JPH01195406A - 光ビーム偏向器 - Google Patents
光ビーム偏向器Info
- Publication number
- JPH01195406A JPH01195406A JP63019820A JP1982088A JPH01195406A JP H01195406 A JPH01195406 A JP H01195406A JP 63019820 A JP63019820 A JP 63019820A JP 1982088 A JP1982088 A JP 1982088A JP H01195406 A JPH01195406 A JP H01195406A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- vibrator
- transparent parallel
- optical beam
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 27
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 7
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 210000003041 ligament Anatomy 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G03F1/144—
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0002—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits for manufacturing artworks for printed circuits
Landscapes
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）産業上の利用分野
本発明は、ファクシミリ、複写機、プリンター等の画像
形成装置に最適な光ビーム偏向器に関し、特にレーザー
ビームによって感光体への書込みを行うのに適した光ビ
ーム偏向器に関する。
形成装置に最適な光ビーム偏向器に関し、特にレーザー
ビームによって感光体への書込みを行うのに適した光ビ
ーム偏向器に関する。
（２）従来の技術
ファクシミリ、複写機、プリンター等の画像形成装置と
して、レーザービームによる感光体への書込みが行われ
るようになってきている。このような画像形成装置にお
いて、レーザービームな偏向する光偏向器には、従来よ
り、回転多面鏡やミラー振動子等が用いられている。近
時においては、小型化、低騒音化、低価格化等の要請か
ら、幾多の課題を解決しながらミラー振動子が多用され
るようになってきている。
して、レーザービームによる感光体への書込みが行われ
るようになってきている。このような画像形成装置にお
いて、レーザービームな偏向する光偏向器には、従来よ
り、回転多面鏡やミラー振動子等が用いられている。近
時においては、小型化、低騒音化、低価格化等の要請か
ら、幾多の課題を解決しながらミラー振動子が多用され
るようになってきている。
このようなミラー振動子には、第４図に示すようなミラ
ー振動子３１０が使用される。
ー振動子３１０が使用される。
第４図において、ミラー振動子３１０は、はぼ長方形状
をなす縦長のフレーム３１５を有し、そのほぼ中央部に
駆動コイル３１１が設けられる。
をなす縦長のフレーム３１５を有し、そのほぼ中央部に
駆動コイル３１１が設けられる。
そして、その上方部に反射ミラー３１２が形成され、こ
の反射ミラー３１２の上方と、フレーム３１５との間に
は、回転支持棒として機能するリガメント３１３が一体
に形成されている。駆動コイル３１１の下方にも、リガ
メント３１３が一体に形成されている。
の反射ミラー３１２の上方と、フレーム３１５との間に
は、回転支持棒として機能するリガメント３１３が一体
に形成されている。駆動コイル３１１の下方にも、リガ
メント３１３が一体に形成されている。
このようにミラー振動子３１０は、駆動コイル３１１、
反射ミラー３１２、回転支持用のりガメント３１３が一
体として構成されたものである。
反射ミラー３１２、回転支持用のりガメント３１３が一
体として構成されたものである。
ミラー振動子３１０としては、異方性エツチングが可能
な材料として水晶、シリコン等が使用され、０．１〜０
．５ｍｍ程度の薄い基板が用いられるのが一般的である
。
な材料として水晶、シリコン等が使用され、０．１〜０
．５ｍｍ程度の薄い基板が用いられるのが一般的である
。
水晶板を加工してミラー振動子３１０を形成する場合、
その加工手段は通常、フォトリゾグラフィーとエツチン
グ技術が応用され、これによって微細加工が可能になる
。エツチング加工されたミラー振動子３１０の表面は、
電気的な抵抗を下げるために、通常銀メツキが施される
。
その加工手段は通常、フォトリゾグラフィーとエツチン
グ技術が応用され、これによって微細加工が可能になる
。エツチング加工されたミラー振動子３１０の表面は、
電気的な抵抗を下げるために、通常銀メツキが施される
。
また、特に光源として半導体レーザーを使用する場合、
反射ミラー３１２にはその反射率を上げるために、金、
銅、又はアルミ等のメツキ処理が施される。さらに、反
射ミラー３１２の表面の傷や、酸化を防ぐため、メツキ
処理後の表面にＳｉＯ又はＳ ｉ ０２等の保護膜をコ
ーティングすることもできる。
反射ミラー３１２にはその反射率を上げるために、金、
銅、又はアルミ等のメツキ処理が施される。さらに、反
射ミラー３１２の表面の傷や、酸化を防ぐため、メツキ
処理後の表面にＳｉＯ又はＳ ｉ ０２等の保護膜をコ
ーティングすることもできる。
ミラー振動子３１０は、筐体２４（第１図参照）によっ
て覆われ、周辺の空気流の乱れやトナー等の塵埃によっ
て、ミラー振動子３１２が影響を受けないようにしてい
る。
て覆われ、周辺の空気流の乱れやトナー等の塵埃によっ
て、ミラー振動子３１２が影響を受けないようにしてい
る。
第５図は、偏向器３００をレーザー記録装置に使用した
場合の光学走査系の一例を示している。
場合の光学走査系の一例を示している。
半導体レーザー３１から出射されたレーザービームはコ
リメータレンズ３２でビーム形状が補正されたのち、シ
リンドリカルレンズ３３、反射ミラー４１を通過して偏
向器３００に入射せしめられる。偏向器３００でレーザ
ービームが所定方向に所定の速度でもって偏向される。
リメータレンズ３２でビーム形状が補正されたのち、シ
リンドリカルレンズ３３、反射ミラー４１を通過して偏
向器３００に入射せしめられる。偏向器３００でレーザ
ービームが所定方向に所定の速度でもって偏向される。
偏向されたレーザービームは走査用レンズ４２及でシリ
ンドリカルレンズ３６を通過することにより感光体ドラ
ムｌｌ上に結像されて静電像が形成される。
ンドリカルレンズ３６を通過することにより感光体ドラ
ムｌｌ上に結像されて静電像が形成される。
シリンドリカルレンズ３３．３６は偏向器３００に設け
られた反射ミラー３１２に、上下方向のあおりがある場
合、そのあおりを補正するために使用されるものである
。反射ミラー３１２のあおりが非常に小さい場合は、シ
リンドリカルレンズ３３．３６は省略することもできる
。
られた反射ミラー３１２に、上下方向のあおりがある場
合、そのあおりを補正するために使用されるものである
。反射ミラー３１２のあおりが非常に小さい場合は、シ
リンドリカルレンズ３３．３６は省略することもできる
。
走査用レンズ４２はレーザービームを感光体ドラム１１
の表面に正しく結像させるためと、レーザービームが感
光体ドラムｌｌ上を等速走査できるようにするために使
用される。等速運動によって静電像を形成する場合には
歪のない画質を得ることができる。
の表面に正しく結像させるためと、レーザービームが感
光体ドラムｌｌ上を等速走査できるようにするために使
用される。等速運動によって静電像を形成する場合には
歪のない画質を得ることができる。
（３）発明が解決しようとする課題
上述のごとく、ミラー振動子には０．１〜０゜５ｒｎｍ
程度の薄い水晶基板が用いられていることが原因となっ
て、ミラー振動子は外部からの影響を受は易いという問
題がある。特に、複写機にミラー振動子を用いた場合に
は、回転部材等で巻き起こされる空気流がミラー振動子
に伝わると、ミラー振動子の反射面の角度が変化するこ
とによって、感光体に書込む位置がずれたり、ビーム径
が変動してボケの原因になったりする。そのため、解像
度やコントラストが低下して、画像品質を劣化させると
いう問題点がある。
程度の薄い水晶基板が用いられていることが原因となっ
て、ミラー振動子は外部からの影響を受は易いという問
題がある。特に、複写機にミラー振動子を用いた場合に
は、回転部材等で巻き起こされる空気流がミラー振動子
に伝わると、ミラー振動子の反射面の角度が変化するこ
とによって、感光体に書込む位置がずれたり、ビーム径
が変動してボケの原因になったりする。そのため、解像
度やコントラストが低下して、画像品質を劣化させると
いう問題点がある。
、また、ミラー振動子３１０は、フォトリゾグラフィー
やエツチング等で微細加工されているために、トナー等
の塵埃によってミラー振動子３１２が影響を受けるとい
う不都合もあった。
やエツチング等で微細加工されているために、トナー等
の塵埃によってミラー振動子３１２が影響を受けるとい
う不都合もあった。
一方、−船釣なレーザー書込み光学系に於けるフィルタ
ー、ガラス、像面湾曲補正レンズ等を傾斜させて平面板
での反射光による干渉波の影響を除去しようとすること
が特閏昭５９−１９３４１５号公報で開示されている。
ー、ガラス、像面湾曲補正レンズ等を傾斜させて平面板
での反射光による干渉波の影響を除去しようとすること
が特閏昭５９−１９３４１５号公報で開示されている。
（４）課題を解決するための手段
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、ミラー振
動子を空気流や塵埃から保護すると共に、この保護手段
を光学干渉を排除する手段と兼用することを目的とし、
この目的を達成するために、ミラーを回転振動すること
で光ビームを偏向するミラー振動子と、ミラー振動子を
覆う筐体と、ミラー振動子へ入出射する光ビームを透過
させる透明平行板とを設け、筐体と透明平行板とによっ
てミラー振動子を封止すると共に、透明平行板を光ビー
ムの光軸に対して傾斜するように構成されている。
動子を空気流や塵埃から保護すると共に、この保護手段
を光学干渉を排除する手段と兼用することを目的とし、
この目的を達成するために、ミラーを回転振動すること
で光ビームを偏向するミラー振動子と、ミラー振動子を
覆う筐体と、ミラー振動子へ入出射する光ビームを透過
させる透明平行板とを設け、筐体と透明平行板とによっ
てミラー振動子を封止すると共に、透明平行板を光ビー
ムの光軸に対して傾斜するように構成されている。
（５）実施例
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第１図は、本発明による光ビーム偏向器の一実施例を示
す斜視図である。図中、第４図または第５図と同じ構成
部分には同じ参照番号を付して説明を省略する。
す斜視図である。図中、第４図または第５図と同じ構成
部分には同じ参照番号を付して説明を省略する。
上述したミラー振動子３１０は、直方体状の筐体２４に
よって覆われ、筐体２４の前面（第５図の感光体ドラム
１１側）にはガラス板等による透明平行板２５が取り付
けられている。透明平行板２５は、筐体２４内にあって
上述した反射ミラー３１２の高さ位置に設定されていお
り、半導体レーザー３１から出射されたレーザービーム
を透過して反射ミラー３１２に照射し、また反射ミラー
３１２で反射されたレーザービームを感光体ドラム１１
に向けて照射している。この筐体２４と透明平行板２５
とによって、内部のミラー振動子３１０が空気流やトナ
ー等の塵埃から保護されている。
よって覆われ、筐体２４の前面（第５図の感光体ドラム
１１側）にはガラス板等による透明平行板２５が取り付
けられている。透明平行板２５は、筐体２４内にあって
上述した反射ミラー３１２の高さ位置に設定されていお
り、半導体レーザー３１から出射されたレーザービーム
を透過して反射ミラー３１２に照射し、また反射ミラー
３１２で反射されたレーザービームを感光体ドラム１１
に向けて照射している。この筐体２４と透明平行板２５
とによって、内部のミラー振動子３１０が空気流やトナ
ー等の塵埃から保護されている。
又、振動、衝撃からの振れ或はユラギを防止する為め筐
体２４を密封とし、内部にＮ２ Ｈ２等のガスを封入す
る等の積極的な方策も取られている。
体２４を密封とし、内部にＮ２ Ｈ２等のガスを封入す
る等の積極的な方策も取られている。
かかる場合、反射ミラー３１２にレーザー光を入射する
ため筐体２４を透明体で構成したり、入射窓を透明体と
して構成する必要が生じる。
ため筐体２４を透明体で構成したり、入射窓を透明体と
して構成する必要が生じる。
上記の場合、透明平行板２５のガラス面での干渉光或は
反射ミラー３１２と透明平行板２５との距離により生ず
る（近接して配置されているので、透明平行板よりの反
射光が反射ミラー３１２で反射され元の光と干渉を生じ
る）事により、縞模様の発生が感光体上に生ずる。
反射ミラー３１２と透明平行板２５との距離により生ず
る（近接して配置されているので、透明平行板よりの反
射光が反射ミラー３１２で反射され元の光と干渉を生じ
る）事により、縞模様の発生が感光体上に生ずる。
これを防止するため入射窓に使用せる透明平行板２５を
、第２図に示すように、レーザービームの光軸に対して
傾斜角θとなるように、筐体２４に対して傾斜角θだけ
上向き（第２図）に取り付けられている。
、第２図に示すように、レーザービームの光軸に対して
傾斜角θとなるように、筐体２４に対して傾斜角θだけ
上向き（第２図）に取り付けられている。
透明平行板２５をレーザービームの光軸に対して傾斜角
θだけ傾斜することで、第３図で説明するように光学干
渉を排除することができる。
θだけ傾斜することで、第３図で説明するように光学干
渉を排除することができる。
第３図において、レーザービームＬ ｉは、透明平行板
２５０法線Ｃに対して透明平行板２５の傾斜角θに等し
い入射角θだけ傾斜して入射する。
２５０法線Ｃに対して透明平行板２５の傾斜角θに等し
い入射角θだけ傾斜して入射する。
透明平行板２５の屈折率をｎとし、透明平行板２５にお
ける屈折角を０２とすると、 ｓｉｎθ＝ｎｓｉｎθ９ となる。レーザービームＬｉは、透明平行板２５の法線
Ｃに対して角度θだけ傾斜して感光体ドラム１１に出射
される（ビームＬｉ１）と共に、透明平行板２５の下側
の面とで透明平行板２５の上側の面とで２回反射されて
感光体ドラム１１に出射される（ビームＬｉ２）。感光
体ドラムｌｌ上における２つのビームＬｉｌとＬｉ２と
の距離をΔＳとすると、 Δ５＝２ｔ （ｔａｎθ’ ”ｃｏｓθ）となる。こ
こで、ｔは透明平行板２５の板厚である。従って、上述
した２式から Δ５＝２ｔｓ ｉｎθ １−ｓ ｉｎＴ＆となる。θが
僅かな傾は角であるとするとＳ１ｎ＃θ １−ｓｉｎ２θ：１ ｎ２−ｓｉｎ２θ”ｔ ｆｌ ２ であることから、 Δ５＝２ｔθ／ｎ となる。
ける屈折角を０２とすると、 ｓｉｎθ＝ｎｓｉｎθ９ となる。レーザービームＬｉは、透明平行板２５の法線
Ｃに対して角度θだけ傾斜して感光体ドラム１１に出射
される（ビームＬｉ１）と共に、透明平行板２５の下側
の面とで透明平行板２５の上側の面とで２回反射されて
感光体ドラム１１に出射される（ビームＬｉ２）。感光
体ドラムｌｌ上における２つのビームＬｉｌとＬｉ２と
の距離をΔＳとすると、 Δ５＝２ｔ （ｔａｎθ’ ”ｃｏｓθ）となる。こ
こで、ｔは透明平行板２５の板厚である。従って、上述
した２式から Δ５＝２ｔｓ ｉｎθ １−ｓ ｉｎＴ＆となる。θが
僅かな傾は角であるとするとＳ１ｎ＃θ １−ｓｉｎ２θ：１ ｎ２−ｓｉｎ２θ”ｔ ｆｌ ２ であることから、 Δ５＝２ｔθ／ｎ となる。
感光体ドラムｌｌ上でのビーム径をφとすると、φくΔ
Ｓのときは光学干渉が生じないので、φ＜２ｔθ／ｎ から、 θ〉 ｎφ／２ｔ となるように透明平行板２５をレーザービームの光軸に
対して傾斜することで、光学干渉を排除することができ
る。
Ｓのときは光学干渉が生じないので、φ＜２ｔθ／ｎ から、 θ〉 ｎφ／２ｔ となるように透明平行板２５をレーザービームの光軸に
対して傾斜することで、光学干渉を排除することができ
る。
（６）発明の効果
以上で説明したように、本発明は、ミラーを回転振動す
ることで光ビームを偏向するミラー振動子と、ミラー振
動子を覆う筐体と、ミラー振動子へ入出射する光ビーム
を透過させる透明平行板とを設け、筐体と透明平行板と
によってミラー振動子を封止すると共に、透明平行板を
光ビームの光軸に対して傾斜するように構成したので、
ミラー振動子を空気流や塵埃から保護すると共に、この
保護手段を光学干渉を排除する手段と兼用することが可
能となる。
ることで光ビームを偏向するミラー振動子と、ミラー振
動子を覆う筐体と、ミラー振動子へ入出射する光ビーム
を透過させる透明平行板とを設け、筐体と透明平行板と
によってミラー振動子を封止すると共に、透明平行板を
光ビームの光軸に対して傾斜するように構成したので、
ミラー振動子を空気流や塵埃から保護すると共に、この
保護手段を光学干渉を排除する手段と兼用することが可
能となる。
これによって、より少ない部品で、ミラー振動子の保護
と光学干渉の排除を行うことができ、光ビーム偏向器の
小型化、低コスト化を図ることができる。
と光学干渉の排除を行うことができ、光ビーム偏向器の
小型化、低コスト化を図ることができる。
第１図は、本発明による光ビーム偏向器の一実施例を示
す斜視図、 第２図は、本発明による光ビーム偏向器の一実施例を示
す側面図、 第３図は、光学干渉を説明する正面図、第４図は、ミラ
ー振動子を説明する正面図、第５図は、光ビーム偏向器
の配列を示す平面図である。 １１ ・・・・感光体ドラム ２４・・・・筐体 ２５・・・・透明平行板 ３１−φ・・半導体レーザー ３１０ ・・・・ミラー振動子 ３１１０・φ駆動コイル ３１２ ・會ψψ反射ミラー ３１３ φΦ争φ リガメント
す斜視図、 第２図は、本発明による光ビーム偏向器の一実施例を示
す側面図、 第３図は、光学干渉を説明する正面図、第４図は、ミラ
ー振動子を説明する正面図、第５図は、光ビーム偏向器
の配列を示す平面図である。 １１ ・・・・感光体ドラム ２４・・・・筐体 ２５・・・・透明平行板 ３１−φ・・半導体レーザー ３１０ ・・・・ミラー振動子 ３１１０・φ駆動コイル ３１２ ・會ψψ反射ミラー ３１３ φΦ争φ リガメント
Claims (1)
- ミラーを回転振動することで光ビームを偏向するミラー
振動子と、該ミラー振動子を覆う筺体と、前記ミラー振
動子へ入出射する光ビームを透過させる透明平行板とを
有し、前記筐体と前記透明平行板とによって前記ミラー
振動子を封止すると共に、前記透明平行板を前記光ビー
ムの光軸に対して傾斜したことを特徴とする光ビーム偏
向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63019820A JPH01195406A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | 光ビーム偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63019820A JPH01195406A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | 光ビーム偏向器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01195406A true JPH01195406A (ja) | 1989-08-07 |
Family
ID=12009953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63019820A Pending JPH01195406A (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | 光ビーム偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01195406A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6657764B1 (en) * | 1999-03-18 | 2003-12-02 | The Trustees Of Boston University | Very large angle integrated optical scanner made with an array of piezoelectric monomorphs |
| JP2005043469A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Ricoh Co Ltd | 偏向素子と光走査装置、並びに画像形成装置 |
| JP2005300892A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 光学装置 |
| KR100647329B1 (ko) * | 2005-07-09 | 2006-11-23 | 삼성전자주식회사 | 광스캐너 패키지 |
| KR100707179B1 (ko) * | 2005-02-07 | 2007-04-13 | 삼성전자주식회사 | 광스캐너 패키지 및 그 제조방법 |
| JP2007171852A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置・画像形成装置 |
| KR100815358B1 (ko) * | 2004-10-08 | 2008-03-19 | 삼성전기주식회사 | 경사진 광투과성 덮개를 가진 광변조기 패키지 |
| WO2020184506A1 (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | コニカミノルタ株式会社 | ヘッドアップディスプレイ装置 |
-
1988
- 1988-01-30 JP JP63019820A patent/JPH01195406A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6657764B1 (en) * | 1999-03-18 | 2003-12-02 | The Trustees Of Boston University | Very large angle integrated optical scanner made with an array of piezoelectric monomorphs |
| JP2005043469A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Ricoh Co Ltd | 偏向素子と光走査装置、並びに画像形成装置 |
| JP2005300892A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 光学装置 |
| KR100815358B1 (ko) * | 2004-10-08 | 2008-03-19 | 삼성전기주식회사 | 경사진 광투과성 덮개를 가진 광변조기 패키지 |
| KR100707179B1 (ko) * | 2005-02-07 | 2007-04-13 | 삼성전자주식회사 | 광스캐너 패키지 및 그 제조방법 |
| KR100647329B1 (ko) * | 2005-07-09 | 2006-11-23 | 삼성전자주식회사 | 광스캐너 패키지 |
| JP2007171852A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置・画像形成装置 |
| WO2020184506A1 (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | コニカミノルタ株式会社 | ヘッドアップディスプレイ装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100651108B1 (ko) | 광학 주사 장치 | |
| JP3111515B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| JPH01195406A (ja) | 光ビーム偏向器 | |
| JP3507244B2 (ja) | 走査光学装置及び該装置を用いたレーザープリンタ | |
| US5280379A (en) | Scanning optical apparatus | |
| JPH08122676A (ja) | 反射型走査光学装置 | |
| JPH08122685A (ja) | 反射型走査光学装置 | |
| JPH0563775B2 (ja) | ||
| JP3137656B2 (ja) | 回転ミラーを取り囲むカバーを備えた、画像情報をスキャンまたは記録するための回転ミラーユニット | |
| JP2947952B2 (ja) | 電子写真装置 | |
| JPH01195414A (ja) | ミラー振動子 | |
| JP4669656B2 (ja) | 電子写真装置 | |
| JP2002267989A (ja) | 光偏向走査装置 | |
| JPH0274915A (ja) | 光学装置 | |
| JPS63121009A (ja) | 光プリンタの光学走査用回転偏向ミラ− | |
| JP2002107648A (ja) | 画像形成装置 | |
| JP2822255B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| JPH01219714A (ja) | 画像信号用光偏向子を有する画像記録装置 | |
| JPH01912A (ja) | 画像形成装置における光学装置 | |
| JP2001318335A (ja) | 光走査装置・光走査方法・画像形成装置 | |
| JPS63204221A (ja) | 光学走査装置 | |
| JPH06265807A (ja) | 光ビーム走査光学系 | |
| JP2986851B2 (ja) | 光走査装置における線像結像レンズ | |
| JPH03197916A (ja) | 光学装置 | |
| JPH09179053A (ja) | 光走査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |