JPS63314492A - Ｘ線イメ−ジセンサ− - Google Patents
Ｘ線イメ−ジセンサ−Info
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- JPS63314492A JPS63314492A JP62152028A JP15202887A JPS63314492A JP S63314492 A JPS63314492 A JP S63314492A JP 62152028 A JP62152028 A JP 62152028A JP 15202887 A JP15202887 A JP 15202887A JP S63314492 A JPS63314492 A JP S63314492A
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- Japan
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- solid
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- fluorescent film
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- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 238000004040 coloring Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002655 kraft paper Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/102—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing lead
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
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- Light Receiving Elements (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野ン
この発明はＸ線像を可視光像に変換する蛍光膜をファイ
バープレートを介して固体撮像素子に光学的に結合させ
たＸ線イメージセンサ−に関する。
バープレートを介して固体撮像素子に光学的に結合させ
たＸ線イメージセンサ−に関する。
この発明は、小型、長寿命かつ低雑音のＸ線イメージセ
ンサ−を得ることを目的として、コアガラス材料に酸化
セリウムを０．２〜１．８重量パーセント添加したガラ
スを用いたイメージコンディツトを使用してＸ線着色を
防止し、またＸ線が固体撮像素子に入射しないようにイ
メージコンディツトを曲げることによって、固体撮像素
子のＸ線損傷５雑音の増加を防ぎ、小型、長寿命、低雑
音のＸ線イメージセンサ−を得たものである。
ンサ−を得ることを目的として、コアガラス材料に酸化
セリウムを０．２〜１．８重量パーセント添加したガラ
スを用いたイメージコンディツトを使用してＸ線着色を
防止し、またＸ線が固体撮像素子に入射しないようにイ
メージコンディツトを曲げることによって、固体撮像素
子のＸ線損傷５雑音の増加を防ぎ、小型、長寿命、低雑
音のＸ線イメージセンサ−を得たものである。
従来、この種の発明に関しては固体撮像素子の人力面に
ファイバープレートを接着し、さらにファイバープレー
ト上に蛍光膜をつけることが提案されていた。
ファイバープレートを接着し、さらにファイバープレー
ト上に蛍光膜をつけることが提案されていた。
上記従来技術においては、Ｘ線がファイバープレート内
部を一部吸収されながら透過するので、ファイバープレ
ートがＸ線着色をおこし、蛍光膜で発生した光がファイ
バープレート内で吸収されて、検出感度が低下し、また
ファイバープレートを透過したＸ線は固体撮像素子に入
射して雑音の増大を招くという欠点があった。
部を一部吸収されながら透過するので、ファイバープレ
ートがＸ線着色をおこし、蛍光膜で発生した光がファイ
バープレート内で吸収されて、検出感度が低下し、また
ファイバープレートを透過したＸ線は固体撮像素子に入
射して雑音の増大を招くという欠点があった。
本発明は上記の欠点をなくすために開発されたもので、
蛍光膜と固体撮像素子の間に、酸化セリウムを０．２〜
１．８重量パーセント添加したガラスをコア材料とした
イメージコンディツトを結合し、前記イメージコンディ
ツトを曲げたものである。
蛍光膜と固体撮像素子の間に、酸化セリウムを０．２〜
１．８重量パーセント添加したガラスをコア材料とした
イメージコンディツトを結合し、前記イメージコンディ
ツトを曲げたものである。
上記構成の作用は先ず、蛍光膜がＸ＆５１を光に変換し
、イメージコンディツトが光像を固体撮像素子入力面に
伝送し、固体撮像素子が光像を電気信号に変換する。こ
の時、Ｘ線はその透過能力が大きいので、蛍光膜を透過
するが、イメージコンディツトは曲げられているため、
固体撮像素子にＸ線が入射することがなく、固体撮像素
子のＸ線損傷、雑音の増加を防止する。
、イメージコンディツトが光像を固体撮像素子入力面に
伝送し、固体撮像素子が光像を電気信号に変換する。こ
の時、Ｘ線はその透過能力が大きいので、蛍光膜を透過
するが、イメージコンディツトは曲げられているため、
固体撮像素子にＸ線が入射することがなく、固体撮像素
子のＸ線損傷、雑音の増加を防止する。
又、酸化セリウムはＸ線着色を防止する作用があり、Ｘ
線検出感度の低下を防止する。
線検出感度の低下を防止する。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。図
において、固体撮像素子ｌの入力面に、曲がったイメー
ジコンディツト２が接続され、イメージコンディツトの
他面には蛍光膜３が形成されている。
において、固体撮像素子ｌの入力面に、曲がったイメー
ジコンディツト２が接続され、イメージコンディツトの
他面には蛍光膜３が形成されている。
入射Ｘ線４が固体を最像素子１には入射しないように、
イメージコンディツト２が曲げられている。
イメージコンディツト２が曲げられている。
従って、固体撮像素子ｌがＸ線損傷、雑音の増加をおこ
すことがない。
すことがない。
イメージコンディツト２のコアガラスには、酸化セリウ
ムが０．２〜１．８重量パーセントが含まれており、Ｘ
線着色を防止している。コアガラスの組成の一例を表１
に、クラフトガラスの組成を表２に示す。
ムが０．２〜１．８重量パーセントが含まれており、Ｘ
線着色を防止している。コアガラスの組成の一例を表１
に、クラフトガラスの組成を表２に示す。
第１表 コアガラスの組成
第２表 クラフトガラスの組成
蛍光膜３はＺｎＳ ： Ａｇ等の粉末をバインダーとと
もにイメージコンディツト２に付着させたもので、１０
０ ミクロンから４００ ミクロン程度の厚さである。
もにイメージコンディツト２に付着させたもので、１０
０ ミクロンから４００ ミクロン程度の厚さである。
この発明は以上説明したように、Ｘ線像を可視光像に変
換する蛍光膜をイメージコンディツトを介して固体撮像
素子に光学的に結合させたＸ線イメージセンサ−におい
て、コアガラス材料に酸化セリウムを０．２〜１．８重
量パーセント添加したガラスを用いたイメージコンディ
ツトを使用してＸ線着色を防止し、またＸ線が固体撮像
素子に入射しないようにイメージコンディツトを曲げる
ことによって、固体撮像素子のＸ線損傷、雑音の増加を
防ぎ、小型・長寿命・低雑音のＸ線イメージセンサ−を
得ることを可能にしたものである。
換する蛍光膜をイメージコンディツトを介して固体撮像
素子に光学的に結合させたＸ線イメージセンサ−におい
て、コアガラス材料に酸化セリウムを０．２〜１．８重
量パーセント添加したガラスを用いたイメージコンディ
ツトを使用してＸ線着色を防止し、またＸ線が固体撮像
素子に入射しないようにイメージコンディツトを曲げる
ことによって、固体撮像素子のＸ線損傷、雑音の増加を
防ぎ、小型・長寿命・低雑音のＸ線イメージセンサ−を
得ることを可能にしたものである。
図は本発明の実施例を示す断面図である。
ｌ・・・固体撮像素子
２・・・イメージコンディツト
３・・・蛍光膜
４・・・Ｘ線
Claims (1)
- 蛍光膜と固体撮像素子の間に、酸化セリウムを０．２〜
１．８重量パーセント添加したガラスをコア材料とした
イメージコンディットを結合し、前記イメージコンディ
ットを曲げたことを特徴とするＸ線イメージセンサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62152028A JPS63314492A (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | Ｘ線イメ−ジセンサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62152028A JPS63314492A (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | Ｘ線イメ−ジセンサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63314492A true JPS63314492A (ja) | 1988-12-22 |
Family
ID=15531481
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62152028A Pending JPS63314492A (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | Ｘ線イメ−ジセンサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63314492A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009054087A1 (ja) * | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Ishida Co., Ltd. | 検査装置 |
| JP2017193464A (ja) * | 2016-04-20 | 2017-10-26 | 株式会社オハラ | 光学ガラス |
-
1987
- 1987-06-18 JP JP62152028A patent/JPS63314492A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009054087A1 (ja) * | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Ishida Co., Ltd. | 検査装置 |
| JP2017193464A (ja) * | 2016-04-20 | 2017-10-26 | 株式会社オハラ | 光学ガラス |
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