JPS63311193A - Ｘ線イメ−ジセンサ− - Google Patents
Ｘ線イメ−ジセンサ−Info
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- JPS63311193A JPS63311193A JP62148250A JP14825087A JPS63311193A JP S63311193 A JPS63311193 A JP S63311193A JP 62148250 A JP62148250 A JP 62148250A JP 14825087 A JP14825087 A JP 14825087A JP S63311193 A JPS63311193 A JP S63311193A
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- image sensor
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
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- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、Ｘ線像を可視７．像に変換する螢光スクリ
ーンをファイバープレートを介して固体撮像索子あるい
は電子管等の撮像索子に光学的に結合させたＸ線イメー
ジセンサ−に関する。
ーンをファイバープレートを介して固体撮像索子あるい
は電子管等の撮像索子に光学的に結合させたＸ線イメー
ジセンサ−に関する。
〔発明の概要〕 −
この発明は、小型、長寿命、かつ低雑音のＸ線イメージ
センサ−を得ることを目的として、ファイバープレート
のコアガラス材料に酸化セリウムを添加し、かつ高原子
番号の元素を含有させたことによってＸ線吸収係数が大
きく、かつ耐Ｘ線着色性に優れたファイバープレートを
用い、かつファイバープレートの光学軸を螢光膜に対し
て角度を持たせることにより、ファイバープレートを透
過するＸ線量を減少させて、撮像索子のＸ線損傷。
センサ−を得ることを目的として、ファイバープレート
のコアガラス材料に酸化セリウムを添加し、かつ高原子
番号の元素を含有させたことによってＸ線吸収係数が大
きく、かつ耐Ｘ線着色性に優れたファイバープレートを
用い、かつファイバープレートの光学軸を螢光膜に対し
て角度を持たせることにより、ファイバープレートを透
過するＸ線量を減少させて、撮像索子のＸ線損傷。
雑音の増加を防ぐとともに、ファイバープレートの着色
を防くことにより、小型、長寿命、低雑音のＸ線イメー
ジセンサ−を得るものである。
を防くことにより、小型、長寿命、低雑音のＸ線イメー
ジセンサ−を得るものである。
従来、この種の発明に関しては固体撮像索子の入力面に
ファイバープレートを接着し、さらにファイバープレー
ト上に螢光膜をつけることが提案されていた。
ファイバープレートを接着し、さらにファイバープレー
ト上に螢光膜をつけることが提案されていた。
上記従来技術においては、Ｘ線がファイバープレート内
部を一部吸収されながら透過するので、ファイバープレ
ートがＸ線着色を起こし、螢光膜で発注した光がファイ
バープレート内で吸収されて検出感度が低下し、またフ
ァイバープレートを−透過したＸ線は固体撮像索子に入
射して、雑音の増大を招くという欠点があった。
部を一部吸収されながら透過するので、ファイバープレ
ートがＸ線着色を起こし、螢光膜で発注した光がファイ
バープレート内で吸収されて検出感度が低下し、またフ
ァイバープレートを−透過したＸ線は固体撮像索子に入
射して、雑音の増大を招くという欠点があった。
本発明は上記の欠点をなくすために開発されたもので、
本発明によるＸ線イメージセンサ−は、Ｘ線を光に変換
する螢光膜と、コア材料に酸化セリウムを添加した、高
原子番号元素の含有量の大きいガラスを用いたファイバ
ープレートと、撮像索子より構成されており、かつファ
イバープレートの光透過軸が螢光膜の法線方向からある
角度をとるように構成されている。
本発明によるＸ線イメージセンサ−は、Ｘ線を光に変換
する螢光膜と、コア材料に酸化セリウムを添加した、高
原子番号元素の含有量の大きいガラスを用いたファイバ
ープレートと、撮像索子より構成されており、かつファ
イバープレートの光透過軸が螢光膜の法線方向からある
角度をとるように構成されている。
（作用〕
上記構成の作用は先ず、螢光膜がＸ線を光に変換し、フ
ァイバープレートが光像を固体撮像索子入力面に伝送し
、固体撮像索子が光像を電気信号に変換する。このとき
Ｘ線はその透過能力が大きいので、螢光膜を透過するが
、ファイバープレート内のコアは酸化セリウムが添加さ
れた高原子番号元素の含有量の大きいガラスを用いてい
るのでＸ線はコアガラスに強く吸収される。
ァイバープレートが光像を固体撮像索子入力面に伝送し
、固体撮像索子が光像を電気信号に変換する。このとき
Ｘ線はその透過能力が大きいので、螢光膜を透過するが
、ファイバープレート内のコアは酸化セリウムが添加さ
れた高原子番号元素の含有量の大きいガラスを用いてい
るのでＸ線はコアガラスに強く吸収される。
酸化セリウムはＸ線着色を防止する作用があり、Ｘ線検
出感度の低下を防止する。また、セリウムを含めた高原
子番号元素はＸ線を強く吸収する作用がある。
出感度の低下を防止する。また、セリウムを含めた高原
子番号元素はＸ線を強く吸収する作用がある。
一方、クラッドはＸ線を透過するが、ファイバープレー
トの光透過軸が螢光膜の法線方向からある角度を持って
いるので、クラッド部のみをＸ線が透過することはでき
ず、コア部で強く吸収される。
トの光透過軸が螢光膜の法線方向からある角度を持って
いるので、クラッド部のみをＸ線が透過することはでき
ず、コア部で強く吸収される。
従ってＸ線はほとんど固体撮像索子に入射しないから、
雑音の増大、Ｘ ｖＡｔｘ傷を防止することができる。
雑音の増大、Ｘ ｖＡｔｘ傷を防止することができる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
１図において、硫化亜鉛等の螢光膜１がファイバープレ
ート２のＸ線入射側に形成され、他面に固体撮像索子３
が接着されている。
１図において、硫化亜鉛等の螢光膜１がファイバープレ
ート２のＸ線入射側に形成され、他面に固体撮像索子３
が接着されている。
ファイバープレート２の光透過軸は螢光膜１の入力面の
法線から約３５°傾いている。
法線から約３５°傾いている。
ファイバープレート２の厚さは１０〜２０鶴程度で１０
０ｋｖ以下のＸ線に対して使用できる。固体撮像索子３
とファイバープレート２をマツチングオイルを用いて光
学的に接続してもよい。
０ｋｖ以下のＸ線に対して使用できる。固体撮像索子３
とファイバープレート２をマツチングオイルを用いて光
学的に接続してもよい。
第２図は、第１図の円内の拡大図である。ファイバープ
レート２は光が通るコア４とクラッド５から構成されて
いる。コア径は約１５ミクロン、クラッドの厚さは約３
ミクロン、螢光膜１の厚さは約１００ミクロンである。
レート２は光が通るコア４とクラッド５から構成されて
いる。コア径は約１５ミクロン、クラッドの厚さは約３
ミクロン、螢光膜１の厚さは約１００ミクロンである。
コアガラスの組成を、第１表に示す。
第１表 コアガラスの組成
タラソドガラスの組成を第２表に示す。
第２表 タラソトガラスの組成
酸化セリウムの含有量は、１．８ｗｔχをこえて添加し
ても、Ｘ線着色防止効果は上がらないことが報告されて
いる。（光学技術ハンドブック、料量書店、 Ｐ５６６
、１９７５）ガラスの成分として酸化鉛の含有量を大き
くすると、Ｘ線吸収能力は太き（なるが、Ｘ線着色が増
大し、Ｘ線検出感度が低下する。
ても、Ｘ線着色防止効果は上がらないことが報告されて
いる。（光学技術ハンドブック、料量書店、 Ｐ５６６
、１９７５）ガラスの成分として酸化鉛の含有量を大き
くすると、Ｘ線吸収能力は太き（なるが、Ｘ線着色が増
大し、Ｘ線検出感度が低下する。
本組成の場合、１０’ Ｒ／ｈ（”Ｃｏ）まで使用可能
である。放射線遮蔽用の構成成分としては、酸化鉛のほ
か、酸化バリウム、酸化ランタンなどがあり、これらの
うち１種あるいは２種以上含有させる。
である。放射線遮蔽用の構成成分としては、酸化鉛のほ
か、酸化バリウム、酸化ランタンなどがあり、これらの
うち１種あるいは２種以上含有させる。
タラソドガラスはコアガラスより屈折率が小さいことが
、光学ファイバーの原理から必要であるが、高原子番号
の元素、例えば鉛、バリウム等を含有させると屈曲率は
増大する。従ってタラノドガラスに大きいＸ線吸収能力
を持たせることは困難であり、ファイバープレートの光
透過軸方向にＸｖＡが入射すると、クラッド中をＸ線が
透過して、固体撮像索子にＸＢが入射する。
、光学ファイバーの原理から必要であるが、高原子番号
の元素、例えば鉛、バリウム等を含有させると屈曲率は
増大する。従ってタラノドガラスに大きいＸ線吸収能力
を持たせることは困難であり、ファイバープレートの光
透過軸方向にＸｖＡが入射すると、クラッド中をＸ線が
透過して、固体撮像索子にＸＢが入射する。
本実施例では、Ｘ線がクラッドのみを通ることができな
いのは、クラッドの厚さが約３ミクロン。
いのは、クラッドの厚さが約３ミクロン。
角度３５°、ファイバープレート厚さ１０〜２０ｔｍで
あることから明らかである。
あることから明らかである。
この発明は以上説明したように、Ｘ線像を可視光像に変
換する螢光スクリーンをファイバープレートを介して電
子管あるいは固体撮像索子等の撮像索子に光学的に結合
させたＸ線イメージセンサ−において、前記ファイバー
プレートのコア材料にＸ線等の放射線を遮蔽する放射線
遮蔽用ガラスを用いて着色を防ぐことにより、長寿命、
高感度であり、さらにファイバープレートの光透過軸が
前記螢光膜の法線方向から傾けて取り付けられることに
より、固体撮像索子のＸ線損傷、雑音の増加を防止して
、小型、長寿命、低雑音のＸ線イメージセンサ−の提供
を可能としたものである。
換する螢光スクリーンをファイバープレートを介して電
子管あるいは固体撮像索子等の撮像索子に光学的に結合
させたＸ線イメージセンサ−において、前記ファイバー
プレートのコア材料にＸ線等の放射線を遮蔽する放射線
遮蔽用ガラスを用いて着色を防ぐことにより、長寿命、
高感度であり、さらにファイバープレートの光透過軸が
前記螢光膜の法線方向から傾けて取り付けられることに
より、固体撮像索子のＸ線損傷、雑音の増加を防止して
、小型、長寿命、低雑音のＸ線イメージセンサ−の提供
を可能としたものである。
第１図は本発明の実施例を示す断面図、第２図は第１図
の円内の拡大断面図である。 １・・・螢光膜 ２・・・ファイバープレート ３・・・固体撮像索子 ４・・・コア ５・・・クラッド ６・・・Ｘ線 ７・・・光 以上
の円内の拡大断面図である。 １・・・螢光膜 ２・・・ファイバープレート ３・・・固体撮像索子 ４・・・コア ５・・・クラッド ６・・・Ｘ線 ７・・・光 以上
Claims (3)
- （１）Ｘ線を光に変換する螢光膜と、コア材料に放射線
遮蔽用ガラスを用いたファイバープレートと、撮像索子
とから構成され、前記ファイバープレートの光透過軸が
前記螢光膜の法線方向から傾いて取り付けられているこ
とを特徴とするＸ線イメージセンサー。 - （２）前記放射遮蔽用ガラスが、酸化セリウムを０．２
〜１．８重量％を含むことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のＸ線イメージセンサー。 - （３）前記放射遮蔽用ガラスが、酸化鉛、酸化バリウム
、酸化ランタンのうち１種または２種以上を含むことを
特徴とする特許請求の範囲第２項記載のＸ線イメージセ
ンサー。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62148250A JPS63311193A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | Ｘ線イメ−ジセンサ− |
| EP88305271A EP0296737B1 (en) | 1987-06-15 | 1988-06-09 | X-ray radiation sensor |
| DE8888305271T DE3866966D1 (de) | 1987-06-15 | 1988-06-09 | Roentgenstrahlungs-detektor. |
| US07/206,517 US4910405A (en) | 1987-06-15 | 1988-06-14 | X-ray image sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62148250A JPS63311193A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | Ｘ線イメ−ジセンサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63311193A true JPS63311193A (ja) | 1988-12-19 |
Family
ID=15448587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62148250A Pending JPS63311193A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | Ｘ線イメ−ジセンサ− |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4910405A (ja) |
| EP (1) | EP0296737B1 (ja) |
| JP (1) | JPS63311193A (ja) |
| DE (1) | DE3866966D1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JPH07198852A (ja) * | 1993-11-19 | 1995-08-01 | Minnesota Mining & Mfg Co <3M> | 放射線検出器 |
| US5550380A (en) * | 1994-01-21 | 1996-08-27 | Hamamatsu Phontonics K.K. | Radiation image detecting apparatus including bundled optical fibers |
| WO2000065375A1 (fr) * | 1999-04-22 | 2000-11-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | Element optique, capteur d'image radiologique et procede de production d'element optique |
| US6765553B1 (en) | 1998-04-22 | 2004-07-20 | Nec Corporation | Handy communication terminal and method of scrolling display screen of the same |
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| US5563414A (en) * | 1994-11-03 | 1996-10-08 | Siemens Aktiengesellschaft | X-ray image sensor |
| US5554850A (en) | 1994-11-04 | 1996-09-10 | Eastman Kodak Company | X-ray scintillating plate utilizing angled fiber optic rods |
| US5715292A (en) * | 1994-11-25 | 1998-02-03 | Loral Fairchild Corporation | Digital sensor cassette for mammography |
| DE19513288C1 (de) * | 1995-04-07 | 1996-05-15 | Siemens Ag | Röntgenbildaufnahmevorrichtung |
| US6005911A (en) * | 1995-11-17 | 1999-12-21 | Trex Medical Corporation | Large area array, single exposure digital mammography |
| US6853707B2 (en) * | 2002-09-05 | 2005-02-08 | Agilent Technologies, Inc. | Shielded x-ray detector |
| EP1691218B1 (en) * | 2005-02-14 | 2015-10-14 | Agfa HealthCare N.V. | Method of associating meta-data relating to a radiation image of an object with the radiation image |
| US7626176B2 (en) * | 2005-03-16 | 2009-12-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | X-ray detector with in-pixel processing circuits |
| WO2007011214A1 (en) * | 2005-07-19 | 2007-01-25 | Milabs B.V. | Radiation detection apparatus |
| US8013977B2 (en) * | 2006-07-17 | 2011-09-06 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, radiation sensor and method of manufacturing a radiation sensor |
| DE102018133601A1 (de) | 2018-12-27 | 2020-07-02 | Intom GmbH | Röntgendetektorvorrichtung, glaskörper zur abschirmung optischer detektormittel einer werkstückvermessungsvorrichtung sowie röntgentomographisches werkstückvermessungssystem |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1439096A1 (de) * | 1961-08-05 | 1968-10-17 | Siemens Ag | Elektronenoptischer Roentgenbildwandler |
| US4415810A (en) * | 1979-07-05 | 1983-11-15 | Brown Sr Robert L | Device for imaging penetrating radiation |
| DE3325035A1 (de) * | 1983-07-11 | 1985-01-24 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Roentgenleuchtschirm |
| US4649276A (en) * | 1985-03-13 | 1987-03-10 | Capintec, Inc. | High-energy radiation detector and method of detection |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP62148250A patent/JPS63311193A/ja active Pending
-
1988
- 1988-06-09 DE DE8888305271T patent/DE3866966D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-06-09 EP EP88305271A patent/EP0296737B1/en not_active Expired
- 1988-06-14 US US07/206,517 patent/US4910405A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5550380A (en) * | 1994-01-21 | 1996-08-27 | Hamamatsu Phontonics K.K. | Radiation image detecting apparatus including bundled optical fibers |
| US6765553B1 (en) | 1998-04-22 | 2004-07-20 | Nec Corporation | Handy communication terminal and method of scrolling display screen of the same |
| WO2000065375A1 (fr) * | 1999-04-22 | 2000-11-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | Element optique, capteur d'image radiologique et procede de production d'element optique |
| US6635877B2 (en) | 1999-04-22 | 2003-10-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Scintillator panel, radiation image sensor, and method of making scintillator panel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0296737A1 (en) | 1988-12-28 |
| DE3866966D1 (de) | 1992-01-30 |
| EP0296737B1 (en) | 1991-12-18 |
| US4910405A (en) | 1990-03-20 |
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