JPS63311193A - X線イメ−ジセンサ− - Google Patents

X線イメ−ジセンサ−

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Publication number
JPS63311193A
JPS63311193A JP62148250A JP14825087A JPS63311193A JP S63311193 A JPS63311193 A JP S63311193A JP 62148250 A JP62148250 A JP 62148250A JP 14825087 A JP14825087 A JP 14825087A JP S63311193 A JPS63311193 A JP S63311193A
Authority
JP
Japan
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ray
fiber plate
glass
image sensor
solid
Prior art date
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Pending
Application number
JP62148250A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Suzuki
弘幸 鈴木
Koichi Tamura
浩一 田村
Tadashi Sato
正 佐藤
Kunio Nakajima
邦雄 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
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Priority to EP88305271A priority patent/EP0296737B1/en
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Priority to US07/206,517 priority patent/US4910405A/en
Publication of JPS63311193A publication Critical patent/JPS63311193A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01TMEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/16Measuring radiation intensity
    • G01T1/20Measuring radiation intensity with scintillation detectors
    • G01T1/2002Optical details, e.g. reflecting or diffusing layers

Landscapes

  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、X線像を可視7.像に変換する螢光スクリ
ーンをファイバープレートを介して固体撮像索子あるい
は電子管等の撮像索子に光学的に結合させたX線イメー
ジセンサ−に関する。
〔発明の概要〕    − この発明は、小型、長寿命、かつ低雑音のX線イメージ
センサ−を得ることを目的として、ファイバープレート
のコアガラス材料に酸化セリウムを添加し、かつ高原子
番号の元素を含有させたことによってX線吸収係数が大
きく、かつ耐X線着色性に優れたファイバープレートを
用い、かつファイバープレートの光学軸を螢光膜に対し
て角度を持たせることにより、ファイバープレートを透
過するX線量を減少させて、撮像索子のX線損傷。
雑音の増加を防ぐとともに、ファイバープレートの着色
を防くことにより、小型、長寿命、低雑音のX線イメー
ジセンサ−を得るものである。
〔従来の技術〕
従来、この種の発明に関しては固体撮像索子の入力面に
ファイバープレートを接着し、さらにファイバープレー
ト上に螢光膜をつけることが提案されていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来技術においては、X線がファイバープレート内
部を一部吸収されながら透過するので、ファイバープレ
ートがX線着色を起こし、螢光膜で発注した光がファイ
バープレート内で吸収されて検出感度が低下し、またフ
ァイバープレートを−透過したX線は固体撮像索子に入
射して、雑音の増大を招くという欠点があった。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は上記の欠点をなくすために開発されたもので、
本発明によるX線イメージセンサ−は、X線を光に変換
する螢光膜と、コア材料に酸化セリウムを添加した、高
原子番号元素の含有量の大きいガラスを用いたファイバ
ープレートと、撮像索子より構成されており、かつファ
イバープレートの光透過軸が螢光膜の法線方向からある
角度をとるように構成されている。
(作用〕 上記構成の作用は先ず、螢光膜がX線を光に変換し、フ
ァイバープレートが光像を固体撮像索子入力面に伝送し
、固体撮像索子が光像を電気信号に変換する。このとき
X線はその透過能力が大きいので、螢光膜を透過するが
、ファイバープレート内のコアは酸化セリウムが添加さ
れた高原子番号元素の含有量の大きいガラスを用いてい
るのでX線はコアガラスに強く吸収される。
酸化セリウムはX線着色を防止する作用があり、X線検
出感度の低下を防止する。また、セリウムを含めた高原
子番号元素はX線を強く吸収する作用がある。
一方、クラッドはX線を透過するが、ファイバープレー
トの光透過軸が螢光膜の法線方向からある角度を持って
いるので、クラッド部のみをX線が透過することはでき
ず、コア部で強く吸収される。
従ってX線はほとんど固体撮像索子に入射しないから、
雑音の増大、X vAtx傷を防止することができる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
1図において、硫化亜鉛等の螢光膜1がファイバープレ
ート2のX線入射側に形成され、他面に固体撮像索子3
が接着されている。
ファイバープレート2の光透過軸は螢光膜1の入力面の
法線から約35°傾いている。
ファイバープレート2の厚さは10〜20鶴程度で10
0kv以下のX線に対して使用できる。固体撮像索子3
とファイバープレート2をマツチングオイルを用いて光
学的に接続してもよい。
第2図は、第1図の円内の拡大図である。ファイバープ
レート2は光が通るコア4とクラッド5から構成されて
いる。コア径は約15ミクロン、クラッドの厚さは約3
ミクロン、螢光膜1の厚さは約100ミクロンである。
コアガラスの組成を、第1表に示す。
第1表 コアガラスの組成 タラソドガラスの組成を第2表に示す。
第2表 タラソトガラスの組成 酸化セリウムの含有量は、1.8wtχをこえて添加し
ても、X線着色防止効果は上がらないことが報告されて
いる。(光学技術ハンドブック、料量書店、 P566
、1975)ガラスの成分として酸化鉛の含有量を大き
くすると、X線吸収能力は太き(なるが、X線着色が増
大し、X線検出感度が低下する。
本組成の場合、10’ R/h(”Co)まで使用可能
である。放射線遮蔽用の構成成分としては、酸化鉛のほ
か、酸化バリウム、酸化ランタンなどがあり、これらの
うち1種あるいは2種以上含有させる。
タラソドガラスはコアガラスより屈折率が小さいことが
、光学ファイバーの原理から必要であるが、高原子番号
の元素、例えば鉛、バリウム等を含有させると屈曲率は
増大する。従ってタラノドガラスに大きいX線吸収能力
を持たせることは困難であり、ファイバープレートの光
透過軸方向にXvAが入射すると、クラッド中をX線が
透過して、固体撮像索子にXBが入射する。
本実施例では、X線がクラッドのみを通ることができな
いのは、クラッドの厚さが約3ミクロン。
角度35°、ファイバープレート厚さ10〜20tmで
あることから明らかである。
〔発明の効果〕
この発明は以上説明したように、X線像を可視光像に変
換する螢光スクリーンをファイバープレートを介して電
子管あるいは固体撮像索子等の撮像索子に光学的に結合
させたX線イメージセンサ−において、前記ファイバー
プレートのコア材料にX線等の放射線を遮蔽する放射線
遮蔽用ガラスを用いて着色を防ぐことにより、長寿命、
高感度であり、さらにファイバープレートの光透過軸が
前記螢光膜の法線方向から傾けて取り付けられることに
より、固体撮像索子のX線損傷、雑音の増加を防止して
、小型、長寿命、低雑音のX線イメージセンサ−の提供
を可能としたものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す断面図、第2図は第1図
の円内の拡大断面図である。 1・・・螢光膜 2・・・ファイバープレート 3・・・固体撮像索子 4・・・コア 5・・・クラッド 6・・・X線 7・・・光 以上

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)X線を光に変換する螢光膜と、コア材料に放射線
    遮蔽用ガラスを用いたファイバープレートと、撮像索子
    とから構成され、前記ファイバープレートの光透過軸が
    前記螢光膜の法線方向から傾いて取り付けられているこ
    とを特徴とするX線イメージセンサー。
  2. (2)前記放射遮蔽用ガラスが、酸化セリウムを0.2
    〜1.8重量%を含むことを特徴とする特許請求の範囲
    第1項記載のX線イメージセンサー。
  3. (3)前記放射遮蔽用ガラスが、酸化鉛、酸化バリウム
    、酸化ランタンのうち1種または2種以上を含むことを
    特徴とする特許請求の範囲第2項記載のX線イメージセ
    ンサー。
JP62148250A 1987-06-15 1987-06-15 X線イメ−ジセンサ− Pending JPS63311193A (ja)

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EP88305271A EP0296737B1 (en) 1987-06-15 1988-06-09 X-ray radiation sensor
DE8888305271T DE3866966D1 (de) 1987-06-15 1988-06-09 Roentgenstrahlungs-detektor.
US07/206,517 US4910405A (en) 1987-06-15 1988-06-14 X-ray image sensor

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