JPS63308592A - Ｘ線イメ−ジセンサ− - Google Patents
Ｘ線イメ−ジセンサ−Info
- Publication number
- JPS63308592A JPS63308592A JP62144912A JP14491287A JPS63308592A JP S63308592 A JPS63308592 A JP S63308592A JP 62144912 A JP62144912 A JP 62144912A JP 14491287 A JP14491287 A JP 14491287A JP S63308592 A JPS63308592 A JP S63308592A
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- JP
- Japan
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- image
- fluorescent film
- image sensor
- conduit
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、Ｘ線像を可視光像に変換する螢光スクリー
ンをイメージコンディツトを介して固体撮像素子に光学
的に結合させたＸ線イメージセンサ−０ 〔発明の概要〕 この発明は、小型、長寿命かつ低雑音のＸ線イメージセ
ンサ−を得ることを目的として、コアガラス材料に酸化
セリウムを０．２〜１．８重量パーセント添加したガラ
スを用いたイメージコンデイソ１〜を使用してＸ線着色
を防止し、またＸ線が固体撮像素子に入射しないように
イメージコンディツトの光透過軸を螢光膜の法線方向に
対し角度を持たせることにより固体撮像素子のＸ線損傷
、雑音の増加を防ぎ、小型、長寿命、低雑音のＸ線イメ
ージセンサ−を得たものである。
ンをイメージコンディツトを介して固体撮像素子に光学
的に結合させたＸ線イメージセンサ−０ 〔発明の概要〕 この発明は、小型、長寿命かつ低雑音のＸ線イメージセ
ンサ−を得ることを目的として、コアガラス材料に酸化
セリウムを０．２〜１．８重量パーセント添加したガラ
スを用いたイメージコンデイソ１〜を使用してＸ線着色
を防止し、またＸ線が固体撮像素子に入射しないように
イメージコンディツトの光透過軸を螢光膜の法線方向に
対し角度を持たせることにより固体撮像素子のＸ線損傷
、雑音の増加を防ぎ、小型、長寿命、低雑音のＸ線イメ
ージセンサ−を得たものである。
従来、この種の発明に関しては固体撮像素子の入力面に
ファイバープレートを接着し、さらにファイバープレー
１・上に螢光膜をつけることが提案されていた。
ファイバープレートを接着し、さらにファイバープレー
１・上に螢光膜をつけることが提案されていた。
上記従来技術においては、Ｘ線がファイバープレート内
部を一部吸収されながら透過するので、ファイバープレ
ー１・がＸ線着色を起こし、螢光膜で発生した光がファ
イバープレート内で吸収されて検出感度が低下し、また
ファイバープレートを透過したＸ線は固体撮像素子に入
射して雑音の増大を招くという欠点があった。
部を一部吸収されながら透過するので、ファイバープレ
ー１・がＸ線着色を起こし、螢光膜で発生した光がファ
イバープレート内で吸収されて検出感度が低下し、また
ファイバープレートを透過したＸ線は固体撮像素子に入
射して雑音の増大を招くという欠点があった。
本発明は上記の欠点をなくすためになされたもので、螢
光膜と固体撮像素子の間に、酸化セリウムを０．２〜１
．８重量パーセント添加したガラスをコア材料としたイ
メージコンディツトを結合し、前記イメージコンディツ
トの光透過軸を前記螢光膜に対し角度を持たせたもので
ある。
光膜と固体撮像素子の間に、酸化セリウムを０．２〜１
．８重量パーセント添加したガラスをコア材料としたイ
メージコンディツトを結合し、前記イメージコンディツ
トの光透過軸を前記螢光膜に対し角度を持たせたもので
ある。
［作用〕
上記構成の作用は先ず、螢光膜がＸ線を光に変換し、イ
メージコンデイソ）・が光像を固体撮像素子入力面に伝
送し、固体撮像素子が光像を電気信号に変換する。この
ときＸ線はその透過能力が大きいので螢光膜を通過する
が、イメージコンディツトの光透過軸は螢光膜に対し角
度をもっているため固体撮像素子にＸ線が入射すること
がなく、固体撮像素子のＸｖＡ損傷、雑音の増加を防止
する。
メージコンデイソ）・が光像を固体撮像素子入力面に伝
送し、固体撮像素子が光像を電気信号に変換する。この
ときＸ線はその透過能力が大きいので螢光膜を通過する
が、イメージコンディツトの光透過軸は螢光膜に対し角
度をもっているため固体撮像素子にＸ線が入射すること
がなく、固体撮像素子のＸｖＡ損傷、雑音の増加を防止
する。
また、酸化セリウムはＸ線着色を防止する作用があり、
Ｘ線検出感度の低下を防止する。
Ｘ線検出感度の低下を防止する。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。図
において、螢光膜１に対しイメージコンディツト２がそ
の光透過軸が角度を持つように取り付けられ、イメージ
コンディツトの他面には固体撮像素子３が接続されてい
る。
において、螢光膜１に対しイメージコンディツト２がそ
の光透過軸が角度を持つように取り付けられ、イメージ
コンディツトの他面には固体撮像素子３が接続されてい
る。
入射Ｘ線５は、コリメーク４を通って螢光膜を通過する
が、イメージコンディツトはその光透過軸が螢光膜に対
し傾けて取り付けられ固体撮像素子には入射しないよう
になっているので、固体撮像素子がＸ線損傷２雑音の増
加を起こすことがない。
が、イメージコンディツトはその光透過軸が螢光膜に対
し傾けて取り付けられ固体撮像素子には入射しないよう
になっているので、固体撮像素子がＸ線損傷２雑音の増
加を起こすことがない。
イメージコンデイソＩ・のコアガラスには、酸化セリウ
ムが０．２〜１．８重量パーセント含まれており、Ｘ線
着色を防止している。コアガラスの組成の一例を第１表
に、クラッドガラスの組成を第２表に示す。
ムが０．２〜１．８重量パーセント含まれており、Ｘ線
着色を防止している。コアガラスの組成の一例を第１表
に、クラッドガラスの組成を第２表に示す。
第１表 コアガラスの組成
第２表 クラッドガラスの組成
螢光膜１は、ＺｎＳ：Ａｇ等の粉末をバインダーととも
にイメージコンディツト２に付着させたもので、１００
μｍから４００μｍ捏度の厚さである。
にイメージコンディツト２に付着させたもので、１００
μｍから４００μｍ捏度の厚さである。
この発明は以上説明したように、Ｘ線像を可視光像に変
換する螢光膜をイメージコンディ・ノドを介して固体撮
像素子に光学的に結像させたＸ線イメージセンサ−にお
いて、コアガラス材料に酸化セリウムを０．２〜１．８
重量パーセント添加したガラスを用いたイメージコンデ
ィツトを使用してＸ線着色を防止し、またＸ線が固体撮
像素子に入射しないようにイメージコンディツトの光透
過軸を螢光面から１頃けることによって、固体撮像素子
のＸ線損傷、雑音の増加を防ぎ、小型、長寿命、低雑音
のＸ線イメージセンサ−を得たものである。
換する螢光膜をイメージコンディ・ノドを介して固体撮
像素子に光学的に結像させたＸ線イメージセンサ−にお
いて、コアガラス材料に酸化セリウムを０．２〜１．８
重量パーセント添加したガラスを用いたイメージコンデ
ィツトを使用してＸ線着色を防止し、またＸ線が固体撮
像素子に入射しないようにイメージコンディツトの光透
過軸を螢光面から１頃けることによって、固体撮像素子
のＸ線損傷、雑音の増加を防ぎ、小型、長寿命、低雑音
のＸ線イメージセンサ−を得たものである。
図は本発明の実施例を示す断面図である。
１・・・螢光膜
２・・・イメージコンディツト
３・・・固体撮像素子
４・・・コリメータ
５・ ・ｘＶＭ
６・・・光
以」ニ
Claims (1)
- Ｘ線を光に変換する螢光膜と、酸化セリウムを０．２〜
１．８重量パーセント添加したガラスをコア材料とした
イメージコンディットと、固体撮像素子から構成され、
前記イメージコンディットの光透過軸が前記螢光膜の法
線方向から傾いて取り付けられていることを特徴とする
Ｘ線イメージセンサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62144912A JPS63308592A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | Ｘ線イメ−ジセンサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62144912A JPS63308592A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | Ｘ線イメ−ジセンサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63308592A true JPS63308592A (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=15373158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62144912A Pending JPS63308592A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | Ｘ線イメ−ジセンサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63308592A (ja) |
-
1987
- 1987-06-10 JP JP62144912A patent/JPS63308592A/ja active Pending
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