JPH06213795A - 浮遊粒子計測装置 - Google Patents
浮遊粒子計測装置Info
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- JPH06213795A JPH06213795A JP5006505A JP650593A JPH06213795A JP H06213795 A JPH06213795 A JP H06213795A JP 5006505 A JP5006505 A JP 5006505A JP 650593 A JP650593 A JP 650593A JP H06213795 A JPH06213795 A JP H06213795A
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 粒子の検出感度を損なうこと無く、大きな面
積の測定領域で粒子測定ができるようにすることを目的
とする。 【構成】 レーザプラズマチューブ１、共振ミラー１
２、外部共振ミラー１３により外部共振式レーザ発振器
を構成し、平凹シリンドリカルレンズ１０，平凸シリン
ドリカルレンズ１１により共振光路内のレーザ光のビー
ム形状をシート状にし、この部分を被測定流体が通過す
る測定領域とする。
積の測定領域で粒子測定ができるようにすることを目的
とする。 【構成】 レーザプラズマチューブ１、共振ミラー１
２、外部共振ミラー１３により外部共振式レーザ発振器
を構成し、平凹シリンドリカルレンズ１０，平凸シリン
ドリカルレンズ１１により共振光路内のレーザ光のビー
ム形状をシート状にし、この部分を被測定流体が通過す
る測定領域とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、空間に浮遊する粒子
の検出を光り散乱により行う浮遊粒子計測装置に関する
ものである。
の検出を光り散乱により行う浮遊粒子計測装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は、例えば特開平３−３９６３５公
報等に示された従来の微粒子検出装置を示す斜視図であ
る。同図において１ａはレーザ発振器、２ａはレーザ発
振器１ａより発振したレーザ光、３ａは被測定流体が流
される粒子測定セル、４は粒子測定セル３ａに流される
被測定流体中に存在する微粒子、５ａは微粒子測定セル
に取り付けられ被測定流体を微粒子測定セルに導入する
導入管、５ｂは微粒子測定セル３ａ内の被測定流体を排
出する導出管、６は微粒子測定セル３ａ内で通過するレ
ーザ光微粒子が横切ることにより発生する散乱光を集光
する集光レンズ、７は集光レンズ６で集光した散乱光を
検出する光検出器である。また、８はレーザ発振器１ａ
から発振されたレーザ光２を集光する投光レンズ、９は
微粒子測定セル３ａを通過したレーザ光をブロックする
レーザブロックであり、投光レンズ８で集光されたレー
ザ光２の焦点は、微粒子測定セル３ａの中心部付近に位
置する。
報等に示された従来の微粒子検出装置を示す斜視図であ
る。同図において１ａはレーザ発振器、２ａはレーザ発
振器１ａより発振したレーザ光、３ａは被測定流体が流
される粒子測定セル、４は粒子測定セル３ａに流される
被測定流体中に存在する微粒子、５ａは微粒子測定セル
に取り付けられ被測定流体を微粒子測定セルに導入する
導入管、５ｂは微粒子測定セル３ａ内の被測定流体を排
出する導出管、６は微粒子測定セル３ａ内で通過するレ
ーザ光微粒子が横切ることにより発生する散乱光を集光
する集光レンズ、７は集光レンズ６で集光した散乱光を
検出する光検出器である。また、８はレーザ発振器１ａ
から発振されたレーザ光２を集光する投光レンズ、９は
微粒子測定セル３ａを通過したレーザ光をブロックする
レーザブロックであり、投光レンズ８で集光されたレー
ザ光２の焦点は、微粒子測定セル３ａの中心部付近に位
置する。
【０００３】次に、この微粒子検出装置の動作について
説明する。まず、レーザ発振器１ａより放出されたレー
ザ光２ａは投光レンズ８により集光され粒子測定セル３
ａ内に導入される。一方、導入管５ａより被測定流体が
粒子測定セル３ａに導入され、排出管５ｂより排出され
ている。ここで、被測定流体に混在する微細粒子４は、
粒子測定セル３ａ内でレーザ光２の焦点を通過したと
き、そのレーザ光２を光散乱させる。この散乱光は集光
レンズ６で集光され、光検出器７により検出される。
説明する。まず、レーザ発振器１ａより放出されたレー
ザ光２ａは投光レンズ８により集光され粒子測定セル３
ａ内に導入される。一方、導入管５ａより被測定流体が
粒子測定セル３ａに導入され、排出管５ｂより排出され
ている。ここで、被測定流体に混在する微細粒子４は、
粒子測定セル３ａ内でレーザ光２の焦点を通過したと
き、そのレーザ光２を光散乱させる。この散乱光は集光
レンズ６で集光され、光検出器７により検出される。
【０００４】このときの散乱光の光強度と散乱光の数か
ら、微細粒子４の粒子径や個数を求めることができる。
この散乱光の光強度は微細粒子４の大きさに指数関数的
に比例する。被測定流体が、粒子測定セル３ａ内を一定
の流速で通過しているとき、ある一定時間内に検出した
散乱光の数により、この被測定流体内の一定体積当たり
に存在する微細粒子の数とする。また、投光レンズ８に
より集光されるレーザ光２ａは、そのビーム径が粒子測
定セル３ａ内で小さくなればなるほど、その点における
光強度は大きくなり、微細粒子が通過したために発生す
る散乱光の強度が大きくなる。したがって、より小さい
微粒子の検出が可能となる。
ら、微細粒子４の粒子径や個数を求めることができる。
この散乱光の光強度は微細粒子４の大きさに指数関数的
に比例する。被測定流体が、粒子測定セル３ａ内を一定
の流速で通過しているとき、ある一定時間内に検出した
散乱光の数により、この被測定流体内の一定体積当たり
に存在する微細粒子の数とする。また、投光レンズ８に
より集光されるレーザ光２ａは、そのビーム径が粒子測
定セル３ａ内で小さくなればなるほど、その点における
光強度は大きくなり、微細粒子が通過したために発生す
る散乱光の強度が大きくなる。したがって、より小さい
微粒子の検出が可能となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来は以上のように構
成されていたので、粒子測定セル３ａ内を通過する微細
粒子の数を正確に測定できないという問題があった。す
なわち、検出感度を向上させるためにレーザ光２のビー
ム径を小さくしてあり、この小さなビーム径のレーザ光
２を、粒子測定セル３ａ内を通過する全ての微細粒子が
通過するようにすることは不可能である。
成されていたので、粒子測定セル３ａ内を通過する微細
粒子の数を正確に測定できないという問題があった。す
なわち、検出感度を向上させるためにレーザ光２のビー
ム径を小さくしてあり、この小さなビーム径のレーザ光
２を、粒子測定セル３ａ内を通過する全ての微細粒子が
通過するようにすることは不可能である。
【０００６】これを解消するために、用いるレーザ光を
拡大し、被測定流体の流路である粒子測定セル３ａのあ
る断面全体にレーザ光が通過するように、レーザ光のビ
ームを拡大することも考えられる。しかし、これではレ
ーザ光の光強度が低下してしまい、微細粒子がビームを
横切るときに発生する散乱光の強度も小さくなり、これ
を検出できなくなってしまう。
拡大し、被測定流体の流路である粒子測定セル３ａのあ
る断面全体にレーザ光が通過するように、レーザ光のビ
ームを拡大することも考えられる。しかし、これではレ
ーザ光の光強度が低下してしまい、微細粒子がビームを
横切るときに発生する散乱光の強度も小さくなり、これ
を検出できなくなってしまう。
【０００７】また、レーザ光をガルバノミラーな等で走
査したり、あるいはレーザ光を鋸歯条に多重反射させる
などすることも考えられる。しかし、これでもレーザ光
の光強度の低下による粒子検出感度の劣化が起こり、加
えて、この方法では測定できない領域の存在が残り、正
確な微細粒子の測定が不可能であった。
査したり、あるいはレーザ光を鋸歯条に多重反射させる
などすることも考えられる。しかし、これでもレーザ光
の光強度の低下による粒子検出感度の劣化が起こり、加
えて、この方法では測定できない領域の存在が残り、正
確な微細粒子の測定が不可能であった。
【０００８】この発明は、以上のような問題点を解消す
るために成されたものであり、粒子の検出感度を損なう
こと無く、大きな面積の測定領域で粒子測定ができるよ
うにすることを目的とする。
るために成されたものであり、粒子の検出感度を損なう
こと無く、大きな面積の測定領域で粒子測定ができるよ
うにすることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の浮遊粒子計測
装置は、外部ミラーとレーザ媒質の間の共振光路の所定
の領域において、レーザ光が断面が長方形のシート状と
なっているレーザ発振器と、所定の領域内のシート状に
なっているレーザ光を横切るように通過する流体通過部
と、その所定の領域と流体通過部との交わる領域で生じ
る、シート状になっているレーザ光の散乱光を検出する
光検出手段とを有することを特徴とする。またこの発明
の浮遊粒子計測装置は、光検出手段が微細な光電変換部
が所定の間隔でマトリックス状に並んでいる２次元光検
出手段であることを特徴とするを特徴とする。
装置は、外部ミラーとレーザ媒質の間の共振光路の所定
の領域において、レーザ光が断面が長方形のシート状と
なっているレーザ発振器と、所定の領域内のシート状に
なっているレーザ光を横切るように通過する流体通過部
と、その所定の領域と流体通過部との交わる領域で生じ
る、シート状になっているレーザ光の散乱光を検出する
光検出手段とを有することを特徴とする。またこの発明
の浮遊粒子計測装置は、光検出手段が微細な光電変換部
が所定の間隔でマトリックス状に並んでいる２次元光検
出手段であることを特徴とするを特徴とする。
【００１０】
【作用】流体通過部を通過する被測定流体中の微粒子
は、全てがシート状になっているレーザ光を横切る。
は、全てがシート状になっているレーザ光を横切る。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の１実施例を図を参照して説
明する。図１は、この発明の１実施例による浮遊粒子計
測装置の構成図である。同図において、１はレーザ発振
におけるレーザ媒質であるレーザプラズマチューブ、２
ａはシート状に広げられたレーザビーム、３は被測定流
体が流される直方体の粒子測定セル、１０はレーザプラ
ズマチューブ１から放出されたレーザ光をシート状に広
げる平凹シリンドリカルレンズ、１１は平凹シリンドリ
カルレンズ１０で広げられたレーザ光を、平行なシート
状にする平凸シリンドリカルレンズ、１２はレーザプラ
ズマチューブ１の一端に取り付けられた共振ミラー、１
３はレーザプラズマチューブ１の共振ミラー１２が取り
付けられた対面から放出されたレーザ光を反射する外部
共振ミラー、１４は粒子測定セルに設けられたレーザビ
ーム入出射窓であり、他は図２と同様である。
明する。図１は、この発明の１実施例による浮遊粒子計
測装置の構成図である。同図において、１はレーザ発振
におけるレーザ媒質であるレーザプラズマチューブ、２
ａはシート状に広げられたレーザビーム、３は被測定流
体が流される直方体の粒子測定セル、１０はレーザプラ
ズマチューブ１から放出されたレーザ光をシート状に広
げる平凹シリンドリカルレンズ、１１は平凹シリンドリ
カルレンズ１０で広げられたレーザ光を、平行なシート
状にする平凸シリンドリカルレンズ、１２はレーザプラ
ズマチューブ１の一端に取り付けられた共振ミラー、１
３はレーザプラズマチューブ１の共振ミラー１２が取り
付けられた対面から放出されたレーザ光を反射する外部
共振ミラー、１４は粒子測定セルに設けられたレーザビ
ーム入出射窓であり、他は図２と同様である。
【００１２】この実施例においても、被測定流体に混在
する微細粒子４が測定されるまでの動作は基本的に従来
例と同一である。しかし、この浮遊粒子計測装置におい
ては、レーザプラズマチューブ１、共振ミラー１２、外
部共振ミラー１３により外部共振式レーザ発振器を構成
している。そして、平凹シリンドリカルレンズ１０，平
凸シリンドリカルレンズ１１により共振光路内のレーザ
光のビーム形状をシート状にし、この部分を被測定流体
が通過する測定領域としている。なお、レーザビーム２
ａが通過する粒子測定セル３は直方体に限るものではな
いが、この実施例のようにレーザビーム２ａを平面のレ
ーザビーム入出射窓１４を介して粒子測定セル３内に導
くようにする方が、レーザ光の不要な反射等が抑えられ
る。
する微細粒子４が測定されるまでの動作は基本的に従来
例と同一である。しかし、この浮遊粒子計測装置におい
ては、レーザプラズマチューブ１、共振ミラー１２、外
部共振ミラー１３により外部共振式レーザ発振器を構成
している。そして、平凹シリンドリカルレンズ１０，平
凸シリンドリカルレンズ１１により共振光路内のレーザ
光のビーム形状をシート状にし、この部分を被測定流体
が通過する測定領域としている。なお、レーザビーム２
ａが通過する粒子測定セル３は直方体に限るものではな
いが、この実施例のようにレーザビーム２ａを平面のレ
ーザビーム入出射窓１４を介して粒子測定セル３内に導
くようにする方が、レーザ光の不要な反射等が抑えられ
る。
【００１３】通常のレーザ発振器では、出射されるレー
ザ光はハーフミラーを通過してくるのでその強度は内部
におけるレーザ光強度より大きく減衰している。従っ
て、レーザ発振器内部におけるレーザ光を用いれば、こ
のレーザ光の光束をシート状に広げても、ハーフミラー
を介して出射されるレーザ光よりも充分に大きな強度が
得られる。このようにすることにより、この浮遊粒子計
測装置では、シート状に拡大したレーザ光を用いてもそ
の強度を従来の１００〜２００倍に高められる。このこ
とは検出感度の向上につながり、より微細な粒径の粒子
計測が可能となり、また測定領域を全面にわたって漏れ
なくレーザ照射するため、粒子の計数落ちが発生せず、
正確な計数測定ができる。
ザ光はハーフミラーを通過してくるのでその強度は内部
におけるレーザ光強度より大きく減衰している。従っ
て、レーザ発振器内部におけるレーザ光を用いれば、こ
のレーザ光の光束をシート状に広げても、ハーフミラー
を介して出射されるレーザ光よりも充分に大きな強度が
得られる。このようにすることにより、この浮遊粒子計
測装置では、シート状に拡大したレーザ光を用いてもそ
の強度を従来の１００〜２００倍に高められる。このこ
とは検出感度の向上につながり、より微細な粒径の粒子
計測が可能となり、また測定領域を全面にわたって漏れ
なくレーザ照射するため、粒子の計数落ちが発生せず、
正確な計数測定ができる。
【００１４】なお、上記実施例における光検出器７とし
て、ＣＣＤ等の２次元光センサを用いてもよい。ＣＣＤ
は、微小な光検出部であるフォトダイオードが所定の間
隔でマトリックス状に配列された２次元光センサであ
る。このような、複眼的な構造を持つ２次元光センサを
用いることにより、微細粒子によるレーザ光の散乱光
と、他の光との区別が容易にできるようになり、被測定
流体物質からのレーレー散乱光（背景光に相当する）と
微細粒子からの散乱光の強度比がさらに改善され、一層
のＳ／Ｎ比の向上が図れる。また、被測定流体中に大量
の微細粒子が存在しても正確な計数測定ができる。
て、ＣＣＤ等の２次元光センサを用いてもよい。ＣＣＤ
は、微小な光検出部であるフォトダイオードが所定の間
隔でマトリックス状に配列された２次元光センサであ
る。このような、複眼的な構造を持つ２次元光センサを
用いることにより、微細粒子によるレーザ光の散乱光
と、他の光との区別が容易にできるようになり、被測定
流体物質からのレーレー散乱光（背景光に相当する）と
微細粒子からの散乱光の強度比がさらに改善され、一層
のＳ／Ｎ比の向上が図れる。また、被測定流体中に大量
の微細粒子が存在しても正確な計数測定ができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
レーザを外部共振式とし、かつ共振光路中の測定領域に
相当する部分のビーム形状をシート状にしたので、レー
ザ光の強度を落とすことなく、逆にその強度を強くして
照射面積の大面積化をすることが可能となる。従って、
粒子測定における計数落ちを防止し、Ｓ／Ｎ比が向上す
るという効果がある。加えて、正確な微細粒子の計数測
定、並びに、検出感度向上によるより小さな微細粒子
（粒子径０．１μｍ級）の計測が可能となる。また、光
検出手段として、光検出手段が微細な光電変換部が所定
の間隔でマトリックス状に並んでいる２次元光検出手段
を用いることにより、検出時のＳ／Ｎ比が向上するとい
う効果がある。
レーザを外部共振式とし、かつ共振光路中の測定領域に
相当する部分のビーム形状をシート状にしたので、レー
ザ光の強度を落とすことなく、逆にその強度を強くして
照射面積の大面積化をすることが可能となる。従って、
粒子測定における計数落ちを防止し、Ｓ／Ｎ比が向上す
るという効果がある。加えて、正確な微細粒子の計数測
定、並びに、検出感度向上によるより小さな微細粒子
（粒子径０．１μｍ級）の計測が可能となる。また、光
検出手段として、光検出手段が微細な光電変換部が所定
の間隔でマトリックス状に並んでいる２次元光検出手段
を用いることにより、検出時のＳ／Ｎ比が向上するとい
う効果がある。
【図１】この発明の１実施例である微細粒子測定装置の
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
【図２】従来の微粒子検出装置の構成を示す斜視図であ
る。
る。
１ レーザプラズマチューブ ２ レーザ光 ３ 粒子測定セル ４ 微細粒子 ５ａ 導入管 ５ｂ 導出管 ６ 集光レンズ ７ 光検出器 １０ 平凹シリンドリカルレンズ １１ 平凸シリンドリカルレンズ １２ 共振ミラー １３ 外部共振ミラー １４ レーザビーム入出射窓
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年９月３０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、空間に浮遊する粒子
の検出を光散乱により行う浮遊粒子計測装置に関するも
のである。
の検出を光散乱により行う浮遊粒子計測装置に関するも
のである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の浮遊粒子計測
装置は、外部ミラーとレーザ媒質の間の共振光路の所定
の領域において、レーザ光の断面が長方形のシート状と
なっているレーザ発振器と、所定の領域内のシート状に
なっているレーザ光を横切るように通過する流体通過部
と、その所定の領域と流体通過部との交わる領域で生じ
る、シート状になっているレーザ光の散乱光を検出する
光検出手段とを有することを特徴とする。またこの発明
の浮遊粒子計測装置は、光検出手段が微細な光電変換部
が所定の間隔でマトリックス状に並んでいる２次元光検
出手段であることを特徴とする。
装置は、外部ミラーとレーザ媒質の間の共振光路の所定
の領域において、レーザ光の断面が長方形のシート状と
なっているレーザ発振器と、所定の領域内のシート状に
なっているレーザ光を横切るように通過する流体通過部
と、その所定の領域と流体通過部との交わる領域で生じ
る、シート状になっているレーザ光の散乱光を検出する
光検出手段とを有することを特徴とする。またこの発明
の浮遊粒子計測装置は、光検出手段が微細な光電変換部
が所定の間隔でマトリックス状に並んでいる２次元光検
出手段であることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】
【実施例】以下、この発明の１実施例を図を参照して説
明する。図１は、この発明の１実施例による浮遊粒子計
測装置の構成図である。同図において、１はレーザ発振
におけるレーザ媒質であるレーザプラズマチューブ、２
はシート状に広げられたレーザビーム、３は被測定流体
が流される直方体の粒子測定セル、１０はレーザプラズ
マチューブ１から放出されたレーザ光をシート状に広げ
る平凹シリンドリカルレンズ、１１は平凹シリンドリカ
ルレンズ１０で広げられたレーザ光を、平行なシート状
にする平凸シリンドリカルレンズ、１２はレーザプラズ
マチューブ１の一端に取り付けられた共振ミラー、１３
はレーザプラズマチューブ１の共振ミラー１２が取り付
けられた対面から放出されたレーザ光を反射する外部共
振ミラー、１４は粒子測定セルに設けられたレーザビー
ム入出射窓であり、他は図２と同様である。
明する。図１は、この発明の１実施例による浮遊粒子計
測装置の構成図である。同図において、１はレーザ発振
におけるレーザ媒質であるレーザプラズマチューブ、２
はシート状に広げられたレーザビーム、３は被測定流体
が流される直方体の粒子測定セル、１０はレーザプラズ
マチューブ１から放出されたレーザ光をシート状に広げ
る平凹シリンドリカルレンズ、１１は平凹シリンドリカ
ルレンズ１０で広げられたレーザ光を、平行なシート状
にする平凸シリンドリカルレンズ、１２はレーザプラズ
マチューブ１の一端に取り付けられた共振ミラー、１３
はレーザプラズマチューブ１の共振ミラー１２が取り付
けられた対面から放出されたレーザ光を反射する外部共
振ミラー、１４は粒子測定セルに設けられたレーザビー
ム入出射窓であり、他は図２と同様である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】この実施例においても、被測定流体に混在
する微細粒子４が測定されるまでの動作は基本的に従来
例と同一である。しかし、この浮遊粒子計測装置におい
ては、レーザプラズマチューブ１、共振ミラー１２、外
部共振ミラー１３により外部共振式レーザ発振器を構成
している。そして、平凹シリンドリカルレンズ１０，平
凸シリンドリカルレンズ１１により共振光路内のレーザ
光のビーム形状をシート状にし、この部分を被測定流体
が通過する測定領域としている。なお、レーザビーム２
が通過する粒子測定セル３は直方体に限るものではない
が、この実施例のようにレーザビーム２を平面のレーザ
ビーム入出射窓１４を介して粒子測定セル３内に導くよ
うにする方が、レーザ光の不要な反射等が抑えられる。
する微細粒子４が測定されるまでの動作は基本的に従来
例と同一である。しかし、この浮遊粒子計測装置におい
ては、レーザプラズマチューブ１、共振ミラー１２、外
部共振ミラー１３により外部共振式レーザ発振器を構成
している。そして、平凹シリンドリカルレンズ１０，平
凸シリンドリカルレンズ１１により共振光路内のレーザ
光のビーム形状をシート状にし、この部分を被測定流体
が通過する測定領域としている。なお、レーザビーム２
が通過する粒子測定セル３は直方体に限るものではない
が、この実施例のようにレーザビーム２を平面のレーザ
ビーム入出射窓１４を介して粒子測定セル３内に導くよ
うにする方が、レーザ光の不要な反射等が抑えられる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小坂 宣之 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社生産技術研究所内 (72)発明者 宮崎 陽子 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社生産技術研究所内 (72)発明者 高浜 亨 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社生産技術研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 外部ミラーとレーザ媒質の間の共振光路
の所定の領域において、レーザ光が断面が長方形のシー
ト状となっているレーザ発振器と、 前記所定の領域内のシート状になっているレーザ光を横
切るように通過する流体通過部と、 前記所定の領域と流体通過部との交わる領域で生じる、
前記シート状になっているレーザ光の散乱光を検出する
光検出手段とを有することを特徴とする浮遊粒子計測装
置。 - 【請求項２】 請求項１記載の浮遊粒子計測装置におい
て、 前記光検出手段が、微細な光電変換部が所定の間隔でマ
トリックス状に並んでいる２次元光検出手段であること
を特徴とする浮遊粒子計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5006505A JPH06213795A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | 浮遊粒子計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5006505A JPH06213795A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | 浮遊粒子計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06213795A true JPH06213795A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=11640295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5006505A Pending JPH06213795A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | 浮遊粒子計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06213795A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005070027A (ja) * | 2003-08-06 | 2005-03-17 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 光散乱式粒子計数装置 |
| JP2007507705A (ja) * | 2003-10-02 | 2007-03-29 | ユニデータ ヨーロッパ リミテッド | 微粒子検出器 |
| JP2008527366A (ja) * | 2005-01-14 | 2008-07-24 | ユニデータ ヨーロッパ リミテッド | 粒子状物質検出器 |
| JP2011503551A (ja) * | 2007-11-05 | 2011-01-27 | アボット・ラボラトリーズ | 流れの中の生物学的粒子を高速にカウントおよび同定する方法ならびに装置 |
| KR101111961B1 (ko) * | 2009-12-28 | 2012-02-14 | 한국기초과학지원연구원 | Ｃｅｓ 플라즈마 진단을 위한 렌즈 시스템 |
| JP5859154B1 (ja) * | 2015-03-06 | 2016-02-10 | リオン株式会社 | パーティクルカウンタ |
-
1993
- 1993-01-19 JP JP5006505A patent/JPH06213795A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005070027A (ja) * | 2003-08-06 | 2005-03-17 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 光散乱式粒子計数装置 |
| JP2007507705A (ja) * | 2003-10-02 | 2007-03-29 | ユニデータ ヨーロッパ リミテッド | 微粒子検出器 |
| JP2008527366A (ja) * | 2005-01-14 | 2008-07-24 | ユニデータ ヨーロッパ リミテッド | 粒子状物質検出器 |
| JP2011503551A (ja) * | 2007-11-05 | 2011-01-27 | アボット・ラボラトリーズ | 流れの中の生物学的粒子を高速にカウントおよび同定する方法ならびに装置 |
| KR101111961B1 (ko) * | 2009-12-28 | 2012-02-14 | 한국기초과학지원연구원 | Ｃｅｓ 플라즈마 진단을 위한 렌즈 시스템 |
| JP5859154B1 (ja) * | 2015-03-06 | 2016-02-10 | リオン株式会社 | パーティクルカウンタ |
| JP2016164530A (ja) * | 2015-03-06 | 2016-09-08 | リオン株式会社 | パーティクルカウンタ |
| US10054529B2 (en) | 2015-03-06 | 2018-08-21 | Rion Co., Ltd. | Particle counter |
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