JP3532274B2 - 粒子検出装置 - Google Patents

粒子検出装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、粉塵等を検知して室内
空気等の汚れ具合を測定するための粉塵センサや粉塵濃
度計として使用される粒子検出装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来から、室内空気の塵や煙草の煙に応
答して空気清浄機を運転させたり空気の汚れ具合を段階
的に表示するための粉塵センサや、粉塵濃度を定量的に
測定するための粉塵濃度計などが知られている。
【0003】例えば、従来の光散乱積算型粉塵計では、
粉塵などの被検粒子群からの散乱光を直流的に捕捉する
ことにより、計測値をほぼ質量濃度に比例した値として
実測している。
【0004】また、従来の粒子計数器では、図9に示す
ようにHe−Neレーザー光源1から平行なレーザー光
による光ビームBを出射し、図10に示すように光ビー
ムBと交叉するように被検粒子の通過経路Fを配置し、
通過経路Fの粒子検知領域Sを通過する被検粒子からの
散乱光を非球面レンズ2を介して受光素子3で受光し、
信号処理器4により迷光などの外光によるノイズ信号を
直流分として除去し、個々の被検粒子からの散乱光を交
流的に検出して粒子数の計数を行い、低粒子濃度におけ
る個数濃度を求めている。
【0005】更に、実公平1−24616号公報に光散
乱微粒子測定装置が開示されており、図11に示すよう
に光源5からの光束を集光レンズ6により試料空気導入
管7内の略中央部に集光させ、試料空気導入管7内を流
れる試料空気に含まれる被検粒子から発生した散乱光の
うちの略中央部において発生したものを、受光レンズ8
を用いて検出部9に集光する装置である。この場合は、
試料空気導入管7の断面よりも小さい領域を通過する試
料空気内の被検粒子を1個1個検出し、その個数濃度を
求めるものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しなしながら、上述の
従来例の光散乱積算型粉塵計においては、通常の粒子濃
度においてはほぼ質量濃度に比例した計測値が得られる
が、粒子濃度が低くなると被検粒子群からの散乱光強度
が小さくなり、散乱光強度を大きくするために光源の光
量を増加させると、受光素子で得られる迷光などのノイ
ズ信号も同時に大きくなり、散乱光とノイズの所謂S/
N比が低下する。従って、ノイズを完全には除去できな
いことから、低粒子濃度での測定には限界が生ずるとい
う欠点がある。
【0007】また、従来例の粒子計数器の場合は、被検
粒子個々の散乱光を交流的に検出して計数するために、
迷光などのノイズ信号は直流分としてカットされてノイ
ズの影響が回避されるので、低粒子濃度での測定には適
しているが、個数濃度の測定であるため、その計数効率
が被検粒子の粒径に依存して変化しないことを原則とし
て、通過粒子の全数検出を行っている。従って、被検粒
子の通過幅よりも広い幅の均一な平行レーザー光を照射
する必要があり、レーザー光が幅方向に分散して光強度
が低下するという問題が生ずる。
【0008】更に、実公平1−24616号公報の装置
では、集光点付近を検知領域とすることにより散乱光強
度は十分得られるようになるが、検出光強度と被検粒子
の粒径とが殆ど対応しないために粒径情報は得られず、
粒子数のみを測定することになる。
【0009】本発明の目的は、上述の問題点を解消し、
被検粒子の計数を行うにも拘らず、質量濃度の計測が可
能な粒子検出装置を提供することにある。
【0010】
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明に係る粒子検出装置は、光源と、該光源からの
光ビームを空気の通過経路を横切るように投射し、集光
点を中心とし光強度をその両側に徐々に弱くし、検知断
面積が粒径の3乗に比例する検知領域を設定する集光レ
ンズと、前記通過経路に被検粒子を含む空気を前記検知
領域を経て移送する空気移送手段と、前記検知領域を通
過する被検粒子からの散乱光を検出する受光素子と、該
受光素子の出力のうち被検粒子が所定の大きさ以上の散
乱光を発生した場合にのみ検出して質量濃度を表す検出
信号を出力する検出手段とを設けたことを特徴とする。
【0012】
【0013】
【作用】上述の構成を有する本発明に係る粒子検出装置
においては、集光点を中心とし光強度がその両側に徐々
に弱くなり、検知断面積が粒径の3乗に比例する検知領
域を設定し、この検知領域を通過する粒子の散乱光を受
光素子で受光するようにしたので、粒径の大きい粒子が
検出されない確率は、粒径の小さい粒子が検出されない
確率よりも小さくなり、検出手段は粒子の質量濃度を検
出する。
【0014】
【0015】
【実施例】本発明を図1〜図8に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。図1は粒子検出光学系の構成図を示
し、レーザーダイオードから成る光源10の光軸O1上に
集光用の非球面レンズ11が配置されている。非球面レ
ンズ11によるレーザー光の集光点Cには、光軸O1とほ
ぼ直交して被検粒子を含む空気流が通過する通過経路F
が設けられ、空気流の中心と集光点Cがほぼ一致するよ
うにされている。この空気流は、例えば小型ファンによ
りノズルを介して吸い込まれることにより生成され、空
気流の通過経路Fの直径は例えば2mmとなっている。
そして、空気流と直交する面上においてレーザー光の光
軸O1に対して受光角度αが例えば135度の方向の光軸
O2上に、フォトダイオードから成る受光素子12が配置
されている。
【0016】ここで、光源10、非球面レンズ11、受
光素子12、ノズルの位置などは、測定結果に対し極め
て敏感に影響を及ぼすので、これらの光学系はアルミダ
イキャストや合成樹脂等で形成したケースホルダ内に一
体的に配置固定されている。
【0017】光源10として白熱電球や発光ダイオード
を使用した場合は、その発光点が拡がりを持つために1
点に集光させることは難しく、半導体レーザー光源を使
用することが好適である。また、非球面レンズ11は球
面収差が小さく集光点Cにおいて強い光強度が得られる
ので、微小粒子に対しても高い応答性が得られる。しか
し、非球面レンズ11の焦点距離を長くすると、集光点
Cが遠くなって装置が大型化するようになり、またレー
ザー光も発光点から遠くなると拡がりを持ってくるの
で、非球面レンズ11を大きくする必要が生ずる。従っ
て、焦点距離が短か目のレンズを使用することが好まし
い。
【0018】光源10からのレーザー光は、ほぼ1点か
ら放射されていると見做すことができるので、光源10
におけるレーザー光の発光点Tとレンズ11の主点H間
の距離をS1、主点Hと集光点C間の距離をS2、レンズ1
1の焦点距離をfとすると、S2=S1・f/(S1−f)の
関係がある。
【0019】従って、距離S1と焦点距離fの値が接近す
ると距離S2は急激に大きくなり、距離S1の誤差が集光点
Cの位置を大きく変化させて感度に影響を及ぼすことに
なる。また、距離S1が小さいと距離S1の寸法精度上の誤
差比率が増大し、逆に距離S1が大き過ぎると発光点Tか
らの光がレンズ11からはみ出して感度低下をきたす。
そこで、例えば焦点距離f=4.6mmのレンズ11を
使用した場合は、距離S1=6mm以上に設定し、距離S2
と距離S1との比S2/S1=1〜3とすることが望ましい。
【0020】なお、本実施例においては、非球面レンズ
11の焦点距離f=4.6mm、レンズ11の外径φ=
5mm、距離S1=7.518mm、距離S2=11.85
mm、距離比S2/S1=1.576、集光点Cと受光素子
12の間の距離dを3.8mm、集光点Cの近傍の光ビ
ームの集光角度θを16度に設定している。
【0021】集光点Cから受光素子12までの距離が遠
くなると、受光素子12での受光量が減少し、逆に近付
き過ぎるとレーザー光が直接受光素子12に入射しハレ
ーションを起こし検出不能となる。更に、受光素子12
の受光角度である光軸O1と光軸O2との角度αにより散乱
光強度が大幅に変化し、受光角度αが90度未満では散
乱光強度は弱過ぎ、170度以上ではレーザー光が直接
受光素子12に入射してしまう。従って、この間の受光
角度内の120度〜150度に設定することが好適であ
る。このような角度αに設定することにより、受光角度
が180度の場合のように、直射光をマスクするための
光トラップとその大きさ分を受光するための大きな受光
素子12とを必要としないので、小型で簡素な装置を形
成することができる。
【0022】光源10から出射したレーザー光は、非球
面レンズ11により集光点Cに集光する。この場合の光
ビームの光強度は集光点Cが最も強く、光軸O1に沿って
集光点Cから離れるにつれて集光点Cの両側に弱くなる
光強度勾配を有する。粉塵等の被検粒子Pを含む空気流
は集光点Cを含む通過経路内Fを流れ、光ビーム内を被
検粒子Pが通過すると、被検粒子Pにレーザー光が照射
されて散乱光が発生し、光軸O2方向への散乱光は受光素
子12によって受光され、この受光信号は電気パルスに
変換され、ノイズ等を除去するために信号処理回路にお
いて一定レベルの閾値を基に選別される。
【0023】例えば、0.2〜0.3μmよりも小さい
粒径の被検粒子Pの散乱光は、電気パルスの波高値が小
さいので、小さな粒径の被検粒子Pは光強度の強い集光
点Cの近傍を通過した場合のみの散乱光だけが信号処理
回路において検出される。一方、大きな粒径の被検粒子
Pは、集光点Cから稍々離れた光強度の弱い位置を通過
した場合でも、その散乱光からは高い波高値が得られ信
号処理回路で検出される。従って、粒径の大きな被検粒
子Pでは光軸O1に沿った検知領域幅が広くなり、粒径の
小さな被検粒子Pでは集光点C近傍の光強度の強い狭い
部分だけが検知領域幅となる。
【0024】図2はレーザー光に対するこの検知領域幅
の実験値を示している。この実験においては、定数発生
器を使用して発生させたポリスチレンラテックスから成
る標準粒子を検知領域に流し、粒子数濃度をレーザーエ
アロゾルスペクトロメータ(PMS製LASX−CR
T)を使用して測定した。この実験値から被検粒子Pの
粒径xに対応した光ビーム検知断面積が求まり、図3に
示すように検知断面積は粒径の3乗に比例することが分
かる。
【0025】更に、検知領域幅が粒径に依存し検知断面
積が粒径の3乗に比例することから、図4に示すように
計数効率も粒径の3乗に比例することが分かる。この計
数効率は投入粒子数に対する検知粒子数の割合で定義さ
れ、検知粒子数濃度と投入粒子数濃度との比から求める
ことができる。つまりは、大きな粒径の被検粒子Pほど
計数される確率が高くなるために、被検粒子Pの通過数
を計数することによって、質量つまり濃度に比例した出
力を得ることができるのである。
【0026】このことを数式を用いて説明すると、検知
粒子数濃度Dは単位時間当りの検知数Hを吸引流量qで
除して求められ、D=H/qとなる。そして、図4の粒
径xと計数効率E(x)との関係から比例係数をKとす
ると、E(x)=K・xとなる。
【0027】実際の粉塵では粒径はばらつきを有し、個
数を基準とした粒径頻度分布をF(x)、通過粒子数濃
度又は投入粒子数濃度をN、検知粒子数濃度をDとする
と、D=N∫E(x)・F(x)dxとなる。
【0028】一方、質量濃度Mは粒子密度ρと粒子数濃
度Nから、 M=N・(π/6)・ρ∫x ・F(x)dx =(π/6)・ρ・(1/K)・N∫K・x ・F
(x)dx =A・N∫E(x)・F(x)dx =A・D=(A/q)・H ただし、A=(π/6)・ρ・(1/K)
【0029】このことから、計数効率が粒径の3乗に比
例すれば、検知数は質量濃度に比例し、粒径分布に依存
しないことが分かり、更に質量校正を行ってA/qを決
定しておけば、検知数は質量濃度そのものを示すことに
なる。
【0030】図5は図1の検出光学系を粉塵センサに適
用した場合の構成図を示し、検出光学系の受光素子12
で電気パルス信号に変換された出力は、交流増幅回路1
3を介して比較回路14に接続され、更に計数回路1
5、計数表示器16に接続されている。また計数回路1
5の出力はD/A変換器17、直流電圧表示器18に接
続されている。
【0031】受光素子12で検出された電気パルス信号
は、交流増幅回路13において交流信号に増幅され、比
較回路14において一定レベル以上のパルス信号がノイ
ズ信号と区別されて、一定波高値の方形波パルスとして
取り出される。比較回路14によって検出された所定波
高値の方形パルス列は、計数回路15において計数さ
れ、計数表示器16にデジタル量の濃度として表示され
る。また、計数回路15の出力はD/A変換器17でア
ナログ量に変換され、直流電圧表示器18においてアナ
ログ量の濃度として表示される。
【0032】また、計数回路15の出力は図示しない別
の回路を介して粉塵濃度に対応して、LEDの赤・黄・
青の切換えによる段階的表示信号を出力したり、自動的
に空気清浄機の送風機の運転を開始し、粉塵濃度の低下
と共に運転を停止するようにしてもよい。
【0033】図6は低濃度測定可能範囲を調べるための
測定結果を示し、室内粉塵濃度を通常濃度100μg/
から徐々に下げながら粉塵濃度の指示値を記録し
た。これによると、通常濃度の1/1000まで十分に
測定することができ、極めて直線性が良好な結果が得ら
れている。
【0034】しかし、ここで空気移送手段としての小型
ファンの性能低下などにより空気流の速さに変化が生
じ、単位時間当りに通過経路Fを通過する被検粒子Pの
数が変ると、粉塵濃度測定に誤差を伴うことになる。こ
の対策として、例えば図7に示すようにフォトダイオー
ドから成る受光素子12に時間遅れ要素であるCR回路
を接続することにより、流速の変化を補正することがで
きる。
【0035】つまり、流速が早い場合には被検粒子Pの
からの散乱光のパルス幅は狭くなり、このままでは被検
粒子Pの数をそのまま計数してしまうことになるが、時
間遅れ要素回路を付加することにより、パルスは稍々平
滑化され、その高さレベルは元のパルスの高さと時間幅
に比例することになる。従って、閾値を適宜に設定する
ことにより、時間遅れを加えない場合におけるパルスの
高さレベルが大きくなくかつ時間幅が狭いものは除去さ
れることになり、流速の割合に応じてパルスが間引かれ
ることになり、流速の影響を補正できることになる。
【0036】図8はこのような補正回路を使用して測定
した流量とD/A変換器17の出力電圧の関係のグラフ
図である。粉塵濃度が一定の空気を用いてその流量を大
きくしてゆくと、200cc/分程度から出力電圧は一
定となることが分かる。従って、これ以上の領域で使用
するようにすれば、たとえ小型ファンの送風能力が低下
してきても、流速に影響されることのないセンサが得ら
れることになる。
【0037】なお、この時間遅れ要素は特にCR回路を
用いなくとも、例えば受光素子12として静電容量の大
きなフォトダイオードを用いることによっても実現でき
る。
【0038】先に述べたように、一般に空気の流量を変
化させると集光点Cの近傍を通過する単位時間当りの粒
子数が変化し、これによってパルス頻度つまり変換され
た直流電圧値が変化し、たとえ粉塵濃度が一定でも空気
の流量によって出力のばらつきが発生する。しかし、光
散乱積算型粉塵計の場合は原理的に粒子の通過速度には
影響されないので、その出力が空気の流量によって変化
することはない。一方、光散乱粒子計数計では上述のよ
うに流量の変化によってその出力は影響を受けるが、本
実施例のように粒径に応じて検知領域幅を変化させて計
数効率を変えることにより、流量変化に対しての出力変
化を補正することが可能となる。
【0039】このように、本発明によれば安全衛生法、
大気汚染防止法、ビル管理法に規定される0.15mg
/m 以下という数値に対応可能な質量濃度に比例し
た計測値を得ることができ、更にこの1/1000の極
低粒子濃度における粒子検出が可能な粉塵センサや粉塵
濃度計を実現することができ、更に建築物環境の自動管
理システムへの応用も可能となる。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る粒子検
出装置は、集光点を中心とし光強度がその両側に徐々に
弱くなり、検知断面積が粒径の3乗に比例する検知領域
を設けることにより、粒子の計数を行うにも拘らず、質
量濃度を測定することができる。
【0041】
【図面の簡単な説明】
【図1】検出光学系の構成図である。
【図2】光ビームに対する検知領域幅の説明図である。
【図3】光ビームの検知断面積と粒径の関係のグラフ図
である。
【図4】計数効率と粒径の関係のグラフ図である。
【図5】粉塵センサの構成図である。
【図6】粉塵濃度特性のグラフ図である。
【図7】流量補正用回路の構成図である。
【図8】流量と出力電圧の関係のグラフ図である。
【図9】従来例の構成図である。
【図10】検出部位の説明図である。
【図11】従来例の構成図である。
【符号の説明】
10 光源 11 非球面レンズ 12 受光素子 14 比較回路 15 計数回路 16、18 表示器 17 D/A変換回路
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−163631(JP,A) 特開 平4−168345(JP,A) 特開 平3−108635(JP,A) 特開 平5−126717(JP,A) 特開 昭63−153448(JP,A) 特開 昭63−29267(JP,A) 特開 昭64−35345(JP,A) 実公 平1−24616(JP,Y2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 15/00 - 15/14

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源と、該光源からの光ビームを空気の
    通過経路を横切るように投射し、集光点を中心とし光強
    度をその両側に徐々に弱くし、検知断面積が粒径の3乗
    に比例する検知領域を設定する集光レンズと、前記通過
    経路に被検粒子を含む空気を前記検知領域を経て移送す
    る空気移送手段と、前記検知領域を通過する被検粒子か
    らの散乱光を検出する受光素子と、該受光素子の出力の
    うち被検粒子が所定の大きさ以上の散乱光を発生した場
    合にのみ検出して質量濃度を表す検出信号を出力する検
    出手段とを設けたことを特徴とする粒子検出装置。
  2. 【請求項2】 前記光源をレーザーダイオードとし、前
    記受光素子をフォトダイオードとした請求項1に記載の
    粒子検出装置。
  3. 【請求項3】 前記集光レンズは非球面レンズとした請
    求項1に記載の粒子検出装置。
  4. 【請求項4】 前記受光素子を前記光源からの光ビーム
    の光軸と前記受光素子の光軸との成す受光角度が120
    〜150度となるように配置し、前記検知領域を通過す
    る被検粒子からの散乱光を直接検出するようにした請求
    項1に記載の粒子検出装置。
  5. 【請求項5】 前記光源と前記集光レンズと前記受光素
    子とファンから成る前記空気移送手段とをユニットケー
    スに一体的に固定した請求項1に記載の粒子検出装置。
  6. 【請求項6】 前記検出手段の検出信号により被検粒子
    の濃度又は計数値を表示する表示手段を設けた請求項1
    に記載の粒子検出装置。
  7. 【請求項7】 前記検出手段の出力により空気清浄機の
    送風機の作動を制御するようにした請求項1に記載の粒
    子検出装置。
  8. 【請求項8】 前記光源から前記集光レンズの主点まで
    の距離と、前記集光レンズの主点から焦点位置までの距
    離との比を1対1〜3とした請求項1に記載の粒子検出
    装置。
  9. 【請求項9】 前記受光素子の出力を遅延させる時間遅
    れ回路を設けるか、又は前記受光素子を時間遅れを有す
    る受光素子とした請求項1に記載の粒子検出装置。
  10. 【請求項10】 前記時間遅れ回路はCR回路とした請
    求項9に記載の粒子検出装置。
  11. 【請求項11】 前記時間遅れを有する受光素子は静電
    容量の大きいフォトダイオードとした請求項9に記載の
    粒子検出装置。
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