JPH1078551A - 光ビーム走査装置の補正装置 - Google Patents

光ビーム走査装置の補正装置

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JPH1078551A
JPH1078551A JP25398996A JP25398996A JPH1078551A JP H1078551 A JPH1078551 A JP H1078551A JP 25398996 A JP25398996 A JP 25398996A JP 25398996 A JP25398996 A JP 25398996A JP H1078551 A JPH1078551 A JP H1078551A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ビームを走査光学系によって感光体上で走
査させる光ビーム走査装置において、光ビームの走査光
学系に起因する走査線のずれを光偏向素子を用いて補正
し、高精度な偏向制御を可能にし画質の劣化を防ぐ。 【解決手段】 光ビームを互いに直交する2方向にそれ
ぞれ偏向する2次元光偏向素子と、走査光学系に起因す
る光ビームの変動を補正するための偏向データを出力す
る偏向データ出力手段と、光偏向素子の一方向への偏向
駆動に伴って他方向に発生する偏向を打消すための補正
データを出力する補正データ出力手段と、各偏向方向ご
とに対応する偏向データと補正データとを加算する加算
器と、この加算値に基づき光偏向素子を2次元に偏向駆
動する駆動手段と、を備える。偏向データ出力手段は、
光偏向素子による偏向を一定に固定した状態で走査した
時に得られた走査線から偏向データを求めて記憶してお
き、走査角度に追従して偏向データを出力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光ビームの走査
光学系に、光ビームを2次元に偏向する光偏向素子を介
在させて、適正な走査線からの光ビームのずれを補正す
る光ビーム走査装置の補正装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザなどの光ビームを、走査光学系に
よって感光体上に導き、走査させて感光体を露光させる
ことにより画像を形成する光ビーム走査装置が公知であ
る。
【0003】例えば円筒内面走査型の装置に用いるスピ
ナや、平面走査型の装置に用いるピエゾミラー、ガルバ
ノミラーを用いた走査光学系がある。これらの走査光学
系スピナやミラーの回転中心が回転に伴って変動するこ
とがある(ウォブル)。このような回転中心の変動があ
ると、光ビームの走査軌跡である走査線が直線になら
ず、僅かに弓状に湾曲することになる。そこで高品質な
画像を得るためにこのような走査光学系に起因する走査
線の変動を無くして走査線を正しい直線に修正すること
が必要になる。そのために、光ビームを1次元光偏向素
子によって偏向させることが従来より知られている。
【0004】一方、円筒内面走査型画像記録装置におい
て、走査ビームを複数として出力の高速化を図ることが
知られている。この場合複数の光ビームによる走査線が
互いに平行な直線となることが必要である。また各光ビ
ームが同時に書込む点は副走査方向に並んでいなければ
ならない。換言すれば各光ビームは主走査方向に位相が
揃っていて、各走査線が同じ長さとなるようにすること
が必要である。そこで、各光ビームを2次元光偏向素子
により2次元に偏向させることを、本願の出願人は提案
した(米国特許第5502709号参照)。
【0005】
【従来技術の問題点】従来広く用いられている1次元光
偏向素子としては、ピエゾ効果を利用してミラーを偏向
させるピエゾミラー方式、ガルバノメータの原理を用い
てミラーを偏向させるガルバノミラー方式、音響光学
(A/O)素子や電気光学(E/O)素子を用いる方式
などがある。
【0006】しかし従来の光偏向素子で光ビームを1次
元に偏向させるように駆動した時には、光ビームはこの
偏向方向に直交する方向にも僅かに偏向されることが避
けられない。例えばピエゾミラーあるいはガルバノミラ
ー方式ではミラーの回転軸の僅かな変動などによりこの
ような問題が生じるものと考えられる。また音響光学素
子を用いたものでは、一方向への偏向を発生させるよう
に超音波を加えると、この偏向方向に直交する方向にも
僅かに偏向が発生することが解った。このため高精度な
偏向制御ができず、画質が劣化するという問題があっ
た。
【0007】また複数の光ビームで同時に走査する前記
円筒内面走査型の装置で、2次元光偏向素子を用いる場
合には、実際に走査して得た走査線の直線からのずれ
と、各光ビームが書込む点の主走査方向のずれ(すなわ
ち位相のずれ)とに基づいて光偏向素子の直交する2方
向の偏向量を求めていた。しかし実際の2次元光偏向素
子では、1方向への偏向量から駆動量を決めると他方向
への偏向が発生してしまい、高精度な偏向制御ができ
ず、やはり画質が劣化するという問題があった。
【0008】
【発明の目的】本発明はこのような事情に鑑みなされた
ものであり、光ビームの走査光学系に起因する走査線の
ずれを光偏向素子を用いて補正する場合に、高精度な偏
向制御ができ画質の劣化を防ぐことができる光ビーム走
査装置の補正装置を提供することを目的とする。
【0009】
【発明の構成】この発明によればこの目的は、光ビーム
を走査光学系によって感光体上で走査させる光ビーム走
査装置において、光ビームを互いに直交する2方向にそ
れぞれ偏向する2次元光偏向素子と、前記走査光学系に
起因する光ビームの変動を補正するための偏向データを
出力する偏向データ出力手段と、前記光偏向素子の一方
向への偏向駆動に伴って他方向に発生する偏向を打消す
ための補正データを出力する補正データ出力手段と、各
偏向方向ごとに対応する前記偏向データと補正データと
を加算する加算器と、この加算値に基づき前記光偏向素
子を2次元に偏向駆動する駆動手段と、を備えることを
特徴とする光ビーム走査装置の補正装置により達成され
る。
【0010】ここに偏向データ出力手段は、光偏向素子
による偏向を一定に固定した状態で走査した時に得られ
た走査線から偏向データを求めて記憶しておき、走査角
度に追従して偏向データを出力するものとすることがで
きる。
【0011】補正データ出力手段は、光偏向素子を一方
向にのみ偏向駆動した時に他方向に発生する偏向を打消
すための補正データを記憶しておくものとすることがで
きる。この時走査光学系を停止させて補正データを求め
ることができる。
【0012】2次元光偏向素子は音響光学(A/O)素
子とすることができる。2次元光偏向素子は、光ビーム
に略直交する軸を中心として揺動するミラー、例えばピ
エゾミラー、ガルバノミラーなどであってもよい。この
場合ミラーは光ビームに対し直交する2つの軸回りに揺
動するようにジンバルで支持することができる。
【0013】
【作用】走査光学系による走査中においては、走査角度
に対応した光ビームの偏向量が直交する2方向(X、Y
方向とする)に対して別々に偏向データ出力手段から読
出される。一方向(例えばX方向)への偏向駆動に対し
て光偏向素子が他方向(例えばY方向)へ僅かな偏向を
発生させるから、この他方向に発生した偏向を打消すこ
とが必要である。このための補正データは補正データ出
力手段から得ることができる。
【0014】そこでこの他方向(Y方向)への補正デー
タを前記他方向(Y方向)への偏向データに加算するこ
とにより、同様に一方向(X方向)への補正データを一
方向(X方向)への偏向データに加算することにより、
光偏向素子による異なる方向間での偏向の混入による問
題を除去することができる。
【0015】
【実施態様】図1はこの発明の一実施態様である円筒外
面走査型の装置を示す図、図2は補正データ出力手段に
記憶する補正データの説明図である。
【0016】図1において符号10はレーザなどの光源
であり、この光源10が出力する光ビームLは、走査光
学系を介して、後記感光体20に導かれる。すなわち光
ビームLは、光変調器12、2次元光偏向素子としての
音響光学素子(AOD)14、ポリゴン16に導かれ
る。このポリゴン16のミラーで反射された光ビームL
は、f・θレンズ18を介して感光体20に導かれる。
なおこの感光体20はドラム22の外周面に固定され、
ドラム22と共に回転する。
【0017】この結果光ビームLは画像信号発生部(図
示せず)から送られる画像信号に基づいて、光変調器1
2でオン・オフ制御され、ポリゴン16の回転に伴って
感光体20上を走査する。24はその時の走査線であ
る。ポリゴン16はモータと一体化され、ドライバ26
により一定の回転速度で回転する。なおこのポリゴン1
6のモータの回転角度はロータリーエンコーダ(図示せ
ず)で検出される。すなわちこのエンコーダは、ポリゴ
ン16の基準位置および所定微少回転角度毎にそれぞれ
信号(エンコーダ信号)を出力する。
【0018】2次元AOD14は2次元光偏向装置30
によって制御され、光ビームLを光ビームLに直交する
面内で互いに直交する2方向(X、Y方向)に偏向す
る。AOD14は、例えば1次元のみに偏向する2つの
AODを互いに偏向方向が直交するように組合せ固着し
たものである。また1つの結晶の互いに直交する面に電
歪材(トランスデューサ)を貼り付けた構造のものでも
よい。
【0019】2次元光偏向装置30は、一方向(X方
向)への偏向を制御する部分と他方向(Y方向)への偏
向を制御する部分とを持ち、両部分は同様に構成されて
いる。ルックアップテーブルLUT2とLUT6とは、
本発明における偏向データ出力手段となるものであり、
走査光学系による走査線24のずれを補正するためのX
方向およびY方向の偏向データを記憶するメモリであ
る。
【0020】これらの偏向データは、AOD14による
偏向を一定に固定した状態で、走査光学系のみを作動さ
せて得た走査線24と基準となる直線との間隔に基づい
て例えばY方向の偏向データを設定する。また光ビーム
Lが走査線24上を走査する速度が走査線24の位置に
より変化する場合に、この走査速度の変化を修正するた
めにX方向の偏向データを設定することができる。
【0021】ルックアップテーブルLUT1とLUT5
は、本発明の補正データ出力手段となるものであり、A
OD14の一方向への偏向駆動が他方向への偏向に及ぼ
す影響を補正する(打消す)ための補正データを記憶す
るメモリである。すなわちLUT5は、AOD14によ
り光ビームLをX方向へ所定量偏向させた時にY方向に
発生する偏向を打消すために必要なY方向の補正データ
を記憶する。同様にLUT1はAOD14により光ビー
ムLをY方向へ所定量偏向させた時にX方向に発生する
偏向を打消すために必要なX方向の補正データを記憶す
る。これら補正データは走査光学系を停止した状態で求
めるのがよい。
【0022】図2に基づきこれらLUT1、5の設定手
順をさらに詳細に説明する。今AOD14がXY2方向
間の相互の影響が生じない理想的なものであるとして、
X方向のみに偏向するように偏向データを加えて駆動す
れば、光ビームLの走査点(基準位置Oにある)は感光
体20上で基準位置Oから実線のX軸上で移動する(図
2(A))。同様にY方向にのみ偏向データを加えれば
光ビームLの走査点はY軸上で移動する。さらにX、Y
両方向に同じ量の偏向データを加えれば、光ビームLの
走査点は原点Oを通る45°の直線S1、またはS2上
を移動する。
【0023】しかし実際のAOD14では、XY2方向
間の相互の影響が生じるから、前記の偏向方向は例えば
それぞれ破線で示すX′軸、Y′軸、S1′、S2′に
ずれる。すなわちX方向の偏向データ(X偏向データ)
を加えたときにはX′軸方向にずれ、Y方向成分△Yが
発生する。そこでY′軸をY軸に戻すためにY方向に加
えた偏向データ(Y偏向データ)から△Yを減算する
(−△Yを加算する)補正を行う(図2の(B))。従
ってLUT5にはこの図2の(B)に示す特性が記憶さ
れる。同様にLUT1にはX′軸をX軸に戻すためにX
方向に加えた偏向データ(X偏向データ)に加算すべき
補正データ(−△X)を記憶する。
【0024】LUT2とLUT6はポリゴン16の回転
角度を示すエンコーダ信号に対応したX偏向データおよ
びY偏向データを出力する。これらX、Y偏向データは
加算器32、34に入力される一方、LUT5、LUT
1に入力される。LUT5およびLUT1では、X偏向
データおよびY偏向データに対応したY補正データ(−
△Y)およびX補正データ(−△X)を加算器14、3
2に出力する。
【0025】従って加算器32はX偏向データとX補正
データ(−△X)との和(Tx)を求め、加算器34は
Y偏向データとY補正データ(−△Y)との和(Ty)
を求める。これらの和(Tx、Ty)に基づき、AOD
14は以下に示す駆動手段によって2次元に偏向駆動さ
れる。すなわちこれらの和(Tx、Ty)は、まずそれ
ぞれルックアップテーブルLUT3、LUT7によって
これら和の大きさに対応した周波数のデジタル信号(D
x、Dy)に変換される。
【0026】これらのデジタル信号(Dx、Dy)はそ
れぞれデジタル・アナログ変換器DAC1、DAC2に
おいてデジタル信号(Dx、Dy)の周波数に対応した
アナログ電圧信号(Ax、Ay)に変換される。このア
ナログ電圧信号(Ax、Ay)は電圧制御発振器VCO
1、VCO2において入力電圧に対応した周波数の高周
波信号(Hx、Hy)に変換される。
【0027】この高周波信号(Hx、Hy)は可変減衰
器ATT1、ATT2で所定信号レベルに設定された
後、増幅器AMP1、AMP2で増幅されてAOD14
のX方向およびY方向の偏向を発生させる電歪材に印加
される。この結果AOD14は光ビームLをX方向およ
びY方向に所定量偏向する。
【0028】なお前記ATT1、ATT2はVCO1、
VCO2からAOD14のX方向およびY方向の偏向用
電歪材に至るまでの特性を補正するものである。すなわ
ちLUT3、7の出力であるデジタル信号データ(D
x、Dy)を補正データ変換テーブルLUT4、LUT
8と、デジタル・アナログ変換器DAC2、DAC4と
を介してATT1、ATT2に導く。ATT1、ATT
2は、これらDAC2、4の出力電圧に対応した減衰率
でVCO1、VCO2の出力を減衰させる。
【0029】従って図2の(D)に示すように、この光
偏向装置30により光ビームLをX、Y方向に偏向させ
れば、X、Y方向の一方の偏向が他方の偏向に及ぼす影
響を除去することができる。すなわち図2の(D)に破
線で示す実際の光ビームの偏向方向を、実線で示す理想
的な偏向方向に一致させることができる。このため走査
線の直線性を良くし、高精度の偏向制御が可能になり、
画質を向上させることができる。
【0030】この実施態様では、LUT1、5にはY偏
向データおよびX偏向データの大きさに対して、それぞ
れX方向の偏向およびY方向の偏向を打消すための補正
データを記憶した。すなわちLUT1、5はY偏向デー
タ、X偏向データを入力としていた。しかしこれらLU
T1、5はエンコーダ信号を入力として補正データを出
力するものであってもよい。この場合にはLUT1、5
にはエンコーダ信号により設定されるY偏向データおよ
びX偏向データを予測して偏向を補正するデータを記憶
させておけばよい。
【0031】この実施態様では、fθレンズ18を用い
るが、このfθレンズ18の作用をAOD14に持たせ
ることもできる。この場合fθレンズ18に代えて光ビ
ームを感光体20に集光させるための集光レンズを用い
る。以上の実施態様は平面走査型の装置に適用したもの
であるが、本発明は円筒内面走査型や円筒外面走査型な
どの装置にも適用でき、これらを含む。次に円筒内面走
査型の実施態様につき説明する。
【0032】
【他の実施態様】図3は、円筒内面走査型画像記録装置
を示す概念図である。この図3において50(50a、
50b、50c)は光ビーム出力手段としての3個のレ
ーザダイオードであり、これらは同一波長かつ同一強度
のレーザビームL(La、Lb、Lc)を出力する。こ
れらのレーザビームLa、Lb、Lcはそれぞれコリメ
ートレンズL1(L1a、L1b、L1c)、2次元音
響光学偏向素子AOD(AODa、AODb、AOD
c)、AOD射出レンズL2(L2a、L2b、L2
c)、0次光カット板P1(P1a、P1b、P1c)
およびコリメートレンズL3(L3a、L3b、L3
c)を介し、合波光学系52により合波される。
【0033】なおレーザビームL(La、Lb、Lc)
は、コリメートレンズL1で平行光線にされ、AODで
偏向された後AOD射出レンズL2と0次光カット板P
1で1次回折光だけが選択される。そしてコリメートレ
ンズL3で再び平行光線に戻され合波光学系52に導か
れる。
【0034】AODは後記するように所定周波数の超音
波がトランスデューサより発生されることにより駆動さ
れ、この時の1次回折光が0次光カット板P1で選択さ
れるものである。なお2値画像信号がオフの時にはレー
ザダイオード50の出力がオフとなる。
【0035】3つのAODは、この実施態様ではそれぞ
れレーザビームLa、Lb、LcをX軸方向およびY軸
方向に2次元的に偏向させるものである。すなわち、A
ODにより、レーザビームLを互いに直交する2つの方
向(X軸方向およびY軸方向)に偏向させ、主走査線の
湾曲と、間隔と、各レーザビームLが同時に書込む点の
主走査方向のずれとを修正するものである。
【0036】合波光学系52は、全反射ミラーMと、偏
光ビームスプリッタPBSと、ビームスプリッタBSと
で形成される。前記レーザダイオード50a、50b、
50cは直線偏光のレーザビームを出力し、これらの偏
光方向はそれぞれ図3に矢印で示す方向に設定されてい
る。
【0037】すなわちレーザダイオード50aと50c
は、ビームスプリッタBSおよび全反射ミラーMに対す
る入射平面波の電界の振動面が入射面(入射光と反射光
を含む平面)に平行な偏光(P偏光という)となるよう
に、その取付角度が設定されている。またレーザダイオ
ード50bは、偏光ビームスプリッタPBSに対する入
射平面波の電界の振動面が入射面に垂直となる偏光(S
偏光という)となるように、その取付角度が設定されて
いる。
【0038】そしてレーザビームLa、Lb、Lcはこ
の合波光学系52によりほぼ1つのレーザビームLoに
合波される。なおこの合波されたレーザビームLoは図
3では1本のビームとして表しているが、実際には互い
に分かれた3本の共軸ではないビームから成るものであ
る。
【0039】この合波レーザビームLoは、さらにビー
ムエキスパンダレンズL4およびL5においてビーム径の
拡大・変更が行われる。その後開口板P2においてフレ
ア光(迷光)の除去と光束径の制御とが行われる。この
ビームLoはドラム(円筒)Dの中心軸に沿ってドラム
D内に導かれる。ドラムDの中心軸上には、光走査器と
してのスピナーSPが設けられている。
【0040】このスピナーSPは中心軸(回転軸)に対
して45°の反射面を持ち、モータにより高速回転され
る。なおこのモータにはロータリーエンコーダENが取
付けられ、スピナーSPの回転角(θ=ωt)が検出さ
れる。すなわち所定回転角ごとに出力されるパルス信号
pと、1回転の基準位置を示す基準位置信号p0とが出
力される。なおこのスピナーSPに導かれるビームL
は、回転軸上にある集光レンズL6によって、ドラムD
の内周面あるいは記録シートSに合焦する。
【0041】図3において符号54は制御手段であり、
このスピナーSPの回転角θに同期してAODを制御す
る。図4は制御手段54の回路構成例を示す図である。
この図4では説明を簡単にするため1つのAODaのみ
の駆動回路を示すが、実際はこの図と同様な回路が他の
AODb、AODcに対して別々に設けられる。
【0042】この図4において56はクロック回路であ
り、エンコーダENがスピナーSPの一定回転角度ごと
に出力するパルス信号pと基準位置信号poとに基づい
て、制御クロック信号を出力する。58は正弦波生成回
路、60は余弦波生成回路であり、これらは前記図1に
示すLUT2、LUT6に対応する。
【0043】これら正弦波生成回路58と余弦波生成回
路60は、それぞれX方向およびY方向の偏向データを
出力するものである。これらの偏向データは、主走査線
の湾曲と間隔と各レーザビームLが同時に書込む点の主
走査方向のずれとを修正するために、レーザビームLを
X軸方向およびY軸方向に偏向させるためにAODの駆
動周波数に付加するものである。
【0044】62、64はAODの一方向への偏向駆動
が他方向への偏向に及ぼす影響を打消すための補正デー
タを記憶し出力する補正データ出力手段であり、前記図
1におけるLUT1、5に対応するものである。ここで
はこの補正データ出力手段62、64に記憶する補正デ
ータは正弦波生成回路58および余弦波生成回路60が
出力する偏向データを予測して補正するものであり、ク
ロック信号に基づいて所定の補正データを出力する。
【0045】正弦波生成回路58が出力するX偏向デー
タには、補正データ出力手段62が出力するX補正デー
タが加算器66で加算される。同様に余弦波生成回路6
0の出力であるY偏向データには、補正データ出力手段
64が出力するY補正データが加算器68で加算され
る。
【0046】70、72は電圧制御発振器(VCO)で
あり、加算器66、68の出力の電圧変化に対応して周
波数が変化する周波数変調信号F(Fx、Fx)を出力
する。この信号Fは、それぞれ別々に増幅器(AMP)
74、76で増幅された後、対応するAODに導かれレ
ーザビームをX方向およびY方向に偏向させる。ここに
増幅器74、76は、VCO70、72とAODとの周
波数特性の補正も同時に行う。
【0047】78は2値画像信号生成回路であり、図示
しない画像処理回路から入力される画像信号に基づい
て、3本のレーザビームLで記録する3本の主走査線を
書込むための2値画像信号を出力する。これらの2値画
像信号はレーザダイオード50(50a、50b,50
c)に入力される。この結果各レーザダイオード50
は、2値画像信号がオンの時にレーザビームを射出し、
各AODは、レーザビームLの一次回折光をX、Y両方
向に偏向させる。この結果記録シートSには図3に示す
ような直線状の3本の主走査線を等間隔に記録させるこ
とができる。
【0048】
【発明の効果】請求項1の発明は以上のように、2次元
光偏向素子を一方向に偏向駆動した時に他方向への偏向
が生じる場合に、この他方向への偏向を打ち消すための
補正データを偏向データに付加することにより、他方向
への不必要な偏向が生じるのを防ぐものであるから、走
査線のひずみを除去し高精度な偏向制御が可能になり、
画質の向上が可能になる。
【0049】この場合に走査光学系に起因する光ビーム
の変動を補正するための偏向データを偏向データ出力手
段に記憶させ、光偏向素子の一方向への偏向駆動に伴っ
て他方向に発生する偏向を打消すための補正データを補
正データ出力手段に記憶させたから、これら偏向データ
と補正データとを別々に求めて容易に設定することが可
能になる。
【0050】また2次元光偏向素子に固有な補正データ
は、通常経時的変化をほとんど考慮する必要がないか
ら、走査光学系の経時的変化に対して偏向データだけを
経時的に修正すればよい。このため偏向データの修正が
容易になる。
【0051】偏向データは、例えば2次元光偏向素子の
偏向を一定に固定した状態で走査光学系だけを作動させ
ることにより得た走査線に基づいて、容易に求めること
ができる(請求項2)。すなわちこの走査線の湾曲の振
幅や主走査方向の走査速度の変化などに基づき、求める
ことができる。
【0052】補正データは、光偏向素子を一方向に偏向
駆動した時の他方向への偏向量を求めることにより決め
ることができる(請求項3)。この時走査光学系を停止
させておけば偏向量をより容易に求めることができる。
2次元光偏向素子は音響光学偏向素子とするのが望まし
い(請求項4)。2次元光偏向素子は、光ビームに略直
交する軸を中心にして揺動するミラーで構成することも
できる(請求項5)。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施態様を示す図
【図2】補正データの求め方を説明する図
【図3】他の実施態様を示す図
【図4】その制御手段を示す図
【符号の説明】
10 光源 14 2次元光偏向素子としてのAOD 24 走査線 30 光偏向装置 32、34、66、68 加算器 50 レーザダイオード 52 光学系 54 制御手段 58 偏向データ出力手段としての正弦波生成回路 60 偏向データ出力手段としての余弦波生成回路 62、64 補正データ出力手段 LUT1、LUT5 補正データ出力手段としてのルッ
クアップテーブル LUT2、LUT6 偏向データ出力手段としてのルッ
クアップテーブル

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ビームを走査光学系によって感光体上
    で走査させる光ビーム走査装置において、 光ビームを互いに直交する2方向にそれぞれ偏向する2
    次元光偏向素子と、 前記走査光学系に起因する光ビームの変動を補正するた
    めの偏向データを出力する偏向データ出力手段と、 前記光偏向素子の一方向への偏向駆動に伴って他方向に
    発生する偏向を打消すための補正データを出力する補正
    データ出力手段と、 各偏向方向ごとに対応する前記偏向データと補正データ
    とを加算する加算器と、 この加算値に基づき前記光偏向素子を2次元に偏向駆動
    する駆動手段と、 を備えることを特徴とする光ビーム走査装置の補正装
    置。
  2. 【請求項2】 偏向データ出力手段は、光偏向素子によ
    る偏向を一定に固定して走査光学系で走査した時に得ら
    れる走査線の変動に基づいて求められた偏向データを記
    憶する請求項1の光ビーム走査装置の補正装置。
  3. 【請求項3】 補正データ出力手段は、光偏向素子を直
    交する2方向に偏向駆動した時に一方向への偏向駆動に
    伴って他方向へ生じる偏向を打消すために必要な補正デ
    ータを記憶する請求項1の光ビーム走査装置の補正装
    置。
  4. 【請求項4】 2次元光偏向素子は、音響光学偏向素子
    である請求項1〜3のいずれかの光ビーム走査装置の補
    正装置。
  5. 【請求項5】 2次元光偏光素子は、光ビームに略直交
    する軸を中心にして揺動するミラーである請求項1〜3
    のいずれかの光ビーム走査装置の補正装置。
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