JPH01216232A - 微粒子サイズ光学測定装置 - Google Patents
微粒子サイズ光学測定装置Info
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 94
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 25
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
-
- G—PHYSICS
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- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1434—Optical arrangements
-
- G—PHYSICS
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- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
- G01N2015/0238—Single particle scatter
-
- G—PHYSICS
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- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
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- G01N2021/4707—Forward scatter; Low angle scatter
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、流体ストリーム（流れ）中の微粒子のサイ
ズを測定するための装置、詳しくは、流体ストリームを
通過しているライトビームに及ぼす微粒子の影響を検出
することにより、広範囲の微粒子サイズを測定する装置
に関する。
ズを測定するための装置、詳しくは、流体ストリームを
通過しているライトビームに及ぼす微粒子の影響を検出
することにより、広範囲の微粒子サイズを測定する装置
に関する。
（従来の技術）
流体ストリーム中の微粒子のサイズを測定する装置とし
て、レーザービームを使用したものが知られている。
て、レーザービームを使用したものが知られている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、このような従来の装置にあっては、微粒
子サイズの測定範囲が比較的狭い範囲に限定されている
という問題がある。例えば、本発明の譲受人によって市
販されている装置は、微粒子サイズの測定範囲が０．５
〜２５ミクロンに限定されている。
子サイズの測定範囲が比較的狭い範囲に限定されている
という問題がある。例えば、本発明の譲受人によって市
販されている装置は、微粒子サイズの測定範囲が０．５
〜２５ミクロンに限定されている。
（発明の目的）
そこで本発明は、微粒子サイズの測定範囲を３００ミク
ロンまで拡大することにより、広範囲の微粒子サイズに
亘って流体ストリーム中の微粒子を測定できる装置を提
供することを目的とする。
ロンまで拡大することにより、広範囲の微粒子サイズに
亘って流体ストリーム中の微粒子を測定できる装置を提
供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明による流体中の広範囲の微粒子のサイズを測定す
るための装置は上記目的達成のため、微粒子を含んだ流
体サンプルストリームを画する手段と、ライトビームを
前記サンプルストリームに向ける手段と、前記ビームを
通過する各微粒子に対応してパルスを発生するために前
記ビームを通過する前記サンプルストリームの微粒子に
対応して前記ビームから散乱したライトを検出する光検
出手段と、前記光検出手段により産出された各パルスの
振幅及び前記光検出手段により産出された各パルスの幅
を測定する測定手段と、を備え、光検出手段により産出
されるパルスの振幅により第１範囲における微粒子のサ
イズを測定し、光検出手段により産出されるパルスの幅
により前記第１範囲より大きな第２範囲における微粒子
のサイズを測定することを特徴とする流体中の広範囲の
微粒子のサイズを測定することを特徴とする。
るための装置は上記目的達成のため、微粒子を含んだ流
体サンプルストリームを画する手段と、ライトビームを
前記サンプルストリームに向ける手段と、前記ビームを
通過する各微粒子に対応してパルスを発生するために前
記ビームを通過する前記サンプルストリームの微粒子に
対応して前記ビームから散乱したライトを検出する光検
出手段と、前記光検出手段により産出された各パルスの
振幅及び前記光検出手段により産出された各パルスの幅
を測定する測定手段と、を備え、光検出手段により産出
されるパルスの振幅により第１範囲における微粒子のサ
イズを測定し、光検出手段により産出されるパルスの幅
により前記第１範囲より大きな第２範囲における微粒子
のサイズを測定することを特徴とする流体中の広範囲の
微粒子のサイズを測定することを特徴とする。
（作用）
本発明の装置においては、ライトビームは、フラットシ
ートの形状にされ流体ストリームを通過する。第１光検
出器がライトビームを直接検出するように配置され、第
２光検出器はライトビームが流体ストリームを通過する
時にレーザービームから散乱したライトを検出するよう
に配置されている。微粒子がレーザービームを通過する
ごとに、微粒子はレーザービームを部分的に遮光し、こ
れにより光検出器がパルスを発生する。また、各微粒子
は、第２光検出器により検出される散乱ライトを変化さ
せ、第１光検出器にパルスを発生させる。１０〜５０ミ
クロンの範囲内の微粒子については、第１光検出器がそ
の範囲内の微粒子サイズに正確に対応した振幅を有する
パルスを発生する。０．５〜１０ミクロンの範囲内の微
粒子に関しては、第２光検出器がその範囲内の微粒子サ
イズに正確に対応した振幅を有するパルスを発生する。
ートの形状にされ流体ストリームを通過する。第１光検
出器がライトビームを直接検出するように配置され、第
２光検出器はライトビームが流体ストリームを通過する
時にレーザービームから散乱したライトを検出するよう
に配置されている。微粒子がレーザービームを通過する
ごとに、微粒子はレーザービームを部分的に遮光し、こ
れにより光検出器がパルスを発生する。また、各微粒子
は、第２光検出器により検出される散乱ライトを変化さ
せ、第１光検出器にパルスを発生させる。１０〜５０ミ
クロンの範囲内の微粒子については、第１光検出器がそ
の範囲内の微粒子サイズに正確に対応した振幅を有する
パルスを発生する。０．５〜１０ミクロンの範囲内の微
粒子に関しては、第２光検出器がその範囲内の微粒子サ
イズに正確に対応した振幅を有するパルスを発生する。
５０〜３００ミクロンの範囲内の微粒子に関しては、第
２光検出器がその範囲内の微粒子サイズに正確に対応し
たパルス幅を有するパルスを発生する。
２光検出器がその範囲内の微粒子サイズに正確に対応し
たパルス幅を有するパルスを発生する。
本発明に従って、第１光検出器及び第２光検出器からの
各パルスの振幅がデジタル値に変換されてマイクロプロ
センサーに送られ、また、第２光検出器からのパルス幅
もデジタル値に変換されてマイクロプロセンサーに送ら
れる。微粒子サイズが１０〜５０ミクロンの範囲内であ
れば、マイクロプロセッサ−は、第１光検出器により産
出されたパルスの振幅に対応したデジタル値をその範囲
内の微粒子サイズ°を示すものとして用いる。微粒子サ
イズが０．５〜１０ミクロンの範囲内であれば、マイク
ロプロセッサ−は、第２光検出器により産出されたパル
スの振幅に対応するデジタル値をその範囲内の微粒子サ
イズを示すものとして用いる。微粒子のサイズが５０〜
３００ ミクロンの範囲内であれば、マイクロプロセン
サーは、第２光検出器に産出されたパルス幅に対応する
デジタル値をその範囲内の微粒子サイズを示すものとし
て用いる。このようにして、０．５〜３００ミクロンの
微粒子が正確に測定される。したがって、本発明に基づ
いて、広範囲の微粒子サイズに亘って流体ストリーム中
の微粒子を測定できる装置が提供されている。
各パルスの振幅がデジタル値に変換されてマイクロプロ
センサーに送られ、また、第２光検出器からのパルス幅
もデジタル値に変換されてマイクロプロセンサーに送ら
れる。微粒子サイズが１０〜５０ミクロンの範囲内であ
れば、マイクロプロセッサ−は、第１光検出器により産
出されたパルスの振幅に対応したデジタル値をその範囲
内の微粒子サイズ°を示すものとして用いる。微粒子サ
イズが０．５〜１０ミクロンの範囲内であれば、マイク
ロプロセッサ−は、第２光検出器により産出されたパル
スの振幅に対応するデジタル値をその範囲内の微粒子サ
イズを示すものとして用いる。微粒子のサイズが５０〜
３００ ミクロンの範囲内であれば、マイクロプロセン
サーは、第２光検出器に産出されたパルス幅に対応する
デジタル値をその範囲内の微粒子サイズを示すものとし
て用いる。このようにして、０．５〜３００ミクロンの
微粒子が正確に測定される。したがって、本発明に基づ
いて、広範囲の微粒子サイズに亘って流体ストリーム中
の微粒子を測定できる装置が提供されている。
（実施例）
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第１〜３図は本発明の一実施例を示す図である。
第１図に示されるように、本発明の装置において、レー
ザーダイオード１１は、プリズム１５によりビームイク
スパンダー１７に反射されるレーザービーム１３を発生
する。ビームイクスパンダー１７は、受光レーザービー
ムをフラットシート１９の形状にし、本実施例において
は、その形状は幅が５００ミクロン、厚さが３５ミクロ
ンである。フラットシート状のビームは、テストされる
流体サンプルストリームが上方に流れるようになってい
るテストチャンバー２３の透明ウィンドー２１を通過す
る。本実施例においては、流体は液体であるが、本発明
は気体中の微粒子のサイズの測定にも適用できる。
ザーダイオード１１は、プリズム１５によりビームイク
スパンダー１７に反射されるレーザービーム１３を発生
する。ビームイクスパンダー１７は、受光レーザービー
ムをフラットシート１９の形状にし、本実施例において
は、その形状は幅が５００ミクロン、厚さが３５ミクロ
ンである。フラットシート状のビームは、テストされる
流体サンプルストリームが上方に流れるようになってい
るテストチャンバー２３の透明ウィンドー２１を通過す
る。本実施例においては、流体は液体であるが、本発明
は気体中の微粒子のサイズの測定にも適用できる。
チャンバー２３の内部を流れている流体中の微粒子と衝
突するレーザービーム１９は、一部がその微粒子により
前方散乱され、そして散乱しなかったレーザービームの
部分のみならず前方散乱した部分はチャンバーの出口ウ
ィンド−２５を通過する。
突するレーザービーム１９は、一部がその微粒子により
前方散乱され、そして散乱しなかったレーザービームの
部分のみならず前方散乱した部分はチャンバーの出口ウ
ィンド−２５を通過する。
導入管２７は、測定されるサンプルストリームをテスト
チャンバー２３に導き、導出管２９は、テストチャンバ
ーを通過した流体を流量制御弁３１に運搬する。流量制
御弁３１は、チャンバー２３を通過する流体の流■が一
定になるように制御し、一定にすることは正確な微粒子
サイズの測定に重要である。
チャンバー２３に導き、導出管２９は、テストチャンバ
ーを通過した流体を流量制御弁３１に運搬する。流量制
御弁３１は、チャンバー２３を通過する流体の流■が一
定になるように制御し、一定にすることは正確な微粒子
サイズの測定に重要である。
サンプル流体ストリームは、ポンプ等の圧力源３３によ
り管２７．２８及びチャンバー２３を通過する。
り管２７．２８及びチャンバー２３を通過する。
散乱することなしにテストチャンバー２３を通過したダ
イレクトビーム１９は、反射器３５に当てられて光検出
器３７に導かれる。チャンバー２３を通過しているサン
プルストリーム中の微粒子によって前方散乱したレーザ
ービームからのライトは、ビーム反射器３５の回わりを
通りレンズシステム４７に到達し、レンズシステム４７
により光検出器４９に収束される。微粒子がレーザービ
ームを通過するごとに、微粒子は光検出器４９によって
検出される散乱ライトを生じさせ、光検出器４９にパル
スを発生させる。また、微粒子がテストチャンバー２３
内のレーザービームを通過するごとに、微粒子はダイレ
クトレーザービームの一部を遮光し、したがって光検出
器３７によって受光されているダイレクトレーザービー
ムのエネルギー量に影響を及ぼす。その結果、光検出器
３７もレーザービームを通過する各微粒子に対応してパ
ルスを発生する。
イレクトビーム１９は、反射器３５に当てられて光検出
器３７に導かれる。チャンバー２３を通過しているサン
プルストリーム中の微粒子によって前方散乱したレーザ
ービームからのライトは、ビーム反射器３５の回わりを
通りレンズシステム４７に到達し、レンズシステム４７
により光検出器４９に収束される。微粒子がレーザービ
ームを通過するごとに、微粒子は光検出器４９によって
検出される散乱ライトを生じさせ、光検出器４９にパル
スを発生させる。また、微粒子がテストチャンバー２３
内のレーザービームを通過するごとに、微粒子はダイレ
クトレーザービームの一部を遮光し、したがって光検出
器３７によって受光されているダイレクトレーザービー
ムのエネルギー量に影響を及ぼす。その結果、光検出器
３７もレーザービームを通過する各微粒子に対応してパ
ルスを発生する。
上述のような形状を有するレーザービームに対して、１
０〜５０ミクロンの範囲にある微粒子が光検出器３７に
微粒子のサイズと正確に対応した振幅を有しているパル
スを発生させるようになっている。
０〜５０ミクロンの範囲にある微粒子が光検出器３７に
微粒子のサイズと正確に対応した振幅を有しているパル
スを発生させるようになっている。
更に、０．５〜ｌＯミクロンの範囲の微粒子において、
レーザービームを通過する各微粒子によって生じた散乱
ライトが光検出器４９にその範囲の微粒子サイズにより
正確に対応した振幅を有するパルスを発生させるように
なっている。更に、５０３００ミクロンの範囲の微粒子
による散乱ライトが光検出器４９にその微粒子のサイズ
により正確に対応したパルス幅を有するパルスを発生さ
せるようになっている。したがって、本実施例において
は、０．５〜３００ミクロンの全範囲において微粒子サ
イズを最も正確に測定するために、０．５〜ｌＯミクロ
ンの範囲における微粒子はその範囲の微粒子によって生
じた散乱に対応して光検出器４９で発生したパルスの振
幅によって測定され、ｌＯ〜５０ミクロン′の範囲にお
ける微粒子はその範囲の微粒子による散乱に対応して光
検出器３７で発生したパルスの振幅によって測定され、
そして５０〜３００ミクロンの範囲における微粒子はそ
の範囲の微粒子による散乱に対応して光検出器４９で発
生したパルス幅によって測定される。微粒子サイズを正
確に測定するためには、特に５０〜３００ミクロンの範
囲の微粒子については、チャンバー２３を通過する流体
の流量が正確に一定に維持されなければならず、この一
定流量は？ｊｔｍ制御弁３１によって維持されている。
レーザービームを通過する各微粒子によって生じた散乱
ライトが光検出器４９にその範囲の微粒子サイズにより
正確に対応した振幅を有するパルスを発生させるように
なっている。更に、５０３００ミクロンの範囲の微粒子
による散乱ライトが光検出器４９にその微粒子のサイズ
により正確に対応したパルス幅を有するパルスを発生さ
せるようになっている。したがって、本実施例において
は、０．５〜３００ミクロンの全範囲において微粒子サ
イズを最も正確に測定するために、０．５〜ｌＯミクロ
ンの範囲における微粒子はその範囲の微粒子によって生
じた散乱に対応して光検出器４９で発生したパルスの振
幅によって測定され、ｌＯ〜５０ミクロン′の範囲にお
ける微粒子はその範囲の微粒子による散乱に対応して光
検出器３７で発生したパルスの振幅によって測定され、
そして５０〜３００ミクロンの範囲における微粒子はそ
の範囲の微粒子による散乱に対応して光検出器４９で発
生したパルス幅によって測定される。微粒子サイズを正
確に測定するためには、特に５０〜３００ミクロンの範
囲の微粒子については、チャンバー２３を通過する流体
の流量が正確に一定に維持されなければならず、この一
定流量は？ｊｔｍ制御弁３１によって維持されている。
第２図に示されるように、光検出器３７からのパルスは
、増幅器５１により増幅されてアナログシグナルゲート
５２に送信される。光検出器４７がらのパルスは、増幅
器５９により増幅され、アナログシグナルゲート６１及
び電圧比較器６３の両方に送信される。電圧比較器６３
は、送信されたパルスの振幅を直径１０ミクロンの微粒
子に対応して増１１ｉ！器５９により産出されるパルス
の振幅に対応して選択された電圧値と比較する。送信さ
れた電圧がこのレベル以下であることを電圧比較器６３
が検出すれば、電圧比較器６３はアナログゲー）６１を
使用可能にする。
、増幅器５１により増幅されてアナログシグナルゲート
５２に送信される。光検出器４７がらのパルスは、増幅
器５９により増幅され、アナログシグナルゲート６１及
び電圧比較器６３の両方に送信される。電圧比較器６３
は、送信されたパルスの振幅を直径１０ミクロンの微粒
子に対応して増１１ｉ！器５９により産出されるパルス
の振幅に対応して選択された電圧値と比較する。送信さ
れた電圧がこのレベル以下であることを電圧比較器６３
が検出すれば、電圧比較器６３はアナログゲー）６１を
使用可能にする。
送信された電圧がこのレベル以上であ゛ることを電圧比
較器６３が検出すれば、電圧比較器６３はアナログゲー
ト５２を使用可能にする。したがって、パルス間で、比
較器６３はアナログゲート６１を使用可能にする。パル
スが比較器６３に送信された時、比較器６３は、そのパ
ルスの振幅が直径１０ミクロンの微粒子に対応した値に
なるまでデート６１を継続して使用可能にする。パルス
電圧がこの値を超えた時、比較′！：Ｉ６３はゲート６
１を使用不能にしゲート５２を使用可能にする。ゲー１
−６１が使用可能な時、ゲート６１は送信されたパルス
をＡＤ変換器（アナログデジタルコンバーター）５３及
び微分器５５に送信する。
較器６３が検出すれば、電圧比較器６３はアナログゲー
ト５２を使用可能にする。したがって、パルス間で、比
較器６３はアナログゲート６１を使用可能にする。パル
スが比較器６３に送信された時、比較器６３は、そのパ
ルスの振幅が直径１０ミクロンの微粒子に対応した値に
なるまでデート６１を継続して使用可能にする。パルス
電圧がこの値を超えた時、比較′！：Ｉ６３はゲート６
１を使用不能にしゲート５２を使用可能にする。ゲー１
−６１が使用可能な時、ゲート６１は送信されたパルス
をＡＤ変換器（アナログデジタルコンバーター）５３及
び微分器５５に送信する。
同様に、ゲート５２は、使用可能である時、送信された
パルスをＡＤ変換器５３及び微分器５５に送信する。こ
のようにして、１０ミクロンまでの微粒子によって生じ
た増幅器５９の出力パルスは、ＡＤ変換器５３及び微分
２：５５に供給され、ｌＯミクロン以上の微粒子によっ
て生じた増幅器５１の出力パルスは、それらのパルスが
ピークになる時までに、ＡＤ変換器及び微分器５５に供
給される６本発明の実施例においては、ＡＤ変換器５３
は高速ＡＤ変換器であり、パルスの振幅はそのピークで
′測定される。この測定を達成するために、微分器５５
が使用されている。微分器５５は、送信されたパルスの
ピークでパルスを発生し、そしてこのパルスは送信され
たパルス振幅をデジタル値に変換するためにＡＤ変換器
５３に送られる。このようにして、ＡＤ変換器はピーク
時の送信されたパルスの振幅をデジタル値に変換し、こ
のデジタル値はマイクロプロセッサ−５７に送られる。
パルスをＡＤ変換器５３及び微分器５５に送信する。こ
のようにして、１０ミクロンまでの微粒子によって生じ
た増幅器５９の出力パルスは、ＡＤ変換器５３及び微分
２：５５に供給され、ｌＯミクロン以上の微粒子によっ
て生じた増幅器５１の出力パルスは、それらのパルスが
ピークになる時までに、ＡＤ変換器及び微分器５５に供
給される６本発明の実施例においては、ＡＤ変換器５３
は高速ＡＤ変換器であり、パルスの振幅はそのピークで
′測定される。この測定を達成するために、微分器５５
が使用されている。微分器５５は、送信されたパルスの
ピークでパルスを発生し、そしてこのパルスは送信され
たパルス振幅をデジタル値に変換するためにＡＤ変換器
５３に送られる。このようにして、ＡＤ変換器はピーク
時の送信されたパルスの振幅をデジタル値に変換し、こ
のデジタル値はマイクロプロセッサ−５７に送られる。
微粒子が直径１０ミクロン以下であれば、ＡＤ変換器５
３の出力によって測定されマイクロプロセラ □
ツー５フに送れたパルスは、光検出器４９から生じたも
のである。微粒子が１０〜５０ミクロンの範囲にあれば
、ＡＤ変換器５３によりマイクロプロセンサー５７に与
えられたデジタル値によって測定されたパルスは、光検
出器３７から生じたものである。電圧比較器６３は、デ
ジタル値が直径１０ミクロン以上又は以下の微粒子のサ
イズを意味するかを示す信号をマイクロプロセンサー５
７に与える。ＡＤ変換器により産出されるデジタル値の
微粒子サイズを意味するスケールは、直径１０ミクロン
以下の微粒子により生じられ光検出ｒ：ｉ４９から発生
したパルスのものと、１０〜５０ミクロンの範囲の微粒
子により生しられ光検出器３７から発生したパルスのも
のとは異なっている。ＡＤ変換器５３は、１６ビツトデ
ジタル出力値を産出する。パルスが光検出器４９から発
生したものである時には、デジタル値のスケールは、最
大１６ビツト値が直径１０ミクロンよりわずかに大きな
微粒子を意味するようになっている。パルスが光検出器
３７から生じる時には、デジタル値のスケールは、最大
１６ピ・ノド値が直径５０ミクロンよりわずかに大きな
微粒子を意味するようになっている。
３の出力によって測定されマイクロプロセラ □
ツー５フに送れたパルスは、光検出器４９から生じたも
のである。微粒子が１０〜５０ミクロンの範囲にあれば
、ＡＤ変換器５３によりマイクロプロセンサー５７に与
えられたデジタル値によって測定されたパルスは、光検
出器３７から生じたものである。電圧比較器６３は、デ
ジタル値が直径１０ミクロン以上又は以下の微粒子のサ
イズを意味するかを示す信号をマイクロプロセンサー５
７に与える。ＡＤ変換器により産出されるデジタル値の
微粒子サイズを意味するスケールは、直径１０ミクロン
以下の微粒子により生じられ光検出ｒ：ｉ４９から発生
したパルスのものと、１０〜５０ミクロンの範囲の微粒
子により生しられ光検出器３７から発生したパルスのも
のとは異なっている。ＡＤ変換器５３は、１６ビツトデ
ジタル出力値を産出する。パルスが光検出器４９から発
生したものである時には、デジタル値のスケールは、最
大１６ビツト値が直径１０ミクロンよりわずかに大きな
微粒子を意味するようになっている。パルスが光検出器
３７から生じる時には、デジタル値のスケールは、最大
１６ピ・ノド値が直径５０ミクロンよりわずかに大きな
微粒子を意味するようになっている。
増幅器５９の増幅出力はまたパルスシェーバ−６５に送
られ、パルスシェーバ−６５で光検出３４９からの各パ
ルスが一定振幅パルスに変換されて、ゲート６７を使用
可能にするためにゲート６７に送られる。
られ、パルスシェーバ−６５で光検出３４９からの各パ
ルスが一定振幅パルスに変換されて、ゲート６７を使用
可能にするためにゲート６７に送られる。
また、ゲート６７は、ｌＯメガヘルツクロックパルスソ
ース６９からパルスを受けて、使用可能となった時に、
これらのクロックパルスをカウンター７１に送る。パル
スシェーバ−６５により産出される各パルスの上昇エツ
ジにより、カウンター７１が０にリセットされる。ゲー
ト６７は、パルスシェーバ−６５に産出されるパルスの
幅の間だけ使用可能となり、カウンター７１によってカ
ウントされるクロックパルスをＪ過させる。パルスシェ
ーバ−６５により産出されたパルスのエンドでカウンタ
ー７１に登録されたカウントは、パルスの幅に対応し、
したがって、光検出器４９により産出されたパルスの幅
にも対応している。パルスシェーバ−６５で産出された
パルスの後端は、カウンター７１のカウントを受は取る
ようにマイクロプロセッサ−５７に信号を送る。
ース６９からパルスを受けて、使用可能となった時に、
これらのクロックパルスをカウンター７１に送る。パル
スシェーバ−６５により産出される各パルスの上昇エツ
ジにより、カウンター７１が０にリセットされる。ゲー
ト６７は、パルスシェーバ−６５に産出されるパルスの
幅の間だけ使用可能となり、カウンター７１によってカ
ウントされるクロックパルスをＪ過させる。パルスシェ
ーバ−６５により産出されたパルスのエンドでカウンタ
ー７１に登録されたカウントは、パルスの幅に対応し、
したがって、光検出器４９により産出されたパルスの幅
にも対応している。パルスシェーバ−６５で産出された
パルスの後端は、カウンター７１のカウントを受は取る
ようにマイクロプロセッサ−５７に信号を送る。
カウンター７１は１６ビントカウンターであり、１０メ
ガヘルツクロツクは最大カウントが約３００ミクロンの
直径を有する微粒子を意味するようにカウンターにおけ
るカウントを定める。
ガヘルツクロツクは最大カウントが約３００ミクロンの
直径を有する微粒子を意味するようにカウンターにおけ
るカウントを定める。
したがって、レーザービームを通過する各微粒子は、Ａ
Ｄ変換器５３及びカウンター７１により産出されること
になるデジタル値を生じさせる。これらの値は、マイク
ロプロセッサ−５７に送られる。
Ｄ変換器５３及びカウンター７１により産出されること
になるデジタル値を生じさせる。これらの値は、マイク
ロプロセッサ−５７に送られる。
マイクロプロセッサ−５７は、ＡＤ変換器５３又はカウ
ンター７１からのデジタル値を１６ビツトナンバーの１
４最小桁ビット位置に表わされた１４ビツト値に変換す
るようにプログラムされている。２最上桁ビット位置は
、バイナリ−値がカウンター７１からのデジタル値によ
って表わされた５０〜３００ミクロンの範囲にあるか、
光検出器３７からのパルスに応じてＡＤ変換器５３から
のデジタル値によって表わされた１０〜５０ミクロンの
範囲内の微粒子を意味するか、あるいは光検出器４９に
より産出されたパルスに応じてＡＤ変換器５３からのデ
ジタル値によって表わされた１０ミクロン以下の微粒子
を意味するかを示すのに用いられる。また、ＡＤ変換器
からのデジタル値が、微粒子サイズが１０ミクロン以下
であることを示す光検出器４９からの出力パルスに対す
るものである時には、浮動小数点交換が実行される。浮
動小数点交換においては、ＡＤ変換器の出力値が２１４
又はそれ以上であれば、２個の最小桁ピントは捨てられ
、２２から２″までのピント位置の値はビット位置２°
から２１３にシフトされる。同時に、２個の最上術ビッ
トはＯｌにセットされ、そのＯｌは、デジタル値のスケ
ールは最大１４ピント値が１０ミクロンよりわずかに大
きい微粒子サイズを意味するようになっていることを示
す、光検出器４９からのパルスに対するＡＤ変換器５３
からの出力値が２１４以下であれば、ピント値はそのま
ま元の位置に残され、２個の最上術ビット位Ｗ、２■Ｓ
及び２１−は００にセットされ、その００は、１４ビツ
ト値のスケールは最大１″４ビツト値が２．５ミクロン
よりわずかに大きな微粒子に対応するようになっている
ことを示す。ＡＤ変換器５３からのデジタル値が、微粒
子が１０〜５０ミクロンのサイズを有することを示す光
検出器３７からのパルスに対応するものであれば、ＡＤ
変換器からの１６ビ・ノド値は２°〜２１３の位置にシ
フトされ、その最上術ビットがｌＯにセットされて、そ
の１０は、１４ビツト値の最大１４ビツト値が５０ミク
ロンよりわずかに大きな微粒子に対応するようになって
いることを示す。デジタル値がカウンター７１からのも
のであれば、マイクロプロセッサ−５７はカウントの１
４個の最上桁値を２０〜２１３の位置にシフトし、２個
の最上術ビット位置は微粒子が５０〜３００ミクロンの
範囲であることを示すように１１にセットされる。
ンター７１からのデジタル値を１６ビツトナンバーの１
４最小桁ビット位置に表わされた１４ビツト値に変換す
るようにプログラムされている。２最上桁ビット位置は
、バイナリ−値がカウンター７１からのデジタル値によ
って表わされた５０〜３００ミクロンの範囲にあるか、
光検出器３７からのパルスに応じてＡＤ変換器５３から
のデジタル値によって表わされた１０〜５０ミクロンの
範囲内の微粒子を意味するか、あるいは光検出器４９に
より産出されたパルスに応じてＡＤ変換器５３からのデ
ジタル値によって表わされた１０ミクロン以下の微粒子
を意味するかを示すのに用いられる。また、ＡＤ変換器
からのデジタル値が、微粒子サイズが１０ミクロン以下
であることを示す光検出器４９からの出力パルスに対す
るものである時には、浮動小数点交換が実行される。浮
動小数点交換においては、ＡＤ変換器の出力値が２１４
又はそれ以上であれば、２個の最小桁ピントは捨てられ
、２２から２″までのピント位置の値はビット位置２°
から２１３にシフトされる。同時に、２個の最上術ビッ
トはＯｌにセットされ、そのＯｌは、デジタル値のスケ
ールは最大１４ピント値が１０ミクロンよりわずかに大
きい微粒子サイズを意味するようになっていることを示
す、光検出器４９からのパルスに対するＡＤ変換器５３
からの出力値が２１４以下であれば、ピント値はそのま
ま元の位置に残され、２個の最上術ビット位Ｗ、２■Ｓ
及び２１−は００にセットされ、その００は、１４ビツ
ト値のスケールは最大１″４ビツト値が２．５ミクロン
よりわずかに大きな微粒子に対応するようになっている
ことを示す。ＡＤ変換器５３からのデジタル値が、微粒
子が１０〜５０ミクロンのサイズを有することを示す光
検出器３７からのパルスに対応するものであれば、ＡＤ
変換器からの１６ビ・ノド値は２°〜２１３の位置にシ
フトされ、その最上術ビットがｌＯにセットされて、そ
の１０は、１４ビツト値の最大１４ビツト値が５０ミク
ロンよりわずかに大きな微粒子に対応するようになって
いることを示す。デジタル値がカウンター７１からのも
のであれば、マイクロプロセッサ−５７はカウントの１
４個の最上桁値を２０〜２１３の位置にシフトし、２個
の最上術ビット位置は微粒子が５０〜３００ミクロンの
範囲であることを示すように１１にセットされる。
増幅器５１の出力はレーザーダイオード密度制御回路８
１に送られ、回路８１はレーザーダイオード１１に信号
を送り、レーザーダイオードの密度が、微粒子がチャン
バー２３を通過していない時の増幅器５１の出力に対一
応して制御されている。上述したように、微粒子がチャ
ンバー２３を通過するごとに、微粒子はダイレクトレー
ザービームを部分的に遮光し、したがって、光検出器３
７がパルスを発生する。微粒子がレーザービームを通過
していない時には、レーザービームは遮光されず、増幅
器５１により産出される電圧値はレーザービーム密度に
対応する。この電圧値は、増幅器５１の出力電圧を微粒
子がレーザービームを通過していない時に所定の一定値
であるようにレーザービームの密度を調整するために、
制御回路によって用いられている。
１に送られ、回路８１はレーザーダイオード１１に信号
を送り、レーザーダイオードの密度が、微粒子がチャン
バー２３を通過していない時の増幅器５１の出力に対一
応して制御されている。上述したように、微粒子がチャ
ンバー２３を通過するごとに、微粒子はダイレクトレー
ザービームを部分的に遮光し、したがって、光検出器３
７がパルスを発生する。微粒子がレーザービームを通過
していない時には、レーザービームは遮光されず、増幅
器５１により産出される電圧値はレーザービーム密度に
対応する。この電圧値は、増幅器５１の出力電圧を微粒
子がレーザービームを通過していない時に所定の一定値
であるようにレーザービームの密度を調整するために、
制御回路によって用いられている。
このようにして、レーザービームの密度は一定に維持さ
れている。
れている。
マイクロプロセンサー５７をコントロールするプログラ
ムは、第３図のフローチャートで示されている。第３図
で示されるように、微粒子に対応してマイクロプロセッ
サ−５７に入力された新しいデジタル値ごとにプログラ
ムが開始し、インストラクションシーケンス７４におい
て、マイクロプロセッサ−５７は、デジタル値によって
示されるように微粒子のサイズに従ってカウンター７１
又はＡＤ変換器５３からのデジタル値を選択する。そし
て、マイクロプロセッサ−はビットをビット位置にシフ
トし、２個の最上桁ピントを上述のようにセットする。
ムは、第３図のフローチャートで示されている。第３図
で示されるように、微粒子に対応してマイクロプロセッ
サ−５７に入力された新しいデジタル値ごとにプログラ
ムが開始し、インストラクションシーケンス７４におい
て、マイクロプロセッサ−５７は、デジタル値によって
示されるように微粒子のサイズに従ってカウンター７１
又はＡＤ変換器５３からのデジタル値を選択する。そし
て、マイクロプロセッサ−はビットをビット位置にシフ
トし、２個の最上桁ピントを上述のようにセットする。
次に、インストラクションシーケンス７５において、イ
ンストラクションシーケンス７４で産出された１６ビツ
トデジタル値に対応しながらメモリ７７の貯蔵位置にお
けるカウントが増加される。ここに、１６ビツトのうち
、１４個の最小桁ピントは微粒子サイズを示し、２個の
最上桁ビットはスケールを示す。メモリ７７における単
独のメモリ位置が、１６ビツトで表わすことのできる各
デジタル値に割り当てられている。このため、約６５０
００メモリ位置が必要とされる。このようにして、マイ
クロプロセッサ−は、０．５〜３００ミクロンの範囲に
ある微粒子のためにＡＤ変換器５３又はカウンター７１
が産出したデジタル値により決定される各異なる微粒子
サイズの異なったメモリ位置におけるカウントを増加す
る。
ンストラクションシーケンス７４で産出された１６ビツ
トデジタル値に対応しながらメモリ７７の貯蔵位置にお
けるカウントが増加される。ここに、１６ビツトのうち
、１４個の最小桁ピントは微粒子サイズを示し、２個の
最上桁ビットはスケールを示す。メモリ７７における単
独のメモリ位置が、１６ビツトで表わすことのできる各
デジタル値に割り当てられている。このため、約６５０
００メモリ位置が必要とされる。このようにして、マイ
クロプロセッサ−は、０．５〜３００ミクロンの範囲に
ある微粒子のためにＡＤ変換器５３又はカウンター７１
が産出したデジタル値により決定される各異なる微粒子
サイズの異なったメモリ位置におけるカウントを増加す
る。
マイクロプロセッサ−５７はメモリ７７のデジタル値を
デイスプレー７８に表示し、これにより、０．５〜３０
０ミクロンの範囲における異なったサイズの微粒子の数
を知ることができる。
デイスプレー７８に表示し、これにより、０．５〜３０
０ミクロンの範囲における異なったサイズの微粒子の数
を知ることができる。
微粒子サイズは、デジタル変換器５３又はカウンター７
１により産出されるデジタル値に線型的に対応していな
い。したがって、ＡＤ変換器５３からのデジタル値は１
０〜５０ミクロンの範囲における微粒子とかなり線型的
に対応しているが、これらのデジタル値の各増加は微粒
子サイズにおける同一の増加を意味していない、正確な
測定を得るために、装置は、メモリ７７の各貯蔵位置が
公知の微粒子サイズを表わすように、公知サイズのテス
ト微粒子によって目盛をつけられている。与えられた微
粒子サイズの微粒子の数を意味するメモリ７７のカウン
トを表示する際に、マイクロプロセンサーは、各サイズ
の増加ごとに流体ストリーム中の微粒子の数の完全でか
つ正確な記録を提供する。
１により産出されるデジタル値に線型的に対応していな
い。したがって、ＡＤ変換器５３からのデジタル値は１
０〜５０ミクロンの範囲における微粒子とかなり線型的
に対応しているが、これらのデジタル値の各増加は微粒
子サイズにおける同一の増加を意味していない、正確な
測定を得るために、装置は、メモリ７７の各貯蔵位置が
公知の微粒子サイズを表わすように、公知サイズのテス
ト微粒子によって目盛をつけられている。与えられた微
粒子サイズの微粒子の数を意味するメモリ７７のカウン
トを表示する際に、マイクロプロセンサーは、各サイズ
の増加ごとに流体ストリーム中の微粒子の数の完全でか
つ正確な記録を提供する。
上述したように、上述の装置は、ダイレクトレーザービ
ームを検出する光検出器によって産出されるパルス振幅
とレーザービームを部分的に遮光する１０〜５０ミクロ
ンの範囲の微粒子との相関関係が高いことを利用してい
る。しかしながら、また、散乱ライトによるパルスの振
幅と１０〜２５ミクロン □の範囲の微粒子との
相関関係も非常によく、散乱ライトによるパルスの幅と
２５〜５０ミクロンの範囲の微粒子との相関関係も非常
によい、したがって、他の実施例においては、光検出器
３７とそれに対応する測定チャネルを省略し、マイクロ
プロセッサ−５７は、光検出器４９からのパルスに対応
してＡＤ変換器５３により産出されたデジタル値により
０．５〜２５ミクロンの範囲における微粒子を測定する
ようにプログラムされ、およびカウンター７１のカウン
トにより２５〜３００ミクロンの範囲内の微粒子を測定
するようにプログラムされている。
ームを検出する光検出器によって産出されるパルス振幅
とレーザービームを部分的に遮光する１０〜５０ミクロ
ンの範囲の微粒子との相関関係が高いことを利用してい
る。しかしながら、また、散乱ライトによるパルスの振
幅と１０〜２５ミクロン □の範囲の微粒子との
相関関係も非常によく、散乱ライトによるパルスの幅と
２５〜５０ミクロンの範囲の微粒子との相関関係も非常
によい、したがって、他の実施例においては、光検出器
３７とそれに対応する測定チャネルを省略し、マイクロ
プロセッサ−５７は、光検出器４９からのパルスに対応
してＡＤ変換器５３により産出されたデジタル値により
０．５〜２５ミクロンの範囲における微粒子を測定する
ようにプログラムされ、およびカウンター７１のカウン
トにより２５〜３００ミクロンの範囲内の微粒子を測定
するようにプログラムされている。
第２図に示される装置より高価でない装置においては、
高速ＡＤ変換器を使用するかわりに、パルスは、パルス
振幅を電圧参照レベルと比較することによりデジタル値
に変換することができる。
高速ＡＤ変換器を使用するかわりに、パルスは、パルス
振幅を電圧参照レベルと比較することによりデジタル値
に変換することができる。
そのようなＡＤ変換においては、参照電圧レベルの数に
制限があるために、ＡＤ変換のこの後者のシステムは第
２図に示される装置よりも測定されるパルス振幅がかな
り減少される。
制限があるために、ＡＤ変換のこの後者のシステムは第
２図に示される装置よりも測定されるパルス振幅がかな
り減少される。
上述したような本発明の実施例においては、ライトビー
ムはレーザーにより産出されている。しかしながら、微
粒子サイズは、従来のライト源が発生するライトビーム
を使用することにより測定できる。ライトは、可視光線
、紫外線、又は赤外線でもよ（、ここで使用されている
ライトは従来の光学エレメントによって産出されるライ
トを意味し、換言すれば、波長が１８０〜１８０ナノメ
ートルの範囲にあるライトを意味する。上述の装置は、
ある範囲の微粒子を測定するのに前方散乱ライトを利用
しているが、サイド散乱ライト、後方散乱ライトあるい
は異なった方向に散乱したライトの組合わせを利用して
もよい。
ムはレーザーにより産出されている。しかしながら、微
粒子サイズは、従来のライト源が発生するライトビーム
を使用することにより測定できる。ライトは、可視光線
、紫外線、又は赤外線でもよ（、ここで使用されている
ライトは従来の光学エレメントによって産出されるライ
トを意味し、換言すれば、波長が１８０〜１８０ナノメ
ートルの範囲にあるライトを意味する。上述の装置は、
ある範囲の微粒子を測定するのに前方散乱ライトを利用
しているが、サイド散乱ライト、後方散乱ライトあるい
は異なった方向に散乱したライトの組合わせを利用して
もよい。
（効果）
本発明に従って、微粒子サイズの測定範囲を３００ミク
ロンまで拡大することができる。したがって、広範囲の
微粒子サイズに亘って流体ストリーム中の微粒子を測定
できる装置を提供することができる。
ロンまで拡大することができる。したがって、広範囲の
微粒子サイズに亘って流体ストリーム中の微粒子を測定
できる装置を提供することができる。
第１〜３図は本発明に係る微粒子サイズ測定装置の一実
施例を示す図であり、第１図は本発明に係る装置の光学
システムを示す概略図、第２図は第１図に示されるシス
テムの光検出器によって産出されたパルスを微粒子サイ
ズ測定に変換するための回路のブロック線図、第３図は
第２図のマイクロプロセッサ−に用いられるプログラム
を示すブロック線図である。 １３・・・・・・ライトビーム、 ２３・・・・・・流体サンプルストリームを画する手段
、３７．４９・・・・・・光検出手段、 ５３・・・・・・測定手段。
施例を示す図であり、第１図は本発明に係る装置の光学
システムを示す概略図、第２図は第１図に示されるシス
テムの光検出器によって産出されたパルスを微粒子サイ
ズ測定に変換するための回路のブロック線図、第３図は
第２図のマイクロプロセッサ−に用いられるプログラム
を示すブロック線図である。 １３・・・・・・ライトビーム、 ２３・・・・・・流体サンプルストリームを画する手段
、３７．４９・・・・・・光検出手段、 ５３・・・・・・測定手段。
Claims (11)
- （１）微粒子を含んだ流体サンプルストリームを画する
手段と、ライトビームを前記サンプルストリームに向け
る手段と、前記ビームを通過する各微粒子に対応してパ
ルスを発生するために前記ビームを通過する前記サンプ
ルストリームの微粒子に対応して前記ビームから散乱し
たライトを検出する光検出手段と、前記光検出手段によ
り産出された各パルスの振幅及び前記光検出手段により
産出された各パルスの幅を測定する測定手段と、を備え
、光検出手段により産出されるパルスの振幅により第１
範囲における微粒子のサイズを測定し、光検出手段によ
り産出されるパルスの幅により前記第１範囲より大きな
第２範囲における微粒子のサイズを測定することを特徴
とする流体中の広範囲の微粒子のサイズを測定するため
の装置。 - （２）前記サンプルストリームを通過する前記ビームの
散乱していない部分を検出し前記ビームを通過する前記
流体ストリームの各微粒子に対応してパルスを発生する
第２光検出手段を更に備え、前記測定手段が前記第２光
検出手段により産出されるパルスの振幅を測定し、前記
第２光検出手段により産出されたパルスの振幅により前
記第１範囲と第２範囲との間の第３範囲における微粒子
のサイズを測定することを特徴とする請求項第１項記載
の装置。 - （３）前記第１範囲が直径５ミクロンの微粒子を含み、
前記第２範囲が直径２２５ミクロンの微粒子を含み、前
記第３範囲が直径３０ミクロンの微粒子を含み、前記装
置が、さらに前記第１範囲の微粒子に対応して前記第１
光検出手段により産出されたパルスの前記測定手段によ
る振幅の測定を前記第１範囲の微粒子の測定として選択
し、前記第３範囲の微粒子に対応して前記第２光検出手
段により産出されたパルスの前記測定手段による振幅の
測定を前記第３範囲の微粒子の測定として選択し、およ
び前記第２範囲の微粒子に対応して前記第１光検出手段
により産出されたパルスの前記測定手段によるパルス幅
の測定を前記第２範囲の微粒子の測定として選択する手
段を有することを特徴とする請求項第２記載の装置。 - （４）前記測定手段が、前記光検出手段によって産出さ
れたパルスの振幅をデジタル値に変換するパルス振幅変
換手段と、前記光検出手段によって産出されたパルスの
パルス幅をデジタル値に交換するパルス幅変換手段と、
からなることを特徴とする請求項第１記載の装置。 - （５）前記装置が、さらに、多数の貯蔵位置と、前記パ
ルス幅変換手段により産出され前記第１範囲の微粒子を
意味する各デジタル値に対応する第１セットの前記貯蔵
位置における単独の貯蔵位置と、前記パルス幅変換手段
により産出され前記第２範囲の微粒子を意味する各デジ
タル値に対応する第２セットの前記貯蔵位置における単
独の貯蔵位置とを有するメモリ手段と、前記パルス振幅
交換手段により産出された各デジタル値に対応して前記
第１セットにおけ貯蔵位置及び前記パルス振幅変換手段
により産出された各デジタル値に対応して前記第２セッ
トにおける貯蔵位置を増加する手段と、を有することを
特徴とする請求項第４項記載の装置。 - （６）微粒子を含んだ流体サンプルストリームを画する
手段と、ライトビームを前記流体サンプルストリームに
向ける手段と、前記サンプルストリーム内の前記ビーム
を通過する微粒子に対応して前記ビームから散乱したラ
イトを検出し前記ビームを通過する各微粒子に対応して
パルスを発生する第１光検出手段と、前記サンプルスト
リームを通過する前記ビームの散乱していない部分を検
出し前記ビームを通過する各微粒子に対応してパルスを
発生する第２光検出手段と、前記第１及び第２光検出手
段により産出されたパルスの振幅を測定する測定手段と
、を備え、前記第１光検出手段により産出されたパルス
の振幅により第１範囲における微粒子が測定され、前記
第２光検出手段により産出されたパルスの振幅により前
記第１範囲より大きな第２範囲における微粒子が測定さ
れることを特徴とする流体中の微粒子の広範囲の微粒子
のサイズを測定するための装置。 - （７）前記測定手段が前記第１及び第２光検出手段によ
り産出されたパルスの振幅をデジタル値に変換すること
を特徴とする請求項第６項記載の装置。 - （８）前記装置が、さらに、多数の貯蔵位置を有するメ
モリ手段と、前記貯蔵位置の第１セットの各貯蔵位置が
前記第１範囲における微粒子サイズを意味し前記測定手
段によって産出された異なるデジタル値に対応し、前記
貯蔵位置の第２セットの各貯蔵位置が前記第２範囲にお
ける微粒子サイズを意味し前記測定手段によって産出さ
れた異なるデジタル値に対応し、および前記測定手段に
よって産出される各デジタル値に対応して前記第１セッ
トの貯蔵位置と前記第２セットの貯蔵位置を増加する手
段とを有することを特徴とする請求項第７項記載の装置
。 - （９）微粒子を含んだ流体サンプルストリームを画する
手段と、ライトビームを前記サンプルストリームに向け
る手段と、前記ビームを通過する前記サンプルストリー
ム内の微粒子に対応して前記ビームから散乱したライト
を検出し前記ビームを通過する各微粒子に対応してパル
スを発生する第１光検出手段と、前記第１光検出手段に
より産出されたパルスの幅を測定する第１測定手段と、
前記サンプルストリームを通過する前記ビームの散乱し
ていない部分を検出し前記ビームを通過する前記サンプ
ルストリームにおける各微粒子に対応してパルスを発生
する第２光検出手段と、前記第２光検出手段により産出
されたパルスの振幅を測定する第２測定手段と、を備え
、前記第１光検出手段により産出されたパルスの幅によ
って第１範囲内の微粒子が測定され、前記第２光検出手
段により産出されたパルスの振幅によって前記第１範囲
より小さな第２範囲内の微粒子が測定されることを特徴
とする流体内の微粒子の広範囲の微粒子サイズを測定す
るための装置。 - （１０）前記第１測定手段が前記第１光検出手段により
産出された各パルスのパルス幅をデジタル値に変換する
手段、前記第２測定手段が前記第２光検出手段により産
出された各パルスの振幅をデジタル値に変換する手段か
らなることを特徴とする請求項第９項記載の装置。 - （１１）前記装置が、さらに、多数の貯蔵位置からなる
メモリ手段と、前記貯蔵位置の第１セットの各貯蔵位置
が前記第１範囲内の微粒子サイズを意味し前記第１測定
手段により産出された異なるデジタル値に対応し、前記
貯蔵位置の第２セットの各貯蔵位置が前記第２範囲内の
微粒子サイズを意味し第２測定手段により産出された異
なるデジタル値に対応し、および前記第１測定手段によ
り産出された各デジタル値に対応して前記第１セットの
貯蔵位置と前記第２測定手段により産出された各デジタ
ル値に対応して前記第２セットの貯蔵位置とを増加する
手段とを有することを特徴とする請求項第１０項記載の
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/144,225 US4842406A (en) | 1988-01-15 | 1988-01-15 | Optical instruments for measuring particle sizes |
| US144225 | 1988-01-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01216232A true JPH01216232A (ja) | 1989-08-30 |
| JP2761018B2 JP2761018B2 (ja) | 1998-06-04 |
Family
ID=22507628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1005862A Expired - Lifetime JP2761018B2 (ja) | 1988-01-15 | 1989-01-11 | 微粒子サイズ光学測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4842406A (ja) |
| EP (1) | EP0324413B1 (ja) |
| JP (1) | JP2761018B2 (ja) |
| DE (1) | DE68925983T2 (ja) |
Cited By (4)
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