JPH01227583A - Ｘ線イメージセンサー - Google Patents
Ｘ線イメージセンサーInfo
- Publication number
- JPH01227583A JPH01227583A JP63053199A JP5319988A JPH01227583A JP H01227583 A JPH01227583 A JP H01227583A JP 63053199 A JP63053199 A JP 63053199A JP 5319988 A JP5319988 A JP 5319988A JP H01227583 A JPH01227583 A JP H01227583A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fiber plate
- ray
- image sensor
- core
- coloring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、Ｘ線像を光像に変換する蛍光スクリーンを
ファイバープレートを介して固体撮像素子あるいは撮像
管等の撮像素子に光学的に結合させたＸ線イメージセン
サ−に関する。
ファイバープレートを介して固体撮像素子あるいは撮像
管等の撮像素子に光学的に結合させたＸ線イメージセン
サ−に関する。
この発明は、小型、長寿命、かつ低雑音のｘｗＡイメー
ジセンサ−を得ることを目的として、ファイバープレー
トのコアガラス材料に酸化セリウムを添加し、かつ高原
子番号元素を含有させたことによってＸ＆１１吸収係数
が大きく、かつ耐Ｘ線着色性に優杵たファイバープレー
トを用い、かつファイバープレートの光透過軸を少なく
ともファイバー径以上にたわませることにより、ファイ
バープレートを透過するＸ線量を減少させて、撮像素子
のＸ線損傷、雑音の増加を防ぐとともに、ファイバープ
レートの着色を防ぐことにより、小型、長寿命、低雑音
のＸ線イメージセンサ−を得るものである。
ジセンサ−を得ることを目的として、ファイバープレー
トのコアガラス材料に酸化セリウムを添加し、かつ高原
子番号元素を含有させたことによってＸ＆１１吸収係数
が大きく、かつ耐Ｘ線着色性に優杵たファイバープレー
トを用い、かつファイバープレートの光透過軸を少なく
ともファイバー径以上にたわませることにより、ファイ
バープレートを透過するＸ線量を減少させて、撮像素子
のＸ線損傷、雑音の増加を防ぐとともに、ファイバープ
レートの着色を防ぐことにより、小型、長寿命、低雑音
のＸ線イメージセンサ−を得るものである。
従来、この種の発明に関しては、固体撮像素子の入力面
にファイバープレートを接着し、さらにファイバープレ
ート上に蛍光膜をつけることが行われていた。
にファイバープレートを接着し、さらにファイバープレ
ート上に蛍光膜をつけることが行われていた。
上記従来技術においては、Ｘがファイバープレート内部
を一部吸収されながら透過するので、フアイバープレー
トがＸ線着色を起こし、蛍光膜で発生した光がファイバ
ープレート内で吸収されて検出感度が低下し、またファ
イバープレートを透過したＸ線は固体ｉ最像素子に入射
して、雑音の増大を招くという欠点があった。
を一部吸収されながら透過するので、フアイバープレー
トがＸ線着色を起こし、蛍光膜で発生した光がファイバ
ープレート内で吸収されて検出感度が低下し、またファ
イバープレートを透過したＸ線は固体ｉ最像素子に入射
して、雑音の増大を招くという欠点があった。
本発明は上記の欠点をなくすためになされたもので、本
発明によるＸ線イメージセンサ−は、Ｘ線を光に変換す
るための蛍光膜と、コア材料に酸化セリウムを添加した
、高原子番号元素含有量の大きいガラスを用いたファイ
バープレートと、撮像素子より構成されており、かつフ
ァイバープレートの光透過軸が、少な（ともファイバー
径以上のたわみをもっている。
発明によるＸ線イメージセンサ−は、Ｘ線を光に変換す
るための蛍光膜と、コア材料に酸化セリウムを添加した
、高原子番号元素含有量の大きいガラスを用いたファイ
バープレートと、撮像素子より構成されており、かつフ
ァイバープレートの光透過軸が、少な（ともファイバー
径以上のたわみをもっている。
上記構成の作用は先ず、蛍光膜がＸ線を光に変換し、フ
ァイバープレートが光像を撮像素子入力面に伝送し、撮
像素子が光像を電気信号に変換する。このときＸ線はそ
の透過能力が大きいので、蛍光膜を透過するが、ファイ
バープレートのコアは高原子番号元素含有量の大きいガ
ラスなので、Ｘ線はコアガラスに強く吸収される。
ァイバープレートが光像を撮像素子入力面に伝送し、撮
像素子が光像を電気信号に変換する。このときＸ線はそ
の透過能力が大きいので、蛍光膜を透過するが、ファイ
バープレートのコアは高原子番号元素含有量の大きいガ
ラスなので、Ｘ線はコアガラスに強く吸収される。
一方、ファイバープレートのクラッドはＸＳａを透過し
やすいが、ファイバープレートの光透過軸が少なくとも
ファイバー径以上にたわんでいるのでＸ線はクラッドの
みを透過することはできず、コアで強く吸収される。
やすいが、ファイバープレートの光透過軸が少なくとも
ファイバー径以上にたわんでいるのでＸ線はクラッドの
みを透過することはできず、コアで強く吸収される。
また、ファイバープレートのコアは酸化セリウムｔ−０
，２〜０．８重量％含んでいるので、コアのＸ線着色を
防止することができる。
，２〜０．８重量％含んでいるので、コアのＸ線着色を
防止することができる。
従って、ＸｖＡはほとんど撮像素子に入射せず、またフ
ァイバープレートのＸｖＡ着色を防止できるので、長寿
命、低雑音のＸ線イメージセンサ−を得ることができる
。
ァイバープレートのＸｖＡ着色を防止できるので、長寿
命、低雑音のＸ線イメージセンサ−を得ることができる
。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
１図において、（Ｚｎ、Ｃｄ）Ｓ：Ａｇ（７）蛍光膜１
がファイバープレート２のＸ線入射側に形成され、他面
に固体描像素子３が接着されている。
１図において、（Ｚｎ、Ｃｄ）Ｓ：Ａｇ（７）蛍光膜１
がファイバープレート２のＸ線入射側に形成され、他面
に固体描像素子３が接着されている。
蛍光膜１は電着法によって、厚さ１００μｍ程度に形成
されている。
されている。
ファイバープレート２の厚さは１０龍であり、１００ｋ
ａｖ以下のＸ線に対して使用できる。
ａｖ以下のＸ線に対して使用できる。
固体撮像素子３の入力面とファイバープレート２の接続
にはレンズ接着用の光学用接着剤を使用している。
にはレンズ接着用の光学用接着剤を使用している。
第２図は、本発明要部の蛍光膜ｌおよびファイバープレ
ートの拡大図で、ファイバープレート２のコア４の直径
は約１５μｍ、クラッド５の厚さは約３μｍである。
ートの拡大図で、ファイバープレート２のコア４の直径
は約１５μｍ、クラッド５の厚さは約３μｍである。
ファイバープレート２の光透過軸すなわちコア４の中心
線は１００μｍ程度たわんでいる。
線は１００μｍ程度たわんでいる。
コアガラスの組成を第１表に示す
第１表 コアガラスの組成
クラフトガラスの組成を第２表に示す。
第２表 クラフトガラスの組成
酸化セリウムの含有量を１．８重量％を越えて添加して
も、Ｘ線着色防止効果は上がらないことが報告されてい
る。（光学技術ハンドブック、 Ｐ５６６朝倉書店、
１９７５） 酸化鉛の含有量を太き（すると、Ｘ線吸収能力は太き（
なるが、Ｘ線着色が増大しファイバープレートの光透過
率が減少する。
も、Ｘ線着色防止効果は上がらないことが報告されてい
る。（光学技術ハンドブック、 Ｐ５６６朝倉書店、
１９７５） 酸化鉛の含有量を太き（すると、Ｘ線吸収能力は太き（
なるが、Ｘ線着色が増大しファイバープレートの光透過
率が減少する。
本組成の場合、１０” Ｒ（１００ｋｖ）まで使用可能
である。
である。
この発明は以上説明したように、Ｘ線像を可視光像に変
換する蛍光膜をイメージコンデイツトを介して固体撮像
素子に光学的に結合させたＸ線イメージセンサ−におい
て、放射線安定化ガラスをコアとして用い、かつ光透過
軸を湾曲させたイメージコンデイツトを用いたので、イ
メージコンデイツトのＸ線着色が防止でき、またＸ線が
固体撮像素子に入射しないので、小型、長寿命、低雑音
のＸ線イメージセンサ−を得ることができたちのである
。
換する蛍光膜をイメージコンデイツトを介して固体撮像
素子に光学的に結合させたＸ線イメージセンサ−におい
て、放射線安定化ガラスをコアとして用い、かつ光透過
軸を湾曲させたイメージコンデイツトを用いたので、イ
メージコンデイツトのＸ線着色が防止でき、またＸ線が
固体撮像素子に入射しないので、小型、長寿命、低雑音
のＸ線イメージセンサ−を得ることができたちのである
。
放射線遮蔽用ガラスが、酸化鉛、酸化バリウム、酸化ラ
ンタンのうち１種または２種以上を含むＸ線イメージセ
ンサ−０ 放射線遮蔽用ガラスが、酸化セリウムを０．８〜１．８
重量％を含むＸ！！イメージセンサ−０
ンタンのうち１種または２種以上を含むＸ線イメージセ
ンサ−０ 放射線遮蔽用ガラスが、酸化セリウムを０．８〜１．８
重量％を含むＸ！！イメージセンサ−０
第１図は本発明の一実施例を示すＸ線イメージセンサ−
の構成図、第２図は本発明の要部拡大図である。 １・・・蛍光膜 ２・・・ファイバープレート ３・・・固体撮像素子 ４・・・コア ５・・・クラッド 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 急２図
の構成図、第２図は本発明の要部拡大図である。 １・・・蛍光膜 ２・・・ファイバープレート ３・・・固体撮像素子 ４・・・コア ５・・・クラッド 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 急２図
Claims (1)
- Ｘ線を光に変換する蛍光膜と、コア材料に放射線遮蔽用
ガラスを用いたファイバープレートと、撮像素子とから
構成され、前記ファイバープレートの光透過軸が、少な
くともファイバー径以上のたわみをもつことを特徴とす
るＸ線イメージセンサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63053199A JPH01227583A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | Ｘ線イメージセンサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63053199A JPH01227583A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | Ｘ線イメージセンサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01227583A true JPH01227583A (ja) | 1989-09-11 |
Family
ID=12936203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63053199A Pending JPH01227583A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | Ｘ線イメージセンサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01227583A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5550380A (en) * | 1994-01-21 | 1996-08-27 | Hamamatsu Phontonics K.K. | Radiation image detecting apparatus including bundled optical fibers |
| JP2018072256A (ja) * | 2016-11-02 | 2018-05-10 | 株式会社日立製作所 | 放射線モニタ |
-
1988
- 1988-03-07 JP JP63053199A patent/JPH01227583A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5550380A (en) * | 1994-01-21 | 1996-08-27 | Hamamatsu Phontonics K.K. | Radiation image detecting apparatus including bundled optical fibers |
| JP2018072256A (ja) * | 2016-11-02 | 2018-05-10 | 株式会社日立製作所 | 放射線モニタ |
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