JP2005121415A - 粒度分布測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 従来のレーザ回折・散乱式粒度分布測定装置に比して、より微小な粒径範囲まで粒度分布の測定が可能な粒度分布測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定粒子群Pに照射するレーザ光の光源として、紫外レーザ光を発生するレーザ2aを用い、被測定粒子群Pによる回折・散乱光の空間強度分布を測定するフォトダイオードアレイ3bの検出面に、蛍光体3cを密着もしくは隣接して配置することにより、照射レーザ光の短波長化による粒度分布の測定下限を低下させ、しかも、紫外域の回折・散乱光の空間強度分布を、蛍光体3cにより発生した蛍光を介して通常のフォトダイオードアレイ3bで検出することにより、簡単な構成のもとに課題の解決を実現する。【選択図】 図1
【解決手段】 被測定粒子群Pに照射するレーザ光の光源として、紫外レーザ光を発生するレーザ2aを用い、被測定粒子群Pによる回折・散乱光の空間強度分布を測定するフォトダイオードアレイ3bの検出面に、蛍光体3cを密着もしくは隣接して配置することにより、照射レーザ光の短波長化による粒度分布の測定下限を低下させ、しかも、紫外域の回折・散乱光の空間強度分布を、蛍光体3cにより発生した蛍光を介して通常のフォトダイオードアレイ3bで検出することにより、簡単な構成のもとに課題の解決を実現する。【選択図】 図1
Description
本発明はレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置に関し、特に微小な粒子径範囲まで測定することのできる粒度分布測定装置に関する。
レーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置においては、一般に、分散状態の被測定粒子群にレーザ光を照射して得られる回折・散乱光の空間強度分布を測定し、その測定結果をミーの散乱理論ないしはフラウンホーファの回折理論を用いて粒度分布に換算する(例えば特許文献1参照)。
このようなレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置において、被測定粒子群に照射するレーザ光は可視レーザ光が用いられる(例えば特許文献2参照)また、被測定粒子群による回折・散乱光は例えばリングディテクタなどのフォトダイオードアレイによって検出される(前記特許文献1参照)。
特開平6−241975号公報
特開2001−33376号公報
ところで、この種の粒度分布測定装置においては、粒径の測定範囲の下限が被測定粒子群に照射するレーザ光の波長に依存することが知られており、照射レーザ光の波長が短ければ短いほど、粒径の測定範囲の下限をより小さくすることが可能となるのであるが、可視レーザ光を用いる従来のレーザ回折・散乱式粒度分布測定装置では、従って、粒径の測定範囲の下限に限界がある。
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、従来のレーザ回折・散乱式粒度分布測定装置に比してより微小な粒子の測定が可能な粒度分布測定装置の提供を解決すべき課題としている。
上記の課題を解決するため、本発明の粒度分布測定装置は、分散状態の被測定粒子群にレーザ光を照射して得られる回折・散乱光の空間強度分布を測定し、その測定結果から被測定粒子群の粒度分布を算出するレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置において、上記レーザ光を発生する光源として、紫外レーザ光を発生するレーザを用いるとともに、上記回折・散乱光の空間強度分布を測定するフォトダイオードアレイの検出面に密着もしくは隣接して、当該回折・散乱光の入射により発光する蛍光体が配置されていることによって特徴づけられる(請求項1)。
ここで、本発明においては、上記レーザとして、パルス状の紫外レーザ光を発生するレーザを用いる構成(請求項2)を好適に採用することができる。
本発明は、被測定粒子群に照射するレーザ光として紫外域のレーザ光を用いることにより、粒度の測定範囲の下限を下げるとともに、紫外光に対して感度の乏しいフォトダイオードの検出面に蛍光体を配することによって、回折・散乱光を効率的に検出しようとするものである。
すなわち、紫外レーザ光を発生するレーザを光源として、その出力光を被測定粒子群に照射することにより、照射レーザ光の波長に起因する測定範囲下限の粒子径を小さくすることができるのであるが、被測定粒子群による紫外域の回折・散乱光は、従来のリングディテクタをはじめとするフォトダイオードアレイでは殆ど感度を有さないために検出することはできない。紫外線の検出には、光電管、光電子増倍管、ガイガー−ミューラー計数管などが一般に知られているが、これらのものは、その構造上、回折・散乱光の空間強度分布の測定には適さず、用いることができない。そこで、本発明では、回折・散乱光の空間強度分布の測定に多用されているリングディテクタなどのフォトダイオードアレイを用いるとともに、その検出面に密着ないしは近接して蛍光体を設け、紫外域の回折・散乱光により蛍光体を発光させ、その光をフォトダイオードアレイで検出する、という構造を採用している。これにより、比較的簡単で安価な構成のもとに、従来装置では測定できなかった微小な粒子まで粒度分布の測定が可能となる。
また、請求項2に係る発明のように、レーザ光源として、パルス状の紫外レーザ光を出力するパルスレーザを用いることにより、光源のコストを低減させると同時に、フォトダイオードの応答が困難な短いパルスであっても、フォトダイオードの検出面に蛍光体を介在させているが故に、これを検出することが可能となる。
本発明によれば、被測定粒子群に照射するレーザ光を紫外レーザ光とするとともに、被測定粒子群による回折・散乱光を、フォトダイオードアレイの検出面に蛍光体を配した検出器を用いて検出するので、簡単で安価な構成のもとに、従来の装置では測定できなかった微小な粒子まで粒度分布の測定が可能となった。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の実施の形態の構成図であり、機械的・光学的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
図1は本発明の実施の形態の構成図であり、機械的・光学的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
被測定粒子群Pを媒液中に分散させてなる試料懸濁液は、ポンプ等の駆動により図中矢印で示すようにフローセル1内を流される。フローセル1の材質は、紫外線を透過させることのできる例えば溶融石英等を採用することができる。このフローセル1の挟んでその両側に、照射光学系2と測定光学系3が配置されている。
照射光学系2は、紫外レーザ光を発生するレーザ2a、集光レンズ2b、空間フィルタ2cおよびコリメートレンズ2dによって構成されている。紫外レーザ光を発生するレーザ2aとしては、半導体レーザ励起固体レーザと非線形光学結晶を組み合わせた波長266nmのレーザ装置や、波長325nmのHe−Cdガスレーザなどを採用することができる。
測定光学系3は、集光レンズ3aと、リングディテクタ3b、およびそのリングディテクタ3bの検出面(光入射面)に塗布ないしは隣接配置された蛍光体3cによって構成されている。リングディテクタ3bは、図2にその正面図を示すように、互いに半径の異なるリング状、半リング状もしくは1/4リング状の互いに独立した受光面(検出面)dを有するフォトダイオードを同心状に並べてなるフォトダイオードアレイである。また、蛍光体3cは、紫外線の入射により蛍光を発する例えばZnSなどを用いることができ、リングディテクタ3bとの関係としては、塗料状のものをリングディテクタ3bの検出面d・・dに塗布するか、あるいは透明なガラス等に分散させたものをリングディテクタ3bの表面に貼り合わせることができる。そして、リングディテクタ3bと蛍光体3cとは、蛍光体3cの表面が集光レンズ3aの焦点位置に位置するように配置される。
リングディテクタ3dの各フォトダイオードの出力は、データサンプリング回路4に取り込まれる。データサンプリング回路4は、リングディテクタ3dの各フォトダイオードの出力を個別に増幅するアンプと、その各アンプの出力をデジタル化するA−D変換器を主体として構成されており、そのデジタル化後の各フォトダイオードの出力は、後述するように被測定粒子群Pによる回折・散乱光の空間強度分布データとしてコンピュータ5に取り込まれる。コンピュータ5は、その回折・散乱光の空間強度分布データを、ミーの散乱理論ないしはフラウンホーファの回折理論に基づく公知のアルゴリズムにより、被測定粒子群Pの粒度分布に換算して、その結果等を表示器6に表示し、あるいはプリンタ7により打ち出すことができる。
以上の実施の形態において、フローセル1内で分散している被測定粒子群Pに紫外レーザ光を照射することにより、その光は被測定粒子群Pによって回折・散乱を受ける。その回折・散乱光は集光レンズ3aにより集光され、蛍光体3cの表面に回折・散乱像を結ぶ。この結像により、蛍光体3cはその各位置への入射光量に応じて発光し、その各位置における発光量がリングディテクタ3bの各受光面に入射することになり、従って、リングディテクタ3bの各フォトダイオードの出力は、被測定粒子群Pによる回折・散乱光の各回折・散乱角ごとの光量、つまり回折・散乱光の空間強度分布を表すことになる。
前記したように、粒度分布の測定範囲の下限は、被測定粒子群Pに照射するレーザ光の波長に依存するため、紫外レーザ光を用いる本発明の実施の形態によれば、従来のこの種の装置に比してより微小な粒径範囲まで粒度分布を測定することが可能となる。しかも、光源に用いるレーザ2aを除いては、リングディテクタ3bの検出面d・・dに蛍光体3cを塗布または貼り付けるだけであって、特に特殊な測定光学系を用いないが故に、比較的低コストで上記の作用効果を奏することができる。
また、レーザ2aとしてパルス状の紫外レーザ光を出力するものを用いれば、コストをより低減させることができる。この場合、蛍光体3cとしては、蓄光性ないしは残光性に優れたものを用いることにより、短パルスのレーザ光であってもリングディテクタ3bを構成する各フォトダイオードが十分に反応してその蛍光を検出することができる。
なお、以上の実施の形態においては、前方所定角度の回折・散乱光の集光レンズ並びに蛍光体を配したリングディテクタで検出した例を示したが、側方並びに後方散乱光を検出するためのフォトダイオードを設けて、その各フォトダイオードの検出面に蛍光体を配してもよい。
1 フローセル
2 照射光学系
2a レーザ
3 測定光学系
3a 集光レンズ
3b リングディテクタ
3c 蛍光体
4 データサンプリング回路
5 コンピュータ
6 表示器
7 プリンタ
d 受光面
P 被測定粒子群
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d 受光面
P 被測定粒子群
Claims (2)
- 分散状態の被測定粒子群にレーザ光を照射して得られる回折・散乱光の空間強度分布を測定し、その測定結果から被測定粒子群の粒度分布を算出するレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置において、
上記レーザ光を発生する光源として、紫外レーザ光を発生するレーザを用いるとともに、上記回折・散乱光の空間強度分布を測定するフォトダイオードアレイの検出面に密着もしくは隣接して、当該回折・散乱光の入射により発光する蛍光体が配置されていることを特徴とする粒度分布測定装置。 - 上記レーザが、パルス状の紫外レーザ光を発生するレーザであることを特徴とする請求項1に記載の粒度分布測定装置。
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