JP3685350B2 - 光ビーム走査装置の補正装置および円筒内面走査型画像記録装置 - Google Patents

光ビーム走査装置の補正装置および円筒内面走査型画像記録装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光ビームの走査光学系に、光ビームを2次元に偏向する光偏向素子を介在させて、適正な走査線からの光ビームのずれを補正する光ビーム走査装置の補正装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
レーザなどの光ビームを、走査光学系によって感光体上に導き、走査させて感光体を露光させることにより画像を形成する光ビーム走査装置が公知である。
【0003】
例えば円筒内面走査型の装置に用いるスピナや、平面走査型の装置に用いるピエゾミラー、ガルバノミラーを用いた走査光学系がある。これらの走査光学系スピナやミラーの回転中心が回転に伴って変動することがある(ウォブル)。このような回転中心の変動があると、光ビームの走査軌跡である走査線が直線にならず、僅かに弓状に湾曲することになる。そこで高品質な画像を得るためにこのような走査光学系に起因する走査線の変動を無くして走査線を正しい直線に修正することが必要になる。そのために、光ビームを1次元光偏向素子によって偏向させることが従来より知られている。
【0004】
一方、円筒内面走査型画像記録装置において、走査ビームを複数として出力の高速化を図ることが知られている。この場合複数の光ビームによる走査線が互いに平行な直線となることが必要である。また各光ビームが同時に書込む点は副走査方向に並んでいなければならない。換言すれば各光ビームは主走査方向に位相が揃っていて、各走査線が同じ長さとなるようにすることが必要である。そこで、各光ビームを2次元光偏向素子により2次元に偏向させることを、本願の出願人は提案した(米国特許第5502709号参照)。
【0005】
【従来技術の問題点】
従来広く用いられている1次元光偏向素子としては、ピエゾ効果を利用してミラーを偏向させるピエゾミラー方式、ガルバノメータの原理を用いてミラーを偏向させるガルバノミラー方式、音響光学(A/O)素子や電気光学(E/O)素子を用いる方式などがある。
【0006】
しかし従来の光偏向素子で光ビームを1次元に偏向させるように駆動した時には、光ビームはこの偏向方向に直交する方向にも僅かに偏向されることが避けられない。例えばピエゾミラーあるいはガルバノミラー方式ではミラーの回転軸の僅かな変動などによりこのような問題が生じるものと考えられる。また音響光学素子を用いたものでは、一方向への偏向を発生させるように超音波を加えると、この偏向方向に直交する方向にも僅かに偏向が発生することが解った。このため高精度な偏向制御ができず、画質が劣化するという問題があった。
【0007】
また複数の光ビームで同時に走査する前記円筒内面走査型の装置で、2次元光偏向素子を用いる場合には、実際に走査して得た走査線の直線からのずれと、各光ビームが書込む点の主走査方向のずれ(すなわち位相のずれ)とに基づいて光偏向素子の直交する2方向の偏向量を求めていた。しかし実際の2次元光偏向素子では、1方向への偏向量から駆動量を決めると他方向への偏向が発生してしまい、高精度な偏向制御ができず、やはり画質が劣化するという問題があった。
【0008】
【発明の目的】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、光ビームの走査光学系に起因する走査線のずれを光偏向素子を用いて補正する場合に、高精度な偏向制御ができ画質の劣化を防ぐことができる光ビーム走査装置の補正装置を提供することを第1の目的とする。またこの補正装置を備える円筒内面走査型画像記録装置を提供することを第2の目的とする。
【0009】
【発明の構成】
この発明によれば第1の目的は、光ビームを走査光学系によって感光体上で走査させる光ビーム走査装置において、
光ビームを互いに直交する2方向にそれぞれ偏向する音響光学偏向素子からなる2次元光偏向素子と、
前記走査光学系に起因する光ビームの変動を補正するための偏向データを出力する偏向データ出力手段と、
前記光偏向素子の一方向への偏向駆動に伴って他方向に発生する偏向を打消すための補正データを記憶するルックアップテーブルで形成され前記補正データを出力する補正データ出力手段と、
各偏向方向ごとに対応する前記偏向データと補正データとを加算する加算器と、
この加算値に基づき前記光偏向素子を2次元に偏向駆動する駆動手段と、
を備えることを特徴とする光ビーム走査装置の補正装置により達成される。
【0010】
ここに偏向データ出力手段は、光偏向素子による偏向を一定に固定した状態で走査した時に得られた走査線から偏向データを求めて記憶しておき、走査角度に追従して偏向データを出力するものとすることができる。
【0011】
補正データ出力手段は、光偏向素子を一方向にのみ偏向駆動した時に他方向に発生する偏向を打消すための補正データをルックアップテーブルに記憶しておくものとすることができる。この時走査光学系を停止させて補正データを求めることができる。
【0012】
2次元光偏向素子は音響光学(A/O)素子とすることができる。2次元光偏向素子は、光ビームに略直交する軸を中心として揺動するミラー、例えばピエゾミラー、ガルバノミラーなどであってもよい。この場合ミラーは光ビームに対し直交する2つの軸回りに揺動するようにジンバルで支持することができる。第2の目的は、これらの補正装置を備える円筒内面走査型画像記録装置により達成される。
【0013】
【作用】
走査光学系による走査中においては、走査角度に対応した光ビームの偏向量が直交する2方向(X、Y方向とする)に対して別々に偏向データ出力手段から読出される。一方向(例えばX方向)への偏向駆動に対して光偏向素子が他方向(例えばY方向)へ僅かな偏向を発生させるから、この他方向に発生した偏向を打消すことが必要である。このための補正データは補正データ出力手段から得ることができる。
【0014】
そこでこの他方向(Y方向)への補正データを前記他方向(Y方向)への偏向データに加算することにより、同様に一方向(X方向)への補正データを一方向(X方向)への偏向データに加算することにより、光偏向素子による異なる方向間での偏向の混入による問題を除去することができる。
【0015】
【実施態様】
図1はこの発明の一実施態様である円筒外面走査型の装置を示す図、図2は補正データ出力手段に記憶する補正データの説明図である。
【0016】
図1において符号10はレーザなどの光源であり、この光源10が出力する光ビームLは、走査光学系を介して、後記感光体20に導かれる。すなわち光ビームLは、光変調器12、2次元光偏向素子としての音響光学素子(AOD)14、ポリゴン16に導かれる。このポリゴン16のミラーで反射された光ビームLは、f・θレンズ18を介して感光体20に導かれる。なおこの感光体20はドラム22の外周面に固定され、ドラム22と共に回転する。
【0017】
この結果光ビームLは画像信号発生部(図示せず)から送られる画像信号に基づいて、光変調器12でオン・オフ制御され、ポリゴン16の回転に伴って感光体20上を走査する。24はその時の走査線である。ポリゴン16はモータと一体化され、ドライバ26により一定の回転速度で回転する。なおこのポリゴン16のモータの回転角度はロータリーエンコーダ(図示せず)で検出される。すなわちこのエンコーダは、ポリゴン16の基準位置および所定微少回転角度毎にそれぞれ信号(エンコーダ信号)を出力する。
【0018】
2次元AOD14は2次元光偏向装置30によって制御され、光ビームLを光ビームLに直交する面内で互いに直交する2方向(X、Y方向)に偏向する。AOD14は、例えば1次元のみに偏向する2つのAODを互いに偏向方向が直交するように組合せ固着したものである。また1つの結晶の互いに直交する面に電歪材(トランスデューサ)を貼り付けた構造のものでもよい。
【0019】
2次元光偏向装置30は、一方向(X方向)への偏向を制御する部分と他方向(Y方向)への偏向を制御する部分とを持ち、両部分は同様に構成されている。ルックアップテーブルLUT2とLUT6とは、本発明における偏向データ出力手段となるものであり、走査光学系による走査線24のずれを補正するためのX方向およびY方向の偏向データを記憶するメモリである。
【0020】
これらの偏向データは、AOD14による偏向を一定に固定した状態で、走査光学系のみを作動させて得た走査線24と基準となる直線との間隔に基づいて例えばY方向の偏向データを設定する。また光ビームLが走査線24上を走査する速度が走査線24の位置により変化する場合に、この走査速度の変化を修正するためにX方向の偏向データを設定することができる。
【0021】
ルックアップテーブルLUT1とLUT5は、本発明の補正データ出力手段となるものであり、AOD14の一方向への偏向駆動が他方向への偏向に及ぼす影響を補正する(打消す)ための補正データを記憶するメモリである。すなわちLUT5は、AOD14により光ビームLをX方向へ所定量偏向させた時にY方向に発生する偏向を打消すために必要なY方向の補正データを記憶する。同様にLUT1はAOD14により光ビームLをY方向へ所定量偏向させた時にX方向に発生する偏向を打消すために必要なX方向の補正データを記憶する。これら補正データは走査光学系を停止した状態で求めるのがよい。
【0022】
図2に基づきこれらLUT1、5の設定手順をさらに詳細に説明する。今AOD14がXY2方向間の相互の影響が生じない理想的なものであるとして、X方向のみに偏向するように偏向データを加えて駆動すれば、光ビームLの走査点(基準位置Oにある)は感光体20上で基準位置Oから実線のX軸上で移動する(図2(A))。同様にY方向にのみ偏向データを加えれば光ビームLの走査点はY軸上で移動する。さらにX、Y両方向に同じ量の偏向データを加えれば、光ビームLの走査点は原点Oを通る45°の直線S1、またはS2上を移動する。
【0023】
しかし実際のAOD14では、XY2方向間の相互の影響が生じるから、前記の偏向方向は例えばそれぞれ破線で示すX′軸、Y′軸、S1′、S2′にずれる。すなわちX方向の偏向データ(X偏向データ)を加えたときにはX′軸方向にずれ、Y方向成分△Yが発生する。そこでY′軸をY軸に戻すためにY方向に加えた偏向データ(Y偏向データ)から△Yを減算する(−△Yを加算する)補正を行う(図2の(B))。従ってLUT5にはこの図2の(B)に示す特性が記憶される。同様にLUT1にはX′軸をX軸に戻すためにX方向に加えた偏向データ(X偏向データ)に加算すべき補正データ(−△X)を記憶する。
【0024】
LUT2とLUT6はポリゴン16の回転角度を示すエンコーダ信号に対応したX偏向データおよびY偏向データを出力する。これらX、Y偏向データは加算器32、34に入力される一方、LUT5、LUT1に入力される。LUT5およびLUT1では、X偏向データおよびY偏向データに対応したY補正データ(−△Y)およびX補正データ(−△X)を加算器14、32に出力する。
【0025】
従って加算器32はX偏向データとX補正データ(−△X)との和(Tx)を求め、加算器34はY偏向データとY補正データ(−△Y)との和(Ty)を求める。これらの和(Tx、Ty)に基づき、AOD14は以下に示す駆動手段によって2次元に偏向駆動される。すなわちこれらの和(Tx、Ty)は、まずそれぞれルックアップテーブルLUT3、LUT7によってこれら和の大きさに対応した周波数のデジタル信号(Dx、Dy)に変換される。
【0026】
これらのデジタル信号(Dx、Dy)はそれぞれデジタル・アナログ変換器DAC1、DAC2においてデジタル信号(Dx、Dy)の周波数に対応したアナログ電圧信号(Ax、Ay)に変換される。このアナログ電圧信号(Ax、Ay)は電圧制御発振器VCO1、VCO2において入力電圧に対応した周波数の高周波信号(Hx、Hy)に変換される。
【0027】
この高周波信号(Hx、Hy)は可変減衰器ATT1、ATT2で所定信号レベルに設定された後、増幅器AMP1、AMP2で増幅されてAOD14のX方向およびY方向の偏向を発生させる電歪材に印加される。この結果AOD14は光ビームLをX方向およびY方向に所定量偏向する。
【0028】
なお前記ATT1、ATT2はVCO1、VCO2からAOD14のX方向およびY方向の偏向用電歪材に至るまでの特性を補正するものである。すなわちLUT3、7の出力であるデジタル信号データ(Dx、Dy)を補正データ変換テーブルLUT4、LUT8と、デジタル・アナログ変換器DAC2、DAC4とを介してATT1、ATT2に導く。ATT1、ATT2は、これらDAC2、4の出力電圧に対応した減衰率でVCO1、VCO2の出力を減衰させる。
【0029】
従って図2の(D)に示すように、この光偏向装置30により光ビームLをX、Y方向に偏向させれば、X、Y方向の一方の偏向が他方の偏向に及ぼす影響を除去することができる。すなわち図2の(D)に破線で示す実際の光ビームの偏向方向を、実線で示す理想的な偏向方向に一致させることができる。このため走査線の直線性を良くし、高精度の偏向制御が可能になり、画質を向上させることができる。
【0030】
この実施態様では、LUT1、5にはY偏向データおよびX偏向データの大きさに対して、それぞれX方向の偏向およびY方向の偏向を打消すための補正データを記憶した。すなわちLUT1、5はY偏向データ、X偏向データを入力としていた。しかしこれらLUT1、5はエンコーダ信号を入力として補正データを出力するものであってもよい。この場合にはLUT1、5にはエンコーダ信号により設定されるY偏向データおよびX偏向データを予測して偏向を補正するデータを記憶させておけばよい。
【0031】
この実施態様では、fθレンズ18を用いるが、このfθレンズ18の作用をAOD14に持たせることもできる。この場合fθレンズ18に代えて光ビームを感光体20に集光させるための集光レンズを用いる。以上の実施態様は平面走査型の装置に適用したものであるが、本発明は円筒内面走査型や円筒外面走査型などの装置にも適用でき、これらを含む。次に円筒内面走査型の実施態様につき説明する。
【0032】
【他の実施態様】
図3は、円筒内面走査型画像記録装置を示す概念図である。この図3において50(50a、50b、50c)は光ビーム出力手段としての3個のレーザダイオードであり、これらは同一波長かつ同一強度のレーザビームL(La、Lb、Lc)を出力する。これらのレーザビームLa、Lb、LcはそれぞれコリメートレンズL1(L1a、L1b、L1c)、2次元音響光学偏向素子AOD(AODa、AODb、AODc)、AOD射出レンズL2(L2a、L2b、L2c)、0次光カット板P1(P1a、P1b、P1c)およびコリメートレンズL3(L3a、L3b、L3c)を介し、合波光学系52により合波される。
【0033】
なおレーザビームL(La、Lb、Lc)は、コリメートレンズL1で平行光線にされ、AODで偏向された後AOD射出レンズL2と0次光カット板P1で1次回折光だけが選択される。そしてコリメートレンズL3で再び平行光線に戻され合波光学系52に導かれる。
【0034】
AODは後記するように所定周波数の超音波がトランスデューサより発生されることにより駆動され、この時の1次回折光が0次光カット板P1で選択されるものである。なお2値画像信号がオフの時にはレーザダイオード50の出力がオフとなる。
【0035】
3つのAODは、この実施態様ではそれぞれレーザビームLa、Lb、LcをX軸方向およびY軸方向に2次元的に偏向させるものである。すなわち、AODにより、レーザビームLを互いに直交する2つの方向(X軸方向およびY軸方向)に偏向させ、主走査線の湾曲と、間隔と、各レーザビームLが同時に書込む点の主走査方向のずれとを修正するものである。
【0036】
合波光学系52は、全反射ミラーMと、偏光ビームスプリッタPBSと、ビームスプリッタBSとで形成される。前記レーザダイオード50a、50b、50cは直線偏光のレーザビームを出力し、これらの偏光方向はそれぞれ図3に矢印で示す方向に設定されている。
【0037】
すなわちレーザダイオード50aと50cは、ビームスプリッタBSおよび全反射ミラーMに対する入射平面波の電界の振動面が入射面(入射光と反射光を含む平面)に平行な偏光(P偏光という)となるように、その取付角度が設定されている。またレーザダイオード50bは、偏光ビームスプリッタPBSに対する入射平面波の電界の振動面が入射面に垂直となる偏光(S偏光という)となるように、その取付角度が設定されている。
【0038】
そしてレーザビームLa、Lb、Lcはこの合波光学系52によりほぼ1つのレーザビームLoに合波される。なおこの合波されたレーザビームLoは図3では1本のビームとして表しているが、実際には互いに分かれた3本の共軸ではないビームから成るものである。
【0039】
この合波レーザビームLoは、さらにビームエキスパンダレンズL4およびL5においてビーム径の拡大・変更が行われる。その後開口板P2においてフレア光(迷光)の除去と光束径の制御とが行われる。このビームLoはドラム(円筒)Dの中心軸に沿ってドラムD内に導かれる。ドラムDの中心軸上には、光走査器としてのスピナーSPが設けられている。
【0040】
このスピナーSPは中心軸(回転軸)に対して45°の反射面を持ち、モータにより高速回転される。なおこのモータにはロータリーエンコーダENが取付けられ、スピナーSPの回転角(θ=ωt)が検出される。すなわち所定回転角ごとに出力されるパルス信号pと、1回転の基準位置を示す基準位置信号p0とが出力される。なおこのスピナーSPに導かれるビームLは、回転軸上にある集光レンズL6によって、ドラムDの内周面あるいは記録シートSに合焦する。
【0041】
図3において符号54は制御手段であり、このスピナーSPの回転角θに同期してAODを制御する。図4は制御手段54の回路構成例を示す図である。この図4では説明を簡単にするため1つのAODaのみの駆動回路を示すが、実際はこの図と同様な回路が他のAODb、AODcに対して別々に設けられる。
【0042】
この図4において56はクロック回路であり、エンコーダENがスピナーSPの一定回転角度ごとに出力するパルス信号pと基準位置信号poとに基づいて、制御クロック信号を出力する。58は正弦波生成回路、60は余弦波生成回路であり、これらは前記図1に示すLUT2、LUT6に対応する。
【0043】
これら正弦波生成回路58と余弦波生成回路60は、それぞれX方向およびY方向の偏向データを出力するものである。これらの偏向データは、主走査線の湾曲と間隔と各レーザビームLが同時に書込む点の主走査方向のずれとを修正するために、レーザビームLをX軸方向およびY軸方向に偏向させるためにAODの駆動周波数に付加するものである。
【0044】
62、64はAODの一方向への偏向駆動が他方向への偏向に及ぼす影響を打消すための補正データを記憶し出力する補正データ出力手段であり、前記図1におけるLUT1、5に対応するものである。ここではこの補正データ出力手段62、64に記憶する補正データは正弦波生成回路58および余弦波生成回路60が出力する偏向データを予測して補正するものであり、クロック信号に基づいて所定の補正データを出力する。
【0045】
正弦波生成回路58が出力するX偏向データには、補正データ出力手段62が出力するX補正データが加算器66で加算される。同様に余弦波生成回路60の出力であるY偏向データには、補正データ出力手段64が出力するY補正データが加算器68で加算される。
【0046】
70、72は電圧制御発振器(VCO)であり、加算器66、68の出力の電圧変化に対応して周波数が変化する周波数変調信号F(Fx、Fx)を出力する。この信号Fは、それぞれ別々に増幅器(AMP)74、76で増幅された後、対応するAODに導かれレーザビームをX方向およびY方向に偏向させる。ここに増幅器74、76は、VCO70、72とAODとの周波数特性の補正も同時に行う。
【0047】
78は2値画像信号生成回路であり、図示しない画像処理回路から入力される画像信号に基づいて、3本のレーザビームLで記録する3本の主走査線を書込むための2値画像信号を出力する。これらの2値画像信号はレーザダイオード50(50a、50b,50c)に入力される。この結果各レーザダイオード50は、2値画像信号がオンの時にレーザビームを射出し、各AODは、レーザビームLの一次回折光をX、Y両方向に偏向させる。この結果記録シートSには図3に示すような直線状の3本の主走査線を等間隔に記録させることができる。
【0048】
【発明の効果】
請求項1の発明は以上のように、音響光学偏向素子からなる2次元光偏向素子を一方向に偏向駆動した時に他方向への偏向が生じる場合に、この他方向への偏向を打ち消すための補正データをルックアップテーブルから出力して偏向データに付加することにより、他方向への不必要な偏向が生じるのを防ぐものであるから、走査線のひずみを除去し高精度な偏向制御が可能になり、画質の向上が可能になる。
【0049】
この場合に走査光学系に起因する光ビームの変動を補正するための偏向データを偏向データ出力手段に記憶させ、光偏向素子の一方向への偏向駆動に伴って他方向に発生する偏向を打消すための補正データをルックアップテーブルからなる補正データ出力手段に記憶させたから、これら偏向データと補正データとを別々に求めて容易に設定することが可能になる。
【0050】
また2次元光偏向素子に固有な補正データは、通常経時的変化をほとんど考慮する必要がないから、走査光学系の経時的変化に対して偏向データだけを経時的に修正すればよい。このため偏向データの修正が容易になる。
【0051】
偏向データは、例えば2次元光偏向素子の偏向を一定に固定した状態で走査光学系だけを作動させることにより得た走査線に基づいて、容易に求めることができる(請求項2)。すなわちこの走査線の湾曲の振幅や主走査方向の走査速度の変化などに基づき、求めることができる。
【0052】
2次元光偏向素子は、光ビームに略直交する軸を中心にして揺動するミラーで構成することもできる(請求項)。請求項3,5の発明によれば、この補正装置を備えた円筒内面走査型画像記録装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施態様を示す図
【図2】補正データの求め方を説明する図
【図3】他の実施態様を示す図
【図4】その制御手段を示す図
【符号の説明】
10 光源
14 2次元光偏向素子としてのAOD
24 走査線
30 光偏向装置
32、34、66、68 加算器
50 レーザダイオード
52 光学系
54 制御手段
58 偏向データ出力手段としての正弦波生成回路
60 偏向データ出力手段としての余弦波生成回路
62、64 補正データ出力手段
LUT1、LUT5 補正データ出力手段としてのルックアップテーブル
LUT2、LUT6 偏向データ出力手段としてのルックアップテーブル

Claims (5)

  1. 光ビームを走査光学系によって感光体上で走査させる光ビーム走査装置において、
    光ビームを互いに直交する2方向にそれぞれ偏向する音響光学偏向素子からなる2次元光偏向素子と、
    前記走査光学系に起因する光ビームの変動を補正するための偏向データを出力する偏向データ出力手段と、
    前記光偏向素子の一方向への偏向駆動に伴って他方向に発生する偏向を打消すための補正データを記憶するルックアップテーブルで形成され前記補正データを出力する補正データ出力手段と、
    各偏向方向ごとに対応する前記偏向データと補正データとを加算する加算器と、
    この加算値に基づき前記光偏向素子を2次元に偏向駆動する駆動手段と、
    を備えることを特徴とする光ビーム走査装置の補正装置。
  2. 前記ルックアップテーブルは、光偏向素子による偏向を一定に固定して走査光学系で走査した時に得られる走査線の変動に基づいて求められた偏向データを記憶する請求項1の光ビーム走査装置の補正装置。
  3. 請求項1または2の光ビーム走査装置の補正装置を備えることを特徴とする円筒内面走査型画像記録装置。
  4. 光ビームを走査光学系によって感光体上で走査させる光ビーム走査装置において、
    光ビームを互いに直交する軸を中心にして揺動するミラーからなる2次元偏向素子と、
    前記走査光学系に起因する光ビームの変動を補正するための偏向データを出力する偏向データ出力手段と、
    前記偏向素子の一方向への偏向駆動に伴って他方向に発生する偏向を打消すための補正データを記憶するルックアップテーブルで形成され前記補正データを出力する補正データ出力手段と、
    各偏向方向ごとに対応する前記偏向データと補正データとを加算する加算器と、
    この加算値に基づき前記光偏向素子を2次元に偏向駆動する駆動手段と、
    を備えることを特徴とする光ビーム走査装置の補正装置。
  5. 請求項4の光ビーム走査装置の補正装置を備えることを特徴とする円筒内面走査型画像記録装置。
JP25398996A 1996-09-05 1996-09-05 光ビーム走査装置の補正装置および円筒内面走査型画像記録装置 Expired - Fee Related JP3685350B2 (ja)

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