JPH01189999A - ポリフェニレンオキサイド樹脂系lcr多層板 - Google Patents
ポリフェニレンオキサイド樹脂系lcr多層板Info
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- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 76
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 76
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 title claims abstract description 42
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 title claims abstract description 42
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims description 11
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims description 11
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical group O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 4
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910002115 bismuth titanate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 2
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 claims description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 19
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 8
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 abstract description 5
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 abstract description 5
- 230000006872 improvement Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 40
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 11
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 11
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 11
- -1 Polyphenylene Polymers 0.000 description 10
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(prop-2-enyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound C=CCN1C(=O)N(CC=C)C(=O)N(CC=C)C1=O KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- BJELTSYBAHKXRW-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-triallyloxy-1,3,5-triazine Chemical compound C=CCOC1=NC(OCC=C)=NC(OCC=C)=N1 BJELTSYBAHKXRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 239000012456 homogeneous solution Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 3
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NXXYKOUNUYWIHA-UHFFFAOYSA-N 2,6-Dimethylphenol Chemical compound CC1=CC=CC(C)=C1O NXXYKOUNUYWIHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylpropan-2-ylperoxy)propan-2-ylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 2
- 229920013623 Solprene Polymers 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 2
- 229920002589 poly(vinylethylene) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMDHDEPPVWETOI-UHFFFAOYSA-N 1-(4-tert-butylphenyl)-2,2,2-trichloroethanone Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=C(C(=O)C(Cl)(Cl)Cl)C=C1 IMDHDEPPVWETOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODBCKCWTWALFKM-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(tert-butylperoxy)-2,5-dimethylhex-3-yne Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C#CC(C)(C)OOC(C)(C)C ODBCKCWTWALFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRDXTHSSNCTAGY-UHFFFAOYSA-N 2-cyclohexylpyrrolidine Chemical compound C1CCNC1C1CCCCC1 KRDXTHSSNCTAGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPMBRWOOISTHJV-UHFFFAOYSA-N but-1-enylbenzene Chemical compound CCC=CC1=CC=CC=C1 MPMBRWOOISTHJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N di-tert-butyl peroxide Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- REQPQFUJGGOFQL-UHFFFAOYSA-N dimethylcarbamothioyl n,n-dimethylcarbamodithioate Chemical compound CN(C)C(=S)SC(=S)N(C)C REQPQFUJGGOFQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical class OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000007602 hot air drying Methods 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- KYZHGEFMXZOSJN-UHFFFAOYSA-N isobutyl benzoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C1=CC=CC=C1 KYZHGEFMXZOSJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002655 kraft paper Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 238000005691 oxidative coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920002852 poly(2,6-dimethyl-1,4-phenylene oxide) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N trichloroethylene Natural products ClCC(Cl)Cl UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/16—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
- H05K1/162—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4644—Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
- H05K3/4673—Application methods or materials of intermediate insulating layers not specially adapted to any one of the previous methods of adding a circuit layer
- H05K3/4676—Single layer compositions
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分!!IF)
この発明は、ポリフェニレンオキサイド樹脂系LCR多
層板に関するものである。さらに詳しくは、この発明は
、信号処理の高速化、配線の高速度化とともに、LCR
のm能高度化を可能とする、内層にLCRを有するポリ
フェニレンオキサイド樹脂系LCR多層板に関するもの
である。
層板に関するものである。さらに詳しくは、この発明は
、信号処理の高速化、配線の高速度化とともに、LCR
のm能高度化を可能とする、内層にLCRを有するポリ
フェニレンオキサイド樹脂系LCR多層板に関するもの
である。
(従来の技術)
電気、電子機器に用いられている配線板については、信
号処理速度の高速化、配線の高密度化、実装の小型化な
どの要求が高まっており、これらの要請に対処するため
に配線板の材料構成とその多層化の検討が急速に進んで
いる。
号処理速度の高速化、配線の高密度化、実装の小型化な
どの要求が高まっており、これらの要請に対処するため
に配線板の材料構成とその多層化の検討が急速に進んで
いる。
従来、このような技術進歩の前線にある多層板について
は、それを構成する材料樹脂として、エポキシ樹脂、ポ
リイミド樹脂や、低誘電率樹脂としての弗素樹脂、ポリ
ブタジェン樹脂などが用いられてきており、また、その
材料樹脂に対応しての特性の改善も精力的に進められて
きている。
は、それを構成する材料樹脂として、エポキシ樹脂、ポ
リイミド樹脂や、低誘電率樹脂としての弗素樹脂、ポリ
ブタジェン樹脂などが用いられてきており、また、その
材料樹脂に対応しての特性の改善も精力的に進められて
きている。
また一方、多層化による回路および実装の高密度小型化
の流れは、コイル(L)、コンデンサ(C)および抵抗
(R)からなる回路要素であるLCRを内層に形成した
多層板の開発へと発展している。
の流れは、コイル(L)、コンデンサ(C)および抵抗
(R)からなる回路要素であるLCRを内層に形成した
多層板の開発へと発展している。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、従来の多層板技術は、要請されている種
々の特性、性能を十分に満足する段階までには至ってい
ない。
々の特性、性能を十分に満足する段階までには至ってい
ない。
たとえば、多層板を構成する樹脂については、従来のエ
ポキシ樹脂、ポリイミド樹脂の場合加工性には優れてい
るものの、誘電率および誘電損失がともに大きいため、
信号処理速度の高速化には対応することができない、一
方、弗素樹脂やポリブタジェン樹脂は誘電率は低いもの
の、加工性に劣り、スルーホールメツキが難しく、寸法
安定性にも劣るという欠点があった。
ポキシ樹脂、ポリイミド樹脂の場合加工性には優れてい
るものの、誘電率および誘電損失がともに大きいため、
信号処理速度の高速化には対応することができない、一
方、弗素樹脂やポリブタジェン樹脂は誘電率は低いもの
の、加工性に劣り、スルーホールメツキが難しく、寸法
安定性にも劣るという欠点があった。
さらにまた、これら樹脂の場合には、コスト高にもなる
という問題があった。
という問題があった。
このため、耐熱性、加工性、寸法安定性が良好であると
ともに、多層化が容易で、しかも低誘電率で高速信号処
理を安定して行うことのできる新しい多層板用樹脂の実
現が求められていた。
ともに、多層化が容易で、しかも低誘電率で高速信号処
理を安定して行うことのできる新しい多層板用樹脂の実
現が求められていた。
また、この材料面での制約とともに、高密度化の点にお
いても多くの課題が残されている。たとえば、ディジタ
ルICを搭載する場合には誤動作やノイズ防止のために
多量のコンデンサをICの各ビンに取付けているのが実
状であり、このコンデンサ機能を多層板の樹脂層に持た
せることは実現されていない、LCR多層板が提案され
ている現状においても、コイル(L)やコンデンサ(C
)の構造をどのように多層板に形成するのかは依然とし
て未解決の問題である。
いても多くの課題が残されている。たとえば、ディジタ
ルICを搭載する場合には誤動作やノイズ防止のために
多量のコンデンサをICの各ビンに取付けているのが実
状であり、このコンデンサ機能を多層板の樹脂層に持た
せることは実現されていない、LCR多層板が提案され
ている現状においても、コイル(L)やコンデンサ(C
)の構造をどのように多層板に形成するのかは依然とし
て未解決の問題である。
このため、LCR多層板として新しい次元に向っている
多層板に、どのように高度機能を実現するのかが極めて
重要な課題になっている。
多層板に、どのように高度機能を実現するのかが極めて
重要な課題になっている。
(課題を解決するための手段)
この発明は、以上の通りの事情に鑑みてなされたもので
あり、従来の多層板の課題を解決し、多層板を構成する
樹脂の特性と高密度化のためのしCRIII能とを関連
づけ、多層板の各層の誘電率を制御し、高速信号処理、
高密度化とともに、LCRの機能高度化を可能とする新
しいLCR多層板を提供することを目的としている。
あり、従来の多層板の課題を解決し、多層板を構成する
樹脂の特性と高密度化のためのしCRIII能とを関連
づけ、多層板の各層の誘電率を制御し、高速信号処理、
高密度化とともに、LCRの機能高度化を可能とする新
しいLCR多層板を提供することを目的としている。
この発明は、この目的を実現するために、内層。
に1または2以上のLCRを有し、誘電率の異なる樹脂
層によって積層一体化してなることを特徴とするポリフ
ェニレンオキサイド樹脂系LCR多層板を提供する。
層によって積層一体化してなることを特徴とするポリフ
ェニレンオキサイド樹脂系LCR多層板を提供する。
この発明の多層板は、内層に形成したLCRの各要素、
すなわちコイル(L)、コンデンサ(C)、抵抗(R)
の機能に対応づけつつ、多層板樹脂層の誘電率を相異さ
せることを特徴としている。たとえば、コンデンサに対
応する樹脂層には高誘電率の樹脂からなる層を配設し、
他方で、高速信号伝達に係る回路部の樹脂層には、低誘
電率の樹脂からなる層を配設する。
すなわちコイル(L)、コンデンサ(C)、抵抗(R)
の機能に対応づけつつ、多層板樹脂層の誘電率を相異さ
せることを特徴としている。たとえば、コンデンサに対
応する樹脂層には高誘電率の樹脂からなる層を配設し、
他方で、高速信号伝達に係る回路部の樹脂層には、低誘
電率の樹脂からなる層を配設する。
高誘電率の樹脂層には、このようにして、安定化コンデ
ンサの機能を持たせ、電源の安定化を図ることができる
。
ンサの機能を持たせ、電源の安定化を図ることができる
。
このような多層板の樹脂層を構成する樹脂としては、ポ
リフェニレンオキサイド樹脂からなるものを用いるが、
特にこの発明の樹脂は、ポリフェニレンオキサイド、架
橋性ポリマーおよび/または架橋性モノマーを含有する
樹脂組成物、またはこれに無機充填剤を含有する樹脂か
らなることを特徴としてもいる。
リフェニレンオキサイド樹脂からなるものを用いるが、
特にこの発明の樹脂は、ポリフェニレンオキサイド、架
橋性ポリマーおよび/または架橋性モノマーを含有する
樹脂組成物、またはこれに無機充填剤を含有する樹脂か
らなることを特徴としてもいる。
この発明に用いるポリフェニレンオキサイドは、ガラス
転移点が比較的高く、低誘電率、低誘電損失の樹脂であ
り、さらに、架橋性ポリマー、架橋性モノマー等の架橋
剤の添加により耐熱性、耐薬品性、寸法安定性にも優れ
たものとなることが期待されるものである。また無機充
填剤をその種類と量を制御して添加することにより、誘
電率を低いレベルから約10MHz以上の高誘電率まで
所望の値に変化させることもできる。この発明のしCR
多層板は、この特徴を生かして興なる誘電率を有する樹
脂層からなる多層板を形成するものである。
転移点が比較的高く、低誘電率、低誘電損失の樹脂であ
り、さらに、架橋性ポリマー、架橋性モノマー等の架橋
剤の添加により耐熱性、耐薬品性、寸法安定性にも優れ
たものとなることが期待されるものである。また無機充
填剤をその種類と量を制御して添加することにより、誘
電率を低いレベルから約10MHz以上の高誘電率まで
所望の値に変化させることもできる。この発明のしCR
多層板は、この特徴を生かして興なる誘電率を有する樹
脂層からなる多層板を形成するものである。
使用することのできるポリフェニレンオキサイ< rt
は、水素または炭素数1〜3の炭化水素基を表し、各R
は、同じであってもよく、異なってもよい、) で表されるものであり、その−例としては、ポリ(2,
6−シメチルー1.4−フェニレンオキサイド)を挙げ
ることができる。
は、水素または炭素数1〜3の炭化水素基を表し、各R
は、同じであってもよく、異なってもよい、) で表されるものであり、その−例としては、ポリ(2,
6−シメチルー1.4−フェニレンオキサイド)を挙げ
ることができる。
その分子量は特に限定するものではないが、たとえば、
垂旦平均分子景(M w )がso、ooo、分子量分
布Mw/Mn−4,2(Mnは数平均分子量)であるこ
とが好ましい。
垂旦平均分子景(M w )がso、ooo、分子量分
布Mw/Mn−4,2(Mnは数平均分子量)であるこ
とが好ましい。
このようなポリフェニレンオキサイドは、たとえば、上
記ポリ(2,6−シメチルー1.4−)ユニしンオキサ
イド)については、2,6−キシレノールを、触媒の存
在下で、酸素を含む気体およびメタノールと酸化カップ
リング反応させることにより得ることができる。
記ポリ(2,6−シメチルー1.4−)ユニしンオキサ
イド)については、2,6−キシレノールを、触媒の存
在下で、酸素を含む気体およびメタノールと酸化カップ
リング反応させることにより得ることができる。
架橋性のポリマーとしては、たとえば、1.2−ポリブ
タジェン、1.4−ポリブタジェン、スチレンブタジェ
ンコポリマー、変性1,2−ポリブタジェン(マレイン
変性、アクリル変性、エポキシ変性)、ゴム頚などが挙
げられ、それぞれ、単独でまたは2つ以上併せて用いる
ことができる。
タジェン、1.4−ポリブタジェン、スチレンブタジェ
ンコポリマー、変性1,2−ポリブタジェン(マレイン
変性、アクリル変性、エポキシ変性)、ゴム頚などが挙
げられ、それぞれ、単独でまたは2つ以上併せて用いる
ことができる。
ポリマーの状態は、エラストマーでもラバーでもよい。
ただし、この発明のLCR多層板を後述するキャスティ
ング法により成形したフィルムを用いて製造する場合に
は、そのフィルムの成膜性を良くするという点から、比
較的高分子量のポリスチレンを用いることが好ましい。
ング法により成形したフィルムを用いて製造する場合に
は、そのフィルムの成膜性を良くするという点から、比
較的高分子量のポリスチレンを用いることが好ましい。
また、架橋性モノマーとしては、たとえば、■エステル
アクリレート類、エポキシアクリレート類、ウレタンア
クリレート類、エーテルアクリレート類、などのアクリ
レート類、■トリアリルシアヌレート、トリアリルイソ
シアヌレート、エチレングリコールジメタクリレート、
ジビニルベンゼン、ジアリルフタレートなどの多官能モ
ノマー、■ビニルトルエン、エチルビニルベンゼン、ス
チレンなどの単官能モノマー、■多官能エポキシ頷など
が挙げられ、それぞれ、単独であるいは2つ以上併せて
用いることができる。このうち、トリアリルシアヌレー
トおよび/またはトリアリルイソシアヌレートが、ポリ
フェニレンオキサイドと相溶性が良く、成膜性、架橋性
、耐熱性および誘電特性の面で好ましい。
アクリレート類、エポキシアクリレート類、ウレタンア
クリレート類、エーテルアクリレート類、などのアクリ
レート類、■トリアリルシアヌレート、トリアリルイソ
シアヌレート、エチレングリコールジメタクリレート、
ジビニルベンゼン、ジアリルフタレートなどの多官能モ
ノマー、■ビニルトルエン、エチルビニルベンゼン、ス
チレンなどの単官能モノマー、■多官能エポキシ頷など
が挙げられ、それぞれ、単独であるいは2つ以上併せて
用いることができる。このうち、トリアリルシアヌレー
トおよび/またはトリアリルイソシアヌレートが、ポリ
フェニレンオキサイドと相溶性が良く、成膜性、架橋性
、耐熱性および誘電特性の面で好ましい。
このトリアリルシアヌレートとトリアリルイソシアヌレ
ートとは、化学構造的には異性体の関係にあり、はぼ同
様の成膜性、相溶性、溶解性、反応性などを有するので
、いずれか一方ずつまたは両方ともに同様に使用するこ
とができる。
ートとは、化学構造的には異性体の関係にあり、はぼ同
様の成膜性、相溶性、溶解性、反応性などを有するので
、いずれか一方ずつまたは両方ともに同様に使用するこ
とができる。
以上のような架橋性ポリマーおよび架橋性モノマーは、
いずれか一方のみを用いるようにしてもよいし、併用す
るようにしてもよいが、併用するほうが、より特性改善
に効果がある。
いずれか一方のみを用いるようにしてもよいし、併用す
るようにしてもよいが、併用するほうが、より特性改善
に効果がある。
このほか、この発明に用いるポリフェニレンオキサイド
樹脂組成物には、通常は適宜な開始剤を用いる。開始剤
としては、ポリフェニレンオキサイド樹脂を紫外線硬化
型かまたは熱硬化型にするかにより以下の2通りのもの
を選ぶことができるが、これらに限定されることはない
。
樹脂組成物には、通常は適宜な開始剤を用いる。開始剤
としては、ポリフェニレンオキサイド樹脂を紫外線硬化
型かまたは熱硬化型にするかにより以下の2通りのもの
を選ぶことができるが、これらに限定されることはない
。
紫外線硬化型の光開始剤としては、ベンゾイン、ベンジ
ル、2,2−ジェトキシアセトフェノン、ベンゾイルイ
ソブチルエーテル、p −tert−ブチルトリクロロ
アセトフェノン、アセトフェノン、ベンゾフェノン、テ
トラメチルチウラムスルフィド、アゾビスイソブチロニ
トリルなどを使用でき、また熱硬化型の開始剤としては
、ジクミルパーオキサイド、tert−ブチルクミルパ
ーオキサイド、ペンシイパーオキサイド、ジーtert
−ブチルパーオキサイド、などの過酸化物、2−ヒドロ
キシ−2−メチル−1−7エニループロパンー1−オン
、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ
−2−メチル10パン−1−オン、ベンゾインメチルエ
ーテル、メチル−〇−ベンゾイルベンゾエート、α−ア
ジロキシムエステルなどを使用できる。これらの開始剤
は、それぞれ、単独でまたは2つ以上併せて用いてもよ
い。
ル、2,2−ジェトキシアセトフェノン、ベンゾイルイ
ソブチルエーテル、p −tert−ブチルトリクロロ
アセトフェノン、アセトフェノン、ベンゾフェノン、テ
トラメチルチウラムスルフィド、アゾビスイソブチロニ
トリルなどを使用でき、また熱硬化型の開始剤としては
、ジクミルパーオキサイド、tert−ブチルクミルパ
ーオキサイド、ペンシイパーオキサイド、ジーtert
−ブチルパーオキサイド、などの過酸化物、2−ヒドロ
キシ−2−メチル−1−7エニループロパンー1−オン
、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ
−2−メチル10パン−1−オン、ベンゾインメチルエ
ーテル、メチル−〇−ベンゾイルベンゾエート、α−ア
ジロキシムエステルなどを使用できる。これらの開始剤
は、それぞれ、単独でまたは2つ以上併せて用いてもよ
い。
また、紫外線による開始剤と熱による開始剤とを併用し
てもかまわない。
てもかまわない。
以上のポリフェニレンオキサイドと、架橋性のポリマー
および/またはモノマーさらに開始剤の配合割合は、通
常、好適にはポリフェニレンオキサイド10〜95重量
部、架橋性ポリマー/モノマ−1〜90!1量部、開始
剤0.1〜5ft量部とするのが好ましい。
および/またはモノマーさらに開始剤の配合割合は、通
常、好適にはポリフェニレンオキサイド10〜95重量
部、架橋性ポリマー/モノマ−1〜90!1量部、開始
剤0.1〜5ft量部とするのが好ましい。
LCR多層板の各層の誘電率は、無機充填剤の添加によ
っても制御することができる。このような無機充填剤と
しては、たとえば、 二酸化チタン系セラミック、チタン酸バリウム系セラミ
ック、チタン酸鉛系セラミック、チタン酸ストロンチウ
ム系セラミック、チタン酸カルシウム系セラミック、チ
タン酸ビスマス系セラミック、チタン酸マグネシウム系
セラミック、ジルコン酸鉛系セラミックなどを単独また
は複数併せて使用することができ、その際焼成して用い
るのが好ましい。
っても制御することができる。このような無機充填剤と
しては、たとえば、 二酸化チタン系セラミック、チタン酸バリウム系セラミ
ック、チタン酸鉛系セラミック、チタン酸ストロンチウ
ム系セラミック、チタン酸カルシウム系セラミック、チ
タン酸ビスマス系セラミック、チタン酸マグネシウム系
セラミック、ジルコン酸鉛系セラミックなどを単独また
は複数併せて使用することができ、その際焼成して用い
るのが好ましい。
無機充填剤としては、比誘電率が10以上のものを用い
るのが特に好ましい、この充填剤は、前記の樹脂等の組
成比に対して、1〜200重量部の割合で通常は配合す
る。
るのが特に好ましい、この充填剤は、前記の樹脂等の組
成比に対して、1〜200重量部の割合で通常は配合す
る。
これらの組成からなるポリフェニレンオキサイド樹脂組
成物は、通常、溶剤に溶かして分散し、混合する。この
場合、溶剤の使用量は、ポリフェニレンオキサイド樹脂
組成物の5〜50重量%溶液(または、溶剤に対し、樹
脂固形分量が10〜30重量%の範囲)となるようにす
るのが好ましい、溶剤としては、トリクロロエチレン、
トリクロロエタン、クロロホルム、塩化メチレン、り四
ロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素、ベンゼン、トル
エンなどの芳香族炭化水素、アセトン、四塩化炭素など
を使用でき、特にトリクロロエチレンが好ましい、これ
らはそれぞれ単独でまたは2つ以上混合して用いること
ができる。
成物は、通常、溶剤に溶かして分散し、混合する。この
場合、溶剤の使用量は、ポリフェニレンオキサイド樹脂
組成物の5〜50重量%溶液(または、溶剤に対し、樹
脂固形分量が10〜30重量%の範囲)となるようにす
るのが好ましい、溶剤としては、トリクロロエチレン、
トリクロロエタン、クロロホルム、塩化メチレン、り四
ロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素、ベンゼン、トル
エンなどの芳香族炭化水素、アセトン、四塩化炭素など
を使用でき、特にトリクロロエチレンが好ましい、これ
らはそれぞれ単独でまたは2つ以上混合して用いること
ができる。
無機充填剤は、粒状、不定形、あるいはフレーク状の適
宜な形状で混合することができる。フレーク状のものは
、耐薬品性、剛性など等に優れ、樹脂層の反りを小さな
もものとする。
宜な形状で混合することができる。フレーク状のものは
、耐薬品性、剛性など等に優れ、樹脂層の反りを小さな
もものとする。
この発明のLCR多層板は、このようなポリフェニレン
オキサイド樹脂組成物からシートを形成し、またはこれ
を基材に含浸させてプリプレグ、コア材等を製造し、次
いで常法に従って他の基材、フィルム、プリプレグ、金
属箔等とともに多RB積層一体化することにより製造す
ることができる。
オキサイド樹脂組成物からシートを形成し、またはこれ
を基材に含浸させてプリプレグ、コア材等を製造し、次
いで常法に従って他の基材、フィルム、プリプレグ、金
属箔等とともに多RB積層一体化することにより製造す
ることができる。
ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物からシートに形成
するに際しては、例えば、キャスティング法を用いるこ
とができる。
するに際しては、例えば、キャスティング法を用いるこ
とができる。
キャスティング法は、溶剤に混合している樹脂を流延ま
たは塗布等により薄層にした後その溶剤を除去すること
により硬化物とする方法である。
たは塗布等により薄層にした後その溶剤を除去すること
により硬化物とする方法である。
このキャスティング法をより具体的に説明すると、溶剤
に混合した状態のポリフェニレンオキサイド樹脂を鏡面
処理した鉄板またはキャスティング用キャリアーフィル
ムなどの上に、たとえば、5〜700(好ましくは、5
〜500)μlの厚みに流延(または、塗布)し、十分
に乾燥させて溶剤を除去することによりシートを得ると
いうものである。
に混合した状態のポリフェニレンオキサイド樹脂を鏡面
処理した鉄板またはキャスティング用キャリアーフィル
ムなどの上に、たとえば、5〜700(好ましくは、5
〜500)μlの厚みに流延(または、塗布)し、十分
に乾燥させて溶剤を除去することによりシートを得ると
いうものである。
キャスティング用キャリアーフィルムとしては、特に限
定するわけではないが、ポリエチレンテレフタレート(
以下、rPET、と略す)フィルム、ポリエチレンフィ
ルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエステルフィルム
、ポリイミドフィルムなど上記溶剤に不溶のものが好ま
しく、かつ、離型処理されているものが好ましい。
定するわけではないが、ポリエチレンテレフタレート(
以下、rPET、と略す)フィルム、ポリエチレンフィ
ルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエステルフィルム
、ポリイミドフィルムなど上記溶剤に不溶のものが好ま
しく、かつ、離型処理されているものが好ましい。
乾燥は、風乾または熱風乾燥等により行う、その際の温
度範囲は、上限を溶剤の沸点よりも低いか、または、キ
ャスティング用キャリアーフィルムの耐熱温度よりも低
くすること(JICヤスティング用キャリアーフィルム
上で乾燥を行う場合)が好ましい。
度範囲は、上限を溶剤の沸点よりも低いか、または、キ
ャスティング用キャリアーフィルムの耐熱温度よりも低
くすること(JICヤスティング用キャリアーフィルム
上で乾燥を行う場合)が好ましい。
ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を基材に含浸させ
てプリプレグに製造するに際しては、−般に以下のよう
な方法を取ることができる。
てプリプレグに製造するに際しては、−般に以下のよう
な方法を取ることができる。
すなわち、ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の溶剤
分散液中に基材を浸漬(ディッピング)するなどして、
基材にこれらのポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を
含浸させけ着させる。そして、乾燥などにより溶剤を除
去するか、あるいは半硬化させてBステージにする。こ
の場合のポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の含浸量
は、特に限定しないが、30〜80重量%とするのが好
ましい、基材は、ガラスクロス、アラミドクロス、ポリ
エステルクロス、ナイロンクロスなど樹脂含浸可能なり
ロス状物、それらの材質からなるマット状物および/ま
たは不織布などの繊維状物、クラフト紙、リンター紙な
どの紙な−とを用いることができる。このようにして、
プリプレグを作製すれば、樹脂を溶融させなくてもよい
ので、比較的低温でより容易に行うことができる。
分散液中に基材を浸漬(ディッピング)するなどして、
基材にこれらのポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を
含浸させけ着させる。そして、乾燥などにより溶剤を除
去するか、あるいは半硬化させてBステージにする。こ
の場合のポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の含浸量
は、特に限定しないが、30〜80重量%とするのが好
ましい、基材は、ガラスクロス、アラミドクロス、ポリ
エステルクロス、ナイロンクロスなど樹脂含浸可能なり
ロス状物、それらの材質からなるマット状物および/ま
たは不織布などの繊維状物、クラフト紙、リンター紙な
どの紙な−とを用いることができる。このようにして、
プリプレグを作製すれば、樹脂を溶融させなくてもよい
ので、比較的低温でより容易に行うことができる。
この発明のLCR多層板に用いる回路形成用の金属箔と
しては、通常の配線板に用いるものを広く使用すること
ができる。たとえば、銅箔、アルミニウム箔等の金属箔
を用いることができる。
しては、通常の配線板に用いるものを広く使用すること
ができる。たとえば、銅箔、アルミニウム箔等の金属箔
を用いることができる。
ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物から製造したコア
材、シート、プリプレグを用いて多層板を製造する方法
としては、たとえば、以下のような方法を用いることが
できる。
材、シート、プリプレグを用いて多層板を製造する方法
としては、たとえば、以下のような方法を用いることが
できる。
すなわち、適度に乾燥させた上記のシートおよび/また
はプリプレグを所定の設計厚みとなるように所定枚組み
合わせ、必要に応じて金属箔も組み合わせて積層し、加
熱圧締して積層体を得る。
はプリプレグを所定の設計厚みとなるように所定枚組み
合わせ、必要に応じて金属箔も組み合わせて積層し、加
熱圧締して積層体を得る。
このときの加熱でラジカル開始剤による架橋反応が生じ
るようにすれば、いっそう強固な接着が得られる。なお
、このような接着は接着剤を併用して行ってもよい。
るようにすれば、いっそう強固な接着が得られる。なお
、このような接着は接着剤を併用して行ってもよい。
加熱圧締の際の温度は、金属箔とフィルムあるいはプリ
プレグの組合せ等によるが、積層圧締温度はシートのガ
ラス転移点以上で、だいたい160〜300℃ぐらいの
範囲にするのが好ましい。
プレグの組合せ等によるが、積層圧締温度はシートのガ
ラス転移点以上で、だいたい160〜300℃ぐらいの
範囲にするのが好ましい。
また、この発明のポリフェニレンオキサイド樹脂組成物
を乾燥器の中に入れて加熱するなどにより架橋する場合
、加熱温度及び加熱時間は開始剤の種類に応じて選ぶ。
を乾燥器の中に入れて加熱するなどにより架橋する場合
、加熱温度及び加熱時間は開始剤の種類に応じて選ぶ。
圧締の圧力は、通常は40〜80kg/−程度にするこ
とができる。
とができる。
LCR多層板の各々の樹脂層を所要の誘電率のものにす
るため、この発明においては従来のように単独の種類の
樹脂に限定することなく、所定の誘電率を有する樹脂を
種々組合わせて使用する。
るため、この発明においては従来のように単独の種類の
樹脂に限定することなく、所定の誘電率を有する樹脂を
種々組合わせて使用する。
この発明のLCR多層板は、以上のように配線の用途に
適合した種々の誘電率の樹脂層を有するが、この他、多
層板を構成する樹脂層であっても誘電率の厳密な制御が
特に必要とされない層においては、従来より多層板の樹
脂層として用いた樹脂からなる層も特段の制限なく使用
することもできる。
適合した種々の誘電率の樹脂層を有するが、この他、多
層板を構成する樹脂層であっても誘電率の厳密な制御が
特に必要とされない層においては、従来より多層板の樹
脂層として用いた樹脂からなる層も特段の制限なく使用
することもできる。
次に、添付した図面に沿って、この発明のLCR多層板
について説明する。
について説明する。
第1図は、この発明の多層板の一構成例を示したもので
ある。IC(1)を搭載したこの例の多層板(2)は、
8層の樹脂層を有している。この多層板(2)の内層に
は、図中に示したように、大容量コンデンサ(A)、小
容量コンデンサ(B)、コイル(C)、抵抗(D)から
なるLCRが形成されている。
ある。IC(1)を搭載したこの例の多層板(2)は、
8層の樹脂層を有している。この多層板(2)の内層に
は、図中に示したように、大容量コンデンサ(A)、小
容量コンデンサ(B)、コイル(C)、抵抗(D)から
なるLCRが形成されている。
このLCRの構成に対応して、大容量コンデンサ(A)
部には、高誘電率樹脂層(3)を、また小容量コンデン
サ(B)部には、申請電率樹脂層(4)を、さらにその
他の部分には、低誘電率の樹脂層(5)(6)(7)(
8)(9)(10)を配設している。
部には、高誘電率樹脂層(3)を、また小容量コンデン
サ(B)部には、申請電率樹脂層(4)を、さらにその
他の部分には、低誘電率の樹脂層(5)(6)(7)(
8)(9)(10)を配設している。
第2図は、別の例について、この発明のLCR多層板の
多層成形を示した分解斜視図である。
多層成形を示した分解斜視図である。
下から順に、低誘電率樹脂コア材(11)、高誘電率プ
リプレグ(12)、申請電率樹脂コア材(13)、低誘
電率プリプレグ(14)、低誘電率樹脂コア材(15)
、低誘電率プリプレグ(16)および低誘電率樹脂コア
材(17)を配し、多層成形を行っている。この図に示
したように、各コア材には内層回路を形成しており、L
CRの各要素として、大容量コンデンサ回路(A゛)中
容量コンデンサ回路(B”)=およびコイル回路(C′
)、抵抗回路(D′)を有している。
リプレグ(12)、申請電率樹脂コア材(13)、低誘
電率プリプレグ(14)、低誘電率樹脂コア材(15)
、低誘電率プリプレグ(16)および低誘電率樹脂コア
材(17)を配し、多層成形を行っている。この図に示
したように、各コア材には内層回路を形成しており、L
CRの各要素として、大容量コンデンサ回路(A゛)中
容量コンデンサ回路(B”)=およびコイル回路(C′
)、抵抗回路(D′)を有している。
(作 用)
この発明のポリフェニレンオキサイド樹脂系LCR多層
板においては、高速信号伝達に対応して低誘電率の樹脂
層を設け、コンデンサに対応して高誘電率の樹脂層を設
けることが可能となる。高速信号伝達にともなうノイズ
に影響されることなく安定した電源電圧の供給ができる
。コア材およびプリプレグの誘電率を相異させることに
よりLCRのm能は大きく向上する。
板においては、高速信号伝達に対応して低誘電率の樹脂
層を設け、コンデンサに対応して高誘電率の樹脂層を設
けることが可能となる。高速信号伝達にともなうノイズ
に影響されることなく安定した電源電圧の供給ができる
。コア材およびプリプレグの誘電率を相異させることに
よりLCRのm能は大きく向上する。
次に実施例を示してこの発明についてさらに説明する。
(a)低誘電率層用積層板、コア材のft製(実施例
1) 2jの減圧装置付反応器にポリフェニレンオキサイド1
00g、スチレンブタジェンコポリマ(旭化成工業@:
ソルプレンT406)40g、トリアリルイソシアヌレ
ート(日本化成■:TAIC)40sr、ジクミルパー
オキサイド2gを加え、さらにトリクロロエチレン(東
亜合成化学工業■:トリクレン)750rを加えて、均
一溶液になるまで充分撹拌した。
1) 2jの減圧装置付反応器にポリフェニレンオキサイド1
00g、スチレンブタジェンコポリマ(旭化成工業@:
ソルプレンT406)40g、トリアリルイソシアヌレ
ート(日本化成■:TAIC)40sr、ジクミルパー
オキサイド2gを加え、さらにトリクロロエチレン(東
亜合成化学工業■:トリクレン)750rを加えて、均
一溶液になるまで充分撹拌した。
その後、脱泡を行い、得られた樹脂組成物溶液を、塗工
機を用いてPETフィルム上に、厚み500μmとなる
よう塗布した。
機を用いてPETフィルム上に、厚み500μmとなる
よう塗布した。
これを50℃で約10分間乾燥した後、生成した膜をP
ETフィルムから離型し、120℃でさらに30分部間
燥し、トリクロロエチレンを完全に除去してポリフェニ
レンオキサイド系樹脂組成物からなるシートを得た。こ
のシートの厚みは約150μ伺であった。
ETフィルムから離型し、120℃でさらに30分部間
燥し、トリクロロエチレンを完全に除去してポリフェニ
レンオキサイド系樹脂組成物からなるシートを得た。こ
のシートの厚みは約150μ伺であった。
このシートを4枚重ね合わせ、190℃、50−/−の
条件で30分間圧締して完全硬化させ、積層板を作製し
た。
条件で30分間圧締して完全硬化させ、積層板を作製し
た。
(実施例 2〜6)
同様にして、樹脂配合割合を変えて、表1に示した通り
のシートを得た。
のシートを得た。
表 1
(A):スチレンブタジエン共重合体(旭化成■ タフ
デン2003)(B) :
(旭化成■ ツルプレン1206)(C):タイ
ツ(日本化成@ TAIC)(D) ニタック(武
蔵野化学@ TAC)([):パーブチルp(日本油
脂■) (G):トリクレン (実施例 7) 21の減圧装置付反応器に入れた800gのトリクロロ
エチレン(東亜合成化学工業−二トリクレン)中に、ポ
リフェニレンオキサイド40r、スチレンブタジェンコ
ポリマー40g、トリアリルイソシアヌレート120g
、2,5−ジメチル−2,5−ジー(tert−ブチル
パーオキシ)ヘキシン−3(日本油脂■のパーヘキシン
25B)6gを加え、均一溶液になるまで充分攪拌した
。
デン2003)(B) :
(旭化成■ ツルプレン1206)(C):タイ
ツ(日本化成@ TAIC)(D) ニタック(武
蔵野化学@ TAC)([):パーブチルp(日本油
脂■) (G):トリクレン (実施例 7) 21の減圧装置付反応器に入れた800gのトリクロロ
エチレン(東亜合成化学工業−二トリクレン)中に、ポ
リフェニレンオキサイド40r、スチレンブタジェンコ
ポリマー40g、トリアリルイソシアヌレート120g
、2,5−ジメチル−2,5−ジー(tert−ブチル
パーオキシ)ヘキシン−3(日本油脂■のパーヘキシン
25B)6gを加え、均一溶液になるまで充分攪拌した
。
得られた樹脂組成物溶液にガラスクロス(100g/r
rr)を浸漬してこの溶液を含浸させてから取り出し、
50℃で約1分間、80℃で約5分間乾燥させ、プリプ
レグを得た。
rr)を浸漬してこの溶液を含浸させてから取り出し、
50℃で約1分間、80℃で約5分間乾燥させ、プリプ
レグを得た。
また、得られたプリプレグ4枚を積層し、成形プレスに
より、195℃、10htlc4.60分で成形し、積
層板を得た。
より、195℃、10htlc4.60分で成形し、積
層板を得た。
(実施例 8〜18)
実施例7と同様にして、表2に示したプリプレグを作製
した。
した。
ガラスクロスは、実施例8〜15(WE116E)、実
施例16〜18(WEO5E)とした。
施例16〜18(WEO5E)とした。
(実施例 19)
実施例1〜2および実施例7〜1oの積層板と銅箔とを
各々190℃の温度において65kr/dで加圧して両
面鋼張積層板を作製し、次いで、通常の方法によってエ
ツチングして所要の回路を形成し、低誘電率コア材を得
た。
各々190℃の温度において65kr/dで加圧して両
面鋼張積層板を作製し、次いで、通常の方法によってエ
ツチングして所要の回路を形成し、低誘電率コア材を得
た。
(b)高・申請電率層用の積層板の作製(実施例 20
) 2J!の減圧装置付反応器にポリフェニレンオキサイド
100g、スチレンブタジェンコポリマー(旭化成工業
■:ソルプレンT406)30g、トリアリルイソシア
ヌレート(日本化成ftl:TAIC)40sr、2.
5−ジメチル−2,5−ジー(tert−ブチルパーオ
キシ)ヘキシン−3(日本油脂@J=バーヘキシン25
B)2gを加え、さらにトリクロロエチレン(東亜合成
化学工業(tl:トリクレン)750Kを加えて、均一
溶液になるまで充分攪拌した。この後、平均粒径1〜2
μ慣のチタン酸バリウム(BaTi03)系セラミック
粉末150gを加え、ボールミルで約24時間攪拌し、
均一に分散させた。その後、脱泡を行い、得られたポリ
フェニレンオキサイド系樹脂組成物溶液を、塗工機を用
いてPETフィルム上に、厚み500μmとなるよう塗
布した。
) 2J!の減圧装置付反応器にポリフェニレンオキサイド
100g、スチレンブタジェンコポリマー(旭化成工業
■:ソルプレンT406)30g、トリアリルイソシア
ヌレート(日本化成ftl:TAIC)40sr、2.
5−ジメチル−2,5−ジー(tert−ブチルパーオ
キシ)ヘキシン−3(日本油脂@J=バーヘキシン25
B)2gを加え、さらにトリクロロエチレン(東亜合成
化学工業(tl:トリクレン)750Kを加えて、均一
溶液になるまで充分攪拌した。この後、平均粒径1〜2
μ慣のチタン酸バリウム(BaTi03)系セラミック
粉末150gを加え、ボールミルで約24時間攪拌し、
均一に分散させた。その後、脱泡を行い、得られたポリ
フェニレンオキサイド系樹脂組成物溶液を、塗工機を用
いてPETフィルム上に、厚み500μmとなるよう塗
布した。
これを50℃で約10分間乾燥した後、生成した膜をP
ETフィルムから離型し、170℃でさらに20分間乾
燥し、トリクロロエチレンを完全に除去してポリフェニ
レンオキサイド系樹脂組成物からなるシートを得た。こ
のシートの厚みは約150μmであった。このシートを
4枚重ね合わせ、220℃、50kir/aiの条件で
30分間圧締して完全硬化させ、積層板を作製した。
ETフィルムから離型し、170℃でさらに20分間乾
燥し、トリクロロエチレンを完全に除去してポリフェニ
レンオキサイド系樹脂組成物からなるシートを得た。こ
のシートの厚みは約150μmであった。このシートを
4枚重ね合わせ、220℃、50kir/aiの条件で
30分間圧締して完全硬化させ、積層板を作製した。
(実施例 21〜24)
実施例7と同様にして、表3の積層板を作製した。
表 3
3)煮沸トリクロロエチレン中に5分間漫項した後の外
既芙化とみた。
既芙化とみた。
(C)LCR多層板の作製
(実施例 25)
次に、上記実施例19で得な低誘電率のポリフェニレン
オキサイド樹脂コア材と実施例20および実施例24で
得た高・申請電率のポリフェニレンオキサイド樹脂から
なる接着層とを第1図に示したように積層し、200℃
、50瞳/−で90分間圧締して硬化させ、LCR多層
板を得た。
オキサイド樹脂コア材と実施例20および実施例24で
得た高・申請電率のポリフェニレンオキサイド樹脂から
なる接着層とを第1図に示したように積層し、200℃
、50瞳/−で90分間圧締して硬化させ、LCR多層
板を得た。
通常の方法によってスルーホール加工・処理を施し、第
1図に示したLCR多層配線板を得た。
1図に示したLCR多層配線板を得た。
この多層配線板を電源回路を備えた高速度信号伝達回路
に使用したところ、電源電圧のゆらぎや信号の乱れもな
く、良好な結果が得られた。
に使用したところ、電源電圧のゆらぎや信号の乱れもな
く、良好な結果が得られた。
耐熱性、寸法安定性も良好であった。
(発明の効果)
この発明の各層の誘電率の異なるLCR多層板は、その
用途に応じて、低誘電率の層から高誘電率の層まで適宜
に組合せることができるので、LCR配線板の機能は飛
躍的に向上する。
用途に応じて、低誘電率の層から高誘電率の層まで適宜
に組合せることができるので、LCR配線板の機能は飛
躍的に向上する。
高速信号処理に伴うノイズの防止のための多量のコンデ
ンサーの取りけけを不要にすることかでき、これにより
配線の高密度化、実装の小型化、低コスト化を図ること
ができる。
ンサーの取りけけを不要にすることかでき、これにより
配線の高密度化、実装の小型化、低コスト化を図ること
ができる。
また、この発明の多層板はポリフェニレンオキサイド樹
脂を用いるので、低誘電損失特性を生かせるとともに、
耐熱性、耐薬品性、寸法安定性も潰れたものとなる。
脂を用いるので、低誘電損失特性を生かせるとともに、
耐熱性、耐薬品性、寸法安定性も潰れたものとなる。
第1図及び第2図は、各々、この発明の実施例を示した
断面図と分解斜視図である。 1・・・IC 2・・・多層板 3・・・高誘電率樹脂層 4・・・申請電率樹脂層 5.6,7,8.9.10 ・・・低誘電率樹脂層 A・・・大容量コンデンサ B・・・小容量コンデンサ C・・・コイル D・・・抵 抗
断面図と分解斜視図である。 1・・・IC 2・・・多層板 3・・・高誘電率樹脂層 4・・・申請電率樹脂層 5.6,7,8.9.10 ・・・低誘電率樹脂層 A・・・大容量コンデンサ B・・・小容量コンデンサ C・・・コイル D・・・抵 抗
Claims (6)
- (1)内層に1または2以上のLCRを有し、誘電率の
異なる樹脂層によって積層一体化してなることを特徴と
するポリフェニレンオキサイド樹脂系LCR多層板。 - (2)誘電率の異なる樹脂層をポリフェニレンオキサイ
ド、ならびに架橋性ポリマーおよび/または架橋性モノ
マーを含有する樹脂組成物、またはこれに無機充填剤を
含有してなる樹脂組成物から形成してなる特許請求の範
囲第(1)項記載のポリフェニレンオキサイド樹脂系L
CR多層板。 - (3)無機充填剤が比誘電率10以上の高誘電率物質か
らなる特許請求の範囲第(2)項記載のポリフェニレン
オキサイド樹脂系LCR多層板。 - (4)無機充填剤が焼成したものである特許請求の範囲
第(2)項記載のポリフェニレンオキサイド樹脂系LC
R多層板。 - (5)無機充填剤が二酸化チタン系セラミック、チタン
酸バリウム系セラミック、チタン酸鉛系セラミック、チ
タン酸ストロンチウム系セラミック、チタン酸カルシウ
ム系セラミック、チタン酸ビスマス系セラミック、チタ
ン酸マグネシウム系セラミック、ジルコン酸鉛系セラミ
ックからなる群の中から選ばれた少なくとも1種のセラ
ミック、および/または、前記セラミックの少なくとも
2種を混合し、焼結して得られたものである特許請求の
範囲第(4)項記載のポリフェニレンオキサイド樹脂系
LCR多層板。 - (6)誘電率の異なる各層を形成する樹脂組成物がポリ
フェニレンオキサイドを10〜95重量部、架橋性ポリ
マーおよび/または架橋性モノマーを1〜90重量部、
無機充填剤を1〜200重量部の割合でそれぞれ含む特
許請求の範囲第(1)項ないし第(5)項のいずれかに
記載のポリフェニレンオキサイド樹脂系LCR多層板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63015570A JPH0682927B2 (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | ポリフェニレンオキサイド樹脂系lcr多層板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63015570A JPH0682927B2 (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | ポリフェニレンオキサイド樹脂系lcr多層板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01189999A true JPH01189999A (ja) | 1989-07-31 |
JPH0682927B2 JPH0682927B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=11892396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63015570A Expired - Fee Related JPH0682927B2 (ja) | 1988-01-26 | 1988-01-26 | ポリフェニレンオキサイド樹脂系lcr多層板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0682927B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1994007347A1 (en) * | 1992-09-24 | 1994-03-31 | Hughes Aircraft Company | Field control and stability enhancement in multilayer, 3-dimensional structures |
EP0646954A2 (en) * | 1993-09-29 | 1995-04-05 | Fujitsu Limited | Low-defect one-step etching process |
WO2004010751A1 (ja) * | 2002-07-18 | 2004-01-29 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 多層配線板、およびその製造方法、ならびに半導体装置および無線電子装置 |
WO2013161905A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 三井金属鉱業株式会社 | 樹脂組成物、樹脂層付金属箔、金属張積層板及びプリント配線板 |
-
1988
- 1988-01-26 JP JP63015570A patent/JPH0682927B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1994007347A1 (en) * | 1992-09-24 | 1994-03-31 | Hughes Aircraft Company | Field control and stability enhancement in multilayer, 3-dimensional structures |
EP0646954A2 (en) * | 1993-09-29 | 1995-04-05 | Fujitsu Limited | Low-defect one-step etching process |
EP0646954A3 (en) * | 1993-09-29 | 1997-08-27 | Fujitsu Ltd | One-step etching process with low defects. |
WO2004010751A1 (ja) * | 2002-07-18 | 2004-01-29 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 多層配線板、およびその製造方法、ならびに半導体装置および無線電子装置 |
US7239013B2 (en) | 2002-07-18 | 2007-07-03 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Multilayer wiring board, method for producing the same, semiconductor device and radio electronic device |
CN100413383C (zh) * | 2002-07-18 | 2008-08-20 | 日立化成工业株式会社 | 多层配线板及其制造方法、以及半导体装置及无线电子装置 |
US7592250B2 (en) | 2002-07-18 | 2009-09-22 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Multilayer wiring board, manufacturing method thereof, semiconductor device, and wireless electronic device |
WO2013161905A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | 三井金属鉱業株式会社 | 樹脂組成物、樹脂層付金属箔、金属張積層板及びプリント配線板 |
JP2013231132A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 樹脂組成物、樹脂層付金属箔、金属張積層板及びプリント配線板 |
CN104254571A (zh) * | 2012-04-27 | 2014-12-31 | 三井金属矿业株式会社 | 树脂组合物、带有树脂层的金属箔、覆金属层压板及印刷布线板 |
US11419210B2 (en) | 2012-04-27 | 2022-08-16 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Resin composition, metal foil provided with resin layer, metal clad laminate, and printed wiring board |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0682927B2 (ja) | 1994-10-19 |
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---|---|---|---|
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