JPS6366727A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS6366727A JPS6366727A JP21050586A JP21050586A JPS6366727A JP S6366727 A JPS6366727 A JP S6366727A JP 21050586 A JP21050586 A JP 21050586A JP 21050586 A JP21050586 A JP 21050586A JP S6366727 A JPS6366727 A JP S6366727A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 70
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 28
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 claims abstract description 20
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 46
- 229910004014 SiF4 Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N silicon tetrafluoride Chemical compound F[Si](F)(F)F ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 abstract description 5
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 abstract description 4
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 abstract description 4
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 abstract 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 5
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 5
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AEVRNKXPLOTCBW-UHFFFAOYSA-N carbon monoxide;cobalt;cyclopenta-1,3-diene Chemical compound [Co].[O+]#[C-].[O+]#[C-].C=1C=C[CH-]C=1 AEVRNKXPLOTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001728 carbonyl compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002090 carbon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ILZSSCVGGYJLOG-UHFFFAOYSA-N cobaltocene Chemical compound [Co+2].C=1C=C[CH-]C=1.C=1C=C[CH-]C=1 ILZSSCVGGYJLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- -1 dicarbonyl cobalt Chemical compound 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- KTWOOEGAPBSYNW-UHFFFAOYSA-N ferrocene Chemical compound [Fe+2].C=1C=C[CH-]C=1.C=1C=C[CH-]C=1 KTWOOEGAPBSYNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 210000002700 urine Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は磁気記録媒体の製造方法に関し、さらに詳し
くは、磁性層の基体iこ対する接着性が良好で耐久性に
優れた磁気記録媒体の製造方法に関する。
くは、磁性層の基体iこ対する接着性が良好で耐久性に
優れた磁気記録媒体の製造方法に関する。
一般に、磁性粉末を結合剤成分とともに基体フィルム上
に結着させるか、或いは強磁性金属またはそれらの合金
などを真空蒸着等によって基体フィルム上に被着してつ
くられる磁気記録媒体は、記録再生蒔に磁気ヘッド等と
激しく摺接するため磁性層が摩耗され易く、特に真空蒸
着等によって形成される強磁性金属薄膜型磁気記録媒体
は、高密度記録特性に優れる反面、磁気ヘッドとの摩擦
係数が大きくて摩耗や損傷を受は易く、また空気中で除
々に酸化を受けて最大磁束密度などの磁気特性が劣化す
るなどの難点がある。
に結着させるか、或いは強磁性金属またはそれらの合金
などを真空蒸着等によって基体フィルム上に被着してつ
くられる磁気記録媒体は、記録再生蒔に磁気ヘッド等と
激しく摺接するため磁性層が摩耗され易く、特に真空蒸
着等によって形成される強磁性金属薄膜型磁気記録媒体
は、高密度記録特性に優れる反面、磁気ヘッドとの摩擦
係数が大きくて摩耗や損傷を受は易く、また空気中で除
々に酸化を受けて最大磁束密度などの磁気特性が劣化す
るなどの難点がある。
このため、近年、強磁性金属を有機高分子化合物層内に
分散させて磁性層を形成し耐久性および耐食性を改善す
ることが行われている。(特公昭60−31013号) 〔発明が解決しようとする問題点〕 ところが、強磁性金属を有機高分子化合物層内に分散さ
せて磁性層を形成したものでは、耐食性は改善されるも
のの、磁性層の基体に対する接着性が充分でなく、耐久
性が未だ充分に改善されていない。
分散させて磁性層を形成し耐久性および耐食性を改善す
ることが行われている。(特公昭60−31013号) 〔発明が解決しようとする問題点〕 ところが、強磁性金属を有機高分子化合物層内に分散さ
せて磁性層を形成したものでは、耐食性は改善されるも
のの、磁性層の基体に対する接着性が充分でなく、耐久
性が未だ充分に改善されていない。
この発明はかかる現状に鑑み鋭意研究を重ねた結果なさ
れたもので、強磁性金属を含む有機化合物のモノマーガ
スとSiF4ガスとの混合ガス中でグロー放電処理を行
うことによって、強磁性金属とSiをアモルファス状の
カーボン膜層内に導入した強靭で基体との接着性に優れ
る磁性層を基体上に形成し、磁性層の基体に対する接着
性を改善し、耐久性を充分に向上させたものである。
れたもので、強磁性金属を含む有機化合物のモノマーガ
スとSiF4ガスとの混合ガス中でグロー放電処理を行
うことによって、強磁性金属とSiをアモルファス状の
カーボン膜層内に導入した強靭で基体との接着性に優れ
る磁性層を基体上に形成し、磁性層の基体に対する接着
性を改善し、耐久性を充分に向上させたものである。
この発明において、磁性層を形成する際使用される強磁
性金属を含む有機化合物のモノマーガスとしては、フェ
ロセン、コバルトセン、ニソケロセン等の昇華ガス、ペ
ンタカルボニル鉄、オクタカルボニルジコバルト、テト
ラカルボニルニッケル等の金属カルボニル化合物のモノ
マーガスと、CH4、c2H4等の有機化合物の七ツマ
ーガスとの混合ガスが好適なものとして使用され、特に
炭素原子に対する水素原子の原子数比の小さいものが好
ましく使用される。
性金属を含む有機化合物のモノマーガスとしては、フェ
ロセン、コバルトセン、ニソケロセン等の昇華ガス、ペ
ンタカルボニル鉄、オクタカルボニルジコバルト、テト
ラカルボニルニッケル等の金属カルボニル化合物のモノ
マーガスと、CH4、c2H4等の有機化合物の七ツマ
ーガスとの混合ガスが好適なものとして使用され、特に
炭素原子に対する水素原子の原子数比の小さいものが好
ましく使用される。
これらの強磁性金属を含む有機化合物のモノマーガスは
、S i F4ガスと混合し、この混合ガス中でグロー
放電処理を行うと、有機金属化合物の七ツマーガスが分
解してこの七ツマーガス中に含まれる強磁性金属がMR
tlし、またSiF4ガスが解離されてフッ素原子が生
じ、この解離されたフッ素原子が処理槽内のガス中に存
在する水素原子と反応し、HFとなって排除されるため
、極めて架橋の進んだ硬質のアモルファス状カーボン膜
層が形成されると同時にアモルファス状カーボン膜層内
に、遊離した強磁性金属およびSiが導入され、強靭で
耐久性に優れた磁性層が形成される。
、S i F4ガスと混合し、この混合ガス中でグロー
放電処理を行うと、有機金属化合物の七ツマーガスが分
解してこの七ツマーガス中に含まれる強磁性金属がMR
tlし、またSiF4ガスが解離されてフッ素原子が生
じ、この解離されたフッ素原子が処理槽内のガス中に存
在する水素原子と反応し、HFとなって排除されるため
、極めて架橋の進んだ硬質のアモルファス状カーボン膜
層が形成されると同時にアモルファス状カーボン膜層内
に、遊離した強磁性金属およびSiが導入され、強靭で
耐久性に優れた磁性層が形成される。
またSiは磁性層の下層側に多く含有され、磁性層内の
炭素原子や基体表面と強固に結合するため、磁性層の基
体に対する接着性が充分に向上され、耐久性が充分に向
上される。この際、強磁性金泥を含む有機化合物の七ツ
マーガスとして、金属カルボニル化合物の七ツマーガス
を使用する場合は、形成される磁性層に取り込まれる酸
素原子や、グロー放電処理の際に残留ガスもしくは吸着
分子から取り込まれる酸素原子を除去するため、還元性
ガスとして一酸化炭素ガスを混入することが好ましく、
−酸化炭素ガスを混入すると、炭素原子の架橋がさらに
高まり、また同時に強磁性金属が還元されて磁気特性が
向上される。またSiF4ガスとともにさらにCF4ガ
スを混合すると、処理槽内のガス中に存在する水素原子
が一段と良好に排除されて、一段と架橋の進んだ硬質の
アモルファス状カーボン膜層が形成され、このアモルフ
ァス状カーボン膜層内に強磁性金属およびケイ素原子が
導入されて、一段と強靭で耐久性に優れた磁性層が形成
されるため、CF4ガスを併用するのが好ましい。
炭素原子や基体表面と強固に結合するため、磁性層の基
体に対する接着性が充分に向上され、耐久性が充分に向
上される。この際、強磁性金泥を含む有機化合物の七ツ
マーガスとして、金属カルボニル化合物の七ツマーガス
を使用する場合は、形成される磁性層に取り込まれる酸
素原子や、グロー放電処理の際に残留ガスもしくは吸着
分子から取り込まれる酸素原子を除去するため、還元性
ガスとして一酸化炭素ガスを混入することが好ましく、
−酸化炭素ガスを混入すると、炭素原子の架橋がさらに
高まり、また同時に強磁性金属が還元されて磁気特性が
向上される。またSiF4ガスとともにさらにCF4ガ
スを混合すると、処理槽内のガス中に存在する水素原子
が一段と良好に排除されて、一段と架橋の進んだ硬質の
アモルファス状カーボン膜層が形成され、このアモルフ
ァス状カーボン膜層内に強磁性金属およびケイ素原子が
導入されて、一段と強靭で耐久性に優れた磁性層が形成
されるため、CF4ガスを併用するのが好ましい。
このようなグロー放電処理は、通常、高周波電力、直流
電力、交流電力、マイクロ波電力などに7よりグロー放
電を発生して行われるが、比較的取扱が容易な13.5
6MHzの高周波電力が好ましく使用される。またこの
グロー放電処理は、強磁性金属の加熱蒸発あるいはスパ
ッタリングと併用して行うことができる。グロー放電処
理する際のガス圧及び電力は、強磁性金属およびケイ素
原子をアモルファス状カーボン膜層中に導入した磁性層
が良好に形成されるように、ガス圧をlXl0−’〜1
トールの範囲内にするのが好ましく、高周波電力は0.
01〜5 W / cnlの範囲内にするのが好ましい
。またグロー放電処理する際の混合ガス中におけるS
i F4ガスの含有割合は、強磁性金属を含む有機化合
物の七ツマーガスとの合計量に対して061〜50容量
%の範囲内にするのが好ましく、少なすぎると所期の効
果が得られず、多すぎると強磁性金属の含有率が減少し
たり、成膜速度が低下する。
電力、交流電力、マイクロ波電力などに7よりグロー放
電を発生して行われるが、比較的取扱が容易な13.5
6MHzの高周波電力が好ましく使用される。またこの
グロー放電処理は、強磁性金属の加熱蒸発あるいはスパ
ッタリングと併用して行うことができる。グロー放電処
理する際のガス圧及び電力は、強磁性金属およびケイ素
原子をアモルファス状カーボン膜層中に導入した磁性層
が良好に形成されるように、ガス圧をlXl0−’〜1
トールの範囲内にするのが好ましく、高周波電力は0.
01〜5 W / cnlの範囲内にするのが好ましい
。またグロー放電処理する際の混合ガス中におけるS
i F4ガスの含有割合は、強磁性金属を含む有機化合
物の七ツマーガスとの合計量に対して061〜50容量
%の範囲内にするのが好ましく、少なすぎると所期の効
果が得られず、多すぎると強磁性金属の含有率が減少し
たり、成膜速度が低下する。
このようにして形成される磁性層において、アモルファ
ス状カーボン膜層中に導入された強磁性金属は、使用す
るモノマーガスにより異なるが、平均粒径が200〜3
00人の範囲内であると、強磁性金属粒子間がアモルフ
ァス状カーボンで磁気的に絶縁されて単磁区粒子的な構
造となり、良好な磁気特性が得られるとともに耐食性も
向上される。また、この強磁性金属粒子の磁性層中にお
ける充虜率は、磁性層の全成分に対して20〜60容量
%の範囲内となるようにするのが好ましく、充虜率が2
0容量%より少なくては、強磁性金屈粒子の充虜率が低
くなり、充分な磁気特性が得られず、60容量%より多
くては、各強磁性金属粒子間を良好に磁気的に絶縁して
磁気特性および耐食性を充分に向上することができない
。さらに、このような磁性層中における水素原子、ケイ
素原子、フッ素原子および酸素原子は、炭素原子に対す
る原子数比で、それぞれ0.2倍以下、1.0倍以下、
0.1倍以下および0.1倍以下であることが好ましく
、多すぎると炭素原子同士の架橋が断たれる箇所が増加
するため、耐久性が充分に改善されない。
ス状カーボン膜層中に導入された強磁性金属は、使用す
るモノマーガスにより異なるが、平均粒径が200〜3
00人の範囲内であると、強磁性金属粒子間がアモルフ
ァス状カーボンで磁気的に絶縁されて単磁区粒子的な構
造となり、良好な磁気特性が得られるとともに耐食性も
向上される。また、この強磁性金属粒子の磁性層中にお
ける充虜率は、磁性層の全成分に対して20〜60容量
%の範囲内となるようにするのが好ましく、充虜率が2
0容量%より少なくては、強磁性金屈粒子の充虜率が低
くなり、充分な磁気特性が得られず、60容量%より多
くては、各強磁性金属粒子間を良好に磁気的に絶縁して
磁気特性および耐食性を充分に向上することができない
。さらに、このような磁性層中における水素原子、ケイ
素原子、フッ素原子および酸素原子は、炭素原子に対す
る原子数比で、それぞれ0.2倍以下、1.0倍以下、
0.1倍以下および0.1倍以下であることが好ましく
、多すぎると炭素原子同士の架橋が断たれる箇所が増加
するため、耐久性が充分に改善されない。
このようにして得られる磁気記録媒体としては、ポリエ
ステルフィルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フ
ィルムを基体とする磁気テープ、合成樹脂フィルム、ア
ルミニウム板およびガラス板等からなる円盤やドラムを
基体とする磁気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッド
と摺接する構造の種々の形態を包含する。
ステルフィルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フ
ィルムを基体とする磁気テープ、合成樹脂フィルム、ア
ルミニウム板およびガラス板等からなる円盤やドラムを
基体とする磁気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッド
と摺接する構造の種々の形態を包含する。
次に、この発明の実施例について説明する。
実施例1
第1図に示すグロー放電処理装置を使用し、厚さが10
μmのポリエステルフィルム1を、処理槽2内の原反ロ
ール3からガイドロール4を介して高周波印加電極5の
表面に沿って移動させ、さらにガイドロール6を介して
巻き取りロール7に巻き取るようにセットした。次いで
、排気系8で処理槽2内をlXl0−’トールに真空排
気して、ポリエステルフィルム1を3m/minの速度
で走行させ、処理槽2の側壁に取りつけられたガス導入
管9から、シクロペンタジェニルジカルボニルコバルト
の七ツマーガスを20secmの流量で、またS i
F4ガスをlQsccmの流量で混合して導入し、高周
波型itoにより高周波印加電極5に、13.56MH
zの高周波電力を100W印加してグロー放電処理し、
コバルトおよびSiがアモルファス状カーボン膜層内に
導入された厚さ1800人の磁性層を形成した。しかる
後、所定の巾に裁断して第2図に示すような、ポリエス
テルフィルム1上に強磁性全尿およびSiをアモルファ
ス状カーボン膜層内に導入した磁性層12を形成した磁
気テープAをつくった。なお、第1図中11はアース側
電極である。
μmのポリエステルフィルム1を、処理槽2内の原反ロ
ール3からガイドロール4を介して高周波印加電極5の
表面に沿って移動させ、さらにガイドロール6を介して
巻き取りロール7に巻き取るようにセットした。次いで
、排気系8で処理槽2内をlXl0−’トールに真空排
気して、ポリエステルフィルム1を3m/minの速度
で走行させ、処理槽2の側壁に取りつけられたガス導入
管9から、シクロペンタジェニルジカルボニルコバルト
の七ツマーガスを20secmの流量で、またS i
F4ガスをlQsccmの流量で混合して導入し、高周
波型itoにより高周波印加電極5に、13.56MH
zの高周波電力を100W印加してグロー放電処理し、
コバルトおよびSiがアモルファス状カーボン膜層内に
導入された厚さ1800人の磁性層を形成した。しかる
後、所定の巾に裁断して第2図に示すような、ポリエス
テルフィルム1上に強磁性全尿およびSiをアモルファ
ス状カーボン膜層内に導入した磁性層12を形成した磁
気テープAをつくった。なお、第1図中11はアース側
電極である。
実施例2
実施例1におけるグロー放電処理において、シクロペン
タジェニルジカルボニルコバルトのモノマーガスに代え
て、オクタカルボニルジコバルトのモノマーガスをl
5 sccm、メタンのモノマーガスを5 secmの
流量で混合した混合ガスを導入した以外は、実施例1と
同様にして、コバルトおよびSiがアモルファス状カー
ボン膜層内に導入された厚さ2000人の磁性層を形成
し、磁気テープAをつくった。
タジェニルジカルボニルコバルトのモノマーガスに代え
て、オクタカルボニルジコバルトのモノマーガスをl
5 sccm、メタンのモノマーガスを5 secmの
流量で混合した混合ガスを導入した以外は、実施例1と
同様にして、コバルトおよびSiがアモルファス状カー
ボン膜層内に導入された厚さ2000人の磁性層を形成
し、磁気テープAをつくった。
実施例3
実施例1におけるグロー放電処理において、シクロペン
タジェニルジカルボニルコバルトのモノマーガスに代え
て、ペンタカルボニル鉄のモノマーガスを12 sec
m、テトラカルボニルニッケルのモノマーガス3 SC
Cm、ベンゼンのモノマーガスを5 secmの流量で
混合した混合ガスを導入した以外は、実施例1と同様に
して、鉄、ニッケルおよびSiがアモルファス状カーボ
ン膜層内に導入された厚さ1800人の磁性層を形成し
、磁気テープAをつくった。
タジェニルジカルボニルコバルトのモノマーガスに代え
て、ペンタカルボニル鉄のモノマーガスを12 sec
m、テトラカルボニルニッケルのモノマーガス3 SC
Cm、ベンゼンのモノマーガスを5 secmの流量で
混合した混合ガスを導入した以外は、実施例1と同様に
して、鉄、ニッケルおよびSiがアモルファス状カーボ
ン膜層内に導入された厚さ1800人の磁性層を形成し
、磁気テープAをつくった。
比較例1
実施例1におけるグロー放電処理において、SiF4ガ
スの導入を省いた以外は、実施例1と同様にして、コバ
ルトがアモルファス状カーボン膜層内に導入された厚さ
1800人の磁性層を形成し、磁気テープをつくった。
スの導入を省いた以外は、実施例1と同様にして、コバ
ルトがアモルファス状カーボン膜層内に導入された厚さ
1800人の磁性層を形成し、磁気テープをつくった。
比較例2
実施例2におけるグロー放電処理において、SiF4ガ
スの導入を省いた以外は、実施例2と同様にして、コバ
ルトがアモルファス状カーボン膜層内に導入された厚さ
2000人の磁性層を形成し、磁気テープをつくった。
スの導入を省いた以外は、実施例2と同様にして、コバ
ルトがアモルファス状カーボン膜層内に導入された厚さ
2000人の磁性層を形成し、磁気テープをつくった。
比較例3
実施例3におけるグロー放電処理において、SiF4ガ
スの導入を省いた以外は、実施例3と同様にして、鉄お
よびニッケルがアモルファス状カ−ボン膜層内に導入さ
れた厚さ1800人の磁性層を形成し、磁気テープをつ
くった。
スの導入を省いた以外は、実施例3と同様にして、鉄お
よびニッケルがアモルファス状カ−ボン膜層内に導入さ
れた厚さ1800人の磁性層を形成し、磁気テープをつ
くった。
各実施例および比較例で得られた磁気テープについて、
保磁力および残留磁束密度を測定した。
保磁力および残留磁束密度を測定した。
また磁性層の基体に対する接着性および耐久性を調べる
ため固定SUSビン摺動試験および常温スチル寿命試験
を行った。固定SUSピン摺動試験は、摺動によって磁
性層が剥離するまでの摺動回数を測定して行い、また常
温スチル寿命試験は、市販のVTR用いて行い、磁性層
が剥離したり、その摩耗粉によって磁気ヘッドが目づま
りを生じて出力が停止するまでの時間を測定して行った
。
ため固定SUSビン摺動試験および常温スチル寿命試験
を行った。固定SUSピン摺動試験は、摺動によって磁
性層が剥離するまでの摺動回数を測定して行い、また常
温スチル寿命試験は、市販のVTR用いて行い、磁性層
が剥離したり、その摩耗粉によって磁気ヘッドが目づま
りを生じて出力が停止するまでの時間を測定して行った
。
下記第1表はその結果である。
第1表
〔発明の効果〕
上記第1表から明らかなように、この発明で得られた磁
気テープ(実施例1〜3)は、いずれも従来の磁気テー
プ(比較例1〜3)に比し、摺動回数が多くて、常温ス
チル寿命が長く、このことからこの発明によって得られ
る磁気記録媒体は、磁性層の基体に対する接着性が良好
で、耐久性が一段と向上されていることがわかる。
気テープ(実施例1〜3)は、いずれも従来の磁気テー
プ(比較例1〜3)に比し、摺動回数が多くて、常温ス
チル寿命が長く、このことからこの発明によって得られ
る磁気記録媒体は、磁性層の基体に対する接着性が良好
で、耐久性が一段と向上されていることがわかる。
第1図はこの発明の磁性層を形成する際に使用するグロ
ー放電処理装置の1例を示す概略断面図、第2図はこの
発明によって得られた磁気テープの部分拡大断面図であ
る。 1・・・ポリエステルフィルム(基体)、12・・・磁
性層、A・・・磁気テープ(磁気記録媒体)特許出願人
日立マクセル株式会社 第1図
ー放電処理装置の1例を示す概略断面図、第2図はこの
発明によって得られた磁気テープの部分拡大断面図であ
る。 1・・・ポリエステルフィルム(基体)、12・・・磁
性層、A・・・磁気テープ(磁気記録媒体)特許出願人
日立マクセル株式会社 第1図
Claims (1)
- 1、基体上に磁性層を形成するにあたり、強磁性金属を
含む有機化合物のモノマーガスとSiF_4ガスとの混
合ガス中でグロー放電処理を行い、強磁性金属とSiを
アモルファス状のカーボン膜層内に導入した磁性層を形
成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21050586A JPS6366727A (ja) | 1986-09-06 | 1986-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21050586A JPS6366727A (ja) | 1986-09-06 | 1986-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6366727A true JPS6366727A (ja) | 1988-03-25 |
Family
ID=16590477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21050586A Pending JPS6366727A (ja) | 1986-09-06 | 1986-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6366727A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62110101U (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 | ||
JPH0467972U (ja) * | 1990-10-24 | 1992-06-16 | ||
FR2678955A1 (fr) * | 1991-07-12 | 1993-01-15 | Applic Couches Minces | Substrat revetu d'une couche mince a base de carbone et de silicium, sa preparation et son utilisation. |
-
1986
- 1986-09-06 JP JP21050586A patent/JPS6366727A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62110101U (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 | ||
JPH0433201Y2 (ja) * | 1985-12-28 | 1992-08-10 | ||
JPH0467972U (ja) * | 1990-10-24 | 1992-06-16 | ||
FR2678955A1 (fr) * | 1991-07-12 | 1993-01-15 | Applic Couches Minces | Substrat revetu d'une couche mince a base de carbone et de silicium, sa preparation et son utilisation. |
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