JP2754069B2 - レーザ干渉装置 - Google Patents
レーザ干渉装置Info
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- JP2754069B2 JP2754069B2 JP2015867A JP1586790A JP2754069B2 JP 2754069 B2 JP2754069 B2 JP 2754069B2 JP 2015867 A JP2015867 A JP 2015867A JP 1586790 A JP1586790 A JP 1586790A JP 2754069 B2 JP2754069 B2 JP 2754069B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はレーザ干渉装置に関し、特に被検体などのセ
ッティングの容易化に有効なレーザ干渉装置に関する。
ッティングの容易化に有効なレーザ干渉装置に関する。
［従来技術の説明］ レーザ干渉装置においては、レーザ光を、ビームスプ
リッタおよびコリメータレンズを通して基準原器に照射
すると共に基準原器を通して被検体に照射し、基準原器
の参照面からの反射光および被検体の被検面からの反射
光を上記コリメータレンズおよびビームスプリッタを通
してスクリーンに集光させ、スクリーンに集光した反射
光の光点位置から基準原器の参照面の傾きおよび被検体
の被検面の傾きを調整し、基準原器および被検体を干渉
縞が発生する状態にセッティングするようになってい
る。
リッタおよびコリメータレンズを通して基準原器に照射
すると共に基準原器を通して被検体に照射し、基準原器
の参照面からの反射光および被検体の被検面からの反射
光を上記コリメータレンズおよびビームスプリッタを通
してスクリーンに集光させ、スクリーンに集光した反射
光の光点位置から基準原器の参照面の傾きおよび被検体
の被検面の傾きを調整し、基準原器および被検体を干渉
縞が発生する状態にセッティングするようになってい
る。
従来のレーザ干渉装置は、基準原器の参照面および被
検体の被検面からの反射光をコリメータレンズおよびビ
ームスプリッタを通してスクリーンに集光させるだけの
構成であり、基準原器や被検体の傾きに起因して基準原
器の参照面からの反射光や被検体の被検面からの反射光
がスクリーン外にはずれた場合に反射光をスクリーンに
戻すような手段はもうけられていなかった。
検体の被検面からの反射光をコリメータレンズおよびビ
ームスプリッタを通してスクリーンに集光させるだけの
構成であり、基準原器や被検体の傾きに起因して基準原
器の参照面からの反射光や被検体の被検面からの反射光
がスクリーン外にはずれた場合に反射光をスクリーンに
戻すような手段はもうけられていなかった。
［発明が解決しようとする課題］ そのため、従来のレーザ干渉装置では、基準原器や被
検体の傾きに起因して基準原器の参照面からの反射光や
被検体の被検面からの反射光がスクリーン外にはずれた
場合に、スクリーンに参照面からの反射光や被検面から
の反射光の光点が集光せず、基準原器や被検体をどの方
向に傾斜させたらよいか判断できなくなり、基準原器や
被検体の傾き調整が極めて困難になるという問題があっ
た。
検体の傾きに起因して基準原器の参照面からの反射光や
被検体の被検面からの反射光がスクリーン外にはずれた
場合に、スクリーンに参照面からの反射光や被検面から
の反射光の光点が集光せず、基準原器や被検体をどの方
向に傾斜させたらよいか判断できなくなり、基準原器や
被検体の傾き調整が極めて困難になるという問題があっ
た。
本発明は上記観点に基づいてなされたもので、その目
的は、被照射体である基準原器や被検体の傾きに起因し
て基準原器や被検体からの反射光がスクリーン外にはず
れている場合でも基準原器や被検体の傾き調整を容易に
行なうことのできるレーザ干渉装置を提供することにあ
る。
的は、被照射体である基準原器や被検体の傾きに起因し
て基準原器や被検体からの反射光がスクリーン外にはず
れている場合でも基準原器や被検体の傾き調整を容易に
行なうことのできるレーザ干渉装置を提供することにあ
る。
［課題を解決するための手段］ 本発明においては、レーザ光をビームスプリッタおよ
びコリメータレンズを通して被照射体に照射し、前記被
照射体からの反射光を前記コリメータレンズおよび前記
ビームスプリッタを通してスクリーンに集光させ、前記
スクリーンに集光した光点位置から前記被照射体の傾き
を調整するレーザ干渉装置において、前記スクリーンと
前記ビームスプリッタとの間に、前記スクリーン外には
ずれた前記被照射体からの反射光を前記スクリーンに導
く反射手段をもうけたレーザ干渉装置によって、上記目
的を達成する。
びコリメータレンズを通して被照射体に照射し、前記被
照射体からの反射光を前記コリメータレンズおよび前記
ビームスプリッタを通してスクリーンに集光させ、前記
スクリーンに集光した光点位置から前記被照射体の傾き
を調整するレーザ干渉装置において、前記スクリーンと
前記ビームスプリッタとの間に、前記スクリーン外には
ずれた前記被照射体からの反射光を前記スクリーンに導
く反射手段をもうけたレーザ干渉装置によって、上記目
的を達成する。
［作用］ 上記構成によれば、被照射体の傾きに起因して被照射
体からの反射光がスクリーン外にはずれても、反射手段
によってスクリーンに反射され、スクリーンに被照射体
からの反射光の光点が得られる。そのため、スクリーン
上の被照射体からの反射光の光点位置の変化から被照射
体をどのような方向へ傾斜させればよいかを知ることが
でき、被照射体の傾き調整が容易になる。
体からの反射光がスクリーン外にはずれても、反射手段
によってスクリーンに反射され、スクリーンに被照射体
からの反射光の光点が得られる。そのため、スクリーン
上の被照射体からの反射光の光点位置の変化から被照射
体をどのような方向へ傾斜させればよいかを知ることが
でき、被照射体の傾き調整が容易になる。
［発明の実施例］ 添付図面は本発明の一実施例を示す構成図である。
図において、１はレーザ光源で、このレーザ光源１か
らのレーザ光Ｌが、ビームダイバージャ２によって発散
された後、側方よりビームスプリッタ３に入り、ビーム
スプリッタ３の反射面3aにより反射されたレーザ光がビ
ームスプリッタ３の下方に設けられたコリメータレンズ
４に入射して平行光となり、基準原器５の入射面5aに入
射するようになっている。ビームスプリッタ３の上方で
コリメータレンズ４の焦点位置にスクリーン６が設けら
れている。スクリーン６は、円板状のスリガラスで、そ
の中心に細孔からなるアライメントポイント6aを備えて
いる。アライメントポイント6aはコリメータレンズ４の
焦点に一致するようになっている。基準原器５は、入射
面5aと裏面の参照面5bとが非平行に形成された板状の光
学ガラスなどの光学部材で、入射面5aに反射防止コーテ
ィングが施されていると共に、参照面5bが精密な平坦面
に形成されている。基準原器５に入射したレーザ光は、
一部が参照面5bで反射し、大部分が基準原器５を透過す
る。基準原器５は傾き調整螺子７によって傾きを調整す
ることができるようになっている。基準原器５の下方に
はガラスなどの被検体８が配置される。被検体８は、そ
の被検面8aが基準原器５の参照面5bと離間して対向する
ように、配置される。基準原器５を透過したレーザ光は
被検体８の被検面8aで反射される。被検体８は、試料台
９に載置され、試料台９の傾きを調整する傾き調整螺子
10によってその傾きを調整することができるようになっ
ている。
らのレーザ光Ｌが、ビームダイバージャ２によって発散
された後、側方よりビームスプリッタ３に入り、ビーム
スプリッタ３の反射面3aにより反射されたレーザ光がビ
ームスプリッタ３の下方に設けられたコリメータレンズ
４に入射して平行光となり、基準原器５の入射面5aに入
射するようになっている。ビームスプリッタ３の上方で
コリメータレンズ４の焦点位置にスクリーン６が設けら
れている。スクリーン６は、円板状のスリガラスで、そ
の中心に細孔からなるアライメントポイント6aを備えて
いる。アライメントポイント6aはコリメータレンズ４の
焦点に一致するようになっている。基準原器５は、入射
面5aと裏面の参照面5bとが非平行に形成された板状の光
学ガラスなどの光学部材で、入射面5aに反射防止コーテ
ィングが施されていると共に、参照面5bが精密な平坦面
に形成されている。基準原器５に入射したレーザ光は、
一部が参照面5bで反射し、大部分が基準原器５を透過す
る。基準原器５は傾き調整螺子７によって傾きを調整す
ることができるようになっている。基準原器５の下方に
はガラスなどの被検体８が配置される。被検体８は、そ
の被検面8aが基準原器５の参照面5bと離間して対向する
ように、配置される。基準原器５を透過したレーザ光は
被検体８の被検面8aで反射される。被検体８は、試料台
９に載置され、試料台９の傾きを調整する傾き調整螺子
10によってその傾きを調整することができるようになっ
ている。
上記被検体８がレンズなどの球面形状部材である場合
は、上記基準原器５は球面形状を有する球面原器とな
る。
は、上記基準原器５は球面形状を有する球面原器とな
る。
11は反射部材で、スクリーン６とビームスプリッタ３
との間にもうけられている。反射部材11は、円錐の上部
を切欠いた形状で、内面11aが反射面になっており、上
端がスクリーン６の外周に接する下広がりでもうけられ
ている。反射部材11の下端は必ずしもビームスプリッタ
３に達する必要はなく、多少離れていてもよい。このよ
うな反射部材11は、被検体８の被検面8aの傾きに起因し
て被検面8aで反射したレーザ光がスクリーン６の外には
ずれた場合に、それをスクリーン６に戻すように反射す
る。また、反射部材11は、基準原器５の傾きに起因して
基準原器５の参照面5bで反射したレーザ光がスクリーン
６の外にはずれた場合にも、それをスクリーン６に戻す
ように反射する。反射部材11としては、上述の円錐の上
部を切欠いた形状に限定されるものではなく、ビームス
プリッタ３を経た反射光がスクリーン６の外にはずれた
場合にそれをスクリーン６に導くように反射するもので
あればよく、例えば、円筒，多角柱，多角錐の上部を切
欠いた形状なども可能であり、また、内部がプリズムの
ように空洞でないものでもよい。
との間にもうけられている。反射部材11は、円錐の上部
を切欠いた形状で、内面11aが反射面になっており、上
端がスクリーン６の外周に接する下広がりでもうけられ
ている。反射部材11の下端は必ずしもビームスプリッタ
３に達する必要はなく、多少離れていてもよい。このよ
うな反射部材11は、被検体８の被検面8aの傾きに起因し
て被検面8aで反射したレーザ光がスクリーン６の外には
ずれた場合に、それをスクリーン６に戻すように反射す
る。また、反射部材11は、基準原器５の傾きに起因して
基準原器５の参照面5bで反射したレーザ光がスクリーン
６の外にはずれた場合にも、それをスクリーン６に戻す
ように反射する。反射部材11としては、上述の円錐の上
部を切欠いた形状に限定されるものではなく、ビームス
プリッタ３を経た反射光がスクリーン６の外にはずれた
場合にそれをスクリーン６に導くように反射するもので
あればよく、例えば、円筒，多角柱，多角錐の上部を切
欠いた形状なども可能であり、また、内部がプリズムの
ように空洞でないものでもよい。
以上のごとき構成で、被検体８の干渉縞を発生させる
前提として、基準原器５の参照面5bと被検体８の被検面
8aとが精密に平行となるように、基準原器５および被検
体８の傾きが調整される。基準原器５は、参照面5bで反
射したレーザ光がコリメータレンズ４およびビームスプ
リッタ３を経てスクリーン６のアライメントポイント6a
に集光するように、傾き調整螺子７によって調整され
る。被検体８は、被検面8aで反射したレーザ光が基準原
器5,コリメータレンズ４およびビームスプリッタ３を経
てスクリーン６のアライメントポイント6aに集光するよ
うに、傾き調整螺子10によって調整される。
前提として、基準原器５の参照面5bと被検体８の被検面
8aとが精密に平行となるように、基準原器５および被検
体８の傾きが調整される。基準原器５は、参照面5bで反
射したレーザ光がコリメータレンズ４およびビームスプ
リッタ３を経てスクリーン６のアライメントポイント6a
に集光するように、傾き調整螺子７によって調整され
る。被検体８は、被検面8aで反射したレーザ光が基準原
器5,コリメータレンズ４およびビームスプリッタ３を経
てスクリーン６のアライメントポイント6aに集光するよ
うに、傾き調整螺子10によって調整される。
被検体８は試料台９に置かれた場合に個々の被検体で
被検面8aの傾きが精密には同一でないなどの理由で、被
検体８を変えるごとに傾き調整が必要であり、また、そ
の傾きに起因して被検体８の被検面8aで反射したレーザ
光が破線で示すようにスクリーン６の外にはずれる場合
がある。従来の干渉装置においては反射部材11がなかっ
たので、被検体８の被検面8aからの反射光がスクリーン
６の外にはずれた場合、被検面8aからの反射光がスクリ
ーン６に集光せず、そのため、被検面8aをどの方向に傾
斜させたらよいか全く判断できなかった。本実施例によ
れば、被検面8aからの反射光がスクリーン６の外にはず
れた場合、反射手段11によって破線で示すようにスクリ
ーン６に反射され、スクリーン６に集光する。この集光
した光点の位置は被検面8aの傾きの変化に応じて変化す
るので、スクリーン６上の光点位置の変化をスクリーン
６の上方から肉眼観察によりまたはスクリーン６上に設
けたテレビカメラによる像を観察することにより、被検
面8aをどの方向に傾斜させればよいかを知ることができ
る。そのため、反射光がスクリーン６の外にはずれた場
合でも、反射光がアライメントポイント6aに集光するよ
うに被検面8aの傾きを従来技術と比較して極めて容易に
調整することができる。なお、反射部材11で反射してア
ライメントポイント6aに集光する場合があるが、反射部
材11が円錐の上部を切欠いた形状や円筒形状であれば反
射部材11で反射して収光した場合に光点が楕円になるの
で反射部材11で反射したものであることを知ることがで
き、また、このような場合には被検面8aと参照面5bとが
精確に平行となっていないために干渉縞が発生しないの
で被検体８の傾き調整をやり直せばよい。
被検面8aの傾きが精密には同一でないなどの理由で、被
検体８を変えるごとに傾き調整が必要であり、また、そ
の傾きに起因して被検体８の被検面8aで反射したレーザ
光が破線で示すようにスクリーン６の外にはずれる場合
がある。従来の干渉装置においては反射部材11がなかっ
たので、被検体８の被検面8aからの反射光がスクリーン
６の外にはずれた場合、被検面8aからの反射光がスクリ
ーン６に集光せず、そのため、被検面8aをどの方向に傾
斜させたらよいか全く判断できなかった。本実施例によ
れば、被検面8aからの反射光がスクリーン６の外にはず
れた場合、反射手段11によって破線で示すようにスクリ
ーン６に反射され、スクリーン６に集光する。この集光
した光点の位置は被検面8aの傾きの変化に応じて変化す
るので、スクリーン６上の光点位置の変化をスクリーン
６の上方から肉眼観察によりまたはスクリーン６上に設
けたテレビカメラによる像を観察することにより、被検
面8aをどの方向に傾斜させればよいかを知ることができ
る。そのため、反射光がスクリーン６の外にはずれた場
合でも、反射光がアライメントポイント6aに集光するよ
うに被検面8aの傾きを従来技術と比較して極めて容易に
調整することができる。なお、反射部材11で反射してア
ライメントポイント6aに集光する場合があるが、反射部
材11が円錐の上部を切欠いた形状や円筒形状であれば反
射部材11で反射して収光した場合に光点が楕円になるの
で反射部材11で反射したものであることを知ることがで
き、また、このような場合には被検面8aと参照面5bとが
精確に平行となっていないために干渉縞が発生しないの
で被検体８の傾き調整をやり直せばよい。
基準原器５は搬送時の取外し／再取付けや熱的影響な
どにより傾きが変化する。このような理由で基準原器５
からの反射光がスクリーン６の外にはずれた場合にも、
反射部材11によってスクリーン６に反射されるので、基
準原器５の傾き調整が極めて容易になる。
どにより傾きが変化する。このような理由で基準原器５
からの反射光がスクリーン６の外にはずれた場合にも、
反射部材11によってスクリーン６に反射されるので、基
準原器５の傾き調整が極めて容易になる。
基準原器５の参照面5bからの反射光がアライメントポ
イント６に集光するように基準原器５の傾きが調整さ
れ、被検体８の被検面8aからの反射光が同様にアライメ
ントポイント6aに集光するように被検体８の傾きが調整
されることで、基準原器５の参照面5bと被検体８の被検
面8aとが精密に平行となり、基準原器５の参照面5bで反
射したレーザ光と被検体８の被検面8aで反射したレーザ
光とが干渉して干渉縞が発生し、スクリーン６のアライ
メントポイント6aを通して干渉縞を観察することができ
る。
イント６に集光するように基準原器５の傾きが調整さ
れ、被検体８の被検面8aからの反射光が同様にアライメ
ントポイント6aに集光するように被検体８の傾きが調整
されることで、基準原器５の参照面5bと被検体８の被検
面8aとが精密に平行となり、基準原器５の参照面5bで反
射したレーザ光と被検体８の被検面8aで反射したレーザ
光とが干渉して干渉縞が発生し、スクリーン６のアライ
メントポイント6aを通して干渉縞を観察することができ
る。
なお、被検体８の試料台９側の面8bには試料台９に載
置する前に油や粉などを塗布しておく。このようにする
ことにより、スクリーン６上には被検体８の裏面8bから
の反射光による集光点や干渉縞が生ずることがなく、被
検体８の被検面8aからの反射光のみによる光点や干渉縞
が得られ、作業上好ましい。
置する前に油や粉などを塗布しておく。このようにする
ことにより、スクリーン６上には被検体８の裏面8bから
の反射光による集光点や干渉縞が生ずることがなく、被
検体８の被検面8aからの反射光のみによる光点や干渉縞
が得られ、作業上好ましい。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、スクリーンとビ
ームスプリッタとの間にスクリーン外にはずれた被照射
体からの反射光をスクリーンに反射する反射手段をもう
けたので、被照射体の傾きに起因して被照射体からの反
射光がスクリーン外にはずれた場合でも、反射手段によ
ってスクリーンに導かれ、スクリーンに被照射体からの
反射光の光点が得られ、スクリーン上の被照射体からの
反射光の光点位置の変化から被照射体をどのような方向
へ傾斜させればよいかを知ることができ、被照射体の傾
き調整が容易になるなどの効果を奏する。
ームスプリッタとの間にスクリーン外にはずれた被照射
体からの反射光をスクリーンに反射する反射手段をもう
けたので、被照射体の傾きに起因して被照射体からの反
射光がスクリーン外にはずれた場合でも、反射手段によ
ってスクリーンに導かれ、スクリーンに被照射体からの
反射光の光点が得られ、スクリーン上の被照射体からの
反射光の光点位置の変化から被照射体をどのような方向
へ傾斜させればよいかを知ることができ、被照射体の傾
き調整が容易になるなどの効果を奏する。
添付図面は本発明の一実施例を示す構成図である。 １……レーザ光源、３……ビームスプリッタ ４……コリメータレンズ、５……基準原器 ６……スクリーン、８……被検体 11……反射部材
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ光をビームスプリッタおよびコリメ
ータレンズを通して被照射体に照射し、前記被照射体か
らの反射光を前記コリメータレンズおよび前記ビームス
プリッタを通してスクリーンに集光させ、前記スクリー
ンに集光した光点位置から前記被照射体の傾きを調整す
るレーザ干渉装置において、前記スクリーンと前記ビー
ムスプリッタとの間に、前記スクリーン外にはずれた前
記被照射体からの反射光を前記スクリーンに導く反射手
段をもうけたレーザ干渉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015867A JP2754069B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | レーザ干渉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015867A JP2754069B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | レーザ干渉装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03220404A JPH03220404A (ja) | 1991-09-27 |
| JP2754069B2 true JP2754069B2 (ja) | 1998-05-20 |
Family
ID=11900756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015867A Expired - Lifetime JP2754069B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | レーザ干渉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2754069B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP2015867A patent/JP2754069B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03220404A (ja) | 1991-09-27 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
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