JPH02158910A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒
体に関するものであり、炭化水素のプラズマ重合膜とベ
ンゼン／メタン／アルゴンの混合ガスを用いたダイヤモ
ンド状炭素膜とを組み合わせることによシ、磁気記録媒
体の出力を高め、メチル耐久性と走行耐久性を向上した
磁気記録薄膜媒体に関する。

従来の技術 従来、強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体
においては、様々な方法によシ耐蝕性、スチル耐久性、
走行耐久性の向上が続けられてきた。たとえば、第１に
、強磁性金属薄膜上にカルボン酸系、リン系の滑剤層を
設ける、第２に、同様に非磁性金属の保護膜を設ける、
第３に、同様にＳｉＯ□膜を設ける１等である。しかし
、これらの保護膜ではもう一歩走行耐久性と耐蝕性が改
善されないのが現状である。そこで最近では、ダイヤモ
ンド状炭素膜を薄膜型磁気記録媒体の保護膜として用い
ることも検討されている。

発明が解決しようとする課題 上記ダイヤモンド状炭素膜を用いる技術は走行耐久性を
著しく向上させる効果はあるが、その厚みによるスペー
シングロスによシ薄膜型磁気記録媒体の特徴である短波
長記録の高出力に大きなマイナスとなり、実用性に欠け
る。具体的には、ダイヤモンド状炭素膜による走行耐久
性の向上には、との膜厚が２００人〜３００人必要であ
シ、この几め８１１ｇ　Ｖ　Ｔ　Ｒ規格のｃｓ　ＭＨｚ
のτ−高出力約３．０〜４．ｏｄＢ出力が低下してしま
っていた。

本発明は、スペーシングロスを減少させるとともに、走
行耐久性、耐蝕性の優れた高出力の金属薄膜型磁気記録
媒体を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 上記の目的を達成するための本発明は非磁性基板上に強
磁性金属薄膜を形成し、この強磁性金属薄膜上に炭化水
素のプラズマ重合膜を形成し、更にこのプラズマ重合膜
上にベンゼン／メタン／アルゴンの混合ガスを原料とし
たダイヤモンド状炭素膜を形成し、トップコート層とし
て滑剤層を有することを特徴とする。

具体的には、非磁性基板上に形式した強磁性金属薄膜上
に、炭化水素のプラズマ重合膜を６人〜１００人の厚み
で成膜し、その上にベンゼンを原料としメタンとアルゴ
ンを混合したガスによるダイヤモンド状炭素膜を６ｏ人
〜１００人の厚みで形成し、更に、滑剤層をトップコー
ト層として形成したものである。

このように構成した磁気記録媒体と、他の材料を用いた
同一構成の磁気記録媒体とを、走行耐久性、耐蝕性につ
いて比較試験を行った結果、炭化水素よシ作ったプラズ
マ重合膜とベンゼンを原料としてメタンとアルゴンを混
合したガスによるダイヤモンド状炭素膜を用いたサンプ
ルの走行耐久性とスチル耐久性、耐蝕性が非常に高かっ
た。ここで炭化水素とは、ＣｎＨ２ｎ　＋２のメタン、
プロパン等の飽和炭化水素、　ＣｎＨ２ｎの環状炭化水
素ベンゼン等の芳香族炭化水素を含む。このプラズマ重
合膜の厚みが６Å以下では強磁性金属薄膜の表面酸化層
の変質を防ぎきれず、走行耐久性を飛躍的に高めるため
には、ダイヤモンド状炭素膜を厚くして出力をやは、り
　−ａ、ｏ　ｄＢ程度低下させることになる。一方、厚
みが６０Å以上のプラズマ重合膜の場合には、ダイヤモ
ンド状炭素膜の厚みによらず走行耐久性が劣化しはじめ
る。このように、炭化水素によるプラズマ重合膜の最適
厚みは約６人〜６０人である。

一方ダイヤモンド状炭素膜は６０Å以下ではスチル耐久
性、走行耐久性が十分向上せず、１００Ａ以上では耐久
性的には十分であるがその厚みによる出力低下が問題と
なるので好ましくは６０Å以上１００人近くということ
になる。

作用 本発明によれば、強磁性金属薄膜の上に炭化水素のプラ
ズマ重合膜を設け、この上にダイヤモンド状炭素膜を形
成し、更にこの上に滑剤層を設けることによシ、前記強
磁性金属膜の表面酸化層の変質を防ぎ、この残った表面
酸化膜とダイヤモンド状炭素膜とが二重の保護膜となり
ダイヤモンド状炭素膜を薄くすることができるとともに
、金属薄膜型磁気記録媒体の走行耐久性、耐蝕性は著し
く向上する。一方、出力低下は１．０ｄＢ〜１．５ｄＢ
程度に抑えることができる。

実施例 以下、本発明の磁気記録媒体の一実施例を添付図面に基
づいて説明する。

ポリエチレンテレフタレートからなる基板６上面に強磁
性金属薄膜４を形成し、この強磁性金属薄膜４上に、炭
化水素のプラズマ重合膜３を形成し、更に、ダイヤモン
ド状炭素膜２を形成した後、滑剤層１を重ねて形成する
一方、前記基板５の下面にはバックコート層６を形成し
て構成したものである。

次に１本発明の磁気記録媒体およびこれと比較するため
の各種材料のプラズマ重合膜３を有する磁気記録媒体を
、８■ビデオ用金属薄膜型テープとして製造する方法お
よび比較試験結果について詳述する。

異常に大きな突起のない、表面粗さのコントロールされ
た５　００　ｔａｘ幅のポリエチレンテレフタレート、
たとえば、表面最大粗さ２００人〜３００人、中心線平
均粗さ２６人〜５０人、山状突起の密度が１−当り１０
〜１０個の基板６上に、真空蒸着法によシ酸素を導入し
ながらｃｏ（８ｏ）〜Ｎ１（２０）の強磁性金属薄膜４
を２０００人形成した後、この強磁性金属薄膜４上へ真
空度０．１ＴＯｒｒ　、　２０　ＫＨｚの周波数で出力
５ｏｏｖの条件で、炭化水素をはじめとする各種材料の
プラズマ重合膜３を６人〜１００人形成し、サンプルと
した。流量は材料によって異なシ２０ＳＣＣＭ〜１ｏ。

ＳＣＣＭである。これは連続巻取式の真空装置で処理す
る。次に、これらのサンプルのプラズマ重合膜３上へ、
ベンゼン・メタン・アルゴンの混合ガスを０．３　Ｔｏ
ｒｒ　（Ｑ真空度で、ＤＣ電圧を１５００〜２０００ボ
ルト印加して、（電極をプラス、強磁性金属薄膜４側を
マイナスとする）プラズマＣＶＤ法によりダイヤモンド
状炭素膜２を６０人〜１００人の厚さで形成するこの時
のガスの流１は８０〜２００　ＳＣＣＭである。これも
連続巻取式の真空装置で処理する。更に、溶媒と混合し
塗工乾燥する方法或いは真空蒸着法などの周知のコーテ
ィング法により、とのダイヤモンド状炭素膜２上に含フ
ツ素エステルを２０人〜６０人塗布して滑剤層１を形成
し、その後スリッターにより８圏幅に裁断する。このよ
うにして作成された１２０分長Ｏ８關ビデオ用金属薄膜
型テープをコダック社のａ６ＶＴＲで評価した＠ なお、スチル耐久性は加速のためテープテンションを３
倍とし、気温２３℃、湿度１０％の特殊環境で出力がで
なくなるまでの時間を測定した。

耐蝕性については、気温６０℃、湿度９０％の環境で錆
の発生するまでの時間で表現した。また。

比較例として各種サンプルも作成した。出力低下につい
ては強磁性金属薄膜４上に滑剤層１だけを設けた磁気記
録媒体の出力をＯｄＢとした。

その結果を下表に示す。

（以下余　白） 上記の表のサンプルＰ１ｋＬ１〜４よシ明らかなごとく
、膜厚５〜６０人の炭化水素のプラズマ重合膜３を強磁
性金属薄膜４の上へ設けさらにベンゼン／メタン／アル
ゴンの混合ガスによシ膜厚６ｏ人〜１００人のダイヤモ
ンド状炭素膜２をこの上へ設けるとスペーシングロスに
よる出力低下を低く抑えながら、スチル耐久性を著しく
向上させ、かつ耐蝕性も飛躍的に伸ばすことができる。

発明の効果 本発明によれば、出力低下を＃１とんど伴なわず１０ｍ
／ｍｉｎ〜３０ｍ／ｗｉｎという高速成膜条件でスチル
耐久性と耐蝕性を飛躍的に向上させることが可能になる
という効果を奏することができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明による磁気記録媒体の概略的な断面図であ
る。 １・・・・・・滑剤層、２・・・・・・ダイヤモンド状
炭素膜、３・・・・・・プラズマ重合膜、４・・・・・
・強磁性金属薄膜、６・・・・・・基板、６・・・・・
・バックコート層。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名ｌ−
滑ｆ１層 ２−　グイヤもンド゛オ大浸素嗅 ３−　プラス′７１合暎 ４−’Ａａｌ生金、ａ浮ａ ５−基板 乙−ノぐツクコート眉 ！

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性基板上に強磁性金属薄膜を形成し、この強磁性金
   属薄膜上に炭化水素のプラズマ重合膜を形成し、更にこ
   のプラズマ重合膜上にベンゼン／メタン／アルゴンの混
   合ガスを原料としたダイヤモンド状炭素膜を形成し、ト
   ップコート層として滑剤層を有することを特徴とする磁
   気記録媒体。