JPS6187123A - 走査光学系 - Google Patents
走査光学系Info
- Publication number
- JPS6187123A JPS6187123A JP59208345A JP20834584A JPS6187123A JP S6187123 A JPS6187123 A JP S6187123A JP 59208345 A JP59208345 A JP 59208345A JP 20834584 A JP20834584 A JP 20834584A JP S6187123 A JPS6187123 A JP S6187123A
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- JP
- Japan
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- lens
- polygon
- ftheta
- distortion
- optical system
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/18—Optical objectives specially designed for the purposes specified below with lenses having one or more non-spherical faces, e.g. for reducing geometrical aberration
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
輸１上Ｏ利用分野）
この発明は定食光学系、特に歪曲収差の少ない走査光学
系に関する。
系に関する。
（従来技術）
レーザープリンタ等、レーザービームを回転多１１１０
鏡等によって偏向し、ｆｆｊレンズによって定食面上に
結隊走食する走査光学系は公知である０列えば、へ１昭
５８−５７０６号公報及び特開昭５８−９３０２１号公
報に示されるもＯは嗅玉ｆθレンズを用いた藺導な走査
光学系を提供している。この走査光学系は文字出力に用
いる場合にはよいが、図面出力のようなもＯＫ用いた場
合には、歪曲収差による歪が問題となる。そして、この
歪曲収差を補正しようとすれば像面湾曲を犠牲にせざる
を得ないのは上記公報に詳述されている通シである。
鏡等によって偏向し、ｆｆｊレンズによって定食面上に
結隊走食する走査光学系は公知である０列えば、へ１昭
５８−５７０６号公報及び特開昭５８−９３０２１号公
報に示されるもＯは嗅玉ｆθレンズを用いた藺導な走査
光学系を提供している。この走査光学系は文字出力に用
いる場合にはよいが、図面出力のようなもＯＫ用いた場
合には、歪曲収差による歪が問題となる。そして、この
歪曲収差を補正しようとすれば像面湾曲を犠牲にせざる
を得ないのは上記公報に詳述されている通シである。
（発明の目的）
この発明は、光学系の構成を複雑にすることなく、元軸
回転対称面によって構成されるレンズによって生ずるｆ
θ特性からのずれを効果的に補正し、縁面湾曲も良好な
上に走査面上で歪Ｏない走査ができる走査光学系を得よ
うとするものである。
回転対称面によって構成されるレンズによって生ずるｆ
θ特性からのずれを効果的に補正し、縁面湾曲も良好な
上に走査面上で歪Ｏない走査ができる走査光学系を得よ
うとするものである。
（発明の構成）
以下図面を１照して詳細に説明する。
第１図は定食光学系υ光学配置を示し、（ａ）は走ｔ、
ｍにに直な面による断面−１Φ）は走査線を含む面によ
る断面図である◎ レーザーＬから出射したビームはビームエキスパンダー
として動く正Ｏパワーを持つレンズＢＥＩ、ＢＩ３を経
てポリゴンＰ等の光偏向器に入射する。ＢＥｔ％ＢＥ２
の間には、光Ｑオン、オフを制御するＡＯＭ素子と、（
ａ）図面内でビームをポリゴンＰ上に集束させるための
シリンドリカルレンズＣＹＩが配置されている。こ■シ
リンドリカルレンズｃｙｌｉこ■位置に配置することに
よってレンズＢＥ２とポリゴンＰ等の光偏向器との間隔
を小さくすることができるＯ 光偏向器によって光路を曲けられた光は、あるｆＩ４１
（で光軸回転対称面によって構成される結縁素子ｆθに
入射し、シリンドリカルレンズＣＹ２を柱て感光ドラム
Ｄ上にスポットを結ぶ。
ｍにに直な面による断面−１Φ）は走査線を含む面によ
る断面図である◎ レーザーＬから出射したビームはビームエキスパンダー
として動く正Ｏパワーを持つレンズＢＥＩ、ＢＩ３を経
てポリゴンＰ等の光偏向器に入射する。ＢＥｔ％ＢＥ２
の間には、光Ｑオン、オフを制御するＡＯＭ素子と、（
ａ）図面内でビームをポリゴンＰ上に集束させるための
シリンドリカルレンズＣＹＩが配置されている。こ■シ
リンドリカルレンズｃｙｌｉこ■位置に配置することに
よってレンズＢＥ２とポリゴンＰ等の光偏向器との間隔
を小さくすることができるＯ 光偏向器によって光路を曲けられた光は、あるｆＩ４１
（で光軸回転対称面によって構成される結縁素子ｆθに
入射し、シリンドリカルレンズＣＹ２を柱て感光ドラム
Ｄ上にスポットを結ぶ。
ｆ８レンズの後方に配置されるシリンドリカルレンズＣ
Ｙ２は、（ａ）図断面内においてｆθレレンとｔｔＩｂ
ｍしてポリゴン面とドラム面をＩｌ＆Ｍ家関係が成立す
る屈折力を有している◎これは、ポリゴンの触れ角補正
の目的ｔもつことはよく知られている。
Ｙ２は、（ａ）図断面内においてｆθレレンとｔｔＩｂ
ｍしてポリゴン面とドラム面をＩｌ＆Ｍ家関係が成立す
る屈折力を有している◎これは、ポリゴンの触れ角補正
の目的ｔもつことはよく知られている。
ポリボッＰ面からの光はｆθレレンを経てシリンドリカ
ルレンズＣＹ２に入射する。このとき、ｆθレレンで発
生するサジタル縁曲の湾曲収羨蓋をΔＳとし、シリンド
リカルレンズＣＹ２の慣結識培率をＭとすると、ドラム
上■サジタルは面υ湾曲収差量ΔｓＦｉ近似的に次のよ
うに表わされる。
ルレンズＣＹ２に入射する。このとき、ｆθレレンで発
生するサジタル縁曲の湾曲収羨蓋をΔＳとし、シリンド
リカルレンズＣＹ２の慣結識培率をＭとすると、ドラム
上■サジタルは面υ湾曲収差量ΔｓＦｉ近似的に次のよ
うに表わされる。
ΔＳ ＝ Ｍ２ΔＳ＋ΔＳθ
ここでΔＳθ はＣＴ４に入射する角度にもつはら依存
する址でらυ、入射角が大になるとΔＳθも大となる。
する址でらυ、入射角が大になるとΔＳθも大となる。
上記０式の右辺第１ｒＪ４を小にするにはＭ２を小にす
ればよいが、これはシリンドリカルレンズＣＹ２をドラ
ム面りに近づけることを意味する〇しかし、向えば画歇
形成法として亀子複写式の方法を用いた場合は粉体等に
よるシリンドリカルレンズＣＹ２の汚れ防止を考慮する
８狡がある等、光学設訂以外Ｏｉ！！因が入ってくる。
ればよいが、これはシリンドリカルレンズＣＹ２をドラ
ム面りに近づけることを意味する〇しかし、向えば画歇
形成法として亀子複写式の方法を用いた場合は粉体等に
よるシリンドリカルレンズＣＹ２の汚れ防止を考慮する
８狡がある等、光学設訂以外Ｏｉ！！因が入ってくる。
また、石辺第２項を小にするには、ポリゴンＰとｆθレ
レンυ間隔をあけ、ｆθレレンをテレセントリックな形
で使用すればよいが、ｆθレレンが大きくなってしまう
という欠点を生じる。
レンυ間隔をあけ、ｆθレレンをテレセントリックな形
で使用すればよいが、ｆθレレンが大きくなってしまう
という欠点を生じる。
これらのことを勘案してポリゴン−ｆθレレン、シリン
ドリカルレンズＣＹ２および感光体ｔｈｌＤの間隔が足
ゆられる。
ドリカルレンズＣＹ２および感光体ｔｈｌＤの間隔が足
ゆられる。
また、メリジオナル面の掌面湾曲は、シリンドリカルレ
ンズＣＹ２がトロイダル面を含むものであっても、サジ
タル面程の影響はない。従ってメリジオナル面Ｆｉｆθ
レンズによって基本的に支配されるが、サジタル面は、
ｆθレレン＊ｎとしてはメリジオナル面よシ思くとも、
シリンドリカルレンズＣＹ２と■組合ぜによって補正す
ることが可能である◎ 球面収差、コマ収差は、レーザービーム定食光学系では
Ｆナンバーは５０以上と暗いために−紋にはそれ一問題
にはならない＠ 光学性能として見た場合、残るの框歪曲収差である。ｆ
Ｕレレンが１枚玉Ｑ場合、メリジオナル潅面と全曲収差
を共に少なくするＱが困難なことはよく知られている口 この発明においては、ｆθレレンはメリジオナル派面０
鮪曲が岐小となるように設計し、そυときに残る歪曲収
差はシリンドリカルレンズＣＹ２の少なくとも１面を非
球面化することで補正したものである。こ■非球面は、
加工法の点からシリンドリカル面あるいはトロイダル面
ではなく、光−回転対称面を非球面化するととＫよって
尋人することが望ましい。
ンズＣＹ２がトロイダル面を含むものであっても、サジ
タル面程の影響はない。従ってメリジオナル面Ｆｉｆθ
レンズによって基本的に支配されるが、サジタル面は、
ｆθレレン＊ｎとしてはメリジオナル面よシ思くとも、
シリンドリカルレンズＣＹ２と■組合ぜによって補正す
ることが可能である◎ 球面収差、コマ収差は、レーザービーム定食光学系では
Ｆナンバーは５０以上と暗いために−紋にはそれ一問題
にはならない＠ 光学性能として見た場合、残るの框歪曲収差である。ｆ
Ｕレレンが１枚玉Ｑ場合、メリジオナル潅面と全曲収差
を共に少なくするＱが困難なことはよく知られている口 この発明においては、ｆθレレンはメリジオナル派面０
鮪曲が岐小となるように設計し、そυときに残る歪曲収
差はシリンドリカルレンズＣＹ２の少なくとも１面を非
球面化することで補正したものである。こ■非球面は、
加工法の点からシリンドリカル面あるいはトロイダル面
ではなく、光−回転対称面を非球面化するととＫよって
尋人することが望ましい。
更に
０、０５ （ｔ／ｆθ＜０．５
ｆｅ：ｆθレレンの焦点距離
ｔ：非球面レンズと走立面との距離
を満足することが望ましい。
下限Ｆｉ歪曲曲状を補正するため■非球面Ｏ球面からυ
ズレが大きくなシすざると、加工も困難となシ、１象面
湾曲にも影響が出てくるために設けられた。上限は前述
υＭ’がサジタル鍔面湾曲を小さくするために動らぐ限
界を示すとともに、この非球面の加工糾とがあまシきび
しく散水されない限界を示している口 上記の非球面はｌ１１ｔｌｌＩＣ限られるものではない
。シリンドリカルレンズＣＹ２の両面を非球面とする場
合たけでなく、ＣＹ２全２會枚とし、或はシリンドリカ
ルレンズＣＹ２とは別に非球面レンズを押入する＠会も
めシうる０第２１！！！Ｊはその列？示す０ ｆｔｊレンズはその特性上、止の歪曲収差を持つことが
多くこれｔ補止するため、また、広画絢における正から
負へＤ尚医位曲収差の補正のためにも非球面形状は以下
Ｑ東洋を満足することが直ましい。
ズレが大きくなシすざると、加工も困難となシ、１象面
湾曲にも影響が出てくるために設けられた。上限は前述
υＭ’がサジタル鍔面湾曲を小さくするために動らぐ限
界を示すとともに、この非球面の加工糾とがあまシきび
しく散水されない限界を示している口 上記の非球面はｌ１１ｔｌｌＩＣ限られるものではない
。シリンドリカルレンズＣＹ２の両面を非球面とする場
合たけでなく、ＣＹ２全２會枚とし、或はシリンドリカ
ルレンズＣＹ２とは別に非球面レンズを押入する＠会も
めシうる０第２１！！！Ｊはその列？示す０ ｆｔｊレンズはその特性上、止の歪曲収差を持つことが
多くこれｔ補止するため、また、広画絢における正から
負へＤ尚医位曲収差の補正のためにも非球面形状は以下
Ｑ東洋を満足することが直ましい。
ΣΔＡｉ （φｉ）−↓ΔＸＪ （φＪ）〉０たたし
涼１：物体側面Ｓ１ の非球面変位黛涼コニ潅側曲Ｓ
Ｊ′り非球面変位に φｌ・φコニ岐大画角元弥か非球面と叉点する点の元軸
からυ尚さ く夷抛列） 以下、実施しｉによってこの発明υ幼果をに体的に示す
ロ ア ａ３（ポリゴン−７０，０ ８−２９０，４０７１８５ｎ＝１．７４９６７９−１２
２．５１６５ ２１７．０ ＊１０ ２ｆ５５ ５．Ｏｎ＝１．５
２０６５１１ ω ５３ｍｍ＊印
はシリンドリカル面 レーザー菅出射ビーム匝（Ｊ、 ７ ｍｍλ＝６３２８
Ａ １１曲を次のように非球面化する。
Ｊ′り非球面変位に φｌ・φコニ岐大画角元弥か非球面と叉点する点の元軸
からυ尚さ く夷抛列） 以下、実施しｉによってこの発明υ幼果をに体的に示す
ロ ア ａ３（ポリゴン−７０，０ ８−２９０，４０７１８５ｎ＝１．７４９６７９−１２
２．５１６５ ２１７．０ ＊１０ ２ｆ５５ ５．Ｏｎ＝１．５
２０６５１１ ω ５３ｍｍ＊印
はシリンドリカル面 レーザー菅出射ビーム匝（Ｊ、 ７ ｍｍλ＝６３２８
Ａ １１曲を次のように非球面化する。
非球面係数
Ａ、＝−０，４８Ｘ Ｉ Ｏ−’
Ａ６＝＋〇、６６ Ｘ ｌ Ｏ−”
Ａ、 ＝−０，５８４Ｘ １０−１５
Ａ、。＝ ０．３９８８１０−”
Ａ、２＝ ０．１１３ Ｘ １０−２３１（冨０
ポリゴン回転角とドラムスポット位置
実Ｎｉｌ的２
７ ｏｏ（ポリゴンｎｕ７７０．０８−３８０
．Ｏａｏ １１＝ＩＪ９０１２９−１００．４６
２１７ｉ） ＊１０ ２５２ ５．０ １１＝１．４９
０１２１１ ω ５３Ｄ ９１Ｔ！］非球ａｒｒｈｈ ｈ＝−ｏ、１ｌ１１ＤＩ
＋非球面係数 Ａ、＝−ｏ、４ｓＸ１ｏ−７Ｐ４＝ ４．０Ａ６＝
Ｕ、６６ＸｌＯ−１’ Ｐ４＝ ６．０Ａ８＝−
〇、７０ＸｌＯ”’ Ｐ、＝ ８．０ＡＩ、＝
０．６５８１０−２０ｐ、ｏ＝ １０．ｔ）Ａ、２−
０．１６５Ｘ１０−２５）’、２＝１２．０（発明の効
果） この発明Ｏ定食光学系は、上ｄピの構成を有するので、
特別の補正部材を！２ぜず、極めて簡略な構成によって
振曲状座を補正することが可能となった口則れ補正Ｑた
め、シリンドリカルレンズＣＹ２を挿入する光学系では
、ＣＹＺ自体による歪曲収陛の発生もあるが、この発明
ではそれも含めて１面に非球面を導入することで補正が
可能となった。
．Ｏａｏ １１＝ＩＪ９０１２９−１００．４６
２１７ｉ） ＊１０ ２５２ ５．０ １１＝１．４９
０１２１１ ω ５３Ｄ ９１Ｔ！］非球ａｒｒｈｈ ｈ＝−ｏ、１ｌ１１ＤＩ
＋非球面係数 Ａ、＝−ｏ、４ｓＸ１ｏ−７Ｐ４＝ ４．０Ａ６＝
Ｕ、６６ＸｌＯ−１’ Ｐ４＝ ６．０Ａ８＝−
〇、７０ＸｌＯ”’ Ｐ、＝ ８．０ＡＩ、＝
０．６５８１０−２０ｐ、ｏ＝ １０．ｔ）Ａ、２−
０．１６５Ｘ１０−２５）’、２＝１２．０（発明の効
果） この発明Ｏ定食光学系は、上ｄピの構成を有するので、
特別の補正部材を！２ぜず、極めて簡略な構成によって
振曲状座を補正することが可能となった口則れ補正Ｑた
め、シリンドリカルレンズＣＹ２を挿入する光学系では
、ＣＹＺ自体による歪曲収陛の発生もあるが、この発明
ではそれも含めて１面に非球面を導入することで補正が
可能となった。
上記実施列では、結像レンズとしてｆＵ特性に！するも
のとしたが、ｓｉｎθ特性ｒ有するレンズによる歪ｍ収
にも全＜ｌＷＪ徐に補正することが可能である。
のとしたが、ｓｉｎθ特性ｒ有するレンズによる歪ｍ収
にも全＜ｌＷＪ徐に補正することが可能である。
また、ｆｄレレンとして尋レンズを用いた実施列をあけ
たが、ｖ１数枚レンズ系を用い、広画角とすると、歪曲
収差は高次収差によって正から負へと画角が大となるに
従って変化することが知られている。しかし、このよう
な高次歪曲収差も適当な非球面形状を選ぶことによって
補正可能である。
たが、ｖ１数枚レンズ系を用い、広画角とすると、歪曲
収差は高次収差によって正から負へと画角が大となるに
従って変化することが知られている。しかし、このよう
な高次歪曲収差も適当な非球面形状を選ぶことによって
補正可能である。
梃に、ｆθレレンは回転対称形としたが、一部アナモフ
インク表面を用いたものでも同様に歪曲収差の補正が可
能である。
インク表面を用いたものでも同様に歪曲収差の補正が可
能である。
なお、実施列としてシリンドリカルレンズを含む光学系
について説明したが、シリンドリカルレンズやトロイダ
ルレンズを有しない光学系にもこ■発明を実施すること
が出来る◎
について説明したが、シリンドリカルレンズやトロイダ
ルレンズを有しない光学系にもこ■発明を実施すること
が出来る◎
第１図はこの発明り足食光学系の１実施的の光学配置図
、第２図は池の実施列の光学配置υ部分図であるＯ Ｌ：レーザー ＢＥ：ビームエキスパンダＣ−Ｙニジリ
ントリカルレンズ Ｐ：ボリコ゛ンＬ）：恣元ドラム
、第２図は池の実施列の光学配置υ部分図であるＯ Ｌ：レーザー ＢＥ：ビームエキスパンダＣ−Ｙニジリ
ントリカルレンズ Ｐ：ボリコ゛ンＬ）：恣元ドラム
Claims (1)
- 光源であるレーザー、該レーザーの出射光を偏向走査す
る偏向装置、該偏向装置の出射光を走査面上に集束させ
る結像素子を有する走査光学系において、前記結像素子
の後方に走査方向断面で非球面をなす光学素子を配置し
たことを特徴とする走査光学系
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59208345A JPS6187123A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 走査光学系 |
| US07/097,297 US4802721A (en) | 1984-10-05 | 1987-09-14 | Scanning optical system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59208345A JPS6187123A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 走査光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6187123A true JPS6187123A (ja) | 1986-05-02 |
| JPH0349407B2 JPH0349407B2 (ja) | 1991-07-29 |
Family
ID=16554735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59208345A Granted JPS6187123A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 走査光学系 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4802721A (ja) |
| JP (1) | JPS6187123A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01231015A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 光学走査装置 |
| US6603500B2 (en) | 2000-09-13 | 2003-08-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus with aspherically-shaped surface in main scanning direction |
| JP2007501446A (ja) * | 2003-05-13 | 2007-01-25 | スクラム テクノロジーズ インコーポレイテッド | ディスプレイパネル用精密光学系 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01237513A (ja) * | 1987-05-13 | 1989-09-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光ビーム偏向走査装置 |
| US5134511A (en) * | 1989-12-08 | 1992-07-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical unit for use in laser beam printer or the like |
| US5196957A (en) * | 1990-03-20 | 1993-03-23 | Olive Tree Technology, Inc. | Laser scanner with post-facet lens system |
| US5247383A (en) * | 1990-03-20 | 1993-09-21 | Olive Tree Technology, Inc. | Scanner with a post facet lens system |
| US5063292A (en) * | 1990-04-27 | 1991-11-05 | Xerox Corporation | Optical scanner with reduced end of scan wobble having an even number of beam reflections |
| JP3252708B2 (ja) * | 1995-05-31 | 2002-02-04 | キヤノン株式会社 | 光学素子及びそれを用いた走査光学装置 |
| KR102496906B1 (ko) * | 2016-05-06 | 2023-02-08 | 가부시키가이샤 니콘 | 빔 주사 장치 및 묘화 장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5515131A (en) * | 1978-07-18 | 1980-02-02 | Canon Inc | Scanning optical system |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54143661A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-09 | Canon Inc | Recording optical system |
| US4379612A (en) * | 1979-09-04 | 1983-04-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical system having a fall-down correcting function |
| JPS57144501A (en) * | 1981-03-03 | 1982-09-07 | Canon Inc | Scan optical system applied with moisture-resistant process |
| JPS5893021A (ja) * | 1981-11-28 | 1983-06-02 | Ricoh Co Ltd | 偏向面の倒れ補正効果を有する２群構成ｆθレンズ |
-
1984
- 1984-10-05 JP JP59208345A patent/JPS6187123A/ja active Granted
-
1987
- 1987-09-14 US US07/097,297 patent/US4802721A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5515131A (en) * | 1978-07-18 | 1980-02-02 | Canon Inc | Scanning optical system |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01231015A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 光学走査装置 |
| US6603500B2 (en) | 2000-09-13 | 2003-08-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical apparatus with aspherically-shaped surface in main scanning direction |
| JP2007501446A (ja) * | 2003-05-13 | 2007-01-25 | スクラム テクノロジーズ インコーポレイテッド | ディスプレイパネル用精密光学系 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0349407B2 (ja) | 1991-07-29 |
| US4802721A (en) | 1989-02-07 |
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Legal Events
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