JPH01201200A - X線照射装置における照射位置指示装置 - Google Patents

X線照射装置における照射位置指示装置

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JPH01201200A
JPH01201200A JP8824981A JP2498188A JPH01201200A JP H01201200 A JPH01201200 A JP H01201200A JP 8824981 A JP8824981 A JP 8824981A JP 2498188 A JP2498188 A JP 2498188A JP H01201200 A JPH01201200 A JP H01201200A
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JP
Japan
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ray
optical path
lens
mirror
visible light
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Pending
Application number
JP8824981A
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English (en)
Inventor
Harumasa Ito
伊藤 治昌
Etsuo Ban
伴 悦夫
Akio Mikajiri
三ヶ尻 昭雄
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NIPPON X-RAY KK
Jeol Ltd
Original Assignee
NIPPON X-RAY KK
Jeol Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、X線源から発生したX線を反射型X線レンズ
により細く集束して対象に照射するX線照射装置に関し
、特に対象上のX線照射点の位置を指示する装置に関す
るものである。
[従来技術] 第3図は、対象上の限られた狭い領域に高い強度のX線
を照射することのできるX線照射装置の一例を示す。図
において1はX II源、2は照射対象、3は全反射型
X線レンズ、4はレンズ中心部を通過するX線を阻止す
る内部ストッパ、5はX線レンズを出て発散するX線を
阻止する外部ストッパである。図に示さイしているよう
に、X線しノンズ3の内面の全反射面で反射されたX線
は、対象2上の一点に集束されて照射されるため、この
照射点におけるX線強度を、レンズを配置しない場合に
比べ桁違いに高めることができる。
[発明が解決しようとする課題] 上記装置では、このように対象上の限られた狭い領域に
高い強度のX線を照射できるため、照射点を厳密に設定
する必要があるが、X線は直接観察が不可能なため、従
来は、大まかな位置合わせしかできなかった。
本発明は上述した点に鑑みてなされたものであり、簡単
な構成により、対象上の照射位置を直接指示することの
できる照射位置指示装置を提供することを目的としてい
る。
[課題を解決するための手段] この目的を達成するため、本発明の照射位置指示装置は
、X線源から発生したX線を反射型X線レンズにより細
く集束して対象に照射するX線照射装置において、可視
光を反射する鏡を前記X線源とレンズとの間のX線光路
上に配置し、該X線光路外に配置された可視光源からの
可視光を該鏡によりX線光路に重畳させて前記対象へ照
射するようにしたことを特徴としている。
[作用] 上記鏡によりX線光路に重畳された可視光は、反射型X
線レンズに入射するが、反射型X線レンズは、色収差が
ほとんど無く光に関してもレンズ作用を持つため、反射
型X線レンズに入射した可視光はX線と全く同様−に集
光され、X線と同一点にスポットとして照射される。従
って、このスポットがX線照射点を指示することになる
以下、図面を用いて本発明を詳説する。
[実施例] 第1図は本発明の一実施例の構成を示す概略図であり、
第3図の従来例と同一の構成要素には同一番号が付され
ている。図において6は可視光源で、発生した光はXt
l源1とX線レンズ3との間のX線光路上に斜めに挿入
されている鏡7により反射され、X線レンズ3の方向へ
進行する。この鏡7は、例えば金属薄膜を用いた鏡で、
X線は透過させ、可視光を反射する。対象から見て、X
線源1と可視光源とが光学的に等価と見なせるよう鏡7
及び光源6の位置が予め設定されている。8は対象2の
表面を詳しく観察するための拡大鏡である。
上記構成において、鏡7で反射された光は、X線と全く
同じ光路をたどりX線レンズ3に入射するが、先に述べ
たように、反射型X線レンズは光もX線と全く変わりな
く反射するため、X線ビームも可視光も対象2上の同一
点に照射される。そのため、拡大鏡8を用いて対象の表
面を観察すれば、対象上のX線照射点の位置を明確に識
別することができ、対象を移動させることにより、対象
上の任意の位置に照射点を正確に設定することができる
尚、X線と可視光は、波長が大幅に異なるため、互いに
干渉することなく同時に使用することができる。
第2図は本発明の他の実施例を示す概略図である。本発
明実施例では、X線レンズ3″として多層膜を用いたも
のを使用している。多層膜を用いた反射型X線レンズも
可視光をX線と全く変わらずに反射するため、対象上の
X線照射点と可視光照射点は常に一致する。
上記2つの実施例では、X線を透過する鏡を用いたが、
X線を透過しない鏡を用いることも可能である。ただし
、その場合には、X線照射時に鏡を光路から除かなけれ
ばならないことは言うまでもない。
[効果] 以上詳述した如く、本発明によれば、簡単な構成で正確
にX線照射点を指示することのできる照射点指示装置が
実現される。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は夫々本発明の一実施例を示す概略図
、第3図はX線照射装置を説明するための概略図である
。 1:X線源    2:照射対象 3:全反射型X線レンズ 6:可視光源   7:鏡 8:拡大鏡

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. X線源から発生したX線を反射型X線レンズにより細く
    集束して対象に照射するX線照射装置において、可視光
    を反射する鏡を前記X線源と前記X線レンズとの間のX
    線光路上に配置し、該X線光路外に配置された可視光源
    からの可視光を該鏡によりX線光路に重畳させて前記対
    象へ照射するようにしたことを特徴とする照射位置指示
    装置。
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