JPS6145412A - 磁気記録媒体製造法 - Google Patents
磁気記録媒体製造法Info
- Publication number
- JPS6145412A JPS6145412A JP16570584A JP16570584A JPS6145412A JP S6145412 A JPS6145412 A JP S6145412A JP 16570584 A JP16570584 A JP 16570584A JP 16570584 A JP16570584 A JP 16570584A JP S6145412 A JPS6145412 A JP S6145412A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- base
- recording medium
- carbon film
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気記録媒体製造法に関するものでおる。
近年、磁気記録再生装誼の進歩と共に、磁気記録媒体に
対して高密度記録化の要求が著しく果されるようになシ
、このような観点より磁性層形成にバインダー樹脂を用
いていない、すなわち例えばＣｏ、 Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｃｏ−Ｃｒ合金等の強磁性金属材料をポリエチレンテレ
フタレート、ポリイミド等の高分子フィルムベース上に
蒸着形成して強磁性薄膜層を形成したいわゆる金属薄膜
製磁気記録媒体が提案されている。
対して高密度記録化の要求が著しく果されるようになシ
、このような観点より磁性層形成にバインダー樹脂を用
いていない、すなわち例えばＣｏ、 Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｃｏ−Ｃｒ合金等の強磁性金属材料をポリエチレンテレ
フタレート、ポリイミド等の高分子フィルムベース上に
蒸着形成して強磁性薄膜層を形成したいわゆる金属薄膜
製磁気記録媒体が提案されている。
ところが、この種の金属薄膜型磁気記録媒体は、磁性薄
膜層中にバインダー樹脂及び潤滑剤等が含まれていない
ことより、それだけ磁性材料の充填密度が高く、高密度
化に適したものの、金属薄膜製磁気記録媒体の磁性薄膜
層表面が磁気ヘッド、ドラム、ガイド等に接触しながら
走行していると、磁性薄膜層が傷つき、磁性体の欠落、
磁気ヘッドの目詰り、磁気記録媒体の変形とｂつた種々
の問題が起きている。
膜層中にバインダー樹脂及び潤滑剤等が含まれていない
ことより、それだけ磁性材料の充填密度が高く、高密度
化に適したものの、金属薄膜製磁気記録媒体の磁性薄膜
層表面が磁気ヘッド、ドラム、ガイド等に接触しながら
走行していると、磁性薄膜層が傷つき、磁性体の欠落、
磁気ヘッドの目詰り、磁気記録媒体の変形とｂつた種々
の問題が起きている。
そこで、上記問題点を解決する為に、従来では、メッキ
磁性薄膜層上に真空蒸着法によってカーボン膜を形成す
る方法が提案されている（特公昭５４−３３５２１号）
。
磁性薄膜層上に真空蒸着法によってカーボン膜を形成す
る方法が提案されている（特公昭５４−３３５２１号）
。
この提案による磁気記録媒体は、表面のカーボン膜が比
較的硬質で好ましいものではあるが、均一なカーボン膜
の形成か成続し−ｃＣＯ来−（２らう°、又、カーボン
膜形成時に高分子フィルムベースが熱損傷を受け、出来
た磁気記録媒体に変形が起きていることもあり、例えば
走行性といった点てそれ程溝足できるものではない。
較的硬質で好ましいものではあるが、均一なカーボン膜
の形成か成続し−ｃＣＯ来−（２らう°、又、カーボン
膜形成時に高分子フィルムベースが熱損傷を受け、出来
た磁気記録媒体に変形が起きていることもあり、例えば
走行性といった点てそれ程溝足できるものではない。
ベース上の強磁性層表面にＤＣスパッタリングによって
カーボン膜を形成する。
カーボン膜を形成する。
〔実施例１〕
まず、例えば１２μｍ厚といったポリエステルフィルム
上にＣｏ−Ｎｉ磁性合金を真空蒸着法で約１５００λ厚
形成する。
上にＣｏ−Ｎｉ磁性合金を真空蒸着法で約１５００λ厚
形成する。
伺、この真空蒸着の蒸着条件は、真空度が約２Ｘ１０Ｔ
ｏｒｒであって、酸素導入量が５ ｃｃ／ｍｉｎで１）
、形成される磁性合金はＣｏ ａｓ Ｎｉ ａｘでちる
。
ｏｒｒであって、酸素導入量が５ ｃｃ／ｍｉｎで１）
、形成される磁性合金はＣｏ ａｓ Ｎｉ ａｘでちる
。
このＣｏ−Ｎｉ磁性合金膜形成後、例えばＡｒガス圧５
ミリＴｏｒｒ％ＤＣ電流ｌム、ＤＣ電圧５２０ｖのＤＣ
スパッタ条件でＤＣスパツタリ′ングし、Ｃｏ −Ｎ
ｉ磁性合金膜上に約２５０Ａ厚のカーボン膜を形成する
。
ミリＴｏｒｒ％ＤＣ電流ｌム、ＤＣ電圧５２０ｖのＤＣ
スパッタ条件でＤＣスパツタリ′ングし、Ｃｏ −Ｎ
ｉ磁性合金膜上に約２５０Ａ厚のカーボン膜を形成する
。
淘、ＤＣスパッタ糸糸色して、不活性ガス圧が約１〜４
０ミリＴｏｒｒ、 ＤＣ電流が５Ａ以下でＤＣ電圧が６
００ｖ以下であれば望ましいカーボン膜が得られる。
０ミリＴｏｒｒ、 ＤＣ電流が５Ａ以下でＤＣ電圧が６
００ｖ以下であれば望ましいカーボン膜が得られる。
上記のように構成された磁気テープは、カーボン膜の形
成がＤＣスパッタリングによるものであることより、真
空蒸着法でカーボン膜を形成する場合とＪ′４なり、カ
ーボン膜形成時にベースフィルムを熱損傷させることな
く、かつ均一なカーボン膜が出来ており、記録再生に優
れ、かつ走行性が良好なものであることが窺える。
成がＤＣスパッタリングによるものであることより、真
空蒸着法でカーボン膜を形成する場合とＪ′４なり、カ
ーボン膜形成時にベースフィルムを熱損傷させることな
く、かつ均一なカーボン膜が出来ており、記録再生に優
れ、かつ走行性が良好なものであることが窺える。
又、上記の磁気テープの動摩擦係数μを測定（＠度２０
℃、湿Ｗ、５０−の車内において、磁気テープ一端に５
０ｇの荷重を加えておき、そしてＳＵＳ製ガイガイドビ
ン状接触させて磁気テープ他端にＦｇの荷重を加えて走
行速度＆３ｃｒｒＬ／ｓで繰シ返し走行、μｍ−ｔｎＦ
１５０）すると、図面中−Δ−印で示す通シでちる。
℃、湿Ｗ、５０−の車内において、磁気テープ一端に５
０ｇの荷重を加えておき、そしてＳＵＳ製ガイガイドビ
ン状接触させて磁気テープ他端にＦｇの荷重を加えて走
行速度＆３ｃｒｒＬ／ｓで繰シ返し走行、μｍ−ｔｎＦ
１５０）すると、図面中−Δ−印で示す通シでちる。
すなわち、繰シ返し走行テストを行なっても動摩擦係数
μの上昇はほとんど認められず、かつ動摩擦係数μは小
さく、磁気テープの走行性が良いのみならず、磁気テー
プの耐久性にも富んでいる。
μの上昇はほとんど認められず、かつ動摩擦係数μは小
さく、磁気テープの走行性が良いのみならず、磁気テー
プの耐久性にも富んでいる。
又、記録再生装置（日本ビクター＠製のＨＲ−６５００
）を用いて耐スチル性を調べると、スチルアウト１での
時間は約１０分もあり、磁気テープの耐久性に富んでい
ることがわかる。
）を用いて耐スチル性を調べると、スチルアウト１での
時間は約１０分もあり、磁気テープの耐久性に富んでい
ることがわかる。
〔実施例２〕 ′
実施例１と同様な手段によシ、１２μｍ厚のポリエステ
ルフィルム上の１５０ＯＡ厚のＣｏ−Ｎｉ磁性合金膜上
に約３００Ａ厚のカーボン膜を形、成する。
ルフィルム上の１５０ＯＡ厚のＣｏ−Ｎｉ磁性合金膜上
に約３００Ａ厚のカーボン膜を形、成する。
このようにして得られた磁気テープは、実施例１の場合
と同様ベースフィルムに熱損傷が認められず、均一なカ
ーボン膜が出来ておシ、記録再生に優れ、走行性が良好
なものであることが窺えるっ又、動摩擦係数μを測定す
ると図面中−〇−印で示す通シであり、すなわちａｂ返
し走行テストを行なっても動摩擦係数μの上昇はほとん
どなく、かり動摩擦係数μは小さく、磁気テープの走行
性が良いのみならず、磁気テープの耐久性にも富んでお
９、さらにはステルアウトまでの時間は約６０分と大巾
に長く、耐久性に一層富んでいる。
と同様ベースフィルムに熱損傷が認められず、均一なカ
ーボン膜が出来ておシ、記録再生に優れ、走行性が良好
なものであることが窺えるっ又、動摩擦係数μを測定す
ると図面中−〇−印で示す通シであり、すなわちａｂ返
し走行テストを行なっても動摩擦係数μの上昇はほとん
どなく、かり動摩擦係数μは小さく、磁気テープの走行
性が良いのみならず、磁気テープの耐久性にも富んでお
９、さらにはステルアウトまでの時間は約６０分と大巾
に長く、耐久性に一層富んでいる。
〔実施例３〕
実施例１と同様な手段によシ、１２μｍ厚のポリエステ
ルフィルム上の１５０ＯＡ厚のＣｏ−Ｎｉ磁性合金膜上
に約４００に厚のカーボン膜ｔ−形成する。
ルフィルム上の１５０ＯＡ厚のＣｏ−Ｎｉ磁性合金膜上
に約４００に厚のカーボン膜ｔ−形成する。
このようにして得られた磁気テープは、実施例１．２の
場合と同様ベースフィルムに熱損傷が認められず、均一
なカーボン膜が出来ておシ、記録再生に優れ、走行性が
良好なものであることが窺える。
場合と同様ベースフィルムに熱損傷が認められず、均一
なカーボン膜が出来ておシ、記録再生に優れ、走行性が
良好なものであることが窺える。
又、動摩擦係数μを測定すると図面中−ロー印で示す通
シでらシ、すなわち繰シ返し走行テストを行なっても動
摩擦係数μの上昇は小さく、かつ動摩擦係数μ自体も小
さく、磁気テープの走行性が良いのみならず、磁気テー
プの耐久性にも富んでおシ、さらにはスチルアクトまで
の時間は約４５分と長く、耐久性に富んでいる。
シでらシ、すなわち繰シ返し走行テストを行なっても動
摩擦係数μの上昇は小さく、かつ動摩擦係数μ自体も小
さく、磁気テープの走行性が良いのみならず、磁気テー
プの耐久性にも富んでおシ、さらにはスチルアクトまで
の時間は約４５分と長く、耐久性に富んでいる。
〔比較例１〕
実施例１において、ＤＣスパッタリングによるカーボン
膜形成工程を省略し、１２μｍ厚のポリエステルフィル
ム上に真空蒸着法によって約１５０ＯＡ厚のＣｏ−Ｎｉ
磁性合金膜を形成する◎このようにして得られた磁気テ
ープは、実施例１〜３の磁気テープと同様ベースフィル
ムに熱損傷が認められず、変形は認められず、−見走行
性が悪いとは思われないものの、動摩擦係数μを測定す
ると図面中−〇−印で示す通シでちり、すなわち繰シ返
し走行テストによって動摩擦係数μは急激に上昇し、走
行性は著しく低下し、又、スチルアウトまでの時間は２
分と短かく、耐久性に乏しいといった欠点がある。
膜形成工程を省略し、１２μｍ厚のポリエステルフィル
ム上に真空蒸着法によって約１５０ＯＡ厚のＣｏ−Ｎｉ
磁性合金膜を形成する◎このようにして得られた磁気テ
ープは、実施例１〜３の磁気テープと同様ベースフィル
ムに熱損傷が認められず、変形は認められず、−見走行
性が悪いとは思われないものの、動摩擦係数μを測定す
ると図面中−〇−印で示す通シでちり、すなわち繰シ返
し走行テストによって動摩擦係数μは急激に上昇し、走
行性は著しく低下し、又、スチルアウトまでの時間は２
分と短かく、耐久性に乏しいといった欠点がある。
〔比較例２〕
実施例１においてのＤＣスパッタリングによるカーボン
膜形成に代えて真空蒸着によってカーボン膜を同様に形
成する。
膜形成に代えて真空蒸着によってカーボン膜を同様に形
成する。
このようにして得られた磁気テープは、カーボン膜形成
が真空蒸着によった為、カーボン膜形成時にベースフィ
ルムが熱損傷を受け、変形が生じたのみでなく、特にカ
ーボン膜が均一でなく、磁気テープの走行性、耐久性及
び記録再生特性が良好でないことが窺える。
が真空蒸着によった為、カーボン膜形成時にベースフィ
ルムが熱損傷を受け、変形が生じたのみでなく、特にカ
ーボン膜が均一でなく、磁気テープの走行性、耐久性及
び記録再生特性が良好でないことが窺える。
走行性及び耐久性に優れた高密度記録に対応できる磁気
記ｅ、媒体である。
記ｅ、媒体である。
図面は、繰シ返し走行回数と動摩擦係数との関係を示す
グラフでちる。 特許出願人 日本ビクター株式会社 。
グラフでちる。 特許出願人 日本ビクター株式会社 。
Claims (1)
- ベース上の強磁性層表面にＤＣスパッタリングによつて
カーボン膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体製
造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16570584A JPS6145412A (ja) | 1984-08-09 | 1984-08-09 | 磁気記録媒体製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16570584A JPS6145412A (ja) | 1984-08-09 | 1984-08-09 | 磁気記録媒体製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6145412A true JPS6145412A (ja) | 1986-03-05 |
Family
ID=15817487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16570584A Pending JPS6145412A (ja) | 1984-08-09 | 1984-08-09 | 磁気記録媒体製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6145412A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4820584A (en) * | 1986-06-12 | 1989-04-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
| US4891114A (en) * | 1986-12-31 | 1990-01-02 | Basf Aktiengesellschaft | Magnetic recording media |
| JP2010169243A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Tohoku Univ | フリクションダンパ |
-
1984
- 1984-08-09 JP JP16570584A patent/JPS6145412A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4820584A (en) * | 1986-06-12 | 1989-04-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
| US4891114A (en) * | 1986-12-31 | 1990-01-02 | Basf Aktiengesellschaft | Magnetic recording media |
| JP2010169243A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Tohoku Univ | フリクションダンパ |
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