JPH03220404A - レーザ干渉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はレーザ干渉装置に関し、特に被検体などのセツ
ティングの容易化に有効なレーザ干渉装置に関する。

［従来技術の説明］ ムスプリッタおよびコリメータレンズを通して基準原器
に照射すると共に基準原器を通して被検体！ に照射し、基準原器の参照面からの反射光および被検体
の被検面からの反射光を上記コリメータレンズおよびビ
ームスプリッタを通してスクリーンに集光させ、スクリ
ーンに集光した反射光の光点位置から基準原器の参照面
の傾きおよび被検体の被検面の傾きを調整し、基準原器
および被検体を干渉縞が発生する状態にセツティングす
るようになっている。

従来のレーザ干渉装置は、基準原器の参照面および被検
体の被検面からの反射光をコリメータレンズおよびビー
ムスプリッタを通してスクリーンに集光させるだけの構
成であり、基準原器や被検体の傾きに起因して基準原器
の参照面からの反射光や被検体の被検面からの反射光が
スクリーン外にはずれた場合に反射光をスクリーンに戻
すような手段はもうけられていなかった。

［発明が解決しようとする課題］ そのため、従来のレーザ干渉装置では、基準原器や被検
体の傾きに起因して基準原器の参照面からの反射光や被
検体の被検面からの反射光がスフノーン外にはずれた場
合に、スクリーンに参叩面からの反射光や被検面からの
反射光の光点が集光せず、基準原器や被検体をどの方向
に傾斜させたらよいか判断できなくなり、基準原器や被
検体の傾き調整が極めて困難になるという問題があった
。

本発明は上記観点に基づいてなされたもので、その目的
は、被照射体である基準原器や被検体の傾きに起因して
基準原器や被検体からの反射光がスクリーン外にはずれ
ている場合でも基準原器や被検体の傾き調整を容易に行
なうことのできるレザ干渉装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明においては、レーザ光をビームスプリッタおよび
コリメータレンズを通して被照射体に照１１Ｌ、前記＠
照射体からの反射光を前記コリメタレンズおよび前記ビ
ームスプリッタを通してスクリーンに集光させ、前記ス
クリーンに集光した光点位置から前記被照射体の傾きを
調整するレーザ干渉装置において、前記スクリーンと前
記ビームスプリッタとの間に、前記スクリーン外にはず
れた前記被照射体からの反射光を前記スクリーンに導く
反射手段をもうけたレーザ干渉装置によって、上記目的
を達成する。

［作用］ 上記構成によれば、被照射体の傾きに起因して被照射体
からの反射光がスクリーン外にはずれても、反射手段に
よってスクリーンに反射され、スクリーンに被照射体か
らの反射光の光点が得られる。そのため、スクリーン上
の被照射体がらの反射光の光点位置の変化から被照射体
をどのような方向へ傾斜させればよいかを知ることがで
き、被照射体の傾き調整が容易になる。

［発明の実施例］ 添付図面は本発明の一実施例を示す構成図である。

図において、１はレーザ光源で、このレーザ光源１から
のレーザ光りが、ビームダイパージャ２によって発散さ
れた後、側方よりビームスプリッタ３に入り、ビームス
プリッタ３の反射面３ａにより反射されたレーザ光がビ
ームスプリッタ３の下方に設けられたコリメータレンズ
４に入射して平行光となり、基準原器５の入射面５ａに
入射するようになっている。ビームスブリック３の上方
でコリメータレンズ４の焦点位置にスクリーン６が設け
られている。スクリーン６は、円板状のスリガラスで、
その中心に細孔かうなるアライメントポイント６ａを備
えている。アライメントポイント６ａはコリメータレン
ズ４の焦点に一致するようになっている。基準原器５は
、入射面５ａと裏面の参照面５ｂとが非平行に形成され
た板状の光学ガラスなどの光学部材で、入射面５ａに反
射防止コーティングが施されていると共に、参照面５ｂ
が精密な平坦面に形成されている。基準原器５に入射し
たレーザ光は、一部が参照面５ｂで反射し、大部分が基
準原器５を透過する。基準原器５は傾き調整螺子７によ
って傾きを調整することができるようになっている。基
準原器５の下方にはガ゛ラスなどの被検体８が配置され
る。被検体８は、その被検面８ａが基準原器５の参照面
５ｂと離間して対向するように、配置される。基準原器
５を透過したレーザ光は被検体８の被検面８ａで反射さ
れる。被検体８は、試料台９に載置され、試料台９の傾
きを調整する傾き調整螺子１０によってその傾きを調整
することができるようになっている、 上記被検体８がレンズなどの球面形状部材である場合は
、上記基準原器５は球面形状を有する球面原器となる。

１１は反射部材で、スクリーン６とビームスプリッタ３
との開にもうけられている。反射部材１１は、円錐の上
部を切欠いた形状で、内面１１ａが反射面になっており
、上端がスクリーン６の外周に接する下床がりでもうけ
られている。

反射部材１１の下端は必ずしもビームスプリッタ３に達
する必要はなく、多少離れていてもよい。

このような反射部材１１は、被検体８の被検面８ａの傾
きに起因して被検面８ａで反射したレーザ光が又クリー
ン６の外にはずれた場合に、それをスクリーン６に戻す
ように反射する。また、反射部材１１は、基準原器５の
傾きに起因して基準原器５の参照面５ｂで反射したレー
ザ光がスクリン６の外にはずれた場合にも、それをスク
リン６に戻すように反射する。反射部材１１としては、
上述の円錐の上部を切欠いた形状に限定されるものでは
なく、ビームスプリッタ３を経た反射光がスクリーン６
の外にはずれた場合にそれをスクリーン６に導（ように
反射するものであればよく、例えば、円筒、多角柱、多
角錐の上部を切欠いた形状なども可能であり、また、内
部がプリズムのように空洞でないものでもよい。

以上のごとき構成で、被検体８の干渉縞を発生させるｉ
ｊ提として、基準原器５の参照面５ｂと被検体８の被検
面８ａとが精密に平行となるように、基準原器５および
被検体８の傾きが調整される。基準原器５は、参照面５
ｂで反射したレーザ光がコリメータレンズ４ｇよびビー
ムスプリッタ３を経てスクリーン６のアライメントポイ
ント６ａに集光するように、傾き調整螺子７によって調
整される。被検体８は、被検面８ａで反射したレーザ光
が基準原器５．コリメータレンズ４およびビームスプリ
ッタ３を経てスクリーン６のアライメントポイント６ａ
に集光するように、傾き調整螺子１０によって調整され
る。

被検体８は試料台９に置かれた場合に個々の被検体で被
検面８ａの傾きが精密には同一でないなどの理由で、被
検体８を変えるごとに傾き調整が必要であり、また、そ
の傾きに起因して被検体８の被検面８ａで反射したレー
ザ光が破線で示すようにスクリーン６の外にはずれる場
合がある。従来の干渉装置においては反射部材１１がな
かったので、被検体８の被検面８ａからの反射光がスフ
ノーン６の外にはずれた場合、被検面８ａからの反射光
がスクリーン６に集光せず、そのため、被検面８ａをど
の方向に傾斜させたらよいか全く判断できなかった。本
実施例によれば、被検面８ａからの反射光がスクリーン
６の外にはずれた場合、反ｑ・１手段１１によって破線
で示すようにスフノーン６に反射され、スクリーン６に
集光する。

この集光した光点の位置は被検面８ａの傾きの変化に応
して変化するので、スクリーン６上の光点位置の変化を
スクリーン６の上方から肉眼観察によりまたはスクリー
ン６上に設けたテレビカメラによる像を観察することに
より、被検面８ａをどの方向に傾斜させればよいかを知
ることができる。そのたぬ、反射光がスクリーン６の外
にはずれた場合でも、反射光がアライメントポイント６
ａに集光するように被検面８ａの傾きを従来技術と比較
して極めて容易に調整することことができる。なお、反
射部材１１で反射してアライメントポイント６ａに集光
する場合があるが、反射部材１１が円錐の上部を切欠い
た形状や円筒形状であれば反射部材１１で反射して収光
した場合に光点が楕円になるので反射部材１１で反射し
たものであることを知ることができ、また、このような
場合には被検面８ａと参照面５ｂとが精確に平行となっ
ていないために干渉縞が発生しないので被検体８の傾き
調整をやり直せばよい。

基準原器５は搬送時の取外し／再取付けや熱的影響など
により傾きが変化する。このような理由で基準原器５か
らの反射光がスクリーン６の外にはずれた場合にも、反
射部材１１によってスクリン６に反射されるので、基準
原器５の傾き調整が極めて容易になる。

基準原器５の参照面５ｂからの反射光がアライメントポ
イント６に集光するように基準原器５の傾きが調整され
、被検体８の被検面８ａからの反射光が同様にアライメ
ントポイント６ａに集光するように被検体８の傾きが調
整されることで、基準原器５の参照面５ｂと被検体８の
被検面８ａとが精密に平行となり、基準原器５の参照面
５ｂで反射したレーザ光と被検体８の被検面８ａで反射
したレーザ光とが干渉して干渉縞が発生し、スクリーン
６のアライメントポイント６ａを通して干渉縞を観察す
ることができる。

なお、被検体８の試料台９側の面８ｂには試料台９に載
置する前に油や粉などを塗布しておく。

このようにすることにより、スクリーン６上には被検体
８の裏面８ｂからの反射光による集光点や干渉縞が生ず
ることがなく、被検体８の被検面８ａからの反射光のみ
による光点や干渉縞が得られ、作業上好ましい。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、スクリーンとビー
ムスプリッタとの間にスクリーン外にはずれた被照射体
からの反射光をスクリーンに反射する反射手段をもうけ
たので、被照射体の傾きに起因して被照射体からの反射
光がスクリーン外にはずれた場合でも、反射手段によっ
てスクリーンに導かれ、スクリーンに被μｓ射体からの
反射光の光点が得られ、スクリーン上の被照射体からの
反射光の光点位置の変化から被暉射体をどのような方向
へ傾斜させればよいかを知ることができ、被照射体の傾
き調整が容易になるなどの効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本発明の一実施例を示す構成図であ■−・・
レーザ光源　　３・・・ビームスプリッタ４・・・コリ
メータレンズ　　５・・・基準原器６・・・スクリーン
　　８・・・被検体１１・・・反射部材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）レーザ光をビームスプリッタおよびコリメータレン
   ズを通して被照射体に照射し、前記被照射体からの反射
   光を前記コリメータレンズおよび前記ビームスプリッタ
   を通してスクリーンに集光させ、前記スクリーンに集光
   した光点位置から前記被照射体の傾きを調整するレーザ
   干渉装置において、前記スクリーンと前記ビームスプリ
   ッタとの間に、前記スクリーン外にはずれた前記被照射
   体からの反射光を前記スクリーンに導く反射手段をもう
   けたレーザ干渉装置。