JPH0540225A - 走査形顕微鏡 - Google Patents
走査形顕微鏡Info
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- JPH0540225A JPH0540225A JP35526091A JP35526091A JPH0540225A JP H0540225 A JPH0540225 A JP H0540225A JP 35526091 A JP35526091 A JP 35526091A JP 35526091 A JP35526091 A JP 35526091A JP H0540225 A JPH0540225 A JP H0540225A
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- light
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- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
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- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/12—Reflex reflectors
- G02B5/122—Reflex reflectors cube corner, trihedral or triple reflector type
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 透過光運転方式の共焦点結像技術の使用が試
料の移動を必要としないような走査形レーザ顕微鏡を提
供する。 【構成】 光源Ｑと、光源光線ＬＡを焦点面ＢＥに集束
させ試料ＩＣ上に出た光線ＬＡ′を捕捉して検出器ユニ
ットＤＴへ供給し、共焦点特性を有する第１の光学ユニ
ットＯＬ、Ｌ、ＢＬと、光源光線ＬＡの焦点Ｆ０を焦点
面ＢＥ内で移動させるための偏向ユニットＳと、光源光
線ＬＡのフォーカッシングに使われる第１の光学ユニッ
トの構成要素ＯＬに対して焦点面ＢＥが符号するように
配置された第２の光学ユニットＫＬと、光源光線の方向
において第２の光学ユニットＫＬの背後に配置された反
射器ＴＰとを備え、反射器ＴＰは第２の光学ユニットＫ
Ｌによって作られた光線束をその光線束自身に対して平
行に反射させるものである。
料の移動を必要としないような走査形レーザ顕微鏡を提
供する。 【構成】 光源Ｑと、光源光線ＬＡを焦点面ＢＥに集束
させ試料ＩＣ上に出た光線ＬＡ′を捕捉して検出器ユニ
ットＤＴへ供給し、共焦点特性を有する第１の光学ユニ
ットＯＬ、Ｌ、ＢＬと、光源光線ＬＡの焦点Ｆ０を焦点
面ＢＥ内で移動させるための偏向ユニットＳと、光源光
線ＬＡのフォーカッシングに使われる第１の光学ユニッ
トの構成要素ＯＬに対して焦点面ＢＥが符号するように
配置された第２の光学ユニットＫＬと、光源光線の方向
において第２の光学ユニットＫＬの背後に配置された反
射器ＴＰとを備え、反射器ＴＰは第２の光学ユニットＫ
Ｌによって作られた光線束をその光線束自身に対して平
行に反射させるものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走査形顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】マイクロデバイスおよびオプトエレクト
ロニクデバイスの開発および製造の全ての領域におい
て、サブマイクロメータのパターンを視覚的に判定し、
目標パターンからの偏差を測定し、そして高さ、幅また
は傾斜角のようなトポグラフィックパラメータを検出し
て評価し得るようにするために、走査形レーザ顕微鏡の
必要性が高まっている（例えば、刊行物“スキャンニン
グ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ）”１９８５年発行、第７巻、第
８８頁〜第９６頁、および、１９８７年発行、第９巻、
第１７頁〜第２５頁、および、１９８８年発行、第１０
巻、第１５７頁〜第１６２頁参照）。
ロニクデバイスの開発および製造の全ての領域におい
て、サブマイクロメータのパターンを視覚的に判定し、
目標パターンからの偏差を測定し、そして高さ、幅また
は傾斜角のようなトポグラフィックパラメータを検出し
て評価し得るようにするために、走査形レーザ顕微鏡の
必要性が高まっている（例えば、刊行物“スキャンニン
グ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ）”１９８５年発行、第７巻、第
８８頁〜第９６頁、および、１９８７年発行、第９巻、
第１７頁〜第２５頁、および、１９８８年発行、第１０
巻、第１５７頁〜第１６２頁参照）。
【０００３】従来の走査形レーザ顕微鏡の深度ディスク
リミネーション特性は共焦点結像方法を使用することに
よって明らかに改善することができる（刊行物“スキャ
ンニング（Ｓｃａｎｎｉｎｇ）”１９８５年発行、第７
巻、第７９頁〜第８７頁参照）。このような結像技術
は、レーザ焦点の領域から試料上に発せられた信号成分
だけが測定信号に寄与することを保証する。従って、測
定信号は試料の深度断面を作成し、深度分解能は使用さ
れたレーザ光線の波長の約０．７倍に相当する。
リミネーション特性は共焦点結像方法を使用することに
よって明らかに改善することができる（刊行物“スキャ
ンニング（Ｓｃａｎｎｉｎｇ）”１９８５年発行、第７
巻、第７９頁〜第８７頁参照）。このような結像技術
は、レーザ焦点の領域から試料上に発せられた信号成分
だけが測定信号に寄与することを保証する。従って、測
定信号は試料の深度断面を作成し、深度分解能は使用さ
れたレーザ光線の波長の約０．７倍に相当する。
【０００４】ところで、従来では、透過光運転方式の共
焦点結像技術を使用し得るようにするために、調査すべ
き試料をレーザ光線内で水平に移動させることを強制的
に行っていた。このような方法は、特に測定が非常に多
数の試料点の走査を必要としかつ作成された試料像が例
えば５１２×５１２の画素から構成されなければならな
い場合には、極端に時間が掛かる。
焦点結像技術を使用し得るようにするために、調査すべ
き試料をレーザ光線内で水平に移動させることを強制的
に行っていた。このような方法は、特に測定が非常に多
数の試料点の走査を必要としかつ作成された試料像が例
えば５１２×５１２の画素から構成されなければならな
い場合には、極端に時間が掛かる。
【０００５】図４に概略的に示された従来の走査形レー
ザ顕微鏡は、主として、レーザ源Ｑと、光線拡大を行う
テレスコープＴＥと、音響光学変調器ＭＯと、２個の高
精密形ガルバノメータミラーＳ１，Ｓ２を有する偏向ユ
ニットと、転向ミラーＵＳと、レーザ光線ＬＡを走査す
べき試料ＩＣ上に集束させる対物レンズＯＬとから構成
されている。走査形レーザ顕微鏡は、さらに、レーザ光
線ＬＡが対物レンズ瞳孔内に局部的に静止しそして回転
支点としての瞳孔による傾倒運動だけを行うことを保証
するために、図４には詳細に示されていないテレセント
リック光学系を備えている。さらに、走査形レーザ顕微
鏡は試料ＩＣから反射された光線ＬＡ´を検出する検出
器ＤＴを含んでいる。光線ＬＡ´は対物レンズＯＬによ
って平行光線にされ、偏向ユニットＳ１，Ｓ２を通過後
にビームスプリッターＨＳを使用して出射する。検出器
ＤＴには、出射した光線束ＬＡ´を穴絞りＢＬの面内へ
集束させるレンズＬが前置されている。共焦点光路に基
づいて、レーザ焦点の領域において試料ＩＣ上で反射し
た光線だけが検出器ＤＴへ到達する（試料ＩＣ上のレー
ザ焦点および絞り開口部は光学的に結合した点を形成す
る）。焦点面の外から発せられた光線ＬＡ′′は測定信
号Ｉ（ｘ、ｙ）に寄与しない。というのは、この光線Ｌ
Ａ´´は集束条件を満足せず、絞りＢＬによって阻止さ
れた光線であるからである。
ザ顕微鏡は、主として、レーザ源Ｑと、光線拡大を行う
テレスコープＴＥと、音響光学変調器ＭＯと、２個の高
精密形ガルバノメータミラーＳ１，Ｓ２を有する偏向ユ
ニットと、転向ミラーＵＳと、レーザ光線ＬＡを走査す
べき試料ＩＣ上に集束させる対物レンズＯＬとから構成
されている。走査形レーザ顕微鏡は、さらに、レーザ光
線ＬＡが対物レンズ瞳孔内に局部的に静止しそして回転
支点としての瞳孔による傾倒運動だけを行うことを保証
するために、図４には詳細に示されていないテレセント
リック光学系を備えている。さらに、走査形レーザ顕微
鏡は試料ＩＣから反射された光線ＬＡ´を検出する検出
器ＤＴを含んでいる。光線ＬＡ´は対物レンズＯＬによ
って平行光線にされ、偏向ユニットＳ１，Ｓ２を通過後
にビームスプリッターＨＳを使用して出射する。検出器
ＤＴには、出射した光線束ＬＡ´を穴絞りＢＬの面内へ
集束させるレンズＬが前置されている。共焦点光路に基
づいて、レーザ焦点の領域において試料ＩＣ上で反射し
た光線だけが検出器ＤＴへ到達する（試料ＩＣ上のレー
ザ焦点および絞り開口部は光学的に結合した点を形成す
る）。焦点面の外から発せられた光線ＬＡ′′は測定信
号Ｉ（ｘ、ｙ）に寄与しない。というのは、この光線Ｌ
Ａ´´は集束条件を満足せず、絞りＢＬによって阻止さ
れた光線であるからである。
【０００６】反射光線ＬＡ´の強度に比例する検出器Ｄ
Ｔの出力信号Ｉ（ｘ、ｙ）は一般に増幅されて、試料Ｉ
Ｃ上のレーザ焦点の位置に応じて画像メモリＢＳＰ内へ
読込まれるか、もしくは像点の輝度を変調するためにデ
ィスプレイ装置ＭＯへ与えられる。位置情報はこの場合
には偏向信号を発生するラスタ発生器ＳＧが供給する。
このラスタ発生器ＳＧには出力側にガルバノメータミラ
ーＳ１、Ｓ２に所属する駆動ユニットＡＳ１、ＡＳ２な
らびにディスプレイ装置ＭＯおよびメモリユニットＢＳ
Ｐの対応する入力端が接続されている。
Ｔの出力信号Ｉ（ｘ、ｙ）は一般に増幅されて、試料Ｉ
Ｃ上のレーザ焦点の位置に応じて画像メモリＢＳＰ内へ
読込まれるか、もしくは像点の輝度を変調するためにデ
ィスプレイ装置ＭＯへ与えられる。位置情報はこの場合
には偏向信号を発生するラスタ発生器ＳＧが供給する。
このラスタ発生器ＳＧには出力側にガルバノメータミラ
ーＳ１、Ｓ２に所属する駆動ユニットＡＳ１、ＡＳ２な
らびにディスプレイ装置ＭＯおよびメモリユニットＢＳ
Ｐの対応する入力端が接続されている。
【０００７】レーザ光線ＬＡの高速偏向に基づいて、試
料表面の光学的特性（反射率）が短時間に走査され得
る。さらに、試料ＩＣの容積の光学的特性を調査するた
めには、上述した走査形レーザ顕微鏡はあまり適してい
ない。というのは、偏光効果と屈折率または二重屈折等
の影響等は表面で反射した光線（顕微鏡の投射光運転方
式）の解析によって検出されないかまたは非常に僅かし
か検出されないからである。
料表面の光学的特性（反射率）が短時間に走査され得
る。さらに、試料ＩＣの容積の光学的特性を調査するた
めには、上述した走査形レーザ顕微鏡はあまり適してい
ない。というのは、偏光効果と屈折率または二重屈折等
の影響等は表面で反射した光線（顕微鏡の投射光運転方
式）の解析によって検出されないかまたは非常に僅かし
か検出されないからである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、透過光運転
方式の共焦点結像技術の使用が試料の移動を必要としな
いような走査形レーザ顕微鏡を提供することを課題とす
る。
方式の共焦点結像技術の使用が試料の移動を必要としな
いような走査形レーザ顕微鏡を提供することを課題とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明においては、光源と、光源光線を焦点面に集
束させ試料上に出た光線を捕捉して検出器ユニットへ供
給する、共焦点特性を有する第１の光学ユニットと、光
源光線の焦点を焦点面内で移動させるための偏向ユニッ
トと、光源光線のフォーカッシングに使われる第１の光
学ユニットの構成要素に対して焦点面が符合するように
配置された第２の光学ユニットと、光源光線の方向にお
いて第２の光学ユニットの背後に配置された反射器とを
備え、反射器は第２の光学ユニットによって作られた光
線束をその光線束自身に対して平行に反射させるもので
ある。
め、本発明においては、光源と、光源光線を焦点面に集
束させ試料上に出た光線を捕捉して検出器ユニットへ供
給する、共焦点特性を有する第１の光学ユニットと、光
源光線の焦点を焦点面内で移動させるための偏向ユニッ
トと、光源光線のフォーカッシングに使われる第１の光
学ユニットの構成要素に対して焦点面が符合するように
配置された第２の光学ユニットと、光源光線の方向にお
いて第２の光学ユニットの背後に配置された反射器とを
備え、反射器は第２の光学ユニットによって作られた光
線束をその光線束自身に対して平行に反射させるもので
ある。
【００１０】
【実施例】次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
【００１１】図１に概略的に示された本発明による走査
形レーザ顕微鏡は透過光運転方式の共焦点結像技術の使
用を可能し、それにより容積の光学的特性をも高い深度
分解能でもって測定することができる。レーザ探針を位
置決めするための高速偏向装置Ｓが使用されるので、光
線ＬＡ内で試料ＩＣを水平移動させることは必要ない。
図１には本発明を説明するために重要な構成要素だけが
示されており、図４に基づいて既に説明した構成要素に
対しては同じ符号が付されている。光路をより一層明確
にするために、面状走査を行うために必要な第２の偏向
ミラーの図示は省略されている。
形レーザ顕微鏡は透過光運転方式の共焦点結像技術の使
用を可能し、それにより容積の光学的特性をも高い深度
分解能でもって測定することができる。レーザ探針を位
置決めするための高速偏向装置Ｓが使用されるので、光
線ＬＡ内で試料ＩＣを水平移動させることは必要ない。
図１には本発明を説明するために重要な構成要素だけが
示されており、図４に基づいて既に説明した構成要素に
対しては同じ符号が付されている。光路をより一層明確
にするために、面状走査を行うために必要な第２の偏向
ミラーの図示は省略されている。
【００１２】深度断面を作成するために、レーザ光線Ｌ
Ａは対物レンズＯＬを使用し試料ＩＣの表面に対して平
行に向く平面ＢＥ上に集束される。その場合、偏向ミラ
ーＳの姿勢がこの平面ＢＥにおけるレーザ焦点ＦＯ（測
定個所）の位置を規定する。試料ＩＣの下方に配置され
た捕集（コレクター）レンズＫＬは、試料下面に発散し
て出たレーザ光線を束線化し、反射器として使用される
トリプルプリズムＴＰ（キャッツアイ）またはトリプル
ミラーへ導入する役目を有している。これらの構成要素
は端面ＳＦへ入る平行光線束を自分自身内で反射させ、
捕集レンズＫＬの焦点面ＢＥと対物レンズＯＬの焦点面
ＢＥとは重なっているので、レーザ光線ＬＡは測定個所
領域を再び通過し、試料表面に発散して出る。ここでレ
ーザ光線ＬＡは対物レンズＯＬによって捕捉されて偏向
ユニットＳ内で転向され、ビームスプリッターＨＳによ
って出射する。共焦点光路を実現するために、検出器Ｄ
ＴにはレンズＬと穴絞りＢＬとが前置されている。
Ａは対物レンズＯＬを使用し試料ＩＣの表面に対して平
行に向く平面ＢＥ上に集束される。その場合、偏向ミラ
ーＳの姿勢がこの平面ＢＥにおけるレーザ焦点ＦＯ（測
定個所）の位置を規定する。試料ＩＣの下方に配置され
た捕集（コレクター）レンズＫＬは、試料下面に発散し
て出たレーザ光線を束線化し、反射器として使用される
トリプルプリズムＴＰ（キャッツアイ）またはトリプル
ミラーへ導入する役目を有している。これらの構成要素
は端面ＳＦへ入る平行光線束を自分自身内で反射させ、
捕集レンズＫＬの焦点面ＢＥと対物レンズＯＬの焦点面
ＢＥとは重なっているので、レーザ光線ＬＡは測定個所
領域を再び通過し、試料表面に発散して出る。ここでレ
ーザ光線ＬＡは対物レンズＯＬによって捕捉されて偏向
ユニットＳ内で転向され、ビームスプリッターＨＳによ
って出射する。共焦点光路を実現するために、検出器Ｄ
ＴにはレンズＬと穴絞りＢＬとが前置されている。
【００１３】顕微鏡内の光路をより一層明確にするため
に、入進光線ＬＡと帰光線ＬＡ´とは空間的に分離して
図示されている。実際上は両光線の非常に多くの強いラ
ップが観察され、それゆえこれらの光線は偏向ミラーＳ
上のほぼ同一面を照らし、そのために穴絞りＢＬの平面
内でのレンズＬの焦点の移動は起こらない。
に、入進光線ＬＡと帰光線ＬＡ´とは空間的に分離して
図示されている。実際上は両光線の非常に多くの強いラ
ップが観察され、それゆえこれらの光線は偏向ミラーＳ
上のほぼ同一面を照らし、そのために穴絞りＢＬの平面
内でのレンズＬの焦点の移動は起こらない。
【００１４】図２は９０°の角度で互いに向けられた３
つの全反射面ＲＦ、ＲＦ´を備え反射器ＴＰとして使わ
れるトリプルプリズム（キャッツアイもしくはコーナー
キューブ反射器）を示す。このトリプルプリズムは端面
ＳＦが立方体対角線上に垂直に位置する立方体コーナー
の形状を有している。石英ガラスまたはＢＫ７から製作
され場合によってはＭｇＦ2 によって被覆されたトリプ
ルプリズムは、光線束を入射角度に依存せずにその光線
束自身に対して平行に反射させる特性を有している。従
って、このようなタイプのプリズムを使用すると、走査
形レーザ顕微鏡の光路内での正確なアライメントが必要
とされない。端面ＳＦの直径ＤSFは入射光線束の幅より
も大きいことだけが保証されなければならない。
つの全反射面ＲＦ、ＲＦ´を備え反射器ＴＰとして使わ
れるトリプルプリズム（キャッツアイもしくはコーナー
キューブ反射器）を示す。このトリプルプリズムは端面
ＳＦが立方体対角線上に垂直に位置する立方体コーナー
の形状を有している。石英ガラスまたはＢＫ７から製作
され場合によってはＭｇＦ2 によって被覆されたトリプ
ルプリズムは、光線束を入射角度に依存せずにその光線
束自身に対して平行に反射させる特性を有している。従
って、このようなタイプのプリズムを使用すると、走査
形レーザ顕微鏡の光路内での正確なアライメントが必要
とされない。端面ＳＦの直径ＤSFは入射光線束の幅より
も大きいことだけが保証されなければならない。
【００１５】図３に示されたトリプルミラー（再帰反射
器）は９０°の角度で互いに直立する３つの個別ミラー
ＳＰ、ＳＰ´から構成されており、これらの個別ミラー
ＳＰ、ＳＰ´は高平坦度でもって製作され、互いに調整
されて安定なホルダーＧＨ内に組込まれている。ミラー
ＳＰ、ＳＰ´自身は光学ガラス、硬質ガラスまたは石英
ガラスから構成され、鏡面として例えばＳｉＯ2 で覆わ
れたアルミニウムまたは金膜が使用される。トリプルミ
ラーは、特に、大きなスペクトル範囲から成る光線を反
射させ、偏光効果を示さず、レーザ光線に対する高い破
壊閾値を有し、重量が非常に僅かであるという利点を持
っている。
器）は９０°の角度で互いに直立する３つの個別ミラー
ＳＰ、ＳＰ´から構成されており、これらの個別ミラー
ＳＰ、ＳＰ´は高平坦度でもって製作され、互いに調整
されて安定なホルダーＧＨ内に組込まれている。ミラー
ＳＰ、ＳＰ´自身は光学ガラス、硬質ガラスまたは石英
ガラスから構成され、鏡面として例えばＳｉＯ2 で覆わ
れたアルミニウムまたは金膜が使用される。トリプルミ
ラーは、特に、大きなスペクトル範囲から成る光線を反
射させ、偏光効果を示さず、レーザ光線に対する高い破
壊閾値を有し、重量が非常に僅かであるという利点を持
っている。
【００１６】本発明は勿論上述した実施例に限定されな
い。即ち、レーザＱと、変調ユニットＭＯとの代わり
に、パルス化レーザ源、特にピコセカンドレーザを使用
することは容易に可能である。
い。即ち、レーザＱと、変調ユニットＭＯとの代わり
に、パルス化レーザ源、特にピコセカンドレーザを使用
することは容易に可能である。
【００１７】偏向ユニットとしては同様に音響光学反射
器と所謂多角形反射器とを使用することが出来る。
器と所謂多角形反射器とを使用することが出来る。
【００１８】試料容積の光学特性を調査するために、偏
光光を使用することが必要な場合がある。走査形レーザ
顕微鏡はその場合に光路内に偏光子と検光子とを含んで
いる。
光光を使用することが必要な場合がある。走査形レーザ
顕微鏡はその場合に光路内に偏光子と検光子とを含んで
いる。
【００１９】異なった深度の断面を作成するために、試
料ＩＣを高さの調整可能なテーブル上に配置することは
有利である。本発明による走査形レーザ顕微鏡に適する
試料テーブルは例えば刊行物“スキャンニング（Ｓｃａ
ｎｎｉｎｇ）”（１９８５年発行、第７巻、第６７頁）
に記載されている。
料ＩＣを高さの調整可能なテーブル上に配置することは
有利である。本発明による走査形レーザ顕微鏡に適する
試料テーブルは例えば刊行物“スキャンニング（Ｓｃａ
ｎｎｉｎｇ）”（１９８５年発行、第７巻、第６７頁）
に記載されている。
【００２０】対物レンズＯＬと捕集レンズＫＬとは必ず
しも同一の焦点距離を有する必要はない。重要なことは
それらの焦点面が符合していることである。
しも同一の焦点距離を有する必要はない。重要なことは
それらの焦点面が符合していることである。
【００２１】共焦点光路は種々の方法で実現することが
できる。このことは冒頭で述べた刊行物および特に刊行
物“スキャンニング（Ｓｃａｎｎｉｎｇ）”（１９８７
年発行、第９巻、第１８頁）によって公知である走査形
レーザ顕微鏡に示されている。
できる。このことは冒頭で述べた刊行物および特に刊行
物“スキャンニング（Ｓｃａｎｎｉｎｇ）”（１９８７
年発行、第９巻、第１８頁）によって公知である走査形
レーザ顕微鏡に示されている。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、測定値の検出のために
必要な時間が極めて短縮され、さらに、試料の容積特性
を多数回調査することにより、走査光線は試料を２回通
過するため非常に大きい測定信号を得ることができる。
必要な時間が極めて短縮され、さらに、試料の容積特性
を多数回調査することにより、走査光線は試料を２回通
過するため非常に大きい測定信号を得ることができる。
【図１】共焦点光路（透過光運転方式）を有する本発明
による走査形レーザ顕微鏡を示す概略図である。
による走査形レーザ顕微鏡を示す概略図である。
【図２】反射器の一例を示す概略図である。
【図３】反射器の他の例を示す概略図である。
【図４】共焦点光路（反射光運転方式）を有する従来の
走査形レーザ顕微鏡を示す概略図である。
走査形レーザ顕微鏡を示す概略図である。
Ｑ レーザ源 Ｌ レンズ Ｓ 偏向ユニット ＯＬ 対物レンズ ＢＬ 穴絞り ＩＣ 試料 ＴＰ 反射器 ＫＬ 捕集レンズ ＤＴ 検出器 ＳＦ 端面 ＨＳ ビームスプリッター ＢＥ 面 ＦＯ レーザ焦点 ＬＡ レーザ光線 ＬＡ´ 反射光線
Claims (6)
- 【請求項１】 光源（Ｑ）と、 光源光線（ＬＡ）を焦点面（ＢＥ）に集束させ試料（Ｉ
Ｃ）上に出た光線（ＬＡ´）を捕捉して検出器ユニット
（ＤＴ）へ供給する、共焦点特性を有する第１の光学ユ
ニット（ＯＬ、Ｌ、ＢＬ）と、 前記光源光線（ＬＡ）の焦点（ＦＯ）を前記焦点面（Ｂ
Ｅ）内で移動させるための偏向ユニット（Ｓ）と、 前記光源光線（ＬＡ）のフォーカッシングに使われる前
記第１の光学ユニットの構成要素（ＯＬ）に対して焦点
面（ＢＥ）が符合するように配置された第２の光学ユニ
ット（ＫＬ）と、 前記光源光線の方向において前記第２の光学ユニット
（ＫＬ）の背後に配置された反射器（ＴＰ）とを備え、
前記反射器（ＴＰ）は前記第２の光学ユニット（ＫＬ）
によって作られた光線束をその光線束自身に対して平行
に反射させることを特徴とする走査形顕微鏡。 - 【請求項２】 反射器（ＴＰ）は９０°の角度で互いに
向けられた３つのプリズム面（ＲＦ、ＲＦ´）を有する
ことを特徴とする請求項１記載の走査形顕微鏡。 - 【請求項３】 反射器（ＴＰ）としてプリズムが用いら
れ、プリズムは立方体コーナーの形状を有し、端面（Ｓ
Ｆ）が立方体対角線に対して垂直に向けられていること
を特徴とする請求項１または２記載の走査形顕微鏡。 - 【請求項４】 反射器（ＴＰ）は９０°の角度で互いに
向けられた３つのミラー面（ＳＰ、ＳＰ´）を有するこ
とを特徴とする請求項１記載の走査形顕微鏡。 - 【請求項５】 光源としてパルス状光線を放射する光源
（Ｑ、ＭＯ）が用いられることを特徴とする請求項１な
いし４の１つに記載の走査形顕微鏡。 - 【請求項６】 光源（Ｑ）としてレーザが用いられるこ
とを特徴とする請求項１ないし５の１つに記載の走査形
顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4041435 | 1990-12-21 | ||
| DE4041435.3 | 1990-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0540225A true JPH0540225A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=6421191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35526091A Withdrawn JPH0540225A (ja) | 1990-12-21 | 1991-12-20 | 走査形顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0492292A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0540225A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005180939A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Lasertec Corp | 光学装置、検査装置及び検査方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19748552C2 (de) * | 1997-11-04 | 1999-10-28 | Bruker Analytik Gmbh | Auflichtmikroskop |
| DE102016115827A1 (de) * | 2016-08-25 | 2018-03-01 | Nanofocus Ag | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Oberflächenmessung mit Hilfe eines chromatisch konfokalen Sensors |
| US11662646B2 (en) * | 2017-02-05 | 2023-05-30 | Kla Corporation | Inspection and metrology using broadband infrared radiation |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3715152A (en) * | 1971-01-19 | 1973-02-06 | W Gunter | Multiple-pass reimaging optical system |
| US5035476A (en) * | 1990-06-15 | 1991-07-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Confocal laser scanning transmission microscope |
-
1991
- 1991-12-11 EP EP19910121285 patent/EP0492292A3/de not_active Ceased
- 1991-12-20 JP JP35526091A patent/JPH0540225A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005180939A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Lasertec Corp | 光学装置、検査装置及び検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0492292A2 (de) | 1992-07-01 |
| EP0492292A3 (en) | 1992-09-16 |
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