JPH01179214A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH01179214A JPH01179214A JP33623787A JP33623787A JPH01179214A JP H01179214 A JPH01179214 A JP H01179214A JP 33623787 A JP33623787 A JP 33623787A JP 33623787 A JP33623787 A JP 33623787A JP H01179214 A JPH01179214 A JP H01179214A
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- Japan
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- magnetic head
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 56
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 25
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 21
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 45
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 23
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 22
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 16
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 14
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 abstract description 4
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 5
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 abstract 4
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 description 3
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 210000004709 eyebrow Anatomy 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＤＡＴ （ディジタル・オーディオ・テープ
レコーダー）やコンピューター等の磁気記録装置に用い
られる薄膜磁気ヘッドに関するものである。
レコーダー）やコンピューター等の磁気記録装置に用い
られる薄膜磁気ヘッドに関するものである。
従来より、ＤＡＴやコンピューターなど磁気記録原理を
応用した電子機器に用いられる磁気ヘッドにおいては、
固定ヘッド方式のＰＣＭテープレコーダーにおいて高密
度の磁気記録再生を行うために、マルチチャンネル化さ
れた高密度磁気ヘッドが必要とされている。
応用した電子機器に用いられる磁気ヘッドにおいては、
固定ヘッド方式のＰＣＭテープレコーダーにおいて高密
度の磁気記録再生を行うために、マルチチャンネル化さ
れた高密度磁気ヘッドが必要とされている。
このような高密度磁気ヘッドにおけるコアは、トラック
幅をできるだけ狭くするという近年の要請に応じて微細
な機械加工を施す場合には多くの困難を伴うものである
。
幅をできるだけ狭くするという近年の要請に応じて微細
な機械加工を施す場合には多くの困難を伴うものである
。
そこで、最近では、トラック幅を容易に狭く形成できる
という利点を有する薄膜磁気ヘッドが脚光を浴び、実用
化されはじめている。
という利点を有する薄膜磁気ヘッドが脚光を浴び、実用
化されはじめている。
上記の薄膜磁気ヘッドは、−ｉには例えば第２図（ａ）
（ｂ）に示すように、非磁性法板２０上に、真空蒸着ま
たはスパッタリング等の方法によってパーマロイ、セン
ダスト、アモルファス等の強磁性体下部コア２１を設け
、この強磁性体下部コア２１の上に磁気ギャップ形成用
の絶縁層２２を形成し、さらに第２図（ａ）に示すよう
な層間絶縁ｉ２３、バイアス導体２４、および磁気抵抗
効果素子２５等を形成した後、これらの上に強磁性体上
部コア２６を付着して形成し、さらに強磁性体上部コア
２６の上から覆うように絶縁保護膜層２７を形成し、こ
の絶縁保護膜層２７の上に、接着剤層２８によって補強
材としての保護板２９を接着するといった構造が採用さ
れている。
（ｂ）に示すように、非磁性法板２０上に、真空蒸着ま
たはスパッタリング等の方法によってパーマロイ、セン
ダスト、アモルファス等の強磁性体下部コア２１を設け
、この強磁性体下部コア２１の上に磁気ギャップ形成用
の絶縁層２２を形成し、さらに第２図（ａ）に示すよう
な層間絶縁ｉ２３、バイアス導体２４、および磁気抵抗
効果素子２５等を形成した後、これらの上に強磁性体上
部コア２６を付着して形成し、さらに強磁性体上部コア
２６の上から覆うように絶縁保護膜層２７を形成し、こ
の絶縁保護膜層２７の上に、接着剤層２８によって補強
材としての保護板２９を接着するといった構造が採用さ
れている。
また、近年には、補強材となる保護板に貫走溝を設けて
接着強度を向上させるようにした薄膜磁気ヘッドも提案
されている（実開昭５９−１５３６１１号公報）。
接着強度を向上させるようにした薄膜磁気ヘッドも提案
されている（実開昭５９−１５３６１１号公報）。
しかしながら、第２図の従来例では、保護板２９を十分
な強度で接着させることは困難であり、高い信頼性が得
られないとともに、作業性の悪いものである。
な強度で接着させることは困難であり、高い信頼性が得
られないとともに、作業性の悪いものである。
また、上記した二つの従来例の薄膜磁気ヘッドにおいて
は、以下に示すような問題点を有している。
は、以下に示すような問題点を有している。
（１） 薄膜磁気ヘッドには、強磁性体上部コア２６に
段差Ｈが形成され、この強磁性体上部コア２６の段差１
１に対応して絶縁保護膜層２７および接着剤層２８にも
段差Ｈが形成される。したがって、保護板２９の接着強
度を向上させたとしても、薄膜磁気ヘッドにおける磁気
記録媒体との摺動面には強磁性体下部コア２６のコア形
状を反映した段差骨の厚み約５μｍの接着剤層２８が露
出する。このため、磁気記録媒体との摺動により耐摩耗
性に劣る接着剤層２８の表面がえぐり取られ、そこに微
小な磁性体粉末が付着してしまって、スペーシングロス
を生じがちとなる。
段差Ｈが形成され、この強磁性体上部コア２６の段差１
１に対応して絶縁保護膜層２７および接着剤層２８にも
段差Ｈが形成される。したがって、保護板２９の接着強
度を向上させたとしても、薄膜磁気ヘッドにおける磁気
記録媒体との摺動面には強磁性体下部コア２６のコア形
状を反映した段差骨の厚み約５μｍの接着剤層２８が露
出する。このため、磁気記録媒体との摺動により耐摩耗
性に劣る接着剤層２８の表面がえぐり取られ、そこに微
小な磁性体粉末が付着してしまって、スペーシングロス
を生じがちとなる。
（２） 樹脂材からなる接着剤１２８は、耐候性に劣り
、特に高温高温に弱い。したがって、薄膜磁気ヘッドに
おいて、磁気記録媒体との摺動面での接着剤層２８の露
出部の厚みが厚いほど、接着剤層２Ｂの劣化が著しいも
のとなる。
、特に高温高温に弱い。したがって、薄膜磁気ヘッドに
おいて、磁気記録媒体との摺動面での接着剤層２８の露
出部の厚みが厚いほど、接着剤層２Ｂの劣化が著しいも
のとなる。
（３） 後者の従来例において示された貫走溝は、保護
板の接着時に不要に取り込んだ気泡を外部へ排出するた
めのものであり、このために保護板の縦横に溝を形成す
る必要があるが、磁気記録媒体との摺動面に溝が露出し
ていると、樹脂接着剤層の厚みが一段と増すので、信頼
性の点でさらに問題を生じることになる。
板の接着時に不要に取り込んだ気泡を外部へ排出するた
めのものであり、このために保護板の縦横に溝を形成す
る必要があるが、磁気記録媒体との摺動面に溝が露出し
ていると、樹脂接着剤層の厚みが一段と増すので、信頼
性の点でさらに問題を生じることになる。
上記したように、薄膜磁気ヘッドにおける保護板の接着
は、接着強度の向上と、樹脂接着剤層を薄く形成すると
いう相反する要求を満たさなければならない。
は、接着強度の向上と、樹脂接着剤層を薄く形成すると
いう相反する要求を満たさなければならない。
本発明の薄膜磁気ヘッドは、上記の問題点を解決するた
めに、強磁性体上部コアを覆う絶縁保護膜層の上面が全
面で平坦面に形成され、この絶縁保護膜層の平坦面に、
薄膜磁気ヘッドのトラック方向に沿って延設され且つ磁
気記録媒体との摺動面から離れた部位の被接着面に溝の
形成された保護板が、樹脂接着剤層によって接着されて
いることを特徴としているものである。
めに、強磁性体上部コアを覆う絶縁保護膜層の上面が全
面で平坦面に形成され、この絶縁保護膜層の平坦面に、
薄膜磁気ヘッドのトラック方向に沿って延設され且つ磁
気記録媒体との摺動面から離れた部位の被接着面に溝の
形成された保護板が、樹脂接着剤層によって接着されて
いることを特徴としているものである。
上記の構成により、絶縁保護膜層と保護板との間に介在
される樹脂接着剤層は、少な（とも磁気記録媒体との摺
動面側の露出部を１μｍ以下の薄さに設定することが可
能となる。したがって、磁気記録媒体との摺動時に樹脂
接着剤層の露出面がえぐり取られて微小な磁性体粉末が
付着するような虞れはなくなり、また耐候性にも優れた
構造となる。さらに、保護板の被接着面に形成された溝
によって樹脂接着剤層との十分な接着強度を保存するこ
とができ、信頼性の高い薄膜磁気ヘッドが得られる。
される樹脂接着剤層は、少な（とも磁気記録媒体との摺
動面側の露出部を１μｍ以下の薄さに設定することが可
能となる。したがって、磁気記録媒体との摺動時に樹脂
接着剤層の露出面がえぐり取られて微小な磁性体粉末が
付着するような虞れはなくなり、また耐候性にも優れた
構造となる。さらに、保護板の被接着面に形成された溝
によって樹脂接着剤層との十分な接着強度を保存するこ
とができ、信頼性の高い薄膜磁気ヘッドが得られる。
本発明の一実施例を第１図（ａ）〜（ｄ）に基づいて説
明すれば、以下の通りである。
明すれば、以下の通りである。
第１図（ａ）に示すように、非磁性基板１上に、真空蒸
着またはスパッタリング等によって、パーマロイ、セン
ダスト、アモルファス等の強磁性体下部コア２が付着し
て形成されている。ごの強磁性体下部コア２の上に、Ｓ
ｉＯｚ 、Ａｆｚ Ｏｓなどからなる磁気ギャップ形
成用の絶縁層３と、Ｓ、ｉ ０１ ＳＡ Ｉ！ ｔ Ｏ
ｘ等からなる層間絶縁層４と、Ｃｕ ｓ Ａ １等から
なるバイアス導体５と、Ｎｉ−Ｆｅからなる磁気抵抗効
果素子６とが形成されており、上記絶縁層３上に配置さ
れたバイアス導体５および磁気抵抗効果素子６は、層間
絶縁層４の内部に埋め込まれている。
着またはスパッタリング等によって、パーマロイ、セン
ダスト、アモルファス等の強磁性体下部コア２が付着し
て形成されている。ごの強磁性体下部コア２の上に、Ｓ
ｉＯｚ 、Ａｆｚ Ｏｓなどからなる磁気ギャップ形
成用の絶縁層３と、Ｓ、ｉ ０１ ＳＡ Ｉ！ ｔ Ｏ
ｘ等からなる層間絶縁層４と、Ｃｕ ｓ Ａ １等から
なるバイアス導体５と、Ｎｉ−Ｆｅからなる磁気抵抗効
果素子６とが形成されており、上記絶縁層３上に配置さ
れたバイアス導体５および磁気抵抗効果素子６は、層間
絶縁層４の内部に埋め込まれている。
さらに、これらの上にパーマロイ、センダスト、アモル
ファス等の強磁性体上部コア７が付着して形成されてい
る。この強磁性体上部コア７の上には、Ｓ ｉ Ｏｘ
、Ａ ｌ ｔ Ｏｓ等からなる絶縁保護膜ｗ！Ｊ８が形
成されている。この絶縁保護膜層ｉｆｆ１８は、強磁性
体上部コア７の上に積層された状態においては、強磁性
体上部コア７の段差Ｈの形成部位に対応した盛り上がっ
た隆起部８ａが形成されることになる。そのため、本発
明においては、上記の絶縁保護膜１！Ｉ８の隆起部８ａ
（段差Ｈ）を、−点鎖線で示す位置まで研磨などの加工
を施して、絶縁保護膜Ｊｌ！Ｉ８の上面を全面で平坦面
に形成する、これにより、絶縁保ｉｌｌ膜ＩＮ！１Ｂの
表面は、０．１μｍ以下の表面粗さになる。
ファス等の強磁性体上部コア７が付着して形成されてい
る。この強磁性体上部コア７の上には、Ｓ ｉ Ｏｘ
、Ａ ｌ ｔ Ｏｓ等からなる絶縁保護膜ｗ！Ｊ８が形
成されている。この絶縁保護膜層ｉｆｆ１８は、強磁性
体上部コア７の上に積層された状態においては、強磁性
体上部コア７の段差Ｈの形成部位に対応した盛り上がっ
た隆起部８ａが形成されることになる。そのため、本発
明においては、上記の絶縁保護膜１！Ｉ８の隆起部８ａ
（段差Ｈ）を、−点鎖線で示す位置まで研磨などの加工
を施して、絶縁保護膜Ｊｌ！Ｉ８の上面を全面で平坦面
に形成する、これにより、絶縁保ｉｌｌ膜ＩＮ！１Ｂの
表面は、０．１μｍ以下の表面粗さになる。
一方、第１図（ｂ）に示すように、非磁性基板１と同質
またはガラス等の材質からなる補強材としての保護板１
０を有し、この保護板１０の被接着面における、薄膜磁
気ヘッドのトラック方向に沿って延設され且つ磁気記録
媒体との摺動面から離れた部位には、ダイシング等によ
り溝１０ａか条設されている。この溝１０ａは、幅が０
．３關、深さ０．１ｍｍ程度のものである。
またはガラス等の材質からなる補強材としての保護板１
０を有し、この保護板１０の被接着面における、薄膜磁
気ヘッドのトラック方向に沿って延設され且つ磁気記録
媒体との摺動面から離れた部位には、ダイシング等によ
り溝１０ａか条設されている。この溝１０ａは、幅が０
．３關、深さ０．１ｍｍ程度のものである。
そこで、第１図（Ｃ）及び（ｄ）に示すように、前述し
た絶縁保護膜［８における研磨により平坦化された上面
を含む面域、および上記保護板１０の被接着面に、それ
ぞれ樹脂接着剤層９を薄厚に塗布し、この樹脂接着剤層
９によって上記保護板１０の被接着面を絶縁保護膜層８
の上面に接着する。その後、絶縁保護膜層８と保護板１
０との間に取り込まれた気泡を真空引きして排出させ、
さらに非磁性基板ｌと保護板１０とを接近方向に加圧し
て加熱硬化させることにより、樹脂接着剤層９の厚さを
１μｍ以下に設定する。
た絶縁保護膜［８における研磨により平坦化された上面
を含む面域、および上記保護板１０の被接着面に、それ
ぞれ樹脂接着剤層９を薄厚に塗布し、この樹脂接着剤層
９によって上記保護板１０の被接着面を絶縁保護膜層８
の上面に接着する。その後、絶縁保護膜層８と保護板１
０との間に取り込まれた気泡を真空引きして排出させ、
さらに非磁性基板ｌと保護板１０とを接近方向に加圧し
て加熱硬化させることにより、樹脂接着剤層９の厚さを
１μｍ以下に設定する。
このとき、絶縁保護膜ＦＪ８と保護板１０との間に介在
された樹脂接着剤Ｎ９は、保護板１０に形成された上記
溝１０ａの内部に充填された状態となるので、絶縁保護
膜層８の上面が全面で平坦面形状をなしていることと相
まって接着強度が向上され、絶縁保護膜層８を可及的に
薄厚に設定することが可能となる。しかも、少なくとも
磁気記録媒体との摺動面側では、樹脂接着剤層９の厚さ
が１μｍ以下という薄い厚さに設定されるので、磁気記
録媒体との摺動時に、摺動面側の樹脂接着剤層９の露出
部がえぐり取られるといった広れはなくなり、且つ耐候
性に優れた構造となる。
された樹脂接着剤Ｎ９は、保護板１０に形成された上記
溝１０ａの内部に充填された状態となるので、絶縁保護
膜層８の上面が全面で平坦面形状をなしていることと相
まって接着強度が向上され、絶縁保護膜層８を可及的に
薄厚に設定することが可能となる。しかも、少なくとも
磁気記録媒体との摺動面側では、樹脂接着剤層９の厚さ
が１μｍ以下という薄い厚さに設定されるので、磁気記
録媒体との摺動時に、摺動面側の樹脂接着剤層９の露出
部がえぐり取られるといった広れはなくなり、且つ耐候
性に優れた構造となる。
本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、以上のように、強磁性
体上部コアを覆う絶縁保護膜層の上面が全面で平坦面に
形成され、この絶縁保護膜層の平坦面に、薄膜磁気ヘッ
ドのトラック方向に沿って延設され且つ磁気記録媒体と
の摺動面から離れた部位の被接着面に溝の形成された保
護板が、樹脂接着剤層によって接着されている構成であ
る。
体上部コアを覆う絶縁保護膜層の上面が全面で平坦面に
形成され、この絶縁保護膜層の平坦面に、薄膜磁気ヘッ
ドのトラック方向に沿って延設され且つ磁気記録媒体と
の摺動面から離れた部位の被接着面に溝の形成された保
護板が、樹脂接着剤層によって接着されている構成であ
る。
これにより、絶縁保護膜層と保護板との間に介在される
樹脂接着剤層は、少なくとも磁気記録媒体との摺動面側
の露出部を１μｍ以下の薄さに設定することが可能とな
る。
樹脂接着剤層は、少なくとも磁気記録媒体との摺動面側
の露出部を１μｍ以下の薄さに設定することが可能とな
る。
したがって、磁気記録媒体との摺動時に樹脂接着剤層の
露出面がえぐり取られ、ここに微小な磁性体粉末が付着
してスペーシングロスを生じるといった虞れはなくなり
、また樹脂接着剤層の露出部が小さく形成されるだけで
あるから、耐候性にも優れた構造となる。
露出面がえぐり取られ、ここに微小な磁性体粉末が付着
してスペーシングロスを生じるといった虞れはなくなり
、また樹脂接着剤層の露出部が小さく形成されるだけで
あるから、耐候性にも優れた構造となる。
さらに、保護板の被接着面に形成された溝によって樹脂
接着剤層との十分な接着強度を保有することができるの
で、信頼性の高い薄膜磁気ヘッドが得られるといった効
果を奏する。
接着剤層との十分な接着強度を保有することができるの
で、信頼性の高い薄膜磁気ヘッドが得られるといった効
果を奏する。
第１図は本発明の一実施例を示すものであって、第１図
（ａ）は薄膜磁気ヘッドにおける磁気抵抗効果素子付近
の構造を示す縦断説明図、第１図（ｂ）は保護板の斜視
図、第１図（ｃ）は薄膜磁気ヘッドにおける磁気抵抗効
果素子付近から断面した縦断説明図１．第１図（ｄ）は
薄膜磁気ヘッドの摺動面側から見た縦断正面図である。 第２図は薄膜磁気ヘッドの従来例を示すものであって、
第２図（ａ）は薄膜磁気ヘッドにおける６イｌ気抵抗効
果素子付近から断面した縦断説明図、第２図（ｂ）は薄
膜磁気ヘッドの摺動面側から見た縦断正面図である。 １は非磁性基板、２は強磁性体下部コア、３は絶縁層、
４は眉間絶縁層、５はバイアス導体、６は磁気抵抗効果
素子、７は強磁性体上部コア、８は絶縁保護膜層、８ａ
は隆起部、９は樹脂接着剤層、ｌＯは保護板、１０ａは
溝である。 第 １ 図（ａ） 第１図（Ｃ） 第１ 図（ｂ） 第２図（ａ） 第２図（ｂ）
（ａ）は薄膜磁気ヘッドにおける磁気抵抗効果素子付近
の構造を示す縦断説明図、第１図（ｂ）は保護板の斜視
図、第１図（ｃ）は薄膜磁気ヘッドにおける磁気抵抗効
果素子付近から断面した縦断説明図１．第１図（ｄ）は
薄膜磁気ヘッドの摺動面側から見た縦断正面図である。 第２図は薄膜磁気ヘッドの従来例を示すものであって、
第２図（ａ）は薄膜磁気ヘッドにおける６イｌ気抵抗効
果素子付近から断面した縦断説明図、第２図（ｂ）は薄
膜磁気ヘッドの摺動面側から見た縦断正面図である。 １は非磁性基板、２は強磁性体下部コア、３は絶縁層、
４は眉間絶縁層、５はバイアス導体、６は磁気抵抗効果
素子、７は強磁性体上部コア、８は絶縁保護膜層、８ａ
は隆起部、９は樹脂接着剤層、ｌＯは保護板、１０ａは
溝である。 第 １ 図（ａ） 第１図（Ｃ） 第１ 図（ｂ） 第２図（ａ） 第２図（ｂ）
Claims (1)
- １、強磁性体上部コアを覆う絶縁保護膜層の上面が全面
で平坦面に形成され、この絶縁保護膜層の平坦面に、薄
膜磁気ヘッドのトラック方向に沿って延設され且つ磁気
記録媒体との摺動面から離れた部位の被接着面に溝の形
成された保護板が、樹脂接着剤層によって接着されてい
ることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33623787A JPH01179214A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33623787A JPH01179214A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01179214A true JPH01179214A (ja) | 1989-07-17 |
Family
ID=18297057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33623787A Pending JPH01179214A (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01179214A (ja) |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP33623787A patent/JPH01179214A/ja active Pending
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