JPH01201200A - X線照射装置における照射位置指示装置 - Google Patents
X線照射装置における照射位置指示装置Info
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- JPH01201200A JPH01201200A JP8824981A JP2498188A JPH01201200A JP H01201200 A JPH01201200 A JP H01201200A JP 8824981 A JP8824981 A JP 8824981A JP 2498188 A JP2498188 A JP 2498188A JP H01201200 A JPH01201200 A JP H01201200A
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- Japan
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- ray
- optical path
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
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- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、X線源から発生したX線を反射型X線レンズ
により細く集束して対象に照射するX線照射装置に関し
、特に対象上のX線照射点の位置を指示する装置に関す
るものである。
により細く集束して対象に照射するX線照射装置に関し
、特に対象上のX線照射点の位置を指示する装置に関す
るものである。
[従来技術]
第3図は、対象上の限られた狭い領域に高い強度のX線
を照射することのできるX線照射装置の一例を示す。図
において1はX II源、2は照射対象、3は全反射型
X線レンズ、4はレンズ中心部を通過するX線を阻止す
る内部ストッパ、5はX線レンズを出て発散するX線を
阻止する外部ストッパである。図に示さイしているよう
に、X線しノンズ3の内面の全反射面で反射されたX線
は、対象2上の一点に集束されて照射されるため、この
照射点におけるX線強度を、レンズを配置しない場合に
比べ桁違いに高めることができる。
を照射することのできるX線照射装置の一例を示す。図
において1はX II源、2は照射対象、3は全反射型
X線レンズ、4はレンズ中心部を通過するX線を阻止す
る内部ストッパ、5はX線レンズを出て発散するX線を
阻止する外部ストッパである。図に示さイしているよう
に、X線しノンズ3の内面の全反射面で反射されたX線
は、対象2上の一点に集束されて照射されるため、この
照射点におけるX線強度を、レンズを配置しない場合に
比べ桁違いに高めることができる。
[発明が解決しようとする課題]
上記装置では、このように対象上の限られた狭い領域に
高い強度のX線を照射できるため、照射点を厳密に設定
する必要があるが、X線は直接観察が不可能なため、従
来は、大まかな位置合わせしかできなかった。
高い強度のX線を照射できるため、照射点を厳密に設定
する必要があるが、X線は直接観察が不可能なため、従
来は、大まかな位置合わせしかできなかった。
本発明は上述した点に鑑みてなされたものであり、簡単
な構成により、対象上の照射位置を直接指示することの
できる照射位置指示装置を提供することを目的としてい
る。
な構成により、対象上の照射位置を直接指示することの
できる照射位置指示装置を提供することを目的としてい
る。
[課題を解決するための手段]
この目的を達成するため、本発明の照射位置指示装置は
、X線源から発生したX線を反射型X線レンズにより細
く集束して対象に照射するX線照射装置において、可視
光を反射する鏡を前記X線源とレンズとの間のX線光路
上に配置し、該X線光路外に配置された可視光源からの
可視光を該鏡によりX線光路に重畳させて前記対象へ照
射するようにしたことを特徴としている。
、X線源から発生したX線を反射型X線レンズにより細
く集束して対象に照射するX線照射装置において、可視
光を反射する鏡を前記X線源とレンズとの間のX線光路
上に配置し、該X線光路外に配置された可視光源からの
可視光を該鏡によりX線光路に重畳させて前記対象へ照
射するようにしたことを特徴としている。
[作用]
上記鏡によりX線光路に重畳された可視光は、反射型X
線レンズに入射するが、反射型X線レンズは、色収差が
ほとんど無く光に関してもレンズ作用を持つため、反射
型X線レンズに入射した可視光はX線と全く同様−に集
光され、X線と同一点にスポットとして照射される。従
って、このスポットがX線照射点を指示することになる
。
線レンズに入射するが、反射型X線レンズは、色収差が
ほとんど無く光に関してもレンズ作用を持つため、反射
型X線レンズに入射した可視光はX線と全く同様−に集
光され、X線と同一点にスポットとして照射される。従
って、このスポットがX線照射点を指示することになる
。
以下、図面を用いて本発明を詳説する。
[実施例]
第1図は本発明の一実施例の構成を示す概略図であり、
第3図の従来例と同一の構成要素には同一番号が付され
ている。図において6は可視光源で、発生した光はXt
l源1とX線レンズ3との間のX線光路上に斜めに挿入
されている鏡7により反射され、X線レンズ3の方向へ
進行する。この鏡7は、例えば金属薄膜を用いた鏡で、
X線は透過させ、可視光を反射する。対象から見て、X
線源1と可視光源とが光学的に等価と見なせるよう鏡7
及び光源6の位置が予め設定されている。8は対象2の
表面を詳しく観察するための拡大鏡である。
第3図の従来例と同一の構成要素には同一番号が付され
ている。図において6は可視光源で、発生した光はXt
l源1とX線レンズ3との間のX線光路上に斜めに挿入
されている鏡7により反射され、X線レンズ3の方向へ
進行する。この鏡7は、例えば金属薄膜を用いた鏡で、
X線は透過させ、可視光を反射する。対象から見て、X
線源1と可視光源とが光学的に等価と見なせるよう鏡7
及び光源6の位置が予め設定されている。8は対象2の
表面を詳しく観察するための拡大鏡である。
上記構成において、鏡7で反射された光は、X線と全く
同じ光路をたどりX線レンズ3に入射するが、先に述べ
たように、反射型X線レンズは光もX線と全く変わりな
く反射するため、X線ビームも可視光も対象2上の同一
点に照射される。そのため、拡大鏡8を用いて対象の表
面を観察すれば、対象上のX線照射点の位置を明確に識
別することができ、対象を移動させることにより、対象
上の任意の位置に照射点を正確に設定することができる
。
同じ光路をたどりX線レンズ3に入射するが、先に述べ
たように、反射型X線レンズは光もX線と全く変わりな
く反射するため、X線ビームも可視光も対象2上の同一
点に照射される。そのため、拡大鏡8を用いて対象の表
面を観察すれば、対象上のX線照射点の位置を明確に識
別することができ、対象を移動させることにより、対象
上の任意の位置に照射点を正確に設定することができる
。
尚、X線と可視光は、波長が大幅に異なるため、互いに
干渉することなく同時に使用することができる。
干渉することなく同時に使用することができる。
第2図は本発明の他の実施例を示す概略図である。本発
明実施例では、X線レンズ3″として多層膜を用いたも
のを使用している。多層膜を用いた反射型X線レンズも
可視光をX線と全く変わらずに反射するため、対象上の
X線照射点と可視光照射点は常に一致する。
明実施例では、X線レンズ3″として多層膜を用いたも
のを使用している。多層膜を用いた反射型X線レンズも
可視光をX線と全く変わらずに反射するため、対象上の
X線照射点と可視光照射点は常に一致する。
上記2つの実施例では、X線を透過する鏡を用いたが、
X線を透過しない鏡を用いることも可能である。ただし
、その場合には、X線照射時に鏡を光路から除かなけれ
ばならないことは言うまでもない。
X線を透過しない鏡を用いることも可能である。ただし
、その場合には、X線照射時に鏡を光路から除かなけれ
ばならないことは言うまでもない。
[効果]
以上詳述した如く、本発明によれば、簡単な構成で正確
にX線照射点を指示することのできる照射点指示装置が
実現される。
にX線照射点を指示することのできる照射点指示装置が
実現される。
第1図及び第2図は夫々本発明の一実施例を示す概略図
、第3図はX線照射装置を説明するための概略図である
。 1:X線源 2:照射対象 3:全反射型X線レンズ 6:可視光源 7:鏡 8:拡大鏡
、第3図はX線照射装置を説明するための概略図である
。 1:X線源 2:照射対象 3:全反射型X線レンズ 6:可視光源 7:鏡 8:拡大鏡
Claims (1)
- X線源から発生したX線を反射型X線レンズにより細く
集束して対象に照射するX線照射装置において、可視光
を反射する鏡を前記X線源と前記X線レンズとの間のX
線光路上に配置し、該X線光路外に配置された可視光源
からの可視光を該鏡によりX線光路に重畳させて前記対
象へ照射するようにしたことを特徴とする照射位置指示
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8824981A JPH01201200A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | X線照射装置における照射位置指示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8824981A JPH01201200A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | X線照射装置における照射位置指示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01201200A true JPH01201200A (ja) | 1989-08-14 |
Family
ID=12153157
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8824981A Pending JPH01201200A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | X線照射装置における照射位置指示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01201200A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5220169A (en) * | 1989-09-01 | 1993-06-15 | Hitachi, Ltd. | Surface analyzing method and apparatus |
JP2004097471A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 放射線発生装置及び放射線照射方向較正装置 |
JP2007093315A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | X線集束装置 |
JP2011089805A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Shimadzu Corp | X線集束装置 |
EP3603516A1 (de) * | 2018-08-02 | 2020-02-05 | Siemens Healthcare GmbH | Röntgenvorrichtung und verfahren zum betrieb der röntgenvorrichtung |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP8824981A patent/JPH01201200A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5220169A (en) * | 1989-09-01 | 1993-06-15 | Hitachi, Ltd. | Surface analyzing method and apparatus |
JP2004097471A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 放射線発生装置及び放射線照射方向較正装置 |
JP2007093315A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | X線集束装置 |
JP2011089805A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Shimadzu Corp | X線集束装置 |
EP3603516A1 (de) * | 2018-08-02 | 2020-02-05 | Siemens Healthcare GmbH | Röntgenvorrichtung und verfahren zum betrieb der röntgenvorrichtung |
JP2020018846A (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | シーメンス ヘルスケア ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | X線装置及びその操作方法 |
US11229411B2 (en) | 2018-08-02 | 2022-01-25 | Siemens Healthcare Gmbh | X-ray apparatus including x-ray reflector and method for operating the x-ray apparatus |
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