JPH01188443A - セラミック基板用グレーズ組成物 - Google Patents
セラミック基板用グレーズ組成物Info
- Publication number
- JPH01188443A JPH01188443A JP940388A JP940388A JPH01188443A JP H01188443 A JPH01188443 A JP H01188443A JP 940388 A JP940388 A JP 940388A JP 940388 A JP940388 A JP 940388A JP H01188443 A JPH01188443 A JP H01188443A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glaze
- substrate
- alumina
- ceramic substrate
- compsn
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 11
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 239000003513 alkali Substances 0.000 abstract description 4
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000004031 devitrification Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はセラミック基板に施釉されるグレーズ組成物で
、主にアルミナ基板を用いたサーマルヘッド用グレーズ
基板を作製するために適したグレーズ組成物に関するも
のである。
、主にアルミナ基板を用いたサーマルヘッド用グレーズ
基板を作製するために適したグレーズ組成物に関するも
のである。
［従来技術とその問題点］
従来のグレーズ組成物においては、アルカリや釦を含有
すると耐熱性や電気的信頼性が劣化するためこれらの成
分を含有しないのが一般的であるが、これらのグレーズ
は熱膨張係数が低くてセラミック基板との膨張差が大き
い、また焼き付は温度での粘度が高すぎるという問題点
があった。
すると耐熱性や電気的信頼性が劣化するためこれらの成
分を含有しないのが一般的であるが、これらのグレーズ
は熱膨張係数が低くてセラミック基板との膨張差が大き
い、また焼き付は温度での粘度が高すぎるという問題点
があった。
すなわちグレーズとセラミック基板との膨張差が大きい
と、グレーズ層内の応力及びサーマルヘッド使用時の温
度の急激な上昇、下降による熱応力が原因でグレーズ層
にマイクロクラックが発生し、信頼性が乏しくなる。ま
たラインタ、イブのサーマルヘッドでは基板を大型化す
る程この膨張差による基板の反りが一層大きくなり、寸
法精度を著しく悪化させるという問題が生じる。グレー
ズを基板に焼き付ける温度での粘度が高すぎるとグレー
ダからの泡抜けが困難になり、またグレーズ表面に泡が
抜けたあとの凹凸くうねり）が残って平滑性を損なうた
め基板の生産歩留りが悪くなるという問題が生じる。
と、グレーズ層内の応力及びサーマルヘッド使用時の温
度の急激な上昇、下降による熱応力が原因でグレーズ層
にマイクロクラックが発生し、信頼性が乏しくなる。ま
たラインタ、イブのサーマルヘッドでは基板を大型化す
る程この膨張差による基板の反りが一層大きくなり、寸
法精度を著しく悪化させるという問題が生じる。グレー
ズを基板に焼き付ける温度での粘度が高すぎるとグレー
ダからの泡抜けが困難になり、またグレーズ表面に泡が
抜けたあとの凹凸くうねり）が残って平滑性を損なうた
め基板の生産歩留りが悪くなるという問題が生じる。
［発明の目的］
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、アルカリ
や鉛を含有せずに熱膨張係数がセラミック基板、特にア
ルミナ基板に適合しているためグし一ズ層にマイクロク
ラックが発生せず、また大型の基板に用いた場合でも基
板に反りが発生せず、且つ従来のグレーズ組性物に比べ
て粘度が低いため１２００〜１３００℃で焼成すること
により平滑な表面か得られ、高い生産歩留りを実現でき
るグレーズ組成物を提供することを目的とするものであ
る。
や鉛を含有せずに熱膨張係数がセラミック基板、特にア
ルミナ基板に適合しているためグし一ズ層にマイクロク
ラックが発生せず、また大型の基板に用いた場合でも基
板に反りが発生せず、且つ従来のグレーズ組性物に比べ
て粘度が低いため１２００〜１３００℃で焼成すること
により平滑な表面か得られ、高い生産歩留りを実現でき
るグレーズ組成物を提供することを目的とするものであ
る。
［発明の構成］
本発明のセラミック基板用グレーズ組成物は、重量百分
率でＳｉ０□４５〜６０％、Ｂ２Ｏ３１〜７％、Ａｌ２
Ｏ３１〜 ５％、ＢａＯ ２３〜３５％、ＣａＯｌ 〜
２０％、２ｎｏ１〜５％からなることを特徴とする。
率でＳｉ０□４５〜６０％、Ｂ２Ｏ３１〜７％、Ａｌ２
Ｏ３１〜 ５％、ＢａＯ ２３〜３５％、ＣａＯｌ 〜
２０％、２ｎｏ１〜５％からなることを特徴とする。
本発明のセラミック基板用グレーズ組成物を構成する各
成分の含有量を上記のように限定した理由を以下に示す
。
成分の含有量を上記のように限定した理由を以下に示す
。
ＳｉＯ□はガラス構造を形成する成分であるが４５％未
満ではグレーズの耐熱性が不十分となると同時に失透傾
向があり良好なグレーズと成り難く、６０％を超えると
熱膨張係数が小さくなり、本発明の目的を達成できない
。
満ではグレーズの耐熱性が不十分となると同時に失透傾
向があり良好なグレーズと成り難く、６０％を超えると
熱膨張係数が小さくなり、本発明の目的を達成できない
。
Ｂ２Ｏ３はガラスを溶融し易くすると共に失透を防止す
る効果があるが、１％未満ではその効果に乏しく、７％
を超えると耐熱性が不十分となり好ましくない。
る効果があるが、１％未満ではその効果に乏しく、７％
を超えると耐熱性が不十分となり好ましくない。
Ａｌ２Ｏ３はガラスの粘度に影響を与え、１％未満では
グレーズの粘度が低下し屈伏点が下がるため十分な耐熱
性が得られない。また５％を超えると粘度が高くなり平
滑なグレーズ面が得られない。
グレーズの粘度が低下し屈伏点が下がるため十分な耐熱
性が得られない。また５％を超えると粘度が高くなり平
滑なグレーズ面が得られない。
ＢａＯはグレーズの粘度を下げるとともに熱膨張係数を
増大させる効果があるが、２３％未満ではその効果に乏
しく、３５％を超えると失透傾向が現れる。
増大させる効果があるが、２３％未満ではその効果に乏
しく、３５％を超えると失透傾向が現れる。
ＣａＯはＢａＯと同様の効果があり、これにＢａＯを併
用するとよ、り失透傾向を低下させる効果があるが、１
％未満ではその効果に乏しく、２０％を超えると却って
失透傾向が現れ耐熱性も低下する。
用するとよ、り失透傾向を低下させる効果があるが、１
％未満ではその効果に乏しく、２０％を超えると却って
失透傾向が現れ耐熱性も低下する。
２ｎＯはグレーズの表面を平滑にする効果があるが、１
％未満ではその効果に乏しく、５％を超えると耐熱性が
不十分となり好ましくない。
％未満ではその効果に乏しく、５％を超えると耐熱性が
不十分となり好ましくない。
また本発明においては上記各成分範囲において、さらに
Ａｌ２Ｏ３／（ＢａＯ＋ＣａＯ）の比率が０．０２〜０
．１７であることが好ましい。すなわちＡ１□０：ｉ／
（ＢａＯ＋ＣａＯ）の比率が０．０２未満であると失透
傾向が現れ耐熱性も不十分となり、一方０．１７を超え
ると粘度が高くなり良好なグレーズが得難くなる。
Ａｌ２Ｏ３／（ＢａＯ＋ＣａＯ）の比率が０．０２〜０
．１７であることが好ましい。すなわちＡ１□０：ｉ／
（ＢａＯ＋ＣａＯ）の比率が０．０２未満であると失透
傾向が現れ耐熱性も不十分となり、一方０．１７を超え
ると粘度が高くなり良好なグレーズが得難くなる。
し実施例］
以下に本発明のセラミック基板用グレーズ組成物を実施
例及び比較例に基づいて説明する。
例及び比較例に基づいて説明する。
試料Ｎｏ、 １〜５の各試料は以下のように調製した。
まず次式に示されるような酸化物組成（重量％）になる
ように原料を調合し、十分に混合した。各原料は酸化物
、水酸化物、炭酸塩あるいは硝酸塩のいずれでもよいが
、微粉砕原料を使用したほうが溶融しやすい。その後混
合した原料を白金るつぼにて１５００〜１６００℃で溶
融した後、水中に投入して急冷し、アルミナボールミル
で微粉砕したものをペースト化した。次いでスクリーン
印刷法により９６％アルミナ基板にペーストを塗布し、
１２５０℃で１時間焼成してグレーズ膜厚的５０μｍの
グレーズ基板とした。
ように原料を調合し、十分に混合した。各原料は酸化物
、水酸化物、炭酸塩あるいは硝酸塩のいずれでもよいが
、微粉砕原料を使用したほうが溶融しやすい。その後混
合した原料を白金るつぼにて１５００〜１６００℃で溶
融した後、水中に投入して急冷し、アルミナボールミル
で微粉砕したものをペースト化した。次いでスクリーン
印刷法により９６％アルミナ基板にペーストを塗布し、
１２５０℃で１時間焼成してグレーズ膜厚的５０μｍの
グレーズ基板とした。
試料Ｎｏ、Ｉ〜４は本発明の実施例、試料Ｎｏ、５は比
較例であり、各ガラスの熱膨張係数、転移点、屈伏点、
粘度及び得られたグレーズ表面を観察して計数した泡及
びうねりの数を表に示した。
較例であり、各ガラスの熱膨張係数、転移点、屈伏点、
粘度及び得られたグレーズ表面を観察して計数した泡及
びうねりの数を表に示した。
表より明らかなように本発明の実施例及び比較例の試料
はアルカリと鉛を含有していないため転移点６６５℃以
上、屈伏点７１２℃以上と耐熱性に優れていた。また各
試料の粘度をみると本発明の実施例の方が比較例よりも
低く、具体的には１２５０℃のときに本発明の実施例は
比較例と比べて６５〜１４６ボイズ低下しており、その
ため泡及びうねりの数が少なく平滑な表面が得られた。
はアルカリと鉛を含有していないため転移点６６５℃以
上、屈伏点７１２℃以上と耐熱性に優れていた。また各
試料の粘度をみると本発明の実施例の方が比較例よりも
低く、具体的には１２５０℃のときに本発明の実施例は
比較例と比べて６５〜１４６ボイズ低下しており、その
ため泡及びうねりの数が少なく平滑な表面が得られた。
更に本発明の実施例は比較例とくらべて熱膨張係数がア
ルミナ基板のそれ（約７０Ｘ １０−７／”Ｃ）に近似
していた。
ルミナ基板のそれ（約７０Ｘ １０−７／”Ｃ）に近似
していた。
以下余白
（重量％）
［発明の効果］
以上のように本発明のセラミック基板用グレーズ組成物
は、転移点６６０℃以上、屈伏点７１０℃以上の高い耐
熱性を有し、平滑で欠陥の少ないグレーズが形成でき、
特に熱膨張係数がアルミナのそれに近似しているためア
ルミナ基板を使用したサーマルヘッド用グレーズ基板を
作製するのに用いるとグレーズにマイクロクラックが発
生せず、また大型の基板に用いた場合でも基板に反りが
生じないので好適である。
は、転移点６６０℃以上、屈伏点７１０℃以上の高い耐
熱性を有し、平滑で欠陥の少ないグレーズが形成でき、
特に熱膨張係数がアルミナのそれに近似しているためア
ルミナ基板を使用したサーマルヘッド用グレーズ基板を
作製するのに用いるとグレーズにマイクロクラックが発
生せず、また大型の基板に用いた場合でも基板に反りが
生じないので好適である。
特許出願人 日本電気硝子株式会社
代表者岸田清作
Claims (3)
- （１）重量百分率で、ＳｉＯ＿２４５〜６０％、Ｂ＿２
Ｏ＿３１〜７％、Ａｌ＿２Ｏ＿３１〜５％、ＢａＯ２３
〜３５％、ＣａＯ１〜２０％、ＺｎＯ１〜５％からなる
ことを特徴とするセラミック基板用グレーズ組成物。 - （２）重量百分率でＡｌ＿２Ｏ＿３／（ＢａＯ＋ＣａＯ
）の比率が０．０２〜０．１７の範囲にあることを特徴
とする特許請求の範囲第１項に記載のセラミック基板用
グレーズ組成物。 - （３）セラミック基板がアルミナ基板であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項に記載のセラミック基板用
グレーズ組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP940388A JPH01188443A (ja) | 1988-01-19 | 1988-01-19 | セラミック基板用グレーズ組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP940388A JPH01188443A (ja) | 1988-01-19 | 1988-01-19 | セラミック基板用グレーズ組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01188443A true JPH01188443A (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=11719453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP940388A Pending JPH01188443A (ja) | 1988-01-19 | 1988-01-19 | セラミック基板用グレーズ組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01188443A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006321017A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Rohm Co Ltd | Ｍｅｍｓ素子およびその製造方法 |
| JP2006321016A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Rohm Co Ltd | Ｍｅｍｓパッケージ |
| US8343617B2 (en) | 2009-04-09 | 2013-01-01 | Industrial Technology Research Institute | Ceramic substrate |
| WO2014017610A1 (ja) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | 旭硝子株式会社 | 金属基板被覆用ガラスおよびガラス層付き金属基板 |
-
1988
- 1988-01-19 JP JP940388A patent/JPH01188443A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006321017A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Rohm Co Ltd | Ｍｅｍｓ素子およびその製造方法 |
| JP2006321016A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Rohm Co Ltd | Ｍｅｍｓパッケージ |
| US8343617B2 (en) | 2009-04-09 | 2013-01-01 | Industrial Technology Research Institute | Ceramic substrate |
| WO2014017610A1 (ja) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | 旭硝子株式会社 | 金属基板被覆用ガラスおよびガラス層付き金属基板 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4746578A (en) | Glaze compositions for ceramic substrates | |
| US4396682A (en) | Glazed ceramic substrate | |
| JPWO2001090012A1 (ja) | ガラス組成物及び該組成物を含むガラス形成材料 | |
| US3741780A (en) | Metallizing compositions containing bismuthate glass-ceramic conductor binder | |
| JPH01188443A (ja) | セラミック基板用グレーズ組成物 | |
| JP2590972B2 (ja) | 基板のグレース層用ガラス組成物 | |
| JP2724509B2 (ja) | グレーズ組成物 | |
| JPS6055453B2 (ja) | アルミナ基板用グレ−ズ組成物 | |
| JPS60118648A (ja) | セラミツク基板用グレ−ズ組成物 | |
| JPH0452561B2 (ja) | ||
| JP2724514B2 (ja) | グレーズ組成物 | |
| JPH028975B2 (ja) | ||
| JPS6296344A (ja) | セラミツク基板用グレ−ズ組成物 | |
| JPS6331419B2 (ja) | ||
| JPH0210098B2 (ja) | ||
| JP3153690B2 (ja) | グレーズドセラミック基板 | |
| JPS5841738A (ja) | セラミック基板用グレ−ズ組成物 | |
| JPS5988337A (ja) | グレーズドセラミック基板 | |
| JPH03146437A (ja) | グレーズド基板 | |
| JPH0781974A (ja) | グレーズ組成物 | |
| JP3409807B2 (ja) | グレーズ組成物 | |
| JPH01305830A (ja) | グレーズド基板 | |
| JPH0781972A (ja) | グレーズ組成物 | |
| JPH0210097B2 (ja) | ||
| JPH01305831A (ja) | 非晶質のアルミナ基板被覆用ガラス及びこれを用いたグレーズド基板 |