JPS5893021A - 偏向面の倒れ補正効果を有する２群構成ｆθレンズ - Google Patents
偏向面の倒れ補正効果を有する２群構成ｆθレンズInfo
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- JPS5893021A JPS5893021A JP56191181A JP19118181A JPS5893021A JP S5893021 A JPS5893021 A JP S5893021A JP 56191181 A JP56191181 A JP 56191181A JP 19118181 A JP19118181 A JP 19118181A JP S5893021 A JPS5893021 A JP S5893021A
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- scanning
- optical system
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/0005—Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
こＤ発明は光偏向面ｐ倒れ補正効果を有するｔｅｖンズ
、特に走査光学系中にシリンドリカルレンズを含む２群
構成υｆ０レンズに関する。
、特に走査光学系中にシリンドリカルレンズを含む２群
構成υｆ０レンズに関する。
光走査装置において、光偏向器として回転多面鏡等１回
転軸に対して偏向面υ倒れが生じうるもυを使用する場
合、こＤ倒れに起因する走査線υピッチむらを補正する
ため、走査線ＫＩｉ直外面内においては、偏向面と走査
面とを光学的に共役な関係におくような結像光学系を用
いることはよく知られている。
転軸に対して偏向面υ倒れが生じうるもυを使用する場
合、こＤ倒れに起因する走査線υピッチむらを補正する
ため、走査線ＫＩｉ直外面内においては、偏向面と走査
面とを光学的に共役な関係におくような結像光学系を用
いることはよく知られている。
こυ種υ光学系は、走査方向とこれに：―直な方向とＤ
光学％註が異なるため、シリンドリカルレンズやトーリ
ック面レンズを用いるＤが普通である。こＤようなレン
ズ系をコンパクトに構成するには出来る限り琳レンズに
することが望ましく、集束作用に方向性を与えるために
２枚υ琳しンズυ組合せとじたもυが知られている。し
かし、例えば互いに直交する母線を持つ２枚υシリンド
リカル琳レンズを用いるもυ（特開昭５５−１５１３１
号）では球面レンズに比して製作■−しいシリンドリカ
ルレンズを２枚必要とする上、記録面上を実質的に等速
寂でスポットを走査させるいわゆるｆ０特性を持つシリ
ンドリカルレンズを製作することは極めて困難である。
光学％註が異なるため、シリンドリカルレンズやトーリ
ック面レンズを用いるＤが普通である。こＤようなレン
ズ系をコンパクトに構成するには出来る限り琳レンズに
することが望ましく、集束作用に方向性を与えるために
２枚υ琳しンズυ組合せとじたもυが知られている。し
かし、例えば互いに直交する母線を持つ２枚υシリンド
リカル琳レンズを用いるもυ（特開昭５５−１５１３１
号）では球面レンズに比して製作■−しいシリンドリカ
ルレンズを２枚必要とする上、記録面上を実質的に等速
寂でスポットを走査させるいわゆるｆ０特性を持つシリ
ンドリカルレンズを製作することは極めて困難である。
また、球面−レンズとトーリック面レンズを用いるも’
Ｄ （４Ｉ開昭５６−３６６２２号）は、トーリック面
り加工が難かしいという問題を生ずる。
Ｄ （４Ｉ開昭５６−３６６２２号）は、トーリック面
り加工が難かしいという問題を生ずる。
こυ発明は、ｆ０特性をもつ球面暎レンズとシリンドリ
カル拳レンズの２群から構成されるコンパクトなレンズ
構成でありながら倒れ補正効果とｆ０特性を持つ上、従
来υ琳玉ｆθレンズでは補正υ難しかったサジタルＷＩ
面湾曲を大幅に改善する光学系を得ようとするもっであ
る以下図面を参照して説明する〇 ＠１−は、こυ発明Ｏ光学系を用いた走査装置り構成を
示す概念図で、レーザ等υ光源ｌからυ光け、光学系２
により偏向面に略平行な長軸を有する楕円状光束とされ
、偏向Ｗｈ３に入射する。偏向１１１３と走査ａｎｓ’
ａ間には球面暎レンズ４と走査方向と直角な面内でＤ＋
集束作用を持つシリンドリカル曝レンズ５が配置されて
おり、偏向器３で偏向された光束は、＠１図ｔ’）で示
すように偏向面に平行な面内では球面レンズ４′ｆ）作
用７１によって集光光束とされ、走査面６上に集束する
。一方、＠１図（ｂ）に示すように偏向面に垂直な断面
では、光学系２によって偏向点近傍に集束された光束は
、球面レンズ４の集束作用を受けてもなお発散光束であ
り、シリンドリカルレンズ５によってはじめて集光光束
となり、走査面上に必要なスポットサイズを形成する。
カル拳レンズの２群から構成されるコンパクトなレンズ
構成でありながら倒れ補正効果とｆ０特性を持つ上、従
来υ琳玉ｆθレンズでは補正υ難しかったサジタルＷＩ
面湾曲を大幅に改善する光学系を得ようとするもっであ
る以下図面を参照して説明する〇 ＠１−は、こυ発明Ｏ光学系を用いた走査装置り構成を
示す概念図で、レーザ等υ光源ｌからυ光け、光学系２
により偏向面に略平行な長軸を有する楕円状光束とされ
、偏向Ｗｈ３に入射する。偏向１１１３と走査ａｎｓ’
ａ間には球面暎レンズ４と走査方向と直角な面内でＤ＋
集束作用を持つシリンドリカル曝レンズ５が配置されて
おり、偏向器３で偏向された光束は、＠１図ｔ’）で示
すように偏向面に平行な面内では球面レンズ４′ｆ）作
用７１によって集光光束とされ、走査面６上に集束する
。一方、＠１図（ｂ）に示すように偏向面に垂直な断面
では、光学系２によって偏向点近傍に集束された光束は
、球面レンズ４の集束作用を受けてもなお発散光束であ
り、シリンドリカルレンズ５によってはじめて集光光束
となり、走査面上に必要なスポットサイズを形成する。
上記Ｏ結像レンズ系４．５は、具体的には、偏向器３に
近い第１Ｄ光学要素は、偏向器に凹面を向けた正Ｏパワ
ーを有するメニスカス暎レンズであり、走ｆ：１ｉｉ６
に近い＠２υ光学要素は偏向面に垂直な断面において正
Ｏパワーを持つシリンドリカルレンズυ２りＶ光学要素
で構成され、メニスカス琳しンズ■焦点距離をｆｌ、硝
１、、。
近い第１Ｄ光学要素は、偏向器に凹面を向けた正Ｏパワ
ーを有するメニスカス暎レンズであり、走ｆ：１ｉｉ６
に近い＠２υ光学要素は偏向面に垂直な断面において正
Ｏパワーを持つシリンドリカルレンズυ２りＶ光学要素
で構成され、メニスカス琳しンズ■焦点距離をｆｌ、硝
１、、。
材υ屈折率をｎｌ、偏向器側０面り曲率半径をＲ１゜シ
リンドリカルレンズつ屈折力を有する断１１１［ｉυ焦
点距離をｆ２とするとき ｔ６＜ｎ＊ ＜ｚｏ 、・・−４）−１５
（ＲＩＡｌ ＜−１７・・・・・・シ）ｆ２ＡＩ（０
・３ ・・・・・・（３）Ｄ条件を満足する。
リンドリカルレンズつ屈折力を有する断１１１［ｉυ焦
点距離をｆ２とするとき ｔ６＜ｎ＊ ＜ｚｏ 、・・−４）−１５
（ＲＩＡｌ ＜−１７・・・・・・シ）ｆ２ＡＩ（０
・３ ・・・・・・（３）Ｄ条件を満足する。
条＃（１）はメニスカス塔レンズ４′ｙ）硝材υ屈折率
ＶＣｌｍする制限であり、下限を越えると像面湾―と後
述するｆθ特性とを同時に満足することが困難となる。
ＶＣｌｍする制限であり、下限を越えると像面湾―と後
述するｆθ特性とを同時に満足することが困難となる。
上限は現実に使用しうる硝材が殆んどなくなくなってし
まうことから生ずる事実上υ上限で、これを越えても設
計上光学系υ性能が劣るというもＤではない。
まうことから生ずる事実上υ上限で、これを越えても設
計上光学系υ性能が劣るというもＤではない。
ｆ０％注は、レンズυ焦点距離をｆ、レンズへＤ光束■
入射角を０、このときυ走査線り中央からスポット位置
までυ距離を像高Ｈ（のとするとき と定−され、ＩＩＩＩＯｆ＃条件からυずれをパーセン
ト表示したもＤに相幽する◎ 仁υｆ＃％性υ許容値は原稿１）種類、大きさ。
入射角を０、このときυ走査線り中央からスポット位置
までυ距離を像高Ｈ（のとするとき と定−され、ＩＩＩＩＯｆ＃条件からυずれをパーセン
ト表示したもＤに相幽する◎ 仁υｆ＃％性υ許容値は原稿１）種類、大きさ。
得られる記録面ＳＯＷ用目的等により異る。
例えばＡ４版Ｏシート（記録を行う場合、光ビームＤ走
査方向はＡ４サイズＯ短辺２１０霞であり、画像位置υ
ずれが±０．７−〇ｉｌｊでも得られた画律υ否与を認
めることは殆んど出来ないことが経験上知られている。
査方向はＡ４サイズＯ短辺２１０霞であり、画像位置υ
ずれが±０．７−〇ｉｌｊでも得られた画律υ否与を認
めることは殆んど出来ないことが経験上知られている。
こυ場合、ｆ０特性υ許容値は
とみることが出来る。罠に、走査方向Ｄｊ１当な位置で
υずれを零とし、謙位ＩＩＩｔＤずれを正負に振分けれ
ば、必要な全偏向角に対応するｆ０％性υ許容幅はＬ３
４＊ｌ！ＩＥと見ることが出来る。
υずれを零とし、謙位ＩＩＩｔＤずれを正負に振分けれ
ば、必要な全偏向角に対応するｆ０％性υ許容幅はＬ３
４＊ｌ！ＩＥと見ることが出来る。
こＤ発明り光学系の場合、ｆ０特性は偏向面に平行な面
内で屈折力を持つメニスカス正レンズ４Ｄ＋に依存し、
そＤ焦点距離ｆはこＯメニスカス正レンズ４υ焦点距ｌ
ｌＩ！ｆ１に等しい＠こＤメニスカス正レンズ４０第１
面υ曲率半径Ｒ１と焦点距離Ｏ比Ｒ１／ｆ１ を変数と
し１、硝材Ｏ屈折率ｎ１をパラメータとしてｆ０特注を
図示したＤが第２図であり、最大偏向角２１に″対する
１０％性を示している。図中鎖線で示した筐Ｌ３４は上
述りように許容限界値であり、ｆ０特性はこれより小さ
くなければならないので、ｎｌ： １゜６に対して”／
ｆｌ ＜ −Ｌ７でなければならないＣ一方、こＯ光学
系がｆθレレンとして機能するためには像面が平担でな
ければならないＯ像面は一般にサジタル像面とメリジオ
ナル僚面とがあり、こυ発明の光学系においては、偏向
面に平行な方向はメニスカス正レンズＤメリジオナル慮
面であるが、これに垂直な方向では一般に宏うサジタル
ｆＩＩＷＪとは若干異なるが、便宜上これをサジタル像
面と呼ぶ。
内で屈折力を持つメニスカス正レンズ４Ｄ＋に依存し、
そＤ焦点距離ｆはこＯメニスカス正レンズ４υ焦点距ｌ
ｌＩ！ｆ１に等しい＠こＤメニスカス正レンズ４０第１
面υ曲率半径Ｒ１と焦点距離Ｏ比Ｒ１／ｆ１ を変数と
し１、硝材Ｏ屈折率ｎ１をパラメータとしてｆ０特注を
図示したＤが第２図であり、最大偏向角２１に″対する
１０％性を示している。図中鎖線で示した筐Ｌ３４は上
述りように許容限界値であり、ｆ０特性はこれより小さ
くなければならないので、ｎｌ： １゜６に対して”／
ｆｌ ＜ −Ｌ７でなければならないＣ一方、こＯ光学
系がｆθレレンとして機能するためには像面が平担でな
ければならないＯ像面は一般にサジタル像面とメリジオ
ナル僚面とがあり、こυ発明の光学系においては、偏向
面に平行な方向はメニスカス正レンズＤメリジオナル慮
面であるが、これに垂直な方向では一般に宏うサジタル
ｆＩＩＷＪとは若干異なるが、便宜上これをサジタル像
面と呼ぶ。
ところで、像面υ湾曲り許容値はこれをスポット径ｐ許
容値に置換えて考えることが出来るＣ走査光をレーザビ
ームとした場合、光束断ｔｈｉυ強変分布はガクス分布
となりて−リ、レンズ等で集束させた場合υ極小径部は
ビームウェストと呼ばれ半ｔｔ通常鴨で示す。
容値に置換えて考えることが出来るＣ走査光をレーザビ
ームとした場合、光束断ｔｈｉυ強変分布はガクス分布
となりて−リ、レンズ等で集束させた場合υ極小径部は
ビームウェストと呼ばれ半ｔｔ通常鴨で示す。
こＤビームウェストから距離２だけ離れた位置における
ビーム半径をＷ （ｚ）とすると１次式が成立つ。
ビーム半径をＷ （ｚ）とすると１次式が成立つ。
ただしλはレーザ光υ波長である。
ビーム径がαチ増加する２Ｄ値は
Ｗ （Ｚ）
α＝（−−１）Ｘｉ（ＪＯ
Ｏ
であるから
となる＠
前述２）Ａ４版用プリンタでは線密［３０１Ｊ）シト／
イ４程度で十分であり、こっときＯスポット径は通常１
ｔｌＬ１μｍ程度となる０光源としてλ＝６３２−８
ｎｒｎ ２） ＨｅＮｅレーザを用いα冑１０′Ｌ ％１！度が許容されるとすれば、ｚ＝＋ｓ、７ｍｍとな
る０走査方向υ適当な位置でυ像面を走査面に一致させ
、像面のずれを正負にふり分ければ、メリジオナル＠Ｌ
ｆｒ湾曲υ許容値はほぼ１１４ｍｍとなる。
イ４程度で十分であり、こっときＯスポット径は通常１
ｔｌＬ１μｍ程度となる０光源としてλ＝６３２−８
ｎｒｎ ２） ＨｅＮｅレーザを用いα冑１０′Ｌ ％１！度が許容されるとすれば、ｚ＝＋ｓ、７ｍｍとな
る０走査方向υ適当な位置でυ像面を走査面に一致させ
、像面のずれを正負にふり分ければ、メリジオナル＠Ｌ
ｆｒ湾曲υ許容値はほぼ１１４ｍｍとなる。
１１２図同様、Ｒ１／ｆ １ を変数、ｎｔｔパラメー
タとして量大偏向角２１における縁面湾曲を図示すれば
第３！Ｉ！Ｅｌｆ）ようである。周知Ｏように正のパワ
ーを持り―レンズυ像面湾曲は常に負υ値を散るが、鎖
線で示す貯容限界値ＩＬ４ｍｍ以下となるためにはｎｌ
” １６に対しＲＩＡｌ ：＞ １５であることが必
要である。
タとして量大偏向角２１における縁面湾曲を図示すれば
第３！Ｉ！Ｅｌｆ）ようである。周知Ｏように正のパワ
ーを持り―レンズυ像面湾曲は常に負υ値を散るが、鎖
線で示す貯容限界値ＩＬ４ｍｍ以下となるためにはｎｌ
” １６に対しＲＩＡｌ ：＞ １５であることが必
要である。
条件シ）は、上記ＤｆＯ特性とｇＩ面湾曲υ制限を同時
に満すために必要な限界であることがわかる・また、硝
材υ屈折率ｎ１が小になれば県件（２）υ上限・下限υ
幅が狭くなることが明らかである。
に満すために必要な限界であることがわかる・また、硝
材υ屈折率ｎ１が小になれば県件（２）υ上限・下限υ
幅が狭くなることが明らかである。
偏向面と走査面とを光学的共役関係におかない、いわゆ
る非共役タイプυ場合、結像光学系は暎玉ｆ０レンズと
して構成することが可能である・こυ楊会、サジタルｇ
１１面り湾曲はメリジオナル會面湾自より大きくなり、
上記と同様υ検討によれば Ｒ１／ｆ１が一５附近でも
１２倍程変Ｒ１／ｆ１ が−１７附近では２ｆｉｌｌｋ
Ｋもなり、スボツ）ｆｆｌ増加ｐ許容限界を定めるのは
もっばらサジタル像面湾曲であった。（本発明者による
特願昭５６−１０３６６！５参照）しかるに、この発明
υ場合、サジタル像面湾曲はシリンドリカルレンズＤ位
置あるいはそれにより一義的に決定される焦点距離によ
って大きく影響される、すなわち、走査光Ｏ偏光点、走
査面が一定位置に配置され、球面レンズ４７：１焦点距
離が定まれば、偏向点、走査面を共役関係におくシリン
ドリカルレンズは、位置、あるいは焦点距離υ一方によ
って他は一義的に決定される。こυとき、こυ光学系Ｏ
サジタル像面湾曲は、メニスカスレンズＤ屈折率ｎ１
焦点距離ｆ、ｌ（対する第１１ｉ１ｉυ曲率半径Ｒ１
υ比Ｒ′／ｆ１ と、シリンドリカルレンズ５０屈折率
ｎ２および焦点距ＩＩＩ ｆ２に依存する〇しかし、ｎ
、とＲ１／ｆ１ は条件（１）（２）によって限定され
ており、ｎｌが大きい種、またＲ１７１１ が小さい程
サジタル像面湾曲は小さくなるって、上記Ｏ条件中で球
面湾曲が最大となる”１＝ １６４’／ｆ１＝ −１，
７２）ときυサジタル゛ｆ１１面湾曲によって限界値を
決定する仁とが出来る。
る非共役タイプυ場合、結像光学系は暎玉ｆ０レンズと
して構成することが可能である・こυ楊会、サジタルｇ
１１面り湾曲はメリジオナル會面湾自より大きくなり、
上記と同様υ検討によれば Ｒ１／ｆ１が一５附近でも
１２倍程変Ｒ１／ｆ１ が−１７附近では２ｆｉｌｌｋ
Ｋもなり、スボツ）ｆｆｌ増加ｐ許容限界を定めるのは
もっばらサジタル像面湾曲であった。（本発明者による
特願昭５６−１０３６６！５参照）しかるに、この発明
υ場合、サジタル像面湾曲はシリンドリカルレンズＤ位
置あるいはそれにより一義的に決定される焦点距離によ
って大きく影響される、すなわち、走査光Ｏ偏光点、走
査面が一定位置に配置され、球面レンズ４７：１焦点距
離が定まれば、偏向点、走査面を共役関係におくシリン
ドリカルレンズは、位置、あるいは焦点距離υ一方によ
って他は一義的に決定される。こυとき、こυ光学系Ｏ
サジタル像面湾曲は、メニスカスレンズＤ屈折率ｎ１
焦点距離ｆ、ｌ（対する第１１ｉ１ｉυ曲率半径Ｒ１
υ比Ｒ′／ｆ１ と、シリンドリカルレンズ５０屈折率
ｎ２および焦点距ＩＩＩ ｆ２に依存する〇しかし、ｎ
、とＲ１／ｆ１ は条件（１）（２）によって限定され
ており、ｎｌが大きい種、またＲ１７１１ が小さい程
サジタル像面湾曲は小さくなるって、上記Ｏ条件中で球
面湾曲が最大となる”１＝ １６４’／ｆ１＝ −１，
７２）ときυサジタル゛ｆ１１面湾曲によって限界値を
決定する仁とが出来る。
ＷＥ４図はｆ２７ｆｔ を変数、Ｈｚをパラメータとし
て量大偏向角２１における最大のナシタル像面湾曲を示
す◎ ζυサジタル像面河曲Ｏ許容限界も前述υメリヂオナル
像面湾１と同じとすれば、−１１，４ｍｍとなる２）
ハｎ２” Ｌ ４ トＬ テｆ２／ｆ１ ＃ ａ ３０
６ トｆｋ ルｏ 従’：） でｆ２４１＜α３であれ
ばよい。
て量大偏向角２１における最大のナシタル像面湾曲を示
す◎ ζυサジタル像面河曲Ｏ許容限界も前述υメリヂオナル
像面湾１と同じとすれば、−１１，４ｍｍとなる２）
ハｎ２” Ｌ ４ トＬ テｆ２／ｆ１ ＃ ａ ３０
６ トｆｋ ルｏ 従’：） でｆ２４１＜α３であれ
ばよい。
条件悌）はこＯようＫして求められる。
なお、シリ／トリカルレンズ５Ｄ硝材はＢＫ７ヤ白板ガ
ラスなど、比較的安価で対候注曳く、低屈折率り硝材や
プラスチック（ｎ６３Ｚ８＝Ｌ４９）などが使用出来る
・そして第４図から明らかなように、より屈折率Ｏ高い
材料を使用すれば、サジタルｇ１１面湾曲はわずかなが
らよい方向へ変化するＤで、ｎ２＝１４で使用可能な以
・」 上、ｎｚＫＪｌｌｌに県件を付する必要はない・以下実
施例を示す・ξれらの実施例においてメニスカス正レン
ズはｆｌｍ ３ Ｌ） Ｕ、Ｗｍ＋２１゜Ｆ／１ｔ）０
であり、鶴３ｒＩｉはシリンドリカル面であり、表中υ
曲率半径はそυ母線に直交する方向υ値を示す＠ 実ｆｌａｌｌ 実施例２ 実施例３ 実施１Ｆ１４ 実施ガ５ １Ｉ！施ｆＲ６ 上記ＯＳＳガ１ないし６に示す２群構成ｆ０レンズυ収
差図、を、それぞれ嬉５図表いし箒ｌＯ図に示す・ こＯ尭明は上記υように、偏向点上走査面を共役関係に
おくタイプυ走査光学系において、最も製作２）ＩＦＪ
Ｉなメニスカス球面レンズとシリンドリカルレンズを用
いながら、それぞれを琳レンズとし１両者り焦点距離り
比を適切に選ぶことにより、サジタル像面の湾曲を小に
し、ｆ＃４Ｉ性を持つメニスカス正しンズυ設計の自由
度を拡げることが出来たもっである。
ラスなど、比較的安価で対候注曳く、低屈折率り硝材や
プラスチック（ｎ６３Ｚ８＝Ｌ４９）などが使用出来る
・そして第４図から明らかなように、より屈折率Ｏ高い
材料を使用すれば、サジタルｇ１１面湾曲はわずかなが
らよい方向へ変化するＤで、ｎ２＝１４で使用可能な以
・」 上、ｎｚＫＪｌｌｌに県件を付する必要はない・以下実
施例を示す・ξれらの実施例においてメニスカス正レン
ズはｆｌｍ ３ Ｌ） Ｕ、Ｗｍ＋２１゜Ｆ／１ｔ）０
であり、鶴３ｒＩｉはシリンドリカル面であり、表中υ
曲率半径はそυ母線に直交する方向υ値を示す＠ 実ｆｌａｌｌ 実施例２ 実施例３ 実施１Ｆ１４ 実施ガ５ １Ｉ！施ｆＲ６ 上記ＯＳＳガ１ないし６に示す２群構成ｆ０レンズυ収
差図、を、それぞれ嬉５図表いし箒ｌＯ図に示す・ こＯ尭明は上記υように、偏向点上走査面を共役関係に
おくタイプυ走査光学系において、最も製作２）ＩＦＪ
Ｉなメニスカス球面レンズとシリンドリカルレンズを用
いながら、それぞれを琳レンズとし１両者り焦点距離り
比を適切に選ぶことにより、サジタル像面の湾曲を小に
し、ｆ＃４Ｉ性を持つメニスカス正しンズυ設計の自由
度を拡げることが出来たもっである。
第１図はこｅ発明の光学系を用いた走査装置り構成を示
す概念図、１１２図、第３図はメニスカス正しンズυベ
ンディングに対するｆ０％注、メリヂオナルｇ１１面湾
曲Ｏｆ化を示し、第４図はメニスカス正レンズとシリン
ドリカルレンズＤ焦点距離り比ＤＩ！：化に対するサジ
タル像面湾曲を示す◎第５ｖＩＡないし第１Ｏ図は実施
例１ないし実施１Ｆ１６υ収差−である。 ｌ：光源 ２：光学系 ３：偏向１１ ４：ｆ＃琴゛レ
ンズ ５ニジリントリカ１ルレンズ ６：走査面 特許出顆人 味式会仕 リコ− 第９図 第１０図 ｔｎ−石ｍ＋ （勿
す概念図、１１２図、第３図はメニスカス正しンズυベ
ンディングに対するｆ０％注、メリヂオナルｇ１１面湾
曲Ｏｆ化を示し、第４図はメニスカス正レンズとシリン
ドリカルレンズＤ焦点距離り比ＤＩ！：化に対するサジ
タル像面湾曲を示す◎第５ｖＩＡないし第１Ｏ図は実施
例１ないし実施１Ｆ１６υ収差−である。 ｌ：光源 ２：光学系 ３：偏向１１ ４：ｆ＃琴゛レ
ンズ ５ニジリントリカ１ルレンズ ６：走査面 特許出顆人 味式会仕 リコ− 第９図 第１０図 ｔｎ−石ｍ＋ （勿
Claims (1)
- 光ビームを実質的に等両速度で偏向するためＯ偏向装置
と、その偏向面に略平行な主軸を有する楕円状Ｄビーム
を入射させるための光学系と、上記偏向装置により偏向
されたビームを走査面上に集束し、実質的Ｖｃ尋速変で
走査させるため１）１０％性を有する光学系および走査
面からなる光走査装置に用いる光学系であり、１群は偏
向装置（凹面を向けた正のパワーを有するメニスカス単
レンズであり、他ｐ評は偏向面に―直な断面において正
υパワーを有するシリンドリカルレンズである偏向面０
例れ補正効果を有する２詳構成ｆ０レンズ
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56191181A JPS5893021A (ja) | 1981-11-28 | 1981-11-28 | 偏向面の倒れ補正効果を有する２群構成ｆθレンズ |
| US06/443,697 US4571035A (en) | 1981-11-28 | 1982-11-22 | Two-element fθ lens group capable of correcting leaning of deflecting plane |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP56191181A JPS5893021A (ja) | 1981-11-28 | 1981-11-28 | 偏向面の倒れ補正効果を有する２群構成ｆθレンズ |
Publications (2)
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| JPS5893021A true JPS5893021A (ja) | 1983-06-02 |
| JPH0338572B2 JPH0338572B2 (ja) | 1991-06-11 |
Family
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Family Applications (1)
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| JP56191181A Granted JPS5893021A (ja) | 1981-11-28 | 1981-11-28 | 偏向面の倒れ補正効果を有する２群構成ｆθレンズ |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6275612A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-07 | Toshiba Corp | 画像形成装置 |
| JPH01211718A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-24 | Japan Imeejingu Syst:Kk | 光走査装置 |
| US5652611A (en) * | 1993-03-11 | 1997-07-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical scanning system and image forming apparatus employing same for electrophoto graphically forming images |
Families Citing this family (24)
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|---|---|---|---|---|
| JPS585706A (ja) * | 1981-07-02 | 1983-01-13 | Ricoh Co Ltd | 単玉▲ｆ▼θレンズ |
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| JPS61175616A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-07 | Ricoh Co Ltd | 偏向光ビ−ム用レンズ系 |
| JPH0672981B2 (ja) * | 1985-07-31 | 1994-09-14 | 株式会社リコー | 光ビ−ム走査光学系 |
| JPH0782157B2 (ja) * | 1986-01-24 | 1995-09-06 | 株式会社リコー | 面倒れ補正機能をもつ走査光学系 |
| JPH0627904B2 (ja) * | 1986-02-06 | 1994-04-13 | 旭光学工業株式会社 | レーザービームの走査光学系 |
| JPH0727125B2 (ja) * | 1986-05-23 | 1995-03-29 | 株式会社日立製作所 | 光走査装置 |
| US4796963A (en) * | 1986-08-20 | 1989-01-10 | Ricoh Company, Ltd. | Scanning apparatus using a rotary polygon mirror |
| JPH0746169B2 (ja) * | 1987-02-20 | 1995-05-17 | 富士ゼロックス株式会社 | 光ビ−ム走査装置用ｆθレンズ |
| US5204769A (en) * | 1987-09-22 | 1993-04-20 | Tokyo Electric Co., Ltd. | Postobjective optical deflector |
| US5153766A (en) * | 1987-09-22 | 1992-10-06 | Tokyo Electric Co., Ltd. | Postobjective optical scanner |
| DE3887610T2 (de) * | 1987-09-22 | 1994-08-25 | Tokyo Electric Co Ltd | Hinter einem Objektiv angeordneter optischer Ablenker. |
| US4934772A (en) * | 1987-12-02 | 1990-06-19 | Ricoh Company, Ltd. | Light beam scanning lens and light beam scanning device |
| US4902084A (en) * | 1988-07-29 | 1990-02-20 | Oren Aharon | Optical scanning system |
| US5128795A (en) * | 1989-08-14 | 1992-07-07 | Ricoh Company, Ltd. | Scanning lens and scanning apparatus using scanning lens |
| JP2610352B2 (ja) * | 1990-02-28 | 1997-05-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 光ビーム走査装置 |
| JPH04233867A (ja) * | 1990-06-27 | 1992-08-21 | Xerox Corp | サブミクロンの揺動補正を有する光学的走査システム |
| TW209276B (en) * | 1993-03-11 | 1993-07-11 | Ind Tech Res Inst | Single scanning lens |
| JP3500873B2 (ja) * | 1995-11-10 | 2004-02-23 | ミノルタ株式会社 | 走査光学系 |
| JP4223936B2 (ja) * | 2003-02-06 | 2009-02-12 | 株式会社リコー | 投射光学系、拡大投射光学系、拡大投射装置及び画像投射装置 |
| JP7331297B2 (ja) * | 2018-10-26 | 2023-08-23 | 株式会社Tkr | ３次元造形装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5636622A (en) * | 1979-09-04 | 1981-04-09 | Canon Inc | Scanning optical system having inclination correcting function |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5488139A (en) * | 1977-12-26 | 1979-07-13 | Olympus Optical Co Ltd | Optical scanner using rotary polyhedral mirror |
| JPS54119239A (en) * | 1978-03-08 | 1979-09-17 | Ricoh Co Ltd | Laser recorder |
-
1981
- 1981-11-28 JP JP56191181A patent/JPS5893021A/ja active Granted
-
1982
- 1982-11-22 US US06/443,697 patent/US4571035A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5636622A (en) * | 1979-09-04 | 1981-04-09 | Canon Inc | Scanning optical system having inclination correcting function |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6275612A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-07 | Toshiba Corp | 画像形成装置 |
| JPH0736063B2 (ja) * | 1985-09-30 | 1995-04-19 | 株式会社東芝 | 画像形成装置 |
| JPH01211718A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-24 | Japan Imeejingu Syst:Kk | 光走査装置 |
| US5652611A (en) * | 1993-03-11 | 1997-07-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical scanning system and image forming apparatus employing same for electrophoto graphically forming images |
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| Publication number | Publication date |
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