
このようにして作成された１２０分長Ｏ３＋１１ビデオ
用金ｍ薄膜型テープをコダック社の８ ｎｎＶ Ｔ Ｒ
で評価した。
用金ｍ薄膜型テープをコダック社の８ ｎｎＶ Ｔ Ｒ
で評価した。
なお、走行耐久性は加速のためテープテンションを２倍
とし、気温２３℃、湿度１０％の特殊環境での初期出力
からの低下が−６，０ｄ Ｂになった時間を測定した。
とし、気温２３℃、湿度１０％の特殊環境での初期出力
からの低下が−６，０ｄ Ｂになった時間を測定した。
耐蝕性については、気温６０℃、湿度９０％の環境で錆
の発生するまでの時間で表現した。
の発生するまでの時間で表現した。
また、比較例としてプラズマ重合Ｂ３のないダイヤモン
ド状炭素１ｆ！２だけのサンプルも作成しな。
ド状炭素１ｆ！２だけのサンプルも作成しな。
出力低下については強磁性金属薄膜４上に滑剤層１だけ
を設Ｇまた磁気記録媒体の出力をＯｄＢとした。
を設Ｇまた磁気記録媒体の出力をＯｄＢとした。
その結果を第１表に示す。
上表のサンプルＮｏ １〜Ｎｏ ４より明らかなごとく
、膜厚５人〜５０人の芳香族炭化水素のプラズマ重合Ｗ
Ａ３を強磁性金属薄膜４と膜厚６０人〜１００人のダイ
ヤモンド状炭素１１ｉ２との間に設ければ、スペーシン
グロスによる出力の低下を低く抑えながら、走行耐久性
を著しく向上させ、かつ耐蝕性も飛躍的に仲ばずことが
できる。゛ 発明の効果 本発明によれば、出力低下をほとんど伴なわず走行耐久
性と耐蝕性を飛躍的に向上させることが可能になるとい
う効果を奏することができる。
、膜厚５人〜５０人の芳香族炭化水素のプラズマ重合Ｗ
Ａ３を強磁性金属薄膜４と膜厚６０人〜１００人のダイ
ヤモンド状炭素１１ｉ２との間に設ければ、スペーシン
グロスによる出力の低下を低く抑えながら、走行耐久性
を著しく向上させ、かつ耐蝕性も飛躍的に仲ばずことが
できる。゛ 発明の効果 本発明によれば、出力低下をほとんど伴なわず走行耐久
性と耐蝕性を飛躍的に向上させることが可能になるとい
う効果を奏することができる。
図面は本発明による磁気記録媒体の概略的な断面図であ
る。 ■・・・滑剤層 ２・・・ダイヤモンド状炭素膜３・・
・プラズマ重合膜 ４・・・強磁性金属薄膜５・・・基
板 ６・・・バックコート層４−粂五虜μ送駁 ５−１．歇 ６−一−パブクコートノジ
る。 ■・・・滑剤層 ２・・・ダイヤモンド状炭素膜３・・
・プラズマ重合膜 ４・・・強磁性金属薄膜５・・・基
板 ６・・・バックコート層４−粂五虜μ送駁 ５−１．歇 ６−一−パブクコートノジ
Claims (1)
- 非磁性基板上に強磁性金属薄膜を形成し、この強磁性金
属薄膜上に芳香族炭化水素のプラズマ重合膜を形成し、
更にこのプラズマ重合膜上にダイヤモンド状炭素膜を形
成し、トップコート層として滑剤層を有することを特徴
とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7195088A JPH01245417A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7195088A JPH01245417A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01245417A true JPH01245417A (ja) | 1989-09-29 |
Family
ID=13475273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7195088A Pending JPH01245417A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01245417A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02158909A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US5776602A (en) * | 1994-10-25 | 1998-07-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium having a carbon protective film containing nitrogen and oxygen and overcoated with a lubricant |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61105720A (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-23 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記憶媒体 |
| JPS61289530A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-19 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS62219314A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1988
- 1988-03-28 JP JP7195088A patent/JPH01245417A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61105720A (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-23 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記憶媒体 |
| JPS61289530A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-19 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS62219314A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
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| JPH02158909A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US5776602A (en) * | 1994-10-25 | 1998-07-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium having a carbon protective film containing nitrogen and oxygen and overcoated with a lubricant |
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