JPH01237513A - 光ビーム偏向走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、揺動ミラーあるいは回転ミラー等の偏向手段
により、被走査面に投射される走査用光ビームを偏向走
行させて１画像走査を行う画像走査手段に関し、特に、
１走査行程中に、複数本の走査線について並列的に走査
する際に、走査レンズの特性に基いて生じる走査線の曲
がりを修正して、歪みのない走査を行うための方法及び
装置に関する。

［従来の技術］ 光ビームを偏向させて走査を行うための手段としては、
一般に、揺動平面ミラー（以下、ガルバノミラ−という
）、回転平面ミラー（以下、モノボンミラーという）、
あるいは回転多面ミラー（以下。

ポリゴンミラーという）等が適用されている。

ガルバノミラ−あるいはモノボンミラーは、ポリゴンミ
ラーに比して、ウオップル（ｗｏｂｂｌｅ）　、すなわ
ち反射面の倒れ誤差に基づく走査線のピッチムラが少な
いという利点があるが、反面、ポリゴンミラーよりも走
査速度が遅いという難点がある。

すなわち、ポリゴンミラーでは、１回転で反射面数に相
当する走査線数について走査するが、ガルバノミラ−あ
るいはモノボンミラーは、１回の揺動あるいは１回転で
、１本の走査線についてしか走査が行われないため、走
査速度が遅くなる。

この難点を解決するため、複数本の光ビームを並列的に
使用して、走査速度を複数倍に向上させる手法が知られ
ている。

たとえば、米国雑誌ｒＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＪ　（１
９８５年１０月７日発行）第４０〜４２ページ、及び特
開昭５８−２１１７３５号公報（発明の名称「複数ビー
ム走査装置」）等には、それぞれ複数本の光ビームを並
列的に使用する走査手段が記載されている。

複数本の光ビームを並列的に偏向させる走査手段は、こ
れらの文献に記載されているように、公知であり、また
、従来の装置では、光ビーム偏向手段と被走査面との間
に配置される走査レンズとして、ｆθレンズ、すなわち
光ビームの投射点とレンズ光軸との距離が、偏向点にお
ける光ビームの光軸からの偏向角度θ（ｒａｄｉａｎ）
に比例する特性のレンズや、ｆｔａ口θレンズ、すなわ
ち偏向角度θの正接（ｔａｎ）に比例するレンズ、ある
いはｓｉｎ”θレンズ、すなわち正弦振動をするガルバ
ノミラ−により偏向される光ビームの投射点の走行速度
が、定速度になるような特性のレンズなどが使用されて
いる。

［発明が解決しようとする問題点］ 光ビーム走査装置の走査レンズとして、上述のｆθレン
ズ、ｆｔａｎｆ）レンズ、あるいは５ｉｎ−’θレンズ
などを使用すると、光ビームを偏向面内で入射させて走
査を行う場合は、走査軌跡が直線となるが、光ビームが
偏向面外から入射する場合は。

走査軌跡が湾曲する問題がある。なお、偏向面とは、レ
ンズの光軸を含み、かつ、偏向器を揺動あるいは回転さ
せる軸に垂直な面ともて定義する。

したがって、走査用光ビームが１本のみの場合は、その
偏向面内から光ビームを入射させることが可能であると
しても、その設定のためには、きわ°めて厳密な調整作
業が必要であって、生産性が低下する。

また、複数本の光ビームを並列的に使用する際には、偏
向面内から入射可能な光ビームは、その中の１本のみで
あり、残りのものは偏向面内から入射できないことにな
る。したがって、これらの複数本の光ビームによる走査
軌跡は、たとえば第７図（Ｂ）示のように、１本の光ビ
ームの走行軌跡のみ゛が直線となり、その他は、端部が
外方へ開いたｒつづみ状」を呈することになり、走査に
より複製される画像に歪みを生じ、多色印刷等の高い寸
法精度が要求される作業には、適用し璽い問題がある。

本発明は、光ビーム走査における上記問題を解決する手
段に関する。

［問題を解決するための手段］ 本発明は、走査用光ビームの光路の、ガルバノミラー等
の主走査用偏向手段の前段の適所に、光ビームを主走査
方向に交差する副走査方向に偏向させる補正用の光ビー
ム偏向手段を配置し、主走査方向の各位置における被走
査面での光ビーム走査軌跡の曲がり量に対応して、この
補正用偏向手段を光ビームの投射位置に対応させて制御
し、光ビームの副走査方向の偏向量を調節することによ
り、走査レンズの特性に基づく走査線の曲がり量を、相
殺して補正し、第７図（Ａ）に示すように。

すべての走査線を平行な直線とするものである。

［作用］ 主走査行程中に、走査用光ビームを副走査方向に所要量
偏向させることにより、最終被走査面における光ビーム
の投射点の位置を、副走査方向に移動させることができ
る。この移動藍が、走査レンズの特性に基づく走査軌跡
の曲がり量を打ち消すように、補正用偏向手段における
光ビームの偏向量を制御することにより、光ビームが偏
向面外から入射する場合でも、その走査軌跡を直線とす
ることができ、歪みのない画像走査が可能になる。

［理論］ まず、光ビーム走査における走査軌跡が、走査レンズの
特性に基づいて湾曲する理由について。

説明する。

第６図は、ガルバノミラ−を使用した光ビーム走査手段
の概略を示す説明図である。

紙面に垂直な軸回りに揺動するミラー（１）に、光源側
からの光ビーム（Ｑ２）が入射し、（０）点で反射して
、走査レンズ（２）を介して、被走査面（３）上に結像
して投射され、ミラー（１）の揺動にともなって、被走
査面（３）に沿って走行する。

光ビーム走査手段において、走査レンズとして最も一般
的に適用されているｆＯレンズでは、偏向点（０）にお
いて、光軸から（θ）ｒａｄｉａｎの角度で反射する光
ビーム（Ｑ、）が落射する点（４）と、光軸との距離を
「ｙ′」とすると、ｙ’＝ｆθである特性を有する。

かかるｆθレンズでは、以下に証明するように。

偏向面外から入射した光ビームの走査軌跡が、直線とな
らない。

第８図は、光ビーム走査手段の光路を、Ｘ−Ｙ−２直交
座標系により模式的に表わした斜視図である。

ガルバノミラ−はＸ軸回りに揺動し、走査レンズは、そ
の先軸を２軸に一致させて配置する。

四辺形”ＡＢＣＤ”は、走査レンズの主平面の一部を。

また、四辺形”Ａ’Ｂ’Ｃ’Ｄ″″は、被走査面の一部
をしめす。２個の四辺形は、それぞれ光軸（Ｚ軸）に直
交し、かつ、相似形をなしている。

主走査方向はＹ軸方向であり、（０）　（Ａ）　（Ａ’
　）（Ｄ）（Ｄ″）　（Ｅ）　（Ｆ’　）　（）Ｉ）の
各点は、Ｙ−Ｚ面、すなわち。

偏向面上に位置している。

”ｌ０ＤＨ”は、Ｙ−Ｚ面内でガルバノミラ−に入射し
、ミラー上の（０）点で反射して、Ｙ−Ｚ面内で偏向し
、（Ｅ）点に落射する第１光ビームであり、また、”Ｇ
ＯＣＦ”は、Ｙ−Ｚ面に対して角度（α）傾いて下方か
らミラーに入射し、点（０）で反射し、点（Ｆ）に落射
する第２光ビームである６点（Ｆ′）は。

点（Ｆ）からＡ’Ｄ’線に下ろした垂線の足である。

ここで。

第１光ビームと光軸との角度：　　β 第２光ビームと光軸との角度二　　〇 四辺形”　Ａ　ＢＣＤ　”及び”Ａ’　Ｂ’　Ｃ’　Ｄ
’　”　（７）対角線のＹ−Ｚ面からの角度：　　ｙ ＡＤ間の距離：　　　　　　　　　ｍ ＣＤ間の距離：　　　　　　　　　ｎ Ａ’　Ｆ’間の距離：　　　　　　　　ＭＦＦ’間の距
離＝　　　　　　　　　ＮＯＡ間の距離：　　　　　　
　　　ａ とすると、（α）（β）（γ）（θ）　（ｍ　）　（ｎ
　）　（Ｍ　）　（Ｎ　）（ａ）の容量の間には、以下
の関係が成立する。

ｔａｎβ＝−・・・・（２） ｔａｎγ＝−・・・・（４） 走査レンズが「、ｆθレンズ」である場合は。

Ａ’Ｆ間の乳層は、ｆθレンズの特性により「ｆθ」で
ある故、 Ｍ　”　ｆθｃｏｓγ・・・−（５） Ｎ＝ｆθｓｉｎγ・・・・（６） （１）　（２）両式よりｎ、ｍを求め、（３）（４）両
式に代入して。

ｔａ口β ・・・・（９） 次表は、上記式により、具体的な数値を適用して計算し
た結果を示す。

”ｆ　　＝　８００ｍｍ、　　　　α＝　３．２７”の
とき。

ｆ　　＝　８００ｍｍ、　　　　ａ　　＝　６．５５”
のとき、ｆ　　＝　８００ｍｍ、　　　　ａ　　＝　１
２２．４７”のとき、すなわち、走査レンズとして一般
的なｆθレンズを適用した場合には、偏向面外から入射
する光ビームの走行軌跡が直線とならないことが理解さ
れる。これは、光ビームの本数が多い場合はもちろん、
ビーム本数が少なくても１個々のビーム径が大きい場合
には、角度αが大きくなり。

Ｎ−Ｎ、が無視できなくなるため、不適である。

また、走査レンズが、ｆ　ｔａｎθレンズあるいはｓｉ
ｎ’θレンズでも、光ビームが偏向面外から入射する場
合について、同様な検討をしてみると、走査軌跡が湾曲
し、歪みを生じることが理解される。

本発明は、この問題を解決するために、主走査方向への
偏向手段の前段に、光ビームを副走査方向に所要盆偏向
させる偏向手段を配置し、被走査面への光ビームの投射
位置のずれ、すなわち上記各表中のＮ−Ｎ、を打ち消す
ように、副走査方向への光ビーム偏向量を制御するもの
である。

［第１実施例コ 第１図は、本発明の第１実施例である、複数種の周波数
の超音波信号により駆動される音響光学変調素子（以下
、ＡＯＭという）を用いて、複数本の光ビームを発生す
る手段を備えた複数光ビーム偏向走査装置を示す概略図
である。

レーザ光源（１１）から射出した光ビームは、ビームコ
ンデンサ（１２）によりビーム径が縮小され、八〇　Ｍ
　（１３）に入射する。

Ａ　ＯＭ　（１３）には、それぞれ異なる周波数を持つ
複数種（この実施例では３種）の超音波を、合成して印
加し、光ビームが複数個（３本）の光路に分岐するよう
に偏向させる。この手段については、後述する。

レンズ（１４）は、ＡＯＭ（１３）の中心からその焦点
距離に相当する位置に設置してあり、各光ビームは、レ
ンズ（１４）の後側焦点の位置（Ｑ、）に空中像を結像
する。第１図では、各光ビームの光路を、実線、１点鎖
線及び２点鎖線により、区別して図示しである。

点線で示す０次光は、適宜のシャッター（１５）により
遮蔽し、３本の１次光ビームは、空中像（Ｑｌ）からさ
らに進行して、コリメータレンズ（１６）に入射し、ガ
ルバノミラ＝（１７）に投射される。

ガルバノミラ−（１７）は、紙面に平行な軸回りに揺動
して、各光ビームを紙面に垂直な方向に周期的に偏向さ
せる。次いで、各光ビームは、走査レンズ（１８）に入
射し、被走査面（１９）に設置した感光材料に光ビーム
の本数に対応する個数の光点を結像し、ガルバノミラ−
（１７）の揺動にともなって。

感光材料面を紙面に垂直な方向に走査露光する。

また、Ａ　ＯＭ　（１３）の前段に設置したハーフミラ
−（２０）により、タイミングパルス発生用の補助光ビ
ームを分岐させ、ミラー（２１）　（２２）　（２３）
を介して。

露光用光ビームと異なる光路からガルバノミラ−（１７
）に入射させ、さらにミラー（２４）を介して、適所に
設置したグレーティングセンサ（２５）に向けて反射さ
せて、主走査に同期するタイミングパルスを発生させる
。グレーティングセンサ（２５）は、第１Ｂ図に示すよ
うな、遮光部と透光部とを所要ピッチで交互に配列した
グレーティングの背後に。

光電素子を設置したもので、補助光ビームが主走査に同
期して長さ方向に走行する際に、グレーティングの透光
部ごとに光電素子からパルス信号が′出力する。

走査露光に際して、走査レンズ（１８）がｆθレンズ、
ｆ　ｔａｎθレンズ、あるいはｓｉｎ’θレンズなどで
ある場合には、偏向面外から入射する光ビームによる走
査軌跡が湾曲する問題があることは、前述のとおりであ
り、かつ、複数本の光ビームの中、偏向面内から入射可
能なものは、調整を行ったとしても１本のみであるため
、従来手段では、その他の光ビームによる走査軌跡が湾
曲することが。

避けられなかった。第１図示装置は、Ａ　ＯＭ　（１３
）における各光ビームの偏向量を、被走査面（１９）に
おける光ビームの投射位置に応じて制御することにより
、゛走査軌跡の曲がりを修正するようにしたものである
。

第２図は、Ａ　ＯＭ　（１３）に複数種の周波数の超音
波を印加し、光ビームを複数本の光路に分岐させる手段
と、それらの光ビームの偏向角度を、主走査位置に応じ
て制御する手段を示す概略図である。

複数個（図示では３個）の発振器（２６ａ）　（２６ｂ
）　（２６ｃ）は、それぞれ周波数が異なる超音波信号
（ｆａ）　（ｆｂ）（ｆｃ）を発生する。

これらの超音波信号は、それぞれ対応する変調回路（２
７ａ）　（２７ｂ）　（２７ｃ）に入力し、各変調回路
に印加される所要の画像信号（Ｓｐ）に基いて、０Ｎ−
ＯＦＦ制御あるいは振幅変調され、次いで、ミキシング
回路（２８）に並列に入力して合成され、複数種の周波
数成分を持つ高周波信号となり、Ａ　ＯＭ　（１３）の
トランスデユーサ（２９）に印加される。これにより、
Ａ　ＯＭ　（１３）内には、超音波信号の周波数成分に
対応するピッチの疎密定常波が形成される。

この状態で、Ａ　ＯＭ　（１３）にレーザ光源（１１）
からの光ビーム（Ｌ）が入射すると１回折しない０次光
ビーム（Ｌｏ）及び各成分周波数に対応した角度で回折
する３本の１次光ビームＬ）（Ｌｚ）（ｔｉ）に分岐す
る。

なお、１個のＡＯＭに複数種の超音波信号を印加して、
複数本の光ビームに分岐させる手段は、たとえば本出願
人による特開昭５２−１０１１０１号公報（発明の名称
「網目版画像走査記録方法」）に記載されているような
公知手法に準じて行えばよい。

一方、各発振器（２６８〜２６ｃ）の前段に、各発振器
の発生周波数を変更制御する手段を配設する。

この手段は、光ビーム位置検出回路（３０）、ＬＵＴ　
（ｌｏｏｋ−ｕｐ　ｔａｂｌｅ）及び各発振器（２６ａ
〜２６ｃ）に対応して設置した３個の周波数制御回路（
３２８〜３２ｃ）’からなる。

光ビーム位置検出回路（３０）は、グレーティングセン
サ（２５）が発生、したパルス信号を、適宜逓倍あるい
は分周を利用して作った所要ピッチのタイミングパルス
に基いて、被走査面（１９）に各光ビームが落射する主
走査方向の位置を検出し、その位置データをＬ　Ｕ　Ｔ
　（３１）に入力させる。

Ｌ　Ｕ　Ｔ（３１）は、走査レンズに偏向面外から入射
する各光ビームについて、被走査面での落射位置に応じ
て、前述した（Ｎ　　ＮＯ）の偏移量を修正するための
、Ａ　ＯＭ　（１３）に印加すべき周波数の変更データ
が、あらかじめ光ビームの偏向面外からの入射角度ごと
に求めて記憶させてあり、光ビーム位置検出回路（３０
）からの位置データ人力により。

それぞれの光ビームごとの湾曲補正データを出力する。

この湾曲補正データは、各周波数制御回路（３２８〜３
２ｃ）に送られて、対応する発振器（２６８〜２６Ｃ）
の発生周波数を変更制御して、Ａ　ＯＭ　（１３）にお
ける各光ビームの偏向角度を、それらの走査軌跡が直線
となるように制御する。

なお、第１図示装置において、空中像（Ｑｌ）における
３本の光ビームの間隔は、ＡＯＭ（１３）における各光
ビームの偏向角度によって定まり、かつ。

その光ビームの偏向角度は、Ａ　ＯＭ　（１３）に印加
される超音波信号の周波数により定まるため、３個の発
振器（２６ａ〜２６ｃ）の基本周波数を適切に選択する
ことにより、空中像（Ｑｌ）におけるビームピッチ及び
それに基づく被走査面（１９）を走査する走査線ピッチ
を、任意の所望値に設定することができ。

さらに、上述のように、各発振器（２６８〜２６ｃ）の
発生周波数を、光ビームの位置に対応して、変更制御す
ることにより、走査軌跡の曲がりを補正して、各走査線
をすべて平行な直線とすることができる。

また、光ビーム本数は１図示の３本に限るものではなく
、任意に選択できることは云うまでもない、これは、次
の第２実施例でも同様である。

［第２実施例コ 上述第１実施例装置では、複数本の光ビームを並列させ
て、ガルバノミラ−等の偏向手段に同時に投射している
が、本発明は、必ずしも複数光ビームを同時に並列的に
発生させる手段に限らず、１本のみの光ビｉムを、主走
査周期よりも高い周期で、副走査方向に移動させること
により、１主走査周期で複数本の走査線について走査す
るようにしてもよく、第３図のその１実施例装置の概略
を示す。

レーザ光源（８１）から射出された光ビームは、レンズ
（８２）　（８３）により、Ａ　ＯＭ　（８４）内に第
１中間像（８５）を結像する。レンズ（８２）と（８３
）との間には、タイミング制御用の補助光ビームを分岐
するためのハーフミラ−（８６）が配置しである。

Ａ　ＯＭ　（８４）に印加される超音波信号の周波蔽に
応じた角度で偏向された光ビームは、偏向点からその焦
点距離だけ離れて配置したレンズ（８７）により、その
光軸（Ｌ）に平行にされ、第２中間像（８８）を結像し
、さらに、ミラー（８９）で反射して、レンズ（９０）
により平行光束となり、ミラー（９１）を介して、レン
ズ（９２）により第３中間像（９３）を結像する。

さらに、第３中間像（９３）からの光ビームは、コリメ
ータレンズ（９４）により平行光束となり、ガルバノミ
ラ−（９５）に入射する。ガルバノミラ−は、前記第１
実施例と同様に１紙面に平行な軸回りに揺動°して、光
ビームを紙面に垂直な方向に周期的に偏向させる。

偏向された光ビームは、走査レンズ（９６）により。

被走査面（９７）に設置された感光材料の面に光点を結
像し、ガルバノミラ−（９５）の揺動にともなって走行
する。

一方、ハーフミラ−（８６）により分岐したタイミング
制御用の補助光ビームは、ミラー（９８）で反射　　゛
して、露光用光ビームとともにコリメータレンズ（９４
）を介してガルバノミラ−（９５）に投射され、露光用
光ビームと同期的に偏向されて、走査レンズ（９６）及
びミラー（９９）を介して、グレーティングセンサ（１
００）を走査し、前記第１実施例と同様にタイミングパ
ルスを発生させる。

ガルバノミラ−（９５）に平行光束として投射される露
光用光ビームは、１点鎖線で示す全体の光軸（Ｌ）に対
して微小角度値いており、その傾き量は、レンズ（９０
）ににゆうしゃする光ビームの、光軸からの離間量によ
って決まり、かつ、レンズ（９０）に入射する光ビーム
、の位置は、ＡＯＭ（８４）における光ビームの偏向角
度によって決まることは１図より理解される。

そして、被走査面（９７）に光ビームが結像落射する位
置と光軸との距離は、走査レンズ（９６）に入射する光
ビームの光軸（Ｌ）に対する傾斜角度により変化するた
め、ＡＯＭ（８４）における光ビームの偏向角度を適切
に制御す“ることにより、被走査面（９７）における光
ビームの、主走査方向に交差する方向（図における紙面
に沿った方向）の結像位置を、制御することができる。

一般的な単一ビームによる光ビーム偏向走査においては
、たとえば第４図（Ａ）示のように、主走査線の方向に
沿って１本のみの走査線について走査するが、第３図示
装置において、ＡＯＭ（８４）に印加する偏向制御信号
を所要に変化させることにより、光ビームを、ガルバノ
ミラ−（９５）の揺動周期よりも高周期で、副走査方向
に往復偏向させることにより、第４図（Ｂ）あるいはＡ
　ＯＭ　（８４）を適宜傾けて設置することにより同図
（Ｃ）に示すように、ガルバノミラ−の１揺動周期の間
に、複数本の走査線について走査することができる。

同時に、Ａ　ＯＭ　（８４）に印加する制御信号に、走
査レンズの特性に基づく走査軌跡の曲がり量に対する補
正輩をも加算することにより、上述各実施例と同様に、
複数本の走査線に対する湾曲補正を行うことができる。

第５図は、第３図示装置において走査軌跡の湾曲補正を
行う手段の１実施例を示すブロック図である。

光ビーム位置検出回路（１０１）は、前述第実施例と同
様に、グレーティングセンサ（１００）から出力するパ
ルス信号に基いて、被走査面（９７）上に投射された光
ビームの位置を検出して、その位置データを、　ＬＵＴ
（１０２）に送る。

Ｌ　Ｕ　Ｔ　（１０１）は、第２図示実施例と同様に、
走査レンズの特性により生じる光ビームの落射位置を補
正するための、ＡＯＭＣ８４）における光ビームの偏向
角度を補正すべきデータが蓄積してあり、光ビーム位置
検出回路（１０１）から入力する位置データに応じて、
そ、の投射位置及び光ビームの偏向面に対する入射角度
ごとの湾曲補正データを出力する。

この湾曲補正データは、次段の加算器（１０３）に送ら
れ、Ａ　ＯＭ　（８４）に印加される偏向角制御信号と
加算され、偏向角制御信号に走査軌跡の曲がりを補正す
る量を追加する。

補正された偏向角制御信号は、ディジタル・アナログ変
換器（１０４）によりディジタル信号に変換され、ＡＯ
Ｍ駆動回路（１０５）ニ入力シテ、ＡＯＭ（８４）に印
加される。

かくして、Ａ　ＯＭ　（８４）に補正された偏向角制御
信号を印加することにより、第４図（Ｂ）あるいは（Ｃ
）に示すように、複数本の走査線について走査をする際
に、すべての走査線を直線として走査することができ、
歪みのない画像走査が可能となる。

なお、前述第１実施例装置は、感光材料を複数本の光ビ
ームで走査して、複製画像を露光記録するものであるが
、この第２実施例は、感光材料に対する露光記録のみな
らず、被複製原画を走査して、その画像信号を出力する
手段としても適用できる°、すなわち、この実施例では
、単一の光ビームを副走査方向に高速度で移動させて、
複数本の走査線について走査をするものであり、走査光
点が１個のみであるため、原画走査に際して、１個の画
素点のみの画像情報をピックアップすることができるの
で、原画の入力走査にも適用できるのである。

第３図示装置を原画の入力走査に適用する場合は、被走
査面（９７）に原画を配置し、その面からの反射光又は
透過光を図示しない光電素子に入射させて１画像信号を
得るようにすればよい。

なお、上述各実施例は、いずれも偏向器としてガルバノ
ミラ−を使用するものとして説明したが、°ポリゴンミ
ラー、モノボンミラー等の偏向手段を備える光ビーム偏
向走査装置でも１本発明を実施できることは云うまでも
ない。

［発明の効果］ （１）並列した複数本の光ビーム、あるいは副走査方向
に高速度で往復移動する１本の光ビームを、偏向器によ
り被走、査面に投射走行させる走査装置において、光ビ
ームが偏向面外から走査レンズに入射する場合でも、そ
の走査軌跡を直線とすることができるため、複数本の走
査線がすべて直線となり、歪みのない複製画像が得られ
る。

（２）ポリゴンミラーに比してウオップルが少なく、高
精度の走査ができるが、その反面、走査速度が遅いガル
バノミラ−あるいはモノボンミラーを使用しても、ポリ
ゴンミラーと同等、もしくはそれ以上の高速走査が可能
になる。

（３）高分解能を得るために、露光用光点径を小さくし
ても、光ビームの本数を増加することができるため、走
査所要時間が、従来装置のように著しく長くなることが
なく、ケースによっては短縮することも可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例装置の概略図、第２図は第
１実施例の光ビーム偏向制御手段を示すブロック図、第
３図は第２実施例装置の概略図。 第４図は第２実施例における走査軌跡を示す説明図、第
５図は第２実施例の制御手段を示すブロックぽ、第６図
は光ビーム走査装置の説明図、第７図（Ａ）は本発明に
よる複数光ビームの走査軌跡、ＣＢ）は従来装置による
複数光ビームの走査軌跡を示す模式図、第８図は走査光
学系の光路を示す斜視図である。 （１）　（１７）　（９５）・・・・ガルバノミラ−１
（２）　（１８）　（９６）・・・・走査レンズ。 （３）　（１９）　（９７）・・・・被走査面。 （１１）　（８１）・・・レーザ光源、（１３）　（８
４）−−−Ａ　ＯＭ。 （２５）　（１００）・・・グレーティングセンサ。 する１］ Ｃ△） （Ｂ） （’Ｃ） ＶＳ２力 ′＄（＝ｒｎ Ｖ　８１？Ｉ Ｃ′ 手続補正書Ｃ′ｊｆ幻 昭和６３年１０月７２日

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）並列した複数本の光ビーム、あるいは副走査方向
   に高速度で往復移動する１本の光ビームを、主走査用偏
   向器により被走査面に投射走行させる光ビーム偏向走査
   方法において、前記主走査用偏向器の前段に、光ビーム
   を主走査方向に交差する方向に偏向させる補正用偏向手
   段を配置し、該補正用偏向手段における光ビームの偏向
   量を、走査レンズの特性に基づく走査軌跡の曲がり量に
   対応させて、これを相殺補正するように制御することを
   特徴とする光ビーム偏向走査方法。
2. （２）走査レンズの特性に基づく、光ビームの走査軌跡
   の曲がり量を、被走査面おける光ビームの各落射位置ご
   とに求めて、それぞれの位置について補正用偏向器に入
   力させるべき偏向量データを、あらかじめ記憶手段に蓄
   積記憶しておき、走査に際して、主走査方向の光ビーム
   の位置を検出して、その検出位置に対応する補正偏向量
   データを、記憶手段から出力させて、補正用偏向器に入
   力させるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第
   （１）項に記載の光ビーム偏向走査方法。
3. （３）走査用光ビームを射出する光源と、 該光ビームを走査レンズを介して被走査面に投射し、主
   走査方向に周期的に偏向走行させる主走査用偏向器と、 該主走査用偏向器の前段の光ビームの光路に配置され、
   光ビームを前記主走査方向に交差する副走査方向に偏向
   させる補正用偏向器と、 該補正用偏向器における光ビームの偏向量を、前記走査
   レンズの特性に基づく走査軌跡の曲がり量に対応して、
   これを相殺するように制御する補正用偏向量制御手段と
   を、備える光ビーム偏向走査装置。
4. （４）光源からの光ビームを、複数種の周波数で駆動さ
   れる音響光学変調素子により、複数本の光ビームに分岐
   して、偏向走査光学系に入射させ、かつ、音響光学変調
   素子を駆動する複数種の周波数を、光ビームの走査軌跡
   の曲がりを補正する量に基いて、変化させることを特徴
   とする特許請求の範囲第（３）項に記載の光ビーム偏向
   走査装置。