JPS6353509A - 顕微鏡の自動焦点調節用測距装置 - Google Patents
顕微鏡の自動焦点調節用測距装置Info
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- JPS6353509A JPS6353509A JP19860786A JP19860786A JPS6353509A JP S6353509 A JPS6353509 A JP S6353509A JP 19860786 A JP19860786 A JP 19860786A JP 19860786 A JP19860786 A JP 19860786A JP S6353509 A JPS6353509 A JP S6353509A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 71
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 7
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 abstract description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、顕微鏡の自動焦点調節用測距装置、特に鏡面
を有する被験体のための自動焦点調節用測距装置に係る
。
を有する被験体のための自動焦点調節用測距装置に係る
。
〔従来の技術]
従来の顕微鏡の自動焦点調節装置における測距装置につ
いて、第3図に基づいて説明する。
いて、第3図に基づいて説明する。
測距(合焦)用の投光光学系は、顕微鏡の光学系の光軸
に対して直交する方向で鏡筒2oの外側に設けられてい
る。光源は本従来例ではハロゲンランプ10を用い、鏡
筒20に向がってハロゲンランプ10の直前に赤外線カ
ットフィルタ12を配置し、さらに逐次適当に収斂用レ
ンズを配置しである。
に対して直交する方向で鏡筒2oの外側に設けられてい
る。光源は本従来例ではハロゲンランプ10を用い、鏡
筒20に向がってハロゲンランプ10の直前に赤外線カ
ットフィルタ12を配置し、さらに逐次適当に収斂用レ
ンズを配置しである。
測距用の光線はハロゲンランプ10により発光され、そ
の光線は赤外線カットフィルタ12を透過する際に赤外
線がカットされて可視光線のみとなる。
の光線は赤外線カットフィルタ12を透過する際に赤外
線がカットされて可視光線のみとなる。
透過した可視光線は、光路中に開口絞14及び視野絞り
16を有する(Ω先光学系を通って顕微鏡の鏡筒20内
の光学系22の光軸上に配置されたプリズム18に入射
する。
16を有する(Ω先光学系を通って顕微鏡の鏡筒20内
の光学系22の光軸上に配置されたプリズム18に入射
する。
プリズム18に入射した可視光線はプリズム18により
全反射され、顕y/l鏡の光学系22を通って被験体2
4に当り、反(ト)される。この反射光は、再び光学系
22を通ってプリズム18まで逆(テし、一部は反射さ
れるが残りの大部分はプリズム18を透過して光学系2
2の光軸上に設けられたプリズム26に入射し、反射さ
れ、自動焦点調節装置の受光検知部材28に入射する。
全反射され、顕y/l鏡の光学系22を通って被験体2
4に当り、反(ト)される。この反射光は、再び光学系
22を通ってプリズム18まで逆(テし、一部は反射さ
れるが残りの大部分はプリズム18を透過して光学系2
2の光軸上に設けられたプリズム26に入射し、反射さ
れ、自動焦点調節装置の受光検知部材28に入射する。
受光検知部材28では、例えば入射光線のコントラスト
を比較して被験体24の距離(位置)を求め、鏡筒20
を上下動させてこの顕微鏡の観察面30(対物レンズの
焦点位置とほぼ一致する)を被験体24上記従来の測距
装置では、被験体24が鏡面を有していると、鏡面で反
射した光線にはコントラストがないので、受光検知部材
28によっては被験体24の距離を求めることができず
、合焦できないという問題があった。従って従来の自動
焦点調ii置では、このような場合には手動で合焦操作
を行なわなければならなかったが、このような場合には
手動でも合焦は困難で、時間もかかっていた。
を比較して被験体24の距離(位置)を求め、鏡筒20
を上下動させてこの顕微鏡の観察面30(対物レンズの
焦点位置とほぼ一致する)を被験体24上記従来の測距
装置では、被験体24が鏡面を有していると、鏡面で反
射した光線にはコントラストがないので、受光検知部材
28によっては被験体24の距離を求めることができず
、合焦できないという問題があった。従って従来の自動
焦点調ii置では、このような場合には手動で合焦操作
を行なわなければならなかったが、このような場合には
手動でも合焦は困難で、時間もかかっていた。
そこで本発明は、被験体が鏡面状または鏡面を有してい
る場合であっても自動焦点調節を行なうことができる顕
微鏡の自動焦点調節用測距装置を提供することを目的と
する。
る場合であっても自動焦点調節を行なうことができる顕
微鏡の自動焦点調節用測距装置を提供することを目的と
する。
[問題点を解決するための手段]
前記問題点を解決するために本発明は、顕微鏡の光学系
に測距用の投光光学系から測距用光線を導入し、被験体
からの反射光を前記光学系を通して受光検知部で受光・
測距して合焦位置に鏡筒を移動させる自動焦点調節装置
を備えた顕微鏡において、測距用の投光光学系の光路中
にコントラストパターンを設(プ、このコントラストパ
ターンの空中像が顕微鏡の観察面上に結像するように形
成した。
に測距用の投光光学系から測距用光線を導入し、被験体
からの反射光を前記光学系を通して受光検知部で受光・
測距して合焦位置に鏡筒を移動させる自動焦点調節装置
を備えた顕微鏡において、測距用の投光光学系の光路中
にコントラストパターンを設(プ、このコントラストパ
ターンの空中像が顕微鏡の観察面上に結像するように形
成した。
[作用]
本発明によれば、顕微鏡の観察面にコントラストパター
ンの空中像を結像させているので、被験体の表面が鏡面
であれば、空中像は鏡面で反射されて受光検知部材に入
射し、そのコントラストを測定することによって被験体
の距離及び合焦状態が判る。すなわち、空中像が鏡面と
一致したときに空中像が現出し、最もコントラストが強
くなるからである。
ンの空中像を結像させているので、被験体の表面が鏡面
であれば、空中像は鏡面で反射されて受光検知部材に入
射し、そのコントラストを測定することによって被験体
の距離及び合焦状態が判る。すなわち、空中像が鏡面と
一致したときに空中像が現出し、最もコントラストが強
くなるからである。
また、赤外線を用いる投光光学系を別個設け、この光路
中にコントラストパターンを配置すれば、赤外線による
バタンーンは肉眼では見えないので常時発光させて自動
焦点調節を行なわせておくことができる。
中にコントラストパターンを配置すれば、赤外線による
バタンーンは肉眼では見えないので常時発光させて自動
焦点調節を行なわせておくことができる。
[実施例]
以下本発明の実施例を、添付図面に基づいて詳述する。
なお、従来装置と同一の部材には同一の符号を付しであ
る。
る。
第1図は本発明の第1の実施例の要部を示した光路図で
ある。この第1の実施例では、測距用の光源として従来
の可視光線を用いる投光光学系と、赤外線を用いる投光
光学系の二系統を設けてある。
ある。この第1の実施例では、測距用の光源として従来
の可視光線を用いる投光光学系と、赤外線を用いる投光
光学系の二系統を設けてある。
ハロゲンランプ10を光源とする可視光線の投光光学系
は、第3図に示した従来例と同様な構成・動作からなる
ので、説明はしない。
は、第3図に示した従来例と同様な構成・動作からなる
ので、説明はしない。
以下赤外線を用いる投光光学系について説明する。赤外
線投光光学系は、可視光線投光光学系に対して直交する
方向に設けてある。ハロゲンランプ40から発せられた
光線は、可視光線力ットフィルタ42によって可視光線
がカットされ、赤外線のみが可視光線カットフィルタ4
2を透過する。この赤外線は、視野絞りの位置に設けた
コントラストパターン板44を通って可視光線投光光学
系の光軸上に設けたプリズム46に入射し、反射されて
可視光線投光光学系の光軸に沿ってプリズム18に入射
する。
線投光光学系は、可視光線投光光学系に対して直交する
方向に設けてある。ハロゲンランプ40から発せられた
光線は、可視光線力ットフィルタ42によって可視光線
がカットされ、赤外線のみが可視光線カットフィルタ4
2を透過する。この赤外線は、視野絞りの位置に設けた
コントラストパターン板44を通って可視光線投光光学
系の光軸上に設けたプリズム46に入射し、反射されて
可視光線投光光学系の光軸に沿ってプリズム18に入射
する。
さらにプリズム18で反射されて光学系22を通り、光
学系22から射出して顕微鏡の観察面30上に前記コン
トラストパターン板44のパターンを結像する。
学系22から射出して顕微鏡の観察面30上に前記コン
トラストパターン板44のパターンを結像する。
第1図(A>にはコントラストパターン板42のパター
ンを、第2図(B)には観察面30に結像された上記パ
ターンの空中像をそれぞれA−A線及びB−B線方向か
ら見て示しである。
ンを、第2図(B)には観察面30に結像された上記パ
ターンの空中像をそれぞれA−A線及びB−B線方向か
ら見て示しである。
被験体24が鏡面の場合には、赤外線はこの鏡面で反q
1され、光学系22を逆行してプリズム18に入射し、
これを透過してプリズム26に入射し、反射されて受光
検知部材28に入射する。受光検知部材28ではこの反
射赤外線のコントラストを検査し、鏡筒20を上下に動
かして合焦動作を行なう。
1され、光学系22を逆行してプリズム18に入射し、
これを透過してプリズム26に入射し、反射されて受光
検知部材28に入射する。受光検知部材28ではこの反
射赤外線のコントラストを検査し、鏡筒20を上下に動
かして合焦動作を行なう。
合焦、すなわち、[l東面30が被験体24の鏡面と一
致すると、この鏡面にはパターン像が現われ、このパタ
ーン像が受光検知部材28に送られるので、受光検知部
材28における検知コントラストが最高になっている。
致すると、この鏡面にはパターン像が現われ、このパタ
ーン像が受光検知部材28に送られるので、受光検知部
材28における検知コントラストが最高になっている。
被験体24が鏡面を有しない場合には、可視光線の投光
光学系によって測距が行なわれる。
光学系によって測距が行なわれる。
第3図には第2の実施例を示しである。この実施例では
、赤外線投光光学系用に別個の光源を用いずに、光源を
1個としである。以下その構成を説明する。
、赤外線投光光学系用に別個の光源を用いずに、光源を
1個としである。以下その構成を説明する。
ハロゲンランプ10と鏡筒20内のプリズム18との間
の光路中に、ハロゲンランプ10側からプリズム50、
56を離間して設け、さらにプリズム50で反射された
光線が再びプリズム56に入射し、反射して可視光線の
光路に戻るようにミラー52.54を配設しである。さ
らにこのプリズム50、ミラー52、ミラー54、プリ
ズム56間の光路中の開口絞りの位置にコントラストパ
ターン板44を設けてある。
の光路中に、ハロゲンランプ10側からプリズム50、
56を離間して設け、さらにプリズム50で反射された
光線が再びプリズム56に入射し、反射して可視光線の
光路に戻るようにミラー52.54を配設しである。さ
らにこのプリズム50、ミラー52、ミラー54、プリ
ズム56間の光路中の開口絞りの位置にコントラストパ
ターン板44を設けてある。
ハロゲンランプ10から発した光は、可視光線はプリズ
ム50、プリズム56を透過してプリズム18に入射し
、反射されて光学系22を通って被験体24に達するこ
とは、従来例の可視光線による測距光学系と同様である
。
ム50、プリズム56を透過してプリズム18に入射し
、反射されて光学系22を通って被験体24に達するこ
とは、従来例の可視光線による測距光学系と同様である
。
ハロゲンランプ10から発した光のうち、赤外線はプリ
ズム50で反射され、ミラー52.54で反射されてコ
ントラストパターン板44を透過してプリズム56で反
射されてプリズム18に入射し、反射されて光学系22
を通って射出し、観察面30上にパターンを結像する。
ズム50で反射され、ミラー52.54で反射されてコ
ントラストパターン板44を透過してプリズム56で反
射されてプリズム18に入射し、反射されて光学系22
を通って射出し、観察面30上にパターンを結像する。
これ以降の動作は第1の実施例と同様なので説明は省略
する。
する。
本実施例では赤外線投光光学系を設け、この光路中にコ
ントラストパターン板を設けたが、赤外線投光光学系を
設けずに、コントラストパターン板を可視光線投光光学
系に設けてもよい。但し、この場合には合焦したら光源
を消すか、或いはコントラストパターン板を光路から外
さなければならない。
ントラストパターン板を設けたが、赤外線投光光学系を
設けずに、コントラストパターン板を可視光線投光光学
系に設けてもよい。但し、この場合には合焦したら光源
を消すか、或いはコントラストパターン板を光路から外
さなければならない。
本発明は図示の実施例に限定されるものではないことは
いう迄もなく、コントラストパターン板のパターンも本
実施例に限定されるものではない。
いう迄もなく、コントラストパターン板のパターンも本
実施例に限定されるものではない。
[発明の効果1
上記説明から明らかな通り本発明によれば、被験体が鏡
面であっても観察面に結像されるコントラストパターン
により合焦させることができる。
面であっても観察面に結像されるコントラストパターン
により合焦させることができる。
また、被験体が鏡面でなくても、コントラストパターン
を用いない可視光線による光学系によって合焦させるこ
とができる。
を用いない可視光線による光学系によって合焦させるこ
とができる。
従って、本発明によれば、どのような被験体においても
正確に合焦することができる。
正確に合焦することができる。
第1図は本発明の自動焦点調節用測距装置の第1の実施
例の構成を示した光路図、第2図は木光明の第2の実施
例の構成を示した光路図、第3図は従来の顕微鏡の自動
焦点調節用測距装置の構成を示した光路図である。 10・・・ハロゲンランプ 12・・・赤外線カットフ
ィルタ 18・・・プリズム 20・・・鏡筒 22・
・・顕微鏡の光学系 24・・・被験体 26・・・プ
リズム 28・・・受光検知部材 30・・・観察面
40・・・ハロゲンランプ 42・・・可視光線カット
フィルタ 44・・・コントラストパターン板 特許出願人 株式会社タムロン 代理人弁理士 古 村 悟;1゛特;′
I 一 第1WJ ど28 26 第2図 28゜ 第3図
例の構成を示した光路図、第2図は木光明の第2の実施
例の構成を示した光路図、第3図は従来の顕微鏡の自動
焦点調節用測距装置の構成を示した光路図である。 10・・・ハロゲンランプ 12・・・赤外線カットフ
ィルタ 18・・・プリズム 20・・・鏡筒 22・
・・顕微鏡の光学系 24・・・被験体 26・・・プ
リズム 28・・・受光検知部材 30・・・観察面
40・・・ハロゲンランプ 42・・・可視光線カット
フィルタ 44・・・コントラストパターン板 特許出願人 株式会社タムロン 代理人弁理士 古 村 悟;1゛特;′
I 一 第1WJ ど28 26 第2図 28゜ 第3図
Claims (5)
- (1)顕微鏡の光学系に測距用光線を導入し、被験体か
らの反射光を前記光学系を通して受光検知部で受光・測
距して合焦位置に鏡筒を移動させる自動焦点調節装置を
備えた顕微鏡において、測距用の投光光学系の光路中に
コントラストパターンを設け、当該コントラストパター
ンの空中像が顕微鏡の観察面上に結像するように形成し
たことを特徴とする顕微鏡の自動焦点調節用測距装置。 - (2)前記測距用の投光光学系が、可視光線を用いる投
光光学系と、赤外線を用いる投光光学系とからなり、当
該投光光学系の一方の光路中に前記コントラストパター
ンを設けてある特許請求の範囲第(1)項に記載の顕微
鏡の自動焦点調節装置用測距装置。 - (3)前記コントラストパターンが、前記赤外線投光光
学系の光路中に設けられている特許請求の範囲第(2)
に記載の顕微鏡の自動焦点調節用測距装置。 - (4)前記赤外線投光光学系の光源が、可視光線投光光
学系の光源とは別個に設けられている特許請求の範囲第
(2)項に記載の顕微鏡の自動焦点調節用測距装置。 - (5)前記赤外線及び可視光線投光光学系が同一の光源
を有し、上記光源から発光された光線が顕微鏡の光学系
中に導入される前に赤外線と可視光線とに分離され、顕
微鏡の光学系に導入される際に同一の光路に戻される特
許請求の範囲第(2)項に記載の顕微鏡の自動焦点調節
用測距装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19860786A JPS6353509A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 顕微鏡の自動焦点調節用測距装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19860786A JPS6353509A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 顕微鏡の自動焦点調節用測距装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6353509A true JPS6353509A (ja) | 1988-03-07 |
Family
ID=16394005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19860786A Pending JPS6353509A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 顕微鏡の自動焦点調節用測距装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6353509A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0381913U (ja) * | 1989-12-14 | 1991-08-21 | ||
WO1991018313A1 (en) * | 1990-05-21 | 1991-11-28 | Interactive Video Systems, Inc. | Projected image focus system and method of use |
CN114002806A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-02-01 | 苏州天准科技股份有限公司 | 一种基于光谱共焦快速聚焦的测量装置和测量方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59232306A (ja) * | 1983-06-16 | 1984-12-27 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 顕微鏡用焦点検出装置 |
JPS60171033A (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-04 | 株式会社トプコン | 焦点検出系付き眼底カメラ |
-
1986
- 1986-08-25 JP JP19860786A patent/JPS6353509A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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CN114002806A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-02-01 | 苏州天准科技股份有限公司 | 一种基于光谱共焦快速聚焦的测量装置和测量方法 |
CN114002806B (zh) * | 2021-11-10 | 2022-07-15 | 苏州天准科技股份有限公司 | 一种基于光谱共焦快速聚焦的测量装置和测量方法 |
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