JPS59208522A - 回転多面体ミラ−による光走査の誤差補正の装置 - Google Patents
回転多面体ミラ−による光走査の誤差補正の装置Info
- Publication number
- JPS59208522A JPS59208522A JP58083240A JP8324083A JPS59208522A JP S59208522 A JPS59208522 A JP S59208522A JP 58083240 A JP58083240 A JP 58083240A JP 8324083 A JP8324083 A JP 8324083A JP S59208522 A JPS59208522 A JP S59208522A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザプリンター用等として、コヒーレントな
レーデ光を光変調器を通して角筒形。
レーデ光を光変調器を通して角筒形。
角錐形等の回転多面体ミラー（ポリゴンミラー）に入射
し、その構成各面（７１セット面）からの反射ビームを
光スポットに集束してポリゴンミラーの回転に伴い感光
体面上を走査するようにした光学的走査機構、柿にその
走査誤差補正装置に関する。
し、その構成各面（７１セット面）からの反射ビームを
光スポットに集束してポリゴンミラーの回転に伴い感光
体面上を走査するようにした光学的走査機構、柿にその
走査誤差補正装置に関する。
この種の光学的走査機構としては１例えばポリゴンミラ
ーの前後に１対の円筒形レンズを使用し、第１の円筒形
レンズにより光ビームを線状に集束してポリゴンミラー
に入射し、その７アセツト面からの反射ビームを直角配
置の第２の円筒形レンズにより点に集束してスポット光
の移動により走査を行わせるようにしたものが知られて
いる。（軸公昭５２−２８６６ ）。走査を遂行するポ
リゴンミラーの各反射面（ファセット面）は製作精度の
関係上面倒れ誤差があり誤差角度は通常数十秒程度であ
り少くとも数秒は止むを＃ないとされている。この面倒
九角誤差により７アセツト面毎にスポットの走査位置が
基半走査線位置からずれる現象を生じこれはピッチむら
といわれる。
ーの前後に１対の円筒形レンズを使用し、第１の円筒形
レンズにより光ビームを線状に集束してポリゴンミラー
に入射し、その７アセツト面からの反射ビームを直角配
置の第２の円筒形レンズにより点に集束してスポット光
の移動により走査を行わせるようにしたものが知られて
いる。（軸公昭５２−２８６６ ）。走査を遂行するポ
リゴンミラーの各反射面（ファセット面）は製作精度の
関係上面倒れ誤差があり誤差角度は通常数十秒程度であ
り少くとも数秒は止むを＃ないとされている。この面倒
九角誤差により７アセツト面毎にスポットの走査位置が
基半走査線位置からずれる現象を生じこれはピッチむら
といわれる。
従来のどツチむら補正技術としては、各種あるが１個々
の７アセント面に応じた補正ｆｉｔを予め設定して走査
に当っているファセット曲毎にその個々の補正も１を付
与するように々っでおり。
の７アセント面に応じた補正ｆｉｔを予め設定して走査
に当っているファセット曲毎にその個々の補正も１を付
与するように々っでおり。
例えばビームが通過する変ＦＡ器に加える恕送周波数を
電気的操作ＶＣより７アセツト面位に切換え、ポリゴン
ミラーへの入射角を変え０反射光が集束レンズに平行に
入射するようにしたものがある。
電気的操作ＶＣより７アセツト面位に切換え、ポリゴン
ミラーへの入射角を変え０反射光が集束レンズに平行に
入射するようにしたものがある。
しかし走査の誤差Ｖｉ面倒れによるものだけでなく、ポ
リゴンミラーの回転中のモータの軸ぶれおよび振＊Ｊ
Ｋよっても生じ、これは而倒れによる誤差と重なる。そ
の他７アセツト面七のものが曲内で正確な平面でηいこ
との影響もある〇またピンチむら補正のため光変調器に
与える搬送周波数を基Ｂｐ−変調周波数から変化σ忙た
場合に、出力光畿もピーク色から変化し光量の誤差も生
じるようＫなる。特に走３：ｆ線長を従来に紗べて数倍
長く、スポット集束レンズの焦点距離をこれＫ Ｍ ＃
３ して長くする必要がある場合には。
リゴンミラーの回転中のモータの軸ぶれおよび振＊Ｊ
Ｋよっても生じ、これは而倒れによる誤差と重なる。そ
の他７アセツト面七のものが曲内で正確な平面でηいこ
との影響もある〇またピンチむら補正のため光変調器に
与える搬送周波数を基Ｂｐ−変調周波数から変化σ忙た
場合に、出力光畿もピーク色から変化し光量の誤差も生
じるようＫなる。特に走３：ｆ線長を従来に紗べて数倍
長く、スポット集束レンズの焦点距離をこれＫ Ｍ ＃
３ して長くする必要がある場合には。
補正の不充分さの影響が大きくあられれるように々る０
本発明に従来の補正技術の不充分ざを克服するびめＶｃ
ηきれたものである。本発明による回転多面体ミラーに
よる光走査の誤＃袖ｉＩ：装置に。
ηきれたものである。本発明による回転多面体ミラーに
よる光走査の誤＃袖ｉＩ：装置に。
レーザ光等のビームを光変調器を透過δせ、透過ビーム
をｌ１ｉＪ ＃ｉｔ、多而休ミ面体に入射し１反射ビー
ムをスポットとして多面体ミラーの回転にょ９感光体ｌ
ｌ１１上を走査するようにしたものにおいて１反射ビー
ムを分割しその一部を感光体面に向けるとともに他の一
部の反射ビームを基準走査線に沿い２分割光センサーを
設けてこれに向け、該センサーｒ（より誤〃ｉ／１を走
査線の全頗域で検出しその信号による補正奇を周波＆に
変換して光９１４器への入カメ：調信号の周波数を寸時
補正するようにしたことを特徴とする。す々わち本発明
ではビームを２分割し、−力を感光体に、もう−力を上
下２分割の光−ｆｌｙサーを利用して全走査鎖板で補正
を行うようＫなっている。
をｌ１ｉＪ ＃ｉｔ、多而休ミ面体に入射し１反射ビー
ムをスポットとして多面体ミラーの回転にょ９感光体ｌ
ｌ１１上を走査するようにしたものにおいて１反射ビー
ムを分割しその一部を感光体面に向けるとともに他の一
部の反射ビームを基準走査線に沿い２分割光センサーを
設けてこれに向け、該センサーｒ（より誤〃ｉ／１を走
査線の全頗域で検出しその信号による補正奇を周波＆に
変換して光９１４器への入カメ：調信号の周波数を寸時
補正するようにしたことを特徴とする。す々わち本発明
ではビームを２分割し、−力を感光体に、もう−力を上
下２分割の光−ｆｌｙサーを利用して全走査鎖板で補正
を行うようＫなっている。
以下１本発明を添付図によシ共体的かつ詳細に説明する
・本発明においてはプリンタの光学系の全体的構成の詳
細については例えば先出Ｑ公を参照するに留め必要以上
Ｋｇ及しない。
・本発明においてはプリンタの光学系の全体的構成の詳
細については例えば先出Ｑ公を参照するに留め必要以上
Ｋｇ及しない。
第６図において、レーデ光等のビーム（１）は光変調器
（２）１例えば光音変調器を透過させ、変調されたレー
デビームは半透鏡（５）Ｋより２分割きれ、半透鏡（５
）を通り抜けたビーム（６）が回転多面体ミラー（３）
のファセット面に入射される。その反射ビームはｆθレ
ンズ（ｆθ）Ｋより条束されてビームスポットとなり感
光体面（４）に向けられ。
（２）１例えば光音変調器を透過させ、変調されたレー
デビームは半透鏡（５）Ｋより２分割きれ、半透鏡（５
）を通り抜けたビーム（６）が回転多面体ミラー（３）
のファセット面に入射される。その反射ビームはｆθレ
ンズ（ｆθ）Ｋより条束されてビームスポットとなり感
光体面（４）に向けられ。
第１図に示すように回転ドラム上に収付けた感光体面（
４）上を矢印（Ｂ）（第１図参照）の方向に基準走査線
に沿ってビームスポットが移動して走査を行う◎走査は
回転多面体ミラー（３）の回転に伴うその７アセツト面
の角度変化によりなされるので１例えば第４図の８面体
ミラーではファセット面（＝） （ｂ） （ｃ） （ａ
） （−） （ｆ５（ｇ） （ｈ）により８線の走査が
なされる。
４）上を矢印（Ｂ）（第１図参照）の方向に基準走査線
に沿ってビームスポットが移動して走査を行う◎走査は
回転多面体ミラー（３）の回転に伴うその７アセツト面
の角度変化によりなされるので１例えば第４図の８面体
ミラーではファセット面（＝） （ｂ） （ｃ） （ａ
） （−） （ｆ５（ｇ） （ｈ）により８線の走査が
なされる。
半透鏡（６）で反射された他の一部の反射ビーム（７）
Ｆｉ鏡（８）で全反射させ、ビーム（６）と同様の経
路をたどって、２分割光センサ−（９）Ｋ向けられる。
Ｆｉ鏡（８）で全反射させ、ビーム（６）と同様の経
路をたどって、２分割光センサ−（９）Ｋ向けられる。
２分割センサー（９）の部分では前記走査方向（Ｂ）の
基準走査線と平行あるいけシミュレートきれた方向（Ａ
）の基準走査線があるので、２分割光七ンれぞれ上下に
配置して反射ビーム（７）からのスポットを全走査ｆ１
４域にわたって受光するようにする。センサー（９）
Ｆｉ光ファイバアレイとすることもできる・ 感光体面（４）における基準走査線（Ｂ）からの誤差す
なわちピッチむらはシミュレートされた状態でセンサー
（９）Ｋおける基準走査線（Ａ）からのｗＡ差としてあ
られれるので、この誤差により止する２分割素子（９）
（９）の受光量の差を検出し両受光量の和と比較する
ことにより誤ＭＩの検出信号を得ることができる。また
ビームスポットの光ｌの変化は両受光量の和として検出
信号を得ることができる・これら検出量の信号は後述の
電気回路により補正ｆＩＫ演算され周波数に′９換して
光変調器（２）への入力変調信号の周波数を常時補正す
る。
基準走査線と平行あるいけシミュレートきれた方向（Ａ
）の基準走査線があるので、２分割光七ンれぞれ上下に
配置して反射ビーム（７）からのスポットを全走査ｆ１
４域にわたって受光するようにする。センサー（９）
Ｆｉ光ファイバアレイとすることもできる・ 感光体面（４）における基準走査線（Ｂ）からの誤差す
なわちピッチむらはシミュレートされた状態でセンサー
（９）Ｋおける基準走査線（Ａ）からのｗＡ差としてあ
られれるので、この誤差により止する２分割素子（９）
（９）の受光量の差を検出し両受光量の和と比較する
ことにより誤ＭＩの検出信号を得ることができる。また
ビームスポットの光ｌの変化は両受光量の和として検出
信号を得ることができる・これら検出量の信号は後述の
電気回路により補正ｆＩＫ演算され周波数に′９換して
光変調器（２）への入力変調信号の周波数を常時補正す
る。
各誤差要因およびその補正の態様を各個に示せば次のと
おりである。
おりである。
第８図０）は横軸に時間あるいは作用位置Ｋ ｙｕ米し
た各７アセン面のｇＢ号をとり、縦軸に各プアセット面
の面倒れによるピッチむらすシわち基準走査線（Ａ）か
らのずれ１１を示したものであって１回転多面体ミラー
（３）の１回転（Ｒ）毎に周期的に生ずる。このずれ′
１Ｉ−ｉ２分割光センサー（９）からの補正信号によっ
て常時補正される。第３図よび振動によっても生じこれ
は面倒れによるずれと重なる０このずれ（面倒れによる
ずれを除く）の１例を第２図（イ）に示す。従来の補正
方式（光学的補正方式、補正量固定方式）ではこのずれ
に関する補正が７！されていないため、補正後も第２図
（イ）の状態は残ってしまう。
た各７アセン面のｇＢ号をとり、縦軸に各プアセット面
の面倒れによるピッチむらすシわち基準走査線（Ａ）か
らのずれ１１を示したものであって１回転多面体ミラー
（３）の１回転（Ｒ）毎に周期的に生ずる。このずれ′
１Ｉ−ｉ２分割光センサー（９）からの補正信号によっ
て常時補正される。第３図よび振動によっても生じこれ
は面倒れによるずれと重なる０このずれ（面倒れによる
ずれを除く）の１例を第２図（イ）に示す。従来の補正
方式（光学的補正方式、補正量固定方式）ではこのずれ
に関する補正が７！されていないため、補正後も第２図
（イ）の状態は残ってしまう。
本発明ではこのずれ量は２分割光センサ−（９）からの
補正信号により面倒れ誤差との合計量として検出されそ
れからの補正信号によって寸時補正される。第２図（ロ
）け軸ぶれのみに対応する補正後の結果を示す。
補正信号により面倒れ誤差との合計量として検出されそ
れからの補正信号によって寸時補正される。第２図（ロ
）け軸ぶれのみに対応する補正後の結果を示す。
また光量１１器（２）として超音波変調器を使用し。
これに例えば８０ＭＨの基準周波数を付与しレーザ光入
射ビームの角度を定め基準走査位置を与えている場合に
、センサー（９）のずれ量信号により変調すると、第５
図に横軸に周波数、Ｒ軸に出力光量をとって示すように
、基準周波数のピーク値からの出力光量も変化する。こ
の光Ｉｔ変化の信号は前記のように２分割センサー（９
）の素子（＋１） （９）の検用匁の和として得られ、
この信号により光変調器（２）への入力パワーを：Ｉｙ
トロールして光量を一定に保持する。
射ビームの角度を定め基準走査位置を与えている場合に
、センサー（９）のずれ量信号により変調すると、第５
図に横軸に周波数、Ｒ軸に出力光量をとって示すように
、基準周波数のピーク値からの出力光量も変化する。こ
の光Ｉｔ変化の信号は前記のように２分割センサー（９
）の素子（＋１） （９）の検用匁の和として得られ、
この信号により光変調器（２）への入力パワーを：Ｉｙ
トロールして光量を一定に保持する。
また回転多面体ミラー（３）の分割角度（句は第４図に
示すようにファセット面数ｎとしてθ−狂であるが、こ
れに±Δθの角度分割誤差がある。
示すようにファセット面数ｎとしてθ−狂であるが、こ
れに±Δθの角度分割誤差がある。
これに対しては走査間始点付近ｖｃｐけたセンサ（ト）
により各面の同期をとることにより回転多面体ミラー（
３）の角度分割誤差も併せて敗除くことができる。
により各面の同期をとることにより回転多面体ミラー（
３）の角度分割誤差も併せて敗除くことができる。
再び第６図ＫＦｉオ発明装置の補正回路のブロック図の
１例が示されている。光変調器（２）Ｋ到る変調信号入
力Ｑ没は、先ず２分割センサー（９）からの補正信号が
増幅（至）され信号処理（至）ｏ３を経て光量補正信号
となり、混合α◆される。一方２分割光センサー（９）
からのピッチむら検出補正信号は増幅（ト）され信号処
理Ｑ１９された出力をＳ／Ｈアンプ０１を用いてホール
ドする。ホールド信号に）はスタート同期信号出力Ｑη
を波形整形（財）し変調信号（ロ）と混合したものを用
いる。この様子を第６図０）（ロ）（ハ）に）につき第
７図に示す。８７ＨアンプＱ呻の出力はファセット面倒
れ１回転多面体ミラー軸ぶれによるピッチむらおよび走
査スタートタイミングの補正信号とηす１周波数変換（
ハ）された上で、前記の光量補正された変調信号と混合
に）され増幅に）して光変調器（２）Ｋ加え、すべての
補正を行なわせるようになっている・ 以上のように本発明によると回転多面体パワーによるビ
ームの走査に際し生ずる走査基準位置からのずれは０回
転多面体ミラーの面倒れによるもの、モータ軸ぶれによ
るものを含めて。
１例が示されている。光変調器（２）Ｋ到る変調信号入
力Ｑ没は、先ず２分割センサー（９）からの補正信号が
増幅（至）され信号処理（至）ｏ３を経て光量補正信号
となり、混合α◆される。一方２分割光センサー（９）
からのピッチむら検出補正信号は増幅（ト）され信号処
理Ｑ１９された出力をＳ／Ｈアンプ０１を用いてホール
ドする。ホールド信号に）はスタート同期信号出力Ｑη
を波形整形（財）し変調信号（ロ）と混合したものを用
いる。この様子を第６図０）（ロ）（ハ）に）につき第
７図に示す。８７ＨアンプＱ呻の出力はファセット面倒
れ１回転多面体ミラー軸ぶれによるピッチむらおよび走
査スタートタイミングの補正信号とηす１周波数変換（
ハ）された上で、前記の光量補正された変調信号と混合
に）され増幅に）して光変調器（２）Ｋ加え、すべての
補正を行なわせるようになっている・ 以上のように本発明によると回転多面体パワーによるビ
ームの走査に際し生ずる走査基準位置からのずれは０回
転多面体ミラーの面倒れによるもの、モータ軸ぶれによ
るものを含めて。
ずれの発生と同時ＫＷ時補正される・同時ＩｃＩＩ記補
正に伴う光ｉｌ変化の補正も可能である。さらに回転多
面体ミラーの角度分割誤差も付加えることができるので
、総合的に非常に高度の補正を行うことができ、その結
果としてまた走査線長を梃くし機能範囲を拡大しても性
能の実質的な低下を米ざない等の効果が得られる０
正に伴う光ｉｌ変化の補正も可能である。さらに回転多
面体ミラーの角度分割誤差も付加えることができるので
、総合的に非常に高度の補正を行うことができ、その結
果としてまた走査線長を梃くし機能範囲を拡大しても性
能の実質的な低下を米ざない等の効果が得られる０
第１図は感光体面および２分割光センサーと走査線との
関係を示す図、第２図Ｇ（＞は横軸１（走査反覆時間を
とり縦軸に回転多面体ミラーのモータ軸ぶれによる走査
線スポットの走査基準位置からのずれ量を示した図、第
２図（ロ）Ｖｉその補正後の図、第８図０）は第２図と
同様にして横軸に時間をとり縦軸に回転多面体ミラーの
面倒れ角誤差による走査線スポットのずれ量を示す図。 第８図（ロ）はその補正後の図、第４図は回転多面体ミ
ラーを示す図、第５図は横軸に光変調器の変調周波数の
変化をとり縦軸に光量をとって示した図、第６図は本発
明装置の補正回路のブロック図の１例を示す図である。 １Ｈ７図し）（ロ）（ハ）←）は第６図０）（ロ）Ｇ−
ｆ（ロ）信号のスキャン中の変化を示す０ （１）・φビーム、（２）・・光変調器、（３）・・回
転多面体ミラー、（４）・・感光体面、（５）・・半透
鏡。 （６） （７）・Ｏ反射ビーム、（８）・−鏡、（９）
・・２分割・合資調信号入力、（２）・・増幅、に）睦
・信号処理、 ａ４−−混合、（ト）・・増幅、（至）
・・信号処理。 ＱのＯ・スタート同期信号出力、（ト）拳・信号整形回
路、ＱＩＯＩ・・８／Ｈアンプ、に）・・周波数変換。 翰・拳混合、＠・拳増幅、（Ａ）（（９）Φ・走査線方
向。 （θ）・・分割角度・ 特許出願人代理人氏名 弁理士 角 １）８ 宏 手続補正書（方却 ■、小事件表示 昭和５８ 年 特 許 願第８３２４
０ 号２、発明の名称 回転多面体ミラーによる光走
査の誤差補正の装置４、代 理 人 〒６５０ （発送日：昭和５８年８月３０日）
関係を示す図、第２図Ｇ（＞は横軸１（走査反覆時間を
とり縦軸に回転多面体ミラーのモータ軸ぶれによる走査
線スポットの走査基準位置からのずれ量を示した図、第
２図（ロ）Ｖｉその補正後の図、第８図０）は第２図と
同様にして横軸に時間をとり縦軸に回転多面体ミラーの
面倒れ角誤差による走査線スポットのずれ量を示す図。 第８図（ロ）はその補正後の図、第４図は回転多面体ミ
ラーを示す図、第５図は横軸に光変調器の変調周波数の
変化をとり縦軸に光量をとって示した図、第６図は本発
明装置の補正回路のブロック図の１例を示す図である。 １Ｈ７図し）（ロ）（ハ）←）は第６図０）（ロ）Ｇ−
ｆ（ロ）信号のスキャン中の変化を示す０ （１）・φビーム、（２）・・光変調器、（３）・・回
転多面体ミラー、（４）・・感光体面、（５）・・半透
鏡。 （６） （７）・Ｏ反射ビーム、（８）・−鏡、（９）
・・２分割・合資調信号入力、（２）・・増幅、に）睦
・信号処理、 ａ４−−混合、（ト）・・増幅、（至）
・・信号処理。 ＱのＯ・スタート同期信号出力、（ト）拳・信号整形回
路、ＱＩＯＩ・・８／Ｈアンプ、に）・・周波数変換。 翰・拳混合、＠・拳増幅、（Ａ）（（９）Φ・走査線方
向。 （θ）・・分割角度・ 特許出願人代理人氏名 弁理士 角 １）８ 宏 手続補正書（方却 ■、小事件表示 昭和５８ 年 特 許 願第８３２４
０ 号２、発明の名称 回転多面体ミラーによる光走
査の誤差補正の装置４、代 理 人 〒６５０ （発送日：昭和５８年８月３０日）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ光等のビームを光変調器を透過させ。 透過ビームを回転多面体ミラーに入射し反射ビームをス
ポットとして多面体ミラーの回転により感光体面上を走
査するようにしたものにおいて１反射ビームを分割しそ
の一部を感光体Ｉ［ｉＫ向けるとともに他の一部の反射
ビームをシミュレート基準走査線に沿い２分割光センサ
ーを設けてこれに向は該センサーにより誤差量を走査全
線Ｗ４域で検出し、その信号による補正ｉＩを周波数に
１Ｒ換して光９調器への入力変調信号の周波数を常時補
正するようにしたことを特徴とする回転多面体ミラーに
よる光走査の誤差補正の装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58083240A JPS59208522A (ja) | 1983-05-11 | 1983-05-11 | 回転多面体ミラ−による光走査の誤差補正の装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58083240A JPS59208522A (ja) | 1983-05-11 | 1983-05-11 | 回転多面体ミラ−による光走査の誤差補正の装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59208522A true JPS59208522A (ja) | 1984-11-26 |
Family
ID=13796798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58083240A Pending JPS59208522A (ja) | 1983-05-11 | 1983-05-11 | 回転多面体ミラ−による光走査の誤差補正の装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59208522A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62124520A (ja) * | 1985-11-26 | 1987-06-05 | Matsushita Graphic Commun Syst Inc | 原稿読取装置 |
| JPH02114228A (ja) * | 1988-10-24 | 1990-04-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光ビーム走査装置 |
| JPH02149816A (ja) * | 1988-12-01 | 1990-06-08 | Asahi Optical Co Ltd | 走査式描画装置のポリゴンミラー分割面倒れに基づく走査ビーム補正装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5256944A (en) * | 1975-11-06 | 1977-05-10 | Canon Inc | Device for correcting position of beam |
| JPS5478155A (en) * | 1977-11-21 | 1979-06-22 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | Modulating and deflecting device of light beam |
-
1983
- 1983-05-11 JP JP58083240A patent/JPS59208522A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5256944A (en) * | 1975-11-06 | 1977-05-10 | Canon Inc | Device for correcting position of beam |
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| JPH07113705B2 (ja) * | 1988-10-24 | 1995-12-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 光ビーム走査装置 |
| JPH02149816A (ja) * | 1988-12-01 | 1990-06-08 | Asahi Optical Co Ltd | 走査式描画装置のポリゴンミラー分割面倒れに基づく走査ビーム補正装置 |
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