JP2007507705A - 微粒子検出器 - Google Patents
微粒子検出器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007507705A JP2007507705A JP2006530561A JP2006530561A JP2007507705A JP 2007507705 A JP2007507705 A JP 2007507705A JP 2006530561 A JP2006530561 A JP 2006530561A JP 2006530561 A JP2006530561 A JP 2006530561A JP 2007507705 A JP2007507705 A JP 2007507705A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- duct
- emitter
- irradiation
- detector
- particulates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 17
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 17
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 8
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000012717 electrostatic precipitator Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000013213 extrapolation Methods 0.000 description 1
- 229920001903 high density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004700 high-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- 230000036512 infertility Effects 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004702 low-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2247—Sampling from a flowing stream of gas
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N1/2205—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling with filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/075—Investigating concentration of particle suspensions by optical means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
下記の他のエミッタよりコストが安い赤外線照射を使用することができ、一方、ダクトまたはガス内に存在する任意の水蒸気は、赤外線照射の少なくとも一部を吸収する。このような欠点は、例えば、水の赤外線スペクトル内の低い吸収エリア内に感度を有するCCDカメラ(約675nmのところに感度のピークを有する)のような検出器を使用することにより軽減することができる。しかし、照射輝度は比較的低く(これは検出器の感度を増大することにより補償することができる)、視準が悪く、波長がより長いために閃光の検出性能が制限される場合がある。
マイクロ波照射は適当な放射源ではない。何故なら、ダクト内の振動およびダクトへの外部の動きが振動を起こし、閃光の任意の検出を信頼できないものにするからである。また、市販のマイクロ波システムは、本発明が必要とする効果とは異なる効果である微粒子の検出のためにドップラー・シフトに依存している。ドップラー・シフトは、微粒子の速度を測定する。それ故、マイクロ波システムは小さな後方散乱または閃光を発生する。さらに、マイクロ波照射の波長は、個々の微粒子の通常の寸法と比較すると非常に長く、マイクロ波照射の全反射が、微粒子の雲から発生する。ビーム・サイズおよび方向は比較的容易に制御することができ、そのためダクトの有効範囲を適当に制御することができるが、多経路がマイクロ波の照射に関連する問題である。ダクトの材料の透明性も望ましくない信号を発生する場合がある。
Claims (30)
- ダクト内におけるガス中の一過性微粒子の存在を検出するための装置であって、前記ダクトのほぼ全断面にわたって投影することができる赤外線、紫外線および可視光線から選択した照射用の少なくとも1つのエミッタと、前記微粒子からの照射の任意の閃光を検出するための少なくとも1つの検出器とを備える装置。
- 照射のための前記エミッタが、単一のエミッタである請求項1に記載の装置。
- 前記照射が、460nm〜680nmの範囲内の波長を有する請求項1または2に記載の装置。
- 前記エミッタがレーザである請求項1〜3の何れか1項に記載の装置。
- 前記照射が、532nm〜680nmの範囲内の波長を有する請求項4に記載の装置。
- 前記検出器がカメラである請求項1〜5の何れか1項に記載の装置。
- 前記検出器が、少なくとも1つのフォトトランジスタである請求項1〜5の何れか1項に記載の装置。
- 前記検出器がビデオ・カメラである請求項1〜5の何れか1項に記載の装置。
- 前記検出器が、前記照射エミッタの周囲に配置されている請求項1〜8の何れか1項に記載の装置。
- 前記エミッタからの照射がファン状に拡がっている請求項1〜9の何れか1項に記載の装置。
- 前記検出器が、ライン発生装置によりファン状に配置されている請求項10に記載の装置。
- 前記照射が、光学レンズによりファン状に拡がっている請求項10に記載の装置。
- 前記エミッタからの照射が走査される請求項1〜9の何れか1項に記載の装置。
- 前記エミッタからの照射が、ミラーにより前記ダクト内で走査され、その運動が、前記ダクト内の照射の方を向く請求項13に記載の装置。
- 前記エミッタ照射周波数が、その周波数用の検出器と整合する請求項1〜14の何れか1項に記載の装置。
- 照射用の前記エミッタおよび前記検出器が、前記ダクト壁部の外部に位置し、前記ダクト壁部が透明な窓を備えていて、そのため照射および閃光が透明な窓を通して前記ダクト壁部を透過する請求項1〜15の何れか1項に記載の装置。
- ダクトと、前記ダクトのほぼ全断面にわたって投影することができる照射用の少なくとも1つのエミッタと、前記微粒子からの照射の任意の閃光を検出するための少なくとも1つの検出器とを備える、請求項1〜16の何れか1項に記載のダクト内で微粒子を検出するための装置。
- 産業プロセスへの入口の前記ダクト内に位置する請求項17に記載の装置。
- 産業プロセスからの出口の前記ダクト内に位置する請求項17に記載の装置。
- 前記装置が、前記入口内のガスの方向に関して、産業プロセスへの前記入口内のタービンの上流の前記ダクト内に位置する請求項18に記載の装置。
- 前記装置が、前記出口内のガスの方向に関して、産業プロセスからの前記出口内のタービンの下流の前記ダクト内に位置する請求項19に記載の装置。
- ダクトを赤外線、紫外線および可視光線から選択した照射用の少なくとも1つのエミッタで照射するステップと、ダクトのほぼ全断面にわたって前記照射を投影するステップと、前記微粒子からの前記照射の任意の閃光を検出するステップとを含み、ダクト内におけるガス中の通常ゼロすなわち許容できるレベルより上の一過性微粒子の存在を検出するための方法。
- 前記ガスが低減システムを通過した後、特定のある位置における前記ダクト内で前記放射線を投影するステップを含む請求項23に記載の方法。
- 産業プロセスへの前記入口で、ダクト内の一過性微粒子を検出するステップを含む請求項23または24に記載の方法。
- 産業プロセスからの前記出口で、ダクト内の一過性微粒子を検出するステップを含む請求項23または24に記載の方法。
- 前記出口内のガスの方向について、産業プロセスへの前記入口内のタービンの上流のダクト内の一過性微粒子を検出するステップを含む請求項25に記載の方法。
- 前記出口内のガスの方向について、産業プロセスからの前記出口内のタービンの下流のダクト内の一過性微粒子を検出するステップを含む請求項26に記載の方法。
- 前記産業プロセスが発電所である請求項27に記載の方法。
- 前記低減システムが、本質的に微粒子を含んでいない環境を必要とするエリアへの前記入口内に位置する請求項24に記載の方法。
- 本質的に微粒子を含んでいない環境が、病院内である請求項30に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0323055.4A GB0323055D0 (en) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | Particulate detector |
PCT/GB2004/004141 WO2005033675A1 (en) | 2003-10-02 | 2004-09-28 | Particulate detector |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007507705A true JP2007507705A (ja) | 2007-03-29 |
Family
ID=29415351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006530561A Pending JP2007507705A (ja) | 2003-10-02 | 2004-09-28 | 微粒子検出器 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20070040694A1 (ja) |
EP (1) | EP1676119A1 (ja) |
JP (1) | JP2007507705A (ja) |
BR (1) | BRPI0415000A (ja) |
CA (1) | CA2545041A1 (ja) |
GB (1) | GB0323055D0 (ja) |
MX (1) | MXPA06003604A (ja) |
WO (1) | WO2005033675A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015014606A (ja) * | 2007-11-15 | 2015-01-22 | エックストラリス・テクノロジーズ・リミテッド | 粒子の検出 |
US9267884B2 (en) | 2008-06-10 | 2016-02-23 | Xtralis Technologies Ltd | Particle detection |
US9448168B2 (en) | 2009-05-01 | 2016-09-20 | Xtralis Technologies Ltd | Particle detectors |
US9594066B2 (en) | 2004-11-12 | 2017-03-14 | Garrett Thermal Systems Limited | Particle detector, system and method |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2003902319A0 (en) | 2003-05-14 | 2003-05-29 | Garrett Thermal Systems Limited | Laser video detector |
GB0500687D0 (en) * | 2005-01-14 | 2005-02-23 | Unidata Europ Ltd | Particulate detector |
US7462220B2 (en) * | 2005-08-31 | 2008-12-09 | General Electric Company | Methods and systems for detecting filter rupture |
GB0519323D0 (en) | 2005-09-22 | 2005-11-02 | Bann John R | Scattering centre detector assembly and method |
FR3000589B1 (fr) * | 2012-12-28 | 2016-05-06 | Finsecur | Dispositif d'emission de lumiere pour la detection de passage, procede de fabrication d'un tel dispositif et dispositif d'alarme le comportant |
JP6523257B2 (ja) * | 2013-06-03 | 2019-05-29 | ギャレット・サーマル・システムズ・リミテッドGarrett Thermal Systems Limited | 粒子検知システムおよび関連方法 |
US9851299B2 (en) * | 2014-10-25 | 2017-12-26 | Isle Management Co. | Method of analyzing air quality |
DE102014223151A1 (de) * | 2014-11-13 | 2016-05-19 | Robert Bosch Gmbh | Partikelzähler |
GB201609820D0 (en) | 2016-06-06 | 2016-07-20 | Rolls Royce Plc | Condensation Irradiation system |
EP3290342A1 (en) * | 2016-09-06 | 2018-03-07 | Rolls-Royce North American Technologies, Inc. | Methods of modifying turbine engine operating limits |
CN108956395B (zh) * | 2017-05-18 | 2021-01-08 | 中兴通讯股份有限公司 | 一种空气微粒浓度检测的方法及终端 |
US11492967B2 (en) | 2019-07-03 | 2022-11-08 | Raytheon Technologies Corporation | Particulate ingestion sensor for gas turbine engines |
US11726035B2 (en) * | 2020-12-11 | 2023-08-15 | Raytheon Technologies Corporation | Terahertz enhanced foreign object debris discrimination for optical particulate sensor |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4228353A (en) * | 1978-05-02 | 1980-10-14 | Johnson Steven A | Multiple-phase flowmeter and materials analysis apparatus and method |
JPS6468638A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-14 | Yokogawa Electric Corp | Image observing device for particle in reaction tank |
JPH0222534A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-25 | Fujitsu Ltd | 粒子測定装置 |
JPH0266427A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-03-06 | Pacific Scientific Co | 直接散乱ライト検出による微粒子測定装置 |
US5092675A (en) * | 1989-11-14 | 1992-03-03 | Pacific Scientific Company | Vacuum line particle detector with slab laser |
JPH05172731A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-09 | Fujitsu Ltd | 粒子検出方法 |
JPH0682360A (ja) * | 1991-11-27 | 1994-03-22 | Applied Materials Inc | 真空チャンバ内の系内微粒子測定方法 |
JPH06213795A (ja) * | 1993-01-19 | 1994-08-05 | Mitsubishi Electric Corp | 浮遊粒子計測装置 |
JPH06300677A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-28 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 粒子検知装置 |
JPH07504497A (ja) * | 1992-02-21 | 1995-05-18 | イギリス国 | 粒子特性の分析 |
JPH07218419A (ja) * | 1994-02-07 | 1995-08-18 | Mitsubishi Electric Corp | 光散乱式広域粒子計測装置およびそれを用いた粒子計測方法 |
WO1999064841A1 (en) * | 1998-06-12 | 1999-12-16 | Rose Thomas H | Backscatter instrument for monitoring particulate levels in a gas stream |
JP2000097841A (ja) * | 1998-08-22 | 2000-04-07 | Malvern Instruments Ltd | 粒子サイズの分布を測定するための装置及び方法 |
JP2001027599A (ja) * | 1999-06-14 | 2001-01-30 | General Electric Co <Ge> | 配管内粒子状物質検出器 |
JP2001196431A (ja) * | 2000-01-17 | 2001-07-19 | Hitachi Ltd | 回路基板の製造方法およびその装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4711571A (en) * | 1986-01-15 | 1987-12-08 | Mark Schuman | Radiant emission and absorption multigas analyzer |
US4786817A (en) * | 1986-08-29 | 1988-11-22 | Measurex Corporation | System and method for measurement of traveling webs |
US4801352A (en) * | 1986-12-30 | 1989-01-31 | Image Micro Systems, Inc. | Flowing gas seal enclosure for processing workpiece surface with controlled gas environment and intense laser irradiation |
EP0618440A1 (en) * | 1993-03-29 | 1994-10-05 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for high-efficiency, in-situ particle detection |
US6055052A (en) * | 1998-01-26 | 2000-04-25 | Mie Corporation | System for, and method of, monitoring airborne particulate, including particulate of the PM2.5 class |
GB2340936B (en) * | 1998-08-22 | 2003-08-13 | Malvern Instr Ltd | Improvements relating to the measurement of particle size distribution |
US6778272B2 (en) * | 1999-03-02 | 2004-08-17 | Renesas Technology Corp. | Method of processing a semiconductor device |
JP2001118783A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-04-27 | Nikon Corp | 露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 |
GB2371858B (en) * | 2001-02-05 | 2004-10-13 | Abb Offshore Systems Ltd | Monitoring particles in a fluid flow |
DE10137009C1 (de) | 2001-07-28 | 2003-04-03 | Mic Measuring Ideas Consulting | Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Massenstroms |
-
2003
- 2003-10-02 GB GBGB0323055.4A patent/GB0323055D0/en not_active Ceased
-
2004
- 2004-09-28 EP EP04768684A patent/EP1676119A1/en not_active Withdrawn
- 2004-09-28 US US10/595,255 patent/US20070040694A1/en not_active Abandoned
- 2004-09-28 WO PCT/GB2004/004141 patent/WO2005033675A1/en active Application Filing
- 2004-09-28 JP JP2006530561A patent/JP2007507705A/ja active Pending
- 2004-09-28 BR BRPI0415000-7A patent/BRPI0415000A/pt not_active IP Right Cessation
- 2004-09-28 CA CA002545041A patent/CA2545041A1/en not_active Abandoned
- 2004-09-28 MX MXPA06003604A patent/MXPA06003604A/es active IP Right Grant
- 2004-10-04 US US10/956,335 patent/US7250871B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4228353A (en) * | 1978-05-02 | 1980-10-14 | Johnson Steven A | Multiple-phase flowmeter and materials analysis apparatus and method |
JPS6468638A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-14 | Yokogawa Electric Corp | Image observing device for particle in reaction tank |
JPH0222534A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-25 | Fujitsu Ltd | 粒子測定装置 |
JPH0266427A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-03-06 | Pacific Scientific Co | 直接散乱ライト検出による微粒子測定装置 |
US5092675A (en) * | 1989-11-14 | 1992-03-03 | Pacific Scientific Company | Vacuum line particle detector with slab laser |
JPH0682360A (ja) * | 1991-11-27 | 1994-03-22 | Applied Materials Inc | 真空チャンバ内の系内微粒子測定方法 |
JPH05172731A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-09 | Fujitsu Ltd | 粒子検出方法 |
JPH07504497A (ja) * | 1992-02-21 | 1995-05-18 | イギリス国 | 粒子特性の分析 |
JPH06213795A (ja) * | 1993-01-19 | 1994-08-05 | Mitsubishi Electric Corp | 浮遊粒子計測装置 |
JPH06300677A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-28 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 粒子検知装置 |
JPH07218419A (ja) * | 1994-02-07 | 1995-08-18 | Mitsubishi Electric Corp | 光散乱式広域粒子計測装置およびそれを用いた粒子計測方法 |
WO1999064841A1 (en) * | 1998-06-12 | 1999-12-16 | Rose Thomas H | Backscatter instrument for monitoring particulate levels in a gas stream |
JP2000097841A (ja) * | 1998-08-22 | 2000-04-07 | Malvern Instruments Ltd | 粒子サイズの分布を測定するための装置及び方法 |
JP2001027599A (ja) * | 1999-06-14 | 2001-01-30 | General Electric Co <Ge> | 配管内粒子状物質検出器 |
JP2001196431A (ja) * | 2000-01-17 | 2001-07-19 | Hitachi Ltd | 回路基板の製造方法およびその装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9594066B2 (en) | 2004-11-12 | 2017-03-14 | Garrett Thermal Systems Limited | Particle detector, system and method |
US10161866B2 (en) | 2004-11-12 | 2018-12-25 | Garrett Thermal Systems Limited | Particle detector, system and method |
JP2015014606A (ja) * | 2007-11-15 | 2015-01-22 | エックストラリス・テクノロジーズ・リミテッド | 粒子の検出 |
JP2016218075A (ja) * | 2007-11-15 | 2016-12-22 | エックストラリス・テクノロジーズ・リミテッド | 粒子の検出 |
US9267884B2 (en) | 2008-06-10 | 2016-02-23 | Xtralis Technologies Ltd | Particle detection |
US9645081B2 (en) | 2008-06-10 | 2017-05-09 | Xtralis Technologies Ltd | Particle detection |
US10309898B2 (en) | 2008-06-10 | 2019-06-04 | Garrett Thermal Systems Limited | Particle detection |
US9448168B2 (en) | 2009-05-01 | 2016-09-20 | Xtralis Technologies Ltd | Particle detectors |
US10094777B2 (en) | 2009-05-01 | 2018-10-09 | Garrett Thermal Systems Limited | Particle detectors |
US10971611B2 (en) | 2009-05-01 | 2021-04-06 | Honeywell International Inc. | Particle detectors |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7250871B2 (en) | 2007-07-31 |
CA2545041A1 (en) | 2005-04-14 |
WO2005033675A1 (en) | 2005-04-14 |
US20050259255A1 (en) | 2005-11-24 |
GB0323055D0 (en) | 2003-11-05 |
US20070040694A1 (en) | 2007-02-22 |
BRPI0415000A (pt) | 2006-11-07 |
MXPA06003604A (es) | 2006-08-11 |
EP1676119A1 (en) | 2006-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007507705A (ja) | 微粒子検出器 | |
AU2006205657B2 (en) | Particulate detector | |
JP3140664B2 (ja) | 異物検査方法及び装置 | |
KR850000308B1 (ko) | 물질표면의 입자를 검출하는 방법 | |
JP4001862B2 (ja) | 多重角度および多重波長照射を用いるウェハ検査システムのためのシステムおよび方法 | |
CN102192898B (zh) | 感烟探测器 | |
JP3138278B2 (ja) | 粒子による光散乱を測定する装置 | |
JP3248910B2 (ja) | 粒子特性の分析 | |
US4402607A (en) | Automatic detector for microscopic dust on large-area, optically unpolished surfaces | |
JPH10213539A (ja) | 半導体デバイス製造装置におけるウェーハ近傍微粒子の検出装置 | |
JP2008527366A5 (ja) | ||
JP2534453B2 (ja) | 表面検査方法とその装置 | |
US3535531A (en) | High-volume airborne-particle light scattering detector system having rectangularly shaped elongated scanning zone | |
JPH07218419A (ja) | 光散乱式広域粒子計測装置およびそれを用いた粒子計測方法 | |
JPH11339159A (ja) | 煙感知装置 | |
JP3193670B2 (ja) | 煙感知装置 | |
US5457989A (en) | Air flow surveying apparatus and method | |
JP2879798B2 (ja) | 粒子寸法検出装置に使用するための粒子検出装置 | |
WO1991014935A1 (en) | A method and an apparatus for cleaning control | |
Young | Metal-optics scatter measurements | |
JP2001074645A (ja) | 微量微細粒子の測定方法及び測定装置 | |
JP3963381B2 (ja) | 側方散乱光を用いた遠隔レーザーレーダー微粒子計数装置 | |
JP2000206033A (ja) | タバコ煙粒子計測装置 | |
JP2001133358A (ja) | 風洞実験装置 | |
JPH0344539A (ja) | 真空内ダスト監視装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100126 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100426 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100507 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100928 |