KR100647329B1 - 광스캐너 패키지 - Google Patents

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KR100647329B1
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문용권
최원경
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삼성전자주식회사
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    • G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors

Abstract

영상의 구현에 있어서 노이즈가 감소될 수 있도록 그 구조가 개선된 광스캐너 패키지가 개시된다. 본 발명에 따른 광스캐너 패키지는, 입사빔을 스캐닝하는 것으로 스캐닝미러와 상기 스캐닝미러를 작동시키는 콤전극구조체를 포함하는 광스캐너소자, 상기 광스캐너소자를 수용하는 패키지용기 및 그 위에 설치되어 상기 패키지용기를 허메틱 실링(hermetic sealing)하는 것으로 상기 광스캐너소자로부터 입사되는 스캔빔(scanned-beam)을 스크린부로 반사시키는 반사미러를 그 일면에 구비하여 상기 스캔빔의 경로를 입사빔으로부터 파생하는 노이즈빔의 경로와 분리시키는 패키지윈도우를 포함한다.

Description

광스캐너 패키지{Optical scanner package}
도 1은 종래 광스캐너 패키지의 구조를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 광스캐너 패키지의 구조를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 광스캐너 패키지의 구조를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 광스캐너 패키지의 구조를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 광스캐너 패키지의 구조를 보여주는 개략적인 단면도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
110:광스캐너소자 112:스캐닝미러
114:콤전극구조체 120:패키지용기
130, 230, 330, 430:패키지윈도우
130a, 231a, 332a, 431a:제1 광투과면
130b, 231b, 332b, 431b:제2 광투과면
130c, 233a, 332c, 431c:제3 광투과면
130d, 233b, 332d, 431d:제4 광투과면
140, 240, 340, 440:반사미러
150, 250, 350, 450:비반사 코팅막
S:스크린부
본 발명은 광스캐너 패키지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 영상의 구현에 있어서 노이즈가 감소될 수 있도록 그 구조가 개선된 광스캐너 패키지에 관한 것이다.
프로젝션 텔레비젼 등에서 레이저빔을 편향시키는 광스캐너로서, 빗살 모양의 콤전극(comb-typed electrode) 구조에 의한 정전효과를 이용하는 MEMS 구조의 광스캐너소자가 사용되고 있다. 그런데, 이와 같은 광스캐너소자는 미러의 크기가 수 mm 이하가 될 정도로 작은 크기로 만들어지기 때문에, 외부 환경에 매우 민감하다. 따라서, 광스캐너소자의 성능을 유지하고 외부 환경의 변화로부터 보호하기 위하여 허메틱 실링(hermetic sealing)이 된 패키지가 반드시 필요하다.
도 1은 종래 광스캐너 패키지의 구조를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래 광스캐너 패키지는 광스캐너소자(10)와 이를 수용하는 패키지용기(20) 및 상기 패키지용기(20)를 허메틱 실링(hermetic sealing)하여 광스캐너소자(10)를 외부로부터 완전히 밀폐시키는 패키지윈도우(30)를 구비한다. 상기 광스캐너소자(10)는 입사빔을 스캐닝하는 스캐닝미러(12)와 상기 스캐닝미러(12)를 작동시키는 콤전극구조체(comb-typed electrode, 14)를 구비하며, 외부로부터 공급되는 전원에 의해 입사빔을 스캐닝하여 스크린부(S)에 영상을 구현하게 된다. 이와 같은 광스캐너 패키지의 제조공정은, 광스캐너소자(10)를 패키지용기(20)에 다이본딩하는 공정, 상기 광스캐너소자(10)에 외부전원을 연결하는 공정, 상기 패키지용기(20)에 패키지윈도우(30)를 본딩하여 상기 광스캐너소자(10)를 외부로부터 밀폐시키는 공정 등을 포함한다. 이러한 광스캐너소자의 구조 및 그 제조방법은 한국 특허공개 2004-35116호, 한국 특허출원 2003-86624호 및 2004-83537호에 상세히 개시되어 있으므로, 이를 참조할 수 있다.
그러나, 이러한 종래 광스캐너 패키지에 있어서, 입사빔이 패키지윈도우(30)를 투과하여 광스캐너소자(10)에 도달하는 과정에서, 상기 입사빔이 패키지윈도우(30)의 표면에서 반사되어 필연적으로 노이즈빔(noise beam)이 발생된다. 이러한 노이즈빔은 상기 광스캐너소자(10)로부터의 스캔빔(scanned-beam)에 의해 상기 스크린부(S)에 형성되는 영상에 원치않는 이미지를 생성함으로써 악영향을 줄 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 종래기술의 문제점을 개선하기 위한 것으로, 영상의 구현에 있어서 노이즈가 감소될 수 있도록 그 구조가 개선된 광스캐너 패키지를 제공함에 있다.
본 발명에 따른 광스캐너 패키지는,
입사빔을 스캐닝하는 것으로 스캐닝미러와 상기 스캐닝미러를 작동시키는 콤전극구조체를 포함하는 광스캐너소자;
상기 광스캐너소자를 수용하는 패키지용기; 및
그 위에 설치되어 상기 패키지용기를 허메틱 실링(hermetic sealing)하는 것으로 상기 광스캐너소자로부터 입사되는 스캔빔(scanned-beam)을 스크린부로 반사시키는 반사미러를 그 일면에 구비하여 상기 스캔빔의 경로를 입사빔으로부터 파생하는 노이즈빔의 경로와 분리시키는 패키지윈도우;를 포함한다.
여기에서, 상기 패키지윈도우는 광투과성 물질로 형성되며, 상기 반사미러는 Ag, Al 및 Au 등과 같은 광반사 물질로 코팅되어 형성된다.
바람직하게, 상기 패키지윈도우는 상기 광스캐너소자로 입사되는 입사빔이 순차적으로 투과하는 제1 및 제2 광투과면과, 상기 반사미러가 형성된 제3 광투과면, 그리고 상기 반사미러에 의해 반사되어 스크린부로 진행하는 스캔빔이 투과하는 제4 광투과면을 구비할 수 있다. 이와 같은 상기 패키지윈도우의 종단면은 비대칭 사다리꼴이다. 상기 반사미러 위에 TiO2, Ta2O5 및 SiO2 등과 같은 투명성 유전체 물질(dielectric material)로 형성된 고반사 코팅막이 더 마련될 수 있다. 그리고, 상기 제1, 제2 및 제4 광투과면 위에 각각 MgF2 또는 SiO2 물질로 형성된 비반사 코팅막이 더 마련될 수 있다.
상기와 같은 구성을 광스캐너 패키지에 의하면, 스캔빔의 경로와 입사빔으로 부터 파생하는 노이즈빔의 경로가 서로 분리되어, 영상의 구현에 있어서 노이즈가 감소될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 광스캐너 패키지의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 광스캐너 패키지의 구조를 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 2를 참조하면, 상기 제1 실시예에 따른 광스캐너 패키지는 입사빔을 스캐닝하는 광스캐너소자(110)와 상기 광스캐너소자(110)를 수용하는 패키지용기(120) 및 상기 패키지용기(120)를 허메틱 실링(hermetic sealing)하여 상기 광스캐너소자(110)를 외부로부터 밀폐시키는 패키지윈도우(130)를 구비한다.
상기 광스캐너소자(110)는 스캐닝미러(112)와 상기 스캐닝미러(112)를 작동시키는 콤전극구조체(comb-typed electrode, 114)를 구비하며, 외부로부터 공급되는 전원에 의해 입사빔을 스캐닝하여 스크린부(S)에 영상을 구현할 수 있다.
상기 패키지용기(120) 위에 설치된 패키지윈도우(130)는, 상기 광스캐너소자(110)로부터 입사되는 스캔빔(scanned-beam)을 스크린부(S)로 반사시키는 반사미러(140)를 그 일면(130c)에 구비한다. 구체적으로, 상기 패키지윈도우(130)는 상기 광스캐너소자(110)로 입사되는 입사빔이 순차적으로 투과하는 제1 및 제2 광투과면(130a, 130b)과, 상기 반사미러(140)가 형성된 제3 광투과면(130c), 그리고 상기 반사미러(140)에 의해 반사되어 스크린부(S)로 진행하는 스캔빔이 투과하는 제4 광투과면(130d)을 구비한다. 이와 같은 상기 패키지윈도우(130)의 종단면은 비대칭 사다리꼴이다. 여기에서, 상기 패키지윈도우(130)는 광투과성 물질로 형성되며, 상기 반사미러(140)는 Ag, Al 및 Au 등과 같은 광반사 물질로 제3 광투과면(130c) 상에 코팅되어 형성된다.
이와 같은 구조를 가지는 광스캐너 패키지에서, 입사빔은 상기 패키지윈도우(130)의 제1 및 제2 광투과면(130a, 130b)을 순차적으로 투과하여 광스캐너소자(110)에 도달하며, 상기 광스캐너소자(110)에 의해 스캔된다. 그리고, 상기 광스캐너소자(110)로부터의 스캔빔(scanned-beam)은 다시 순차적으로 제2 및 제3 광투과면(130b, 130c)을 투과하여 반사미러(140)에 도달되며, 상기 스캔빔은 반사미러(140)에서 반사되어 제4 광투과면(130d)을 투과하여 스크린부(S)로 진행할 수 있다. 따라서, 스크린부(S)로 진행하는 스캔빔의 경로와 패키지윈도우(130)의 표면에서 입사빔으로부터 파생하는 노이즈빔의 경로가 서로 분리되어, 영상의 구현에 있어서 노이즈가 감소될 수 있다.
바람직하게, 상기 반사미러(140) 위에 TiO2, Ta2O5 및 SiO2 등과 같은 투명성 유전체 물질(dielectric material)로 형성된 고반사 코팅막(미도시)이 더 마련될 수 있다. 그리고, 상기 제1, 제2 및 제4 광투과면(130a, 130b, 130d) 위에 각각 MgF2 또는 SiO2 등과 같은 물질로 형성된 비반사 코팅막(150)이 더 마련될 수 있다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 광스캐너 패키지의 구조를 보여주는 개략적인 단면도이다. 여기에서, 제1 실시예와 동일한 구성요소에 대하여는 중복되는 설명을 생략하기로 하며, 동일한 참조번호를 그대로 사용하기로 한다.
제2 실시예는 패키지윈도우(230)의 변형 실시예를 보여준다. 즉, 제2 실시예의 패키지윈도우(230)는 상기 광스캐너소자(110)로부터 입사되는 스캔빔을 스크린부(S)로 반사시키는 반사미러(240)를 그 일면에 구비한다는 발명의 컨셉은 제1 실시예의 패키지윈도우(130)에서와 동일하지만, 제1 실시예의 패키지윈도우(130)와는 서로 다른 구조를 가진다. 구체적으로, 상기 제2 실시예의 패키지윈도우(230)는, 패키지용기(120) 위에 이와 대향되게 배치되는 것으로 상기 광스캐너소자(110)로 입사되는 입사빔이 순차적으로 투과하는 제1 및 제2 광투과면(231a, 231b)을 갖는 제1 윈도우(231)와, 상기 패키지용기(120)의 일측벽 위에 설치되어 상기 제1윈도우(231)의 일단측을 지지하는 것으로 그 종단면이 비대칭 역사다리꼴인 제2 윈도우(232), 상기 제2 윈도우(232)의 일면에 형성된 반사미러(240), 그리고 상기 패키지용기(120)의 타측벽 위에 설치되어 상기 제1 윈도우(231)의 타단측을 지지하는 것으로 상기 반사미러(240)에 의해 반사되어 스크린부(S)로 진행하는 스캔빔이 순차적으로 투과하는 제3 및 제4 광투과면(233a, 233b)을 갖는 제3 윈도우(233)를 구비한다.
이와 같은 구조를 가지는 광스캐너 패키지에서, 입사빔은 상기 제1 윈도우(231)의 제1 및 제2 광투과면(231a, 231b)을 순차적으로 투과하여 광스캐너소자(110)에 도달하며, 상기 광스캐너소자(110)에 의해 스캔된다. 그리고, 상기 광스캐너소자(110)로부터의 스캔빔(scanned-beam)은 제2 윈도우(232)의 일면에 형성된 반사미러(240)에 도달되며, 상기 스캔빔은 반사미러(240)에서 반사되어 제3 윈도우(233)의 제3 및 제4 광투과면(233a, 233b)을 순차적으로 투과하여 스크린부(S)로 진행할 수 있다. 따라서, 스크린부(S)로 진행하는 스캔빔의 경로와 패키지윈도우(230)의 표면에서 입사빔으로부터 파생하는 노이즈빔의 경로가 서로 분리되어, 영상의 구현에 있어서 노이즈가 감소될 수 있다.
바람직하게, 상기 반사미러(140) 위에 TiO2, Ta2O5 및 SiO2 등과 같은 투명성 유전체 물질(dielectric material)로 형성된 고반사 코팅막(미도시)이 더 마련될 수 있다. 그리고, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 광투과면(231a, 231b, 233a, 233b) 위에 각각 MgF2 또는 SiO2 등과 같은 물질로 형성된 비반사 코팅막(250)이 더 마련될 수 있다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 광스캐너 패키지의 구조를 보여주는 개략적인 단면도이다. 여기에서, 제1 실시예와 동일한 구성요소에 대하여는 중복되는 설명을 생략하기로 하며, 동일한 참조번호를 그대로 사용하기로 한다.
제3 실시예는 패키지윈도우(330)의 변형 실시예를 보여준다. 즉, 제3 실시예의 패키지윈도우(330)는 상기 광스캐너소자(110)로부터 입사되는 스캔빔을 스크린부(S)로 반사시키는 반사미러(340)를 그 일면에 구비한다는 발명의 컨셉은 제1 실시예의 패키지윈도우(130)에서와 동일하지만, 제1 실시예의 패키지윈도우(130)와는 서로 다른 구조를 가진다. 구체적으로, 상기 제3 실시예의 패키지윈도우(330)는 상기 패키지용기(120)를 허메틱 실링하는 제1 윈도우(331)와, 상기 제1 윈도우(331) 위에 설치되는 제2 윈도우(332)를 구비한다. 여기에서, 상기 제2 윈도우(332)는, 상기 광스캐너소자(110)로 입사되는 입사빔이 순차적으로 투과하는 제1 및 제2 광 투과면(332a, 332b)과, 상기 반사미러(340)가 형성된 제3 광투과면(332c), 그리고 상기 반사미러(340)에 의해 반사되어 스크린부(S)로 진행하는 스캔빔이 투과하는 제4 광투과면(332d)을 가진다. 이와 같은 상기 제2 윈도우(332)의 종단면은 비대칭 사다리꼴이다.
이와 같은 구조를 가지는 광스캐너 패키지에서, 입사빔은 상기 제2 윈도우(332)의 제1 및 제2 광투과면(332a, 332b)과 제1 윈도우(331)를 순차적으로 투과하여 광스캐너소자(110)에 도달하며, 상기 광스캐너소자(110)에 의해 스캔된다. 그리고, 상기 광스캐너소자(110)로부터의 스캔빔(scanned-beam)은 다시 순차적으로 제1 윈도우(331)와 제2 및 제3 광투과면(332b, 332c)을 투과하여 반사미러(340)에 도달되며, 상기 스캔빔은 반사미러(340)에서 반사되어 제2 윈도우(332)의 제4 광투과면(332d)을 투과하여 스크린부(S)로 진행할 수 있다. 따라서, 스크린부(S)로 진행하는 스캔빔의 경로와 패키지윈도우(330)의 표면에서 입사빔으로부터 파생하는 노이즈빔의 경로가 서로 분리되어, 영상의 구현에 있어서 노이즈가 감소될 수 있다.
여기에서, 상기 제1 윈도우(331)와 제2 윈도우(332)는 UV 글루(glue)로 본딩될 수도 있으나, 상기 제1 윈도우(331)와 제2 윈도우(332)가 일체로 조합되어 형성될 수도 있다. 바람직하게, 상기 반사미러(340) 위에 TiO2, Ta2O5 및 SiO2 등과 같은 투명성 유전체 물질(dielectric material)로 형성된 고반사 코팅막(미도시)이 더 마련될 수 있다. 그리고, 상기 제1, 제2 및 제4 광투과면(332a, 332b, 332d) 위에 각각 MgF2 또는 SiO2 등과 같은 물질로 형성된 비반사 코팅막(350)이 더 마련될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 광스캐너 패키지의 구조를 보여주는 개략적인 단면도이다. 여기에서, 제1 실시예와 동일한 구성요소에 대하여는 중복되는 설명을 생략하기로 하며, 동일한 참조번호를 그대로 사용하기로 한다.
제4 실시예는 패키지윈도우(430)의 변형 실시예를 보여준다. 즉, 제4 실시예의 패키지윈도우(430)는 상기 광스캐너소자(110)로부터 입사되는 스캔빔을 스크린부(S)로 반사시키는 반사미러(440)를 그 일면에 구비한다는 발명의 컨셉은 제1 실시예의 패키지윈도우(130)에서와 동일하지만, 제1 실시예의 패키지윈도우(130)와는 서로 다른 구조를 가진다. 구체적으로, 상기 제4 실시예의 패키지윈도우(430)는, 제1 윈도우(431)와 상기 제1 윈도우(431)의 측면에서 연장되는 제2 윈도우(432), 그리고 이들 사이에 개재되는 반사미러(440)을 구비한다. 상기 제1 윈도우(431)는 상기 광스캐너소자(110)로 입사되는 입사빔이 순차적으로 투과하는 제1 및 제2 광투과면(431a, 431b)과 상기 반사미러(440)가 형성된 제3 광투과면(431c), 그리고 상기 반사미러(440)에 의해 반사되어 스크린부(S)로 진행하는 스캔빔이 투과하는 제4 광투과면(431d)을 갖는다. 이와 같은 제1 윈도우(431)의 종단면은 비대칭 사다리꼴이다. 그리고, 상기 제2 윈도우(432)는 그 종단면이 비대칭 역사다리꼴로서, 상기 반사미러(440) 위에 UV 글루(glue)로 본딩되어 있다.
이와 같은 구조를 가지는 광스캐너 패키지에서, 입사빔은 상기 패키지윈도우(430)의 제1 및 제2 광투과면(431a, 431b)을 순차적으로 투과하여 광스캐너소자(110)에 도달하며, 상기 광스캐너소자(110)에 의해 스캔된다. 그리고, 상기 광스캐 너소자(110)로부터의 스캔빔(scanned-beam)은 다시 순차적으로 제2 및 제3 광투과면(431b, 431c)을 투과하여 반사미러(440)에 도달되며, 상기 스캔빔은 반사미러(440)에서 반사되어 제4 광투과면(431d)을 투과하여 스크린부(S)로 진행할 수 있다. 따라서, 스크린부(S)로 진행하는 스캔빔의 경로와 패키지윈도우(430)의 표면에서 입사빔으로부터 파생하는 노이즈빔의 경로가 서로 분리되어, 영상의 구현에 있어서 노이즈가 감소될 수 있다.
바람직하게, 상기 반사미러(440) 위에 TiO2, Ta2O5 및 SiO2 등과 같은 투명성 유전체 물질(dielectric material)로 형성된 고반사 코팅막(미도시)이 더 마련될 수 있다. 그리고, 상기 제1, 제2 및 제4 광투과면(431a, 431b, 431d) 위에 각각 MgF2 또는 SiO2 등과 같은 물질로 형성된 비반사 코팅막(450)이 더 마련될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의하면, 스크린부로 진행하는 스캔빔의 경로와 입사빔으로부터 파생하는 노이즈빔의 경로가 서로 분리되어, 영상의 구현에 있어서 노이즈가 감소될 수 있도록 그 구조가 개선된 광스캐너 패키지를 얻을 수 있다. 따라서, 이와 같은 광스캐너 패키지에 의하면, 화상의 휘도 및 콘트라스트비가 개선될 수 있다. 또한, 이와 같은 광스캐너 패키지는 칩스케일의 패키징이 가능한 구조를 가지기 때문에, 소형화될 수 있고 패키징 공정이 단순화될 수 있으며, 그 제조비용이 절감될 수 있다.
이러한 본원 발명의 이해를 돕기 위하여 몇몇의 모범적인 실시예가 설명되고 첨부된 도면에 도시되었으나, 이러한 실시예들은 단지 넓은 발명을 예시하고 이를 제한하지 않는다는 점이 이해되어야 할 것이며, 그리고 본 발명은 도시되고 설명된 구조와 배열에 국한되지 않는다는 점이 이해되어야 할 것이며, 이는 다양한 다른 수정이 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일어날 수 있기 때문이다.

Claims (30)

  1. 입사빔을 스캐닝하는 것으로 스캐닝미러와 상기 스캐닝미러를 작동시키는 콤전극구조체를 포함하는 광스캐너소자;
    상기 광스캐너소자를 수용하는 패키지용기; 및
    그 위에 설치되어 상기 패키지용기를 허메틱 실링(hermetic sealing)하는 것으로 상기 광스캐너소자로부터 입사되는 스캔빔(scanned-beam)을 스크린부로 반사시키는 반사미러를 그 일면에 구비하여 상기 스캔빔의 경로를 입사빔으로부터 파생하는 노이즈빔의 경로와 분리시키는 패키지윈도우;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 패키지윈도우는 광투과성 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 반사미러는 광반사 물질로 코팅되어 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 광반사 물질은 Ag, Al 및 Au 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 패키지윈도우는 상기 광스캐너소자로 입사되는 입사빔이 순차적으로 투과하는 제1 및 제2 광투과면과, 상기 반사미러가 형성된 제3 광투과면, 그리고 상기 반사미러에 의해 반사되어 스크린부로 진행하는 스캔빔이 투과하는 제4 광투과면을 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 패키지윈도우의 종단면은 비대칭 사다리꼴인 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 반사미러 위에 투명성 유전체 물질(dielectric material)로 형성된 고반사 코팅막을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 투명성 유전체 물질은 TiO2, Ta2O5 및 SiO2 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1, 제2 및 제4 광투과면 위에 각각 비반사 코팅막이 더 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 비반사 코팅막은 MgF2 또는 SiO2 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 패키지윈도우는,
    상기 패키지용기 위에 이와 대향되게 배치되는 것으로 상기 광스캐너소자로 입사되는 입사빔이 순차적으로 투과하는 제1 및 제2 광투과면을 갖는 제1 윈도우;
    상기 패키지용기의 일측벽 위에 설치되어 상기 제1윈도우의 일단측을 지지하는 것으로 그 종단면이 비대칭 역사다리꼴인 제2 윈도우;
    상기 제2 윈도우의 일면에 형성된 반사미러; 및
    상기 패키지용기의 타측벽 위에 설치되어 상기 제1 윈도우의 타단측을 지지하는 것으로 상기 반사미러에 의해 반사되어 스크린부로 진행하는 스캔빔이 순차적 으로 투과하는 제3 및 제4 광투과면을 갖는 제3 윈도우;를 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 반사미러 위에 투명성 유전체 물질(dielectric material)로 형성된 고반사 코팅막을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 투명성 유전체 물질은 TiO2, Ta2O5 및 SiO2 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제1, 제2, 제3 및 제4 광투과면 위에 각각 비반사 코팅막이 더 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 비반사 코팅막은 MgF2 또는 SiO2 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  16. 제 2 항에 있어서,
    상기 패키지윈도우는,
    상기 패키지용기를 허메틱 실링하는 제1 윈도우;와
    상기 제1 윈도우 위에 설치되는 것으로 상기 광스캐너소자로 입사되는 입사빔이 순차적으로 투과하는 제1 및 제2 광투과면과, 상기 반사미러가 형성된 제3 광투과면, 그리고 상기 반사미러에 의해 반사되어 스크린부로 진행하는 스캔빔이 투과하는 제4 광투과면을 갖는 제2 윈도우;를 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제2 윈도우의 종단면은 비대칭 사다리꼴인 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 반사미러 위에 투명성 유전체 물질(dielectric material)로 형성된 고반사 코팅막을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 투명성 유전체 물질은 TiO2, Ta2O5 및 SiO2 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  20. 제 16 항에 있어서,
    상기 제1, 제2 및 제4 광투과면 위에 각각 비반사 코팅막이 더 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 비반사 코팅막은 MgF2 또는 SiO2 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  22. 제 16 항에 있어서,
    상기 제1 윈도우와 제2 윈도우가 UV 글루(glue)로 본딩된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  23. 제 16 항에 있어서,
    상기 제1 윈도우와 제2 윈도우가 일체로 조합되어 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  24. 제 2 항에 있어서,
    상기 패키지윈도우는,
    상기 광스캐너소자로 입사되는 입사빔이 순차적으로 투과하는 제1 및 제2 광투과면과 상기 반사미러가 형성된 제3 광투과면, 그리고 상기 반사미러에 의해 반사되어 스크린부로 진행하는 스캔빔이 투과하는 제4 광투과면을 갖는 제1 윈도우;와
    그 일면이 상기 반사미러와 접촉하는 것으로 그 종단면이 비대칭 역사다리꼴인 제2 윈도우;를 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 제1 윈도우의 종단면은 비대칭 사다리꼴인 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  26. 제 24 항에 있어서,
    상기 반사미러와 제2 윈도우가 UV 글루(glue)로 본딩된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  27. 제 24 항에 있어서,
    상기 반사미러 위에 투명성 유전체 물질(dielectric material)로 형성된 고반사 코팅막을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 투명성 유전체 물질은 TiO2, Ta2O5 및 SiO2 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  29. 제 24 항에 있어서,
    상기 제1, 제2 및 제4 광투과면 위에 각각 비반사 코팅막이 더 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 비반사 코팅막은 MgF2 또는 SiO2 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너 패키지.
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