JPS62200517A - 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法Info
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- JPS62200517A JPS62200517A JP61043614A JP4361486A JPS62200517A JP S62200517 A JPS62200517 A JP S62200517A JP 61043614 A JP61043614 A JP 61043614A JP 4361486 A JP4361486 A JP 4361486A JP S62200517 A JPS62200517 A JP S62200517A
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法
に関し、特に主磁極励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘッド
およびその製造方法に関する。
に関し、特に主磁極励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘッド
およびその製造方法に関する。
従来のこの種の垂直磁気記録用磁気ヘッドとしては、例
えば特開昭６０−１３６００４号公報、特公昭５７−５
８７３０号公報等に開示されたものが知られている。
えば特開昭６０−１３６００４号公報、特公昭５７−５
８７３０号公報等に開示されたものが知られている。
特開昭６０４３６００４号公報に開示された垂直磁気記
録用磁気ヘッドは、非磁性セラミック基板に対してその
一表面に幅方向の溝を形成した磁性フェライト基板を表
面を重ねるようにして接着し、接着された両店板の隣合
う面について非磁性セラミック基板側の面にはｆ■磁気
記録用主磁極の先端部分が磁性フェライト基板側の面に
は磁気記録用の主磁極の基端部分が位置するように主磁
極を形成し、両店板の主磁極形成面を主磁極部を残して
溝が露出するまで切除するとともに非磁性セラミ。
録用磁気ヘッドは、非磁性セラミック基板に対してその
一表面に幅方向の溝を形成した磁性フェライト基板を表
面を重ねるようにして接着し、接着された両店板の隣合
う面について非磁性セラミック基板側の面にはｆ■磁気
記録用主磁極の先端部分が磁性フェライト基板側の面に
は磁気記録用の主磁極の基端部分が位置するように主磁
極を形成し、両店板の主磁極形成面を主磁極部を残して
溝が露出するまで切除するとともに非磁性セラミ。
り基板の表面を磁気記録媒体に対する浮上面とするｒＩ
ｌ）Ｉ９加工等を施し、磁性フエライ）ｉ板の溝を通し
て主磁極にコイルを施して形成される。
ｌ）Ｉ９加工等を施し、磁性フエライ）ｉ板の溝を通し
て主磁極にコイルを施して形成される。
また、特公昭５７−５８７３０号公報に開示された磁気
記録用磁気ヘッドは、磁性材料によるスライダ部基体お
よび巻線部基体とこれら両店体表面側の非磁性材料によ
るギヤツブ部益体とからなるヘッドブロック構造体を設
けるとともに、このヘッドブロック構造体の表面所定位
置に磁性材料の蒸着またはスパッタリングなどによって
選択的にスライダ部、トラック部およびギャップ部を薄
膜形成させるようにしたものである。
記録用磁気ヘッドは、磁性材料によるスライダ部基体お
よび巻線部基体とこれら両店体表面側の非磁性材料によ
るギヤツブ部益体とからなるヘッドブロック構造体を設
けるとともに、このヘッドブロック構造体の表面所定位
置に磁性材料の蒸着またはスパッタリングなどによって
選択的にスライダ部、トラック部およびギャップ部を薄
膜形成させるようにしたものである。
しかし、これら従来の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、い
ずれも構造が複雑であり、・したがって製造方法も複雑
で寸法精度の確保が困難であるという問題点があった。
ずれも構造が複雑であり、・したがって製造方法も複雑
で寸法精度の確保が困難であるという問題点があった。
また、寸法精度が確保が困難なことにより、十分高い再
生出力を得ることができないという問題点があった。
生出力を得ることができないという問題点があった。
本発明の目的は、上述の点に鑑み、構造が簡単で寸法精
度の確保が容易なことにより高再生出力を得ることがで
きるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供するこ
とにある。
度の確保が容易なことにより高再生出力を得ることがで
きるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供するこ
とにある。
また、本発明の他の目的は、製造が容易で寸法精度を出
しやすい垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法を提供す
ることにある。
しやすい垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法を提供す
ることにある。
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、主磁極励磁型の
垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、磁性体からなる下
側スライダと、磁性体からなる巻線用コアと、一端面が
上記巻線用コアの上面上に位置するように設けられた非
磁性体からなる基板と、この基板の上記一端面に形成さ
れた主磁極膜と、上記下側スライダと垂直磁気記録媒体
を介して対向する磁性体からなる上側スライダとを備え
る。
垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、磁性体からなる下
側スライダと、磁性体からなる巻線用コアと、一端面が
上記巻線用コアの上面上に位置するように設けられた非
磁性体からなる基板と、この基板の上記一端面に形成さ
れた主磁極膜と、上記下側スライダと垂直磁気記録媒体
を介して対向する磁性体からなる上側スライダとを備え
る。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法は
、基板上に非磁性材を成膜することによって下地層を形
成する工程と、上記下地層上に磁性材を成膜することに
よって主もイｌ極膜を形成する工程と、上記主磁極膜を
所定の幅を存するストライプ状のパターンに加工する工
程と、上記下地層および上記主Ｎｈ１１２上に非磁性材
を成膜することによって保護１模を形成する工程と、上
記基板を所望の寸法となるように切断する工程と、スラ
イダに巻線用コアの両端部を接着材を介して接着する工
程と、上記巻線用コアの上端部を含む上記スライダの上
面部を研削して段部を形成する工程と、上記主磁極膜が
上記巻線用コア上に位置するように上記基板を上記段部
に貼設する工程と、上記スライダを研削してバッド面お
よびエアグループを形成する工程と、上記巻線用コアに
巻線を施す工程とを含む。
、基板上に非磁性材を成膜することによって下地層を形
成する工程と、上記下地層上に磁性材を成膜することに
よって主もイｌ極膜を形成する工程と、上記主磁極膜を
所定の幅を存するストライプ状のパターンに加工する工
程と、上記下地層および上記主Ｎｈ１１２上に非磁性材
を成膜することによって保護１模を形成する工程と、上
記基板を所望の寸法となるように切断する工程と、スラ
イダに巻線用コアの両端部を接着材を介して接着する工
程と、上記巻線用コアの上端部を含む上記スライダの上
面部を研削して段部を形成する工程と、上記主磁極膜が
上記巻線用コア上に位置するように上記基板を上記段部
に貼設する工程と、上記スライダを研削してバッド面お
よびエアグループを形成する工程と、上記巻線用コアに
巻線を施す工程とを含む。
〔作用〕
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは、主磁極膜でピ
ックアップされた磁気信号は巻線用コアおよびスライダ
を含む閉磁路を通じてコイルに再生電圧を発生させる。
ックアップされた磁気信号は巻線用コアおよびスライダ
を含む閉磁路を通じてコイルに再生電圧を発生させる。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法で
は、主磁極膜が巻線用コア上に位置するように基板がス
ライダに貼設される。
は、主磁極膜が巻線用コア上に位置するように基板がス
ライダに貼設される。
第１図は本発明の一実施例に係る垂直磁気記録用磁気ヘ
ッドを示す断面図であり、第２図はその要部拡大断面図
である。本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、基板
ｌと、この基板１の一端面に設けられた下地層１″ と
、この下地Ｗ！Ｉｔ’ 上に形成された主磁極膜２と、
この主磁極膜２上に被覆された保護ＩＦＪ３と、下側ス
ライダ５に巻線用コア７を固着する接着材４と、基板ｌ
を貼設する下側スライダ５と、記録再生用コイル６と、
このコイル６を巻装する巻線用コア７と、下側スライダ
５の上位に対応するように配設された上側スライダ８と
から構成されている。
ッドを示す断面図であり、第２図はその要部拡大断面図
である。本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、基板
ｌと、この基板１の一端面に設けられた下地層１″ と
、この下地Ｗ！Ｉｔ’ 上に形成された主磁極膜２と、
この主磁極膜２上に被覆された保護ＩＦＪ３と、下側ス
ライダ５に巻線用コア７を固着する接着材４と、基板ｌ
を貼設する下側スライダ５と、記録再生用コイル６と、
このコイル６を巻装する巻線用コア７と、下側スライダ
５の上位に対応するように配設された上側スライダ８と
から構成されている。
下側スライダ５上に貼設された基板１と上側スライダ８
との間に配置された垂直磁気記録媒体９は、ベースフィ
ルムＩＯと、このベースフィルム１０上に成膜された高
ｉ３磁率層１１と、この高透磁率層１１上に積層された
垂直磁気記録層１２とから構成されている。ベースフィ
ルム１０は、ポリエチレンテレフタレート等の合成樹脂
で５０μｍ程度の厚さに形成さ杵ている。高透磁率層１
１は、Ｎ１−Ｆａ等を０．３〜１．０ μｍの１７さに
スパッタリングすることによって形成されている。垂直
磁気記録層１２ば、Ｃｏ−Ｃｒ等を０．１〜０．５ μ
ｍの厚さにスパッタリングすることによって形成されて
いる。
との間に配置された垂直磁気記録媒体９は、ベースフィ
ルムＩＯと、このベースフィルム１０上に成膜された高
ｉ３磁率層１１と、この高透磁率層１１上に積層された
垂直磁気記録層１２とから構成されている。ベースフィ
ルム１０は、ポリエチレンテレフタレート等の合成樹脂
で５０μｍ程度の厚さに形成さ杵ている。高透磁率層１
１は、Ｎ１−Ｆａ等を０．３〜１．０ μｍの１７さに
スパッタリングすることによって形成されている。垂直
磁気記録層１２ば、Ｃｏ−Ｃｒ等を０．１〜０．５ μ
ｍの厚さにスパッタリングすることによって形成されて
いる。
次に、このように構成された本実施例の磁気ヘッドの製
造方法について説明する。
造方法について説明する。
まず、第３図＋８１に示すように、ガラス、結晶化ガラ
ス、フェライト、セラミック、Ａｌｔ（ｈ、Ａ １ｔＯ
ｙ−Ｔ ｉ Ｃ等の非磁性材でなる基板１上に、Ｓ ｉ
Ｏｘ 、 Ａ １２２０３等の非磁性材をスパッタリ
ングすることによって下地層ｌ°を形成する。
ス、フェライト、セラミック、Ａｌｔ（ｈ、Ａ １ｔＯ
ｙ−Ｔ ｉ Ｃ等の非磁性材でなる基板１上に、Ｓ ｉ
Ｏｘ 、 Ａ １２２０３等の非磁性材をスパッタリ
ングすることによって下地層ｌ°を形成する。
次に、第３図（ｂｌに示すように、下地層１°上にさら
にパーマロイ、センダスト、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ、Ｃｏ−
Ｈｆ−Ｔａ等のアモルファス金属等をスパッタリングす
ることによって薄膜状の主磁極膜２を形成する。このと
き形成される主磁極膜２の膜厚によって、記録線密度が
決定される。
にパーマロイ、センダスト、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ、Ｃｏ−
Ｈｆ−Ｔａ等のアモルファス金属等をスパッタリングす
ることによって薄膜状の主磁極膜２を形成する。このと
き形成される主磁極膜２の膜厚によって、記録線密度が
決定される。
続いて、第３図（Ｃ１に示すように、主磁極膜２をウェ
ットエツチングあるいはドライエツチングすることによ
って所定の幅を有するストライブ状のパターンに加工す
る。このとき形成されるパターン幅がトランク幅となり
、トラック密度を決定する。
ットエツチングあるいはドライエツチングすることによ
って所定の幅を有するストライブ状のパターンに加工す
る。このとき形成されるパターン幅がトランク幅となり
、トラック密度を決定する。
次に、第３図１ｄ＋に示すように、下地層１°および主
磁極１１＊２上にＳ ｉｏｚ 、Ａｊ！ｚＯｓ等の非磁
性材をスパッタリングすることによって保護膜３を形成
する。
磁極１１＊２上にＳ ｉｏｚ 、Ａｊ！ｚＯｓ等の非磁
性材をスパッタリングすることによって保護膜３を形成
する。
続いて、主磁極膜２等が形成された基板ｌを所望の寸法
となるように図中の一点鎖線に沿って２方向切断すると
、第３図＋８１に示すような薄板状の基板ｌが得られる
。
となるように図中の一点鎖線に沿って２方向切断すると
、第３図＋８１に示すような薄板状の基板ｌが得られる
。
一方、第４図（ａｌに示すように、Ｍｎ−Ｚｎフェライ
ト、Ｎ １−Ｚｎフェライト、アモルファス金属等から
なる下側スライダ５の前端面の右側部寄りに、Ｍｎ−Ｚ
ｎフェライト、Ｎｉ−７，ｎフェライト、アモルファス
金属等によってＣ字状に形成された巻線用コア７の両端
部をガラス、樹脂等からなる接着材４で接着する。
ト、Ｎ １−Ｚｎフェライト、アモルファス金属等から
なる下側スライダ５の前端面の右側部寄りに、Ｍｎ−Ｚ
ｎフェライト、Ｎｉ−７，ｎフェライト、アモルファス
金属等によってＣ字状に形成された巻線用コア７の両端
部をガラス、樹脂等からなる接着材４で接着する。
この後、第４図（ｂｌに示すように、巻線用コア７の上
端部を含む下側スライダ５の右側上面部を研削して段部
５ａを形成する。
端部を含む下側スライダ５の右側上面部を研削して段部
５ａを形成する。
続いて、第４図（Ｃ１に示すように、第３図＋８１で得
られた基板１を主磁極膜２が巻線用コア７上に位置する
ように段部５ａにガラス、樹脂等で貼設する。
られた基板１を主磁極膜２が巻線用コア７上に位置する
ように段部５ａにガラス、樹脂等で貼設する。
次に、第４図（ｄｌに示すように、下側スライダ５の上
面部を研削加工して、エアグループ５ｂおよびパッド面
５ｃを形成する。
面部を研削加工して、エアグループ５ｂおよびパッド面
５ｃを形成する。
しかる後に、コア７にコイル６を：？５装し下側スライ
ダ５と同様の磁性材で形成された上側スライダ８を配置
することにより、第１図および第２図に示した本実施例
の垂直磁気記録用磁気へラドが製造される。
ダ５と同様の磁性材で形成された上側スライダ８を配置
することにより、第１図および第２図に示した本実施例
の垂直磁気記録用磁気へラドが製造される。
なお、上記垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法におい
ては、下地層ｌ°、主磁極１２２および保１＋１２３を
スパッタリングで形成するようにしたが、これらは蒸着
、メッキ、イオンブレーティング等の他の方法によって
形成することもできる。
ては、下地層ｌ°、主磁極１２２および保１＋１２３を
スパッタリングで形成するようにしたが、これらは蒸着
、メッキ、イオンブレーティング等の他の方法によって
形成することもできる。
次に、このようにして製造された本実施例の磁気ヘッド
を用いて垂直磁気記録媒体９に記録および再生を行うに
は、下側スライダ５のパッド面５Ｃ上に垂直磁気記録媒
体９をｉ！２置し、さらに垂直磁気記録媒体９上に上部
スライダ８を配置して、コイル６に信号電流を通電しな
がら垂直磁気記録媒体９を移動させる。すると、コイル
６に誘導された磁束が巻線用コア７および極めて薄い主
磁極膜２を介して高磁束密度となって垂直磁気記録媒体
９の垂直磁気記録層１２を厚み方向に貫通し、垂直磁気
記録媒体９の高透磁率層１１を通過し、再び垂直磁気記
録層１２を介して下側スライダ５に戻ることにより、垂
直磁気記録層１２を厚み方向に磁化して信号の記録を行
う。
を用いて垂直磁気記録媒体９に記録および再生を行うに
は、下側スライダ５のパッド面５Ｃ上に垂直磁気記録媒
体９をｉ！２置し、さらに垂直磁気記録媒体９上に上部
スライダ８を配置して、コイル６に信号電流を通電しな
がら垂直磁気記録媒体９を移動させる。すると、コイル
６に誘導された磁束が巻線用コア７および極めて薄い主
磁極膜２を介して高磁束密度となって垂直磁気記録媒体
９の垂直磁気記録層１２を厚み方向に貫通し、垂直磁気
記録媒体９の高透磁率層１１を通過し、再び垂直磁気記
録層１２を介して下側スライダ５に戻ることにより、垂
直磁気記録層１２を厚み方向に磁化して信号の記録を行
う。
また、本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドを用いて垂
直磁気記録媒体９から記録信号を再生するには、垂直磁
気記録層１２に残留磁気の形で記録された信号を主磁極
膜２でビ７クア・ノブすることにより、コイル６に誘導
電圧として再生出力が取り出される。
直磁気記録媒体９から記録信号を再生するには、垂直磁
気記録層１２に残留磁気の形で記録された信号を主磁極
膜２でビ７クア・ノブすることにより、コイル６に誘導
電圧として再生出力が取り出される。
なお、上記実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて
は、下側スライダ５の上面と巻線用コア７の上面とを同
一平面上にあるものとし下側スライダ５に基板ｌを貼設
するようにしたが、第５図に示すように、基板１を巻線
用コア５の上面に貼設される小さなものとして下側スラ
イダ５の上面と巻線用コア７の上面との高さを異ならし
めてもよい。
は、下側スライダ５の上面と巻線用コア７の上面とを同
一平面上にあるものとし下側スライダ５に基板ｌを貼設
するようにしたが、第５図に示すように、基板１を巻線
用コア５の上面に貼設される小さなものとして下側スラ
イダ５の上面と巻線用コア７の上面との高さを異ならし
めてもよい。
ところで、本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドを用い
て再生電圧を高めるためには、第２図および第５図中に
示す上側スライダ８と垂直磁気記録媒体９との間隙Ａ、
垂直磁気記録媒体９と巻線用コア７との間隙Ｂ、垂直磁
気記録媒体９と下側スライダ５との間隙Ｂ゛、下側スラ
イダ５と巻線用コア７の上面内端部との間隙Ｃおよび巻
線用コア７の上面内端部と主磁極ＩＩＩ ２との間隔り
の各種寸法を次のように制御すればよい。
て再生電圧を高めるためには、第２図および第５図中に
示す上側スライダ８と垂直磁気記録媒体９との間隙Ａ、
垂直磁気記録媒体９と巻線用コア７との間隙Ｂ、垂直磁
気記録媒体９と下側スライダ５との間隙Ｂ゛、下側スラ
イダ５と巻線用コア７の上面内端部との間隙Ｃおよび巻
線用コア７の上面内端部と主磁極ＩＩＩ ２との間隔り
の各種寸法を次のように制御すればよい。
例えば、第９図はＣ＝２５０．ｕｎおよびＤ ＝ １０
０μｍとし、ＡおよびＢ、Ｂ’ を変化させたときの再
生電圧Ｂｏｕｔの相対値の変化を示す特性図である。こ
の図からも判るように、Ａを小さくする（好ましくは０
にする）ことにより再生電圧Ｅｏｕｔを高くすることが
でき、またＢを小さくすることにより再生電圧Ｅｏｕｔ
を高めることができ（第８図参照）、ＡおよびＢを制御
することにより約５倍の再生電圧を得ることができる。
０μｍとし、ＡおよびＢ、Ｂ’ を変化させたときの再
生電圧Ｂｏｕｔの相対値の変化を示す特性図である。こ
の図からも判るように、Ａを小さくする（好ましくは０
にする）ことにより再生電圧Ｅｏｕｔを高くすることが
でき、またＢを小さくすることにより再生電圧Ｅｏｕｔ
を高めることができ（第８図参照）、ＡおよびＢを制御
することにより約５倍の再生電圧を得ることができる。
また、ＢおよびＢｏの内のＢｏのみを小さくする（好ま
しくは０にする）ことにより、さらに若干再生電圧Ｅｏ
ｕｔを高めることができる。
しくは０にする）ことにより、さらに若干再生電圧Ｅｏ
ｕｔを高めることができる。
第１０図は、上記結果を踏まえて八＝０μｍおよびＢ＝
Ｂ“ ＝２０μｍとし、ＣおよびＤを変化させたときの
再生電圧Ｅｏｕｔの相対値の変化を示す特性図である。
Ｂ“ ＝２０μｍとし、ＣおよびＤを変化させたときの
再生電圧Ｅｏｕｔの相対値の変化を示す特性図である。
この図からも判るように、Ｃを小さくすることにより再
生電圧Ｅｏｕｔが高くなるが、ＣおよびＤは最適値があ
る。以上のようにＡ、Ｂ、Ｂ’ 、ｃおよびＤを最適値
に制御すれば、約７倍の再生電圧Ｅｏｕｔを得ることが
可能である。
生電圧Ｅｏｕｔが高くなるが、ＣおよびＤは最適値があ
る。以上のようにＡ、Ｂ、Ｂ’ 、ｃおよびＤを最適値
に制御すれば、約７倍の再生電圧Ｅｏｕｔを得ることが
可能である。
以上のことをまとめると、
Ａ ：可能な限り０に近づける
Ｂ ： １〜５０μｍ （好ましくは５〜３０．ｃ＋
ｍ）Ｂｏ ：可能な限り０に近づける Ｃ ：１〜５０μｍ（好ましくは５〜３０μｍ）Ｄ
：ｌ 〜５０．ｕｎ（好ましくは５〜３（ｌｕｍ）で、
高再生出力の垂直磁気記録用磁気へラドが得られる。
ｍ）Ｂｏ ：可能な限り０に近づける Ｃ ：１〜５０μｍ（好ましくは５〜３０μｍ）Ｄ
：ｌ 〜５０．ｕｎ（好ましくは５〜３（ｌｕｍ）で、
高再生出力の垂直磁気記録用磁気へラドが得られる。
なお、上記実施例においては、ベースフィルム１０の片
面にのみ高透磁率層１１および垂直磁気記録１１１２を
設けた片面記録用の垂直磁気記録媒体９を使用するよう
に説明したが、垂直磁気記録媒体９はベースフィルム１
０の両面に高１ｉｆｆｆ率層１１および垂ｉｉＩ磁気記
録層１２を設けた両面記録用のものであってもよいこと
はもちろんである。
面にのみ高透磁率層１１および垂直磁気記録１１１２を
設けた片面記録用の垂直磁気記録媒体９を使用するよう
に説明したが、垂直磁気記録媒体９はベースフィルム１
０の両面に高１ｉｆｆｆ率層１１および垂ｉｉＩ磁気記
録層１２を設けた両面記録用のものであってもよいこと
はもちろんである。
第６図は、本発明の他の実施例を示す垂直磁気記録用磁
気ヘッドを示す斜視図である。本実施例の垂直磁気記録
用磁気ヘッドは、第３図（＋りに示した基板１の代わり
に第７図に示す引ＩＡを用いて製造されたものである。
気ヘッドを示す斜視図である。本実施例の垂直磁気記録
用磁気ヘッドは、第３図（＋りに示した基板１の代わり
に第７図に示す引ＩＡを用いて製造されたものである。
基板ＩＡは、下地層１゛の代わりに厚い保護膜３Ａを形
成したものである。
成したものである。
この保３！膜３Ａは、下地層１゛を１￥くして形成でき
る他、下地層ｌ° と主磁極２および保護［３との間に
新たに設けてもよい。
る他、下地層ｌ° と主磁極２および保護［３との間に
新たに設けてもよい。
本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドでも、第１図およ
び第２図ならびに第５図に示した実施例の垂直磁気記録
用磁気ヘッドと同様の作用および効果が得られることは
いうまでもない。
び第２図ならびに第５図に示した実施例の垂直磁気記録
用磁気ヘッドと同様の作用および効果が得られることは
いうまでもない。
（発明の効果〕
以上説明したように、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッ
ドによれば、 ■ 高出力のコア構造により、高トランク密度の記録を
行うことができる、 ■ 垂直磁気記録媒体が低速度でも高出力が得られるの
で、データの信顛性が高い記録を行うことができる、 ■ 構造が簡単なので、垂直磁気記録媒体と垂直磁気記
録用磁気ヘッドとの間のａ械的信顛性が高い、 等の効果がある。
ドによれば、 ■ 高出力のコア構造により、高トランク密度の記録を
行うことができる、 ■ 垂直磁気記録媒体が低速度でも高出力が得られるの
で、データの信顛性が高い記録を行うことができる、 ■ 構造が簡単なので、垂直磁気記録媒体と垂直磁気記
録用磁気ヘッドとの間のａ械的信顛性が高い、 等の効果がある。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法に
よれば、 ■ １回の成膜工程で多数の主磁極膜が得られるので、
量産性が高い、 ■ 記録特性を決定する主磁極膜の膜厚がスパッタリン
グ装置の成膜時間で決まるので、高精度である、 ■ トラック加工をエツチングで行えるので、精度がよ
く量産性が高い、 等の効果がある。
よれば、 ■ １回の成膜工程で多数の主磁極膜が得られるので、
量産性が高い、 ■ 記録特性を決定する主磁極膜の膜厚がスパッタリン
グ装置の成膜時間で決まるので、高精度である、 ■ トラック加工をエツチングで行えるので、精度がよ
く量産性が高い、 等の効果がある。
第１図は、本発明の一実施例に係る垂直磁気記録用磁気
ヘッドの断面図、 第２図は、第１図に示した垂直磁気記録用磁気へ、ドの
要部拡大断面図、 第３図（ａｌ〜ｔｅｌは第１図中に示した基板の順次の
製造工程を示す斜視図、 第４図＋ａｌ〜（ｄｌは第１図に示した垂直磁気記録用
磁気ヘッドの順次の製造工程を示す斜視図、第５図は、
第１図に示した実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドの変
形例を示す断面図、第６図は、本発明の他の実施例に係
る垂直磁気記録用磁気ヘッドの斜視図、 第７図は、第６図に示した垂直磁気記録用磁気ヘッドの
製造に使用される基板を示す斜視図、第８図は、巻線用
コアと垂直磁気記録媒体との間隙対出力電圧の特性図、 第９図は、上側スライダと垂直磁気記録媒体との間隙対
出力電圧の特性図、 第１０図は、下側スライダと巻線用コアとの間隙対出力
電圧の特性図である。 図において、 １、ＩＡ・・基板、 １″ ・・・・下地層、 ２・・・・・主磁極膜、 ３．３Ａ・・保護膜、 ４・・・・・接着材、 ５・・・・・下側スライダ、 ６・・・・・記録再生用コイル、 ７・・・・・巻線用コア、 ８・・・・・上側スライダ、 ９・・・・・垂直磁気記録媒体、 ＩＯ・・・・・ベースフィルム、 １１・・・・・高ｉ３磁率層、 １２・・・・・垂直磁気記録層である。 第３図 第３図 第４図 第４図 第６図 第７図 第８図 Ｂ（ｐｍ） 第９図 第１０図
ヘッドの断面図、 第２図は、第１図に示した垂直磁気記録用磁気へ、ドの
要部拡大断面図、 第３図（ａｌ〜ｔｅｌは第１図中に示した基板の順次の
製造工程を示す斜視図、 第４図＋ａｌ〜（ｄｌは第１図に示した垂直磁気記録用
磁気ヘッドの順次の製造工程を示す斜視図、第５図は、
第１図に示した実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドの変
形例を示す断面図、第６図は、本発明の他の実施例に係
る垂直磁気記録用磁気ヘッドの斜視図、 第７図は、第６図に示した垂直磁気記録用磁気ヘッドの
製造に使用される基板を示す斜視図、第８図は、巻線用
コアと垂直磁気記録媒体との間隙対出力電圧の特性図、 第９図は、上側スライダと垂直磁気記録媒体との間隙対
出力電圧の特性図、 第１０図は、下側スライダと巻線用コアとの間隙対出力
電圧の特性図である。 図において、 １、ＩＡ・・基板、 １″ ・・・・下地層、 ２・・・・・主磁極膜、 ３．３Ａ・・保護膜、 ４・・・・・接着材、 ５・・・・・下側スライダ、 ６・・・・・記録再生用コイル、 ７・・・・・巻線用コア、 ８・・・・・上側スライダ、 ９・・・・・垂直磁気記録媒体、 ＩＯ・・・・・ベースフィルム、 １１・・・・・高ｉ３磁率層、 １２・・・・・垂直磁気記録層である。 第３図 第３図 第４図 第４図 第６図 第７図 第８図 Ｂ（ｐｍ） 第９図 第１０図
Claims (3)
- （１）主磁極励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおい
て、 磁性体からなる下側スライダと、磁性体からなる巻線用
コアと、一端面が上記巻線用コアの上面上に位置するよ
うに設けられた非磁性体からなる基板と、この基板の上
記一端面に形成された主磁極膜と、上記下側スライダと
垂直磁気記録媒体を介して対向する磁性体からなる上側
スライダとを備えることを特徴とする垂直磁気記録用磁
気ヘッド。 - （２）上記上側スライダと上記垂直磁気記録媒体との間
隙および上記下側スライダと上記垂直磁気記録媒体との
間隙がほぼ零であるとともに、上記巻線用コアの上面と
上記垂直磁気記録媒体との間隙、上記巻線用コアの上面
内端部と上記下側スライダの間隙および上記巻線用コア
の上面内端部と上記主磁極膜との間隔が１ないし５０μ
ｍの範囲にあることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。 - （３）基板上に非磁性材を成膜することによって下地層
を形成する工程と、上記下地層上に磁性材を成膜するこ
とによって主磁極膜を形成する工程と、上記主磁極膜を
所定の幅を有するストライプ状のパターンに加工する工
程と、上記下地層および上記主磁極膜上に非磁性材を成
膜することによって保護膜を形成する工程と、上記基板
を所望の寸法となるように切断する工程と、スライダに
巻線用コアの両端部を接着材を介して接着する工程と、
上記巻線用コアの上端部を含む上記スライダの上面部を
研削して段部を形成する工程と、上記主磁極膜が上記巻
線用コア上に位置するように上記基板を上記段部に貼設
する工程と、上記スライダを研削してパッド面およびエ
アグループを形成する工程と、上記巻線用コアに巻線を
施す工程とを含むことを特徴とする垂直磁気記録用磁気
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61043614A JPS62200517A (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
| KR1019860008427A KR900004743B1 (ko) | 1986-02-27 | 1986-10-08 | 수직 자기기록용 자기헤드 및 그 제조방법 |
| US07/000,885 US4811142A (en) | 1986-02-27 | 1987-01-06 | Magnetic head for vertical magnetic recording and method of producing same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61043614A JPS62200517A (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62200517A true JPS62200517A (ja) | 1987-09-04 |
Family
ID=12668715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61043614A Pending JPS62200517A (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4811142A (ja) |
| JP (1) | JPS62200517A (ja) |
| KR (1) | KR900004743B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006335443A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Sato Corp | 携帯式ラベル印字貼付装置 |
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|---|---|---|---|---|
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| US6320725B1 (en) * | 1989-11-27 | 2001-11-20 | Censtor Corporation | Hard disk drive having ring head with predominantly perpendicular media fields |
| JP2543641B2 (ja) * | 1991-11-18 | 1996-10-16 | 日本碍子株式会社 | 固定磁気ディスク装置用コアスライダおよびその製造方法 |
| US7100266B2 (en) * | 2001-05-16 | 2006-09-05 | Seagate Technology Llc | Method of forming a beveled writing pole of a perpendicular writing element |
| US20050219743A1 (en) * | 2004-04-06 | 2005-10-06 | Headway Technologies, Inc. | Perpendicular write head with tapered main pole |
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| JP2011123950A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 垂直記録用磁気ヘッド |
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| JPS60136004A (ja) * | 1983-12-22 | 1985-07-19 | Fujitsu Ltd | 垂直磁化記録用ヘツドの製造方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPS6022406B2 (ja) * | 1979-12-13 | 1985-06-01 | 富士通株式会社 | 垂直磁気記録再生用ヘッド |
| JPS57205811A (en) * | 1981-06-15 | 1982-12-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Vertical magnetization type magnetic head |
| US4555739A (en) * | 1982-11-26 | 1985-11-26 | International Business Machines Corporation | Semi self-loading ferrite head |
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| FR2559296B1 (fr) * | 1984-02-03 | 1988-12-30 | Commissariat Energie Atomique | Nouveau patin du type catamaran pour tetes magnetiques d'enregistrement et son procede de fabrication |
| US4720757A (en) * | 1984-07-04 | 1988-01-19 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head for vertical magnetic recording and process for producing the same |
| JPS61126606A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-14 | Alps Electric Co Ltd | 垂直磁気記録用磁気ヘツド |
| JPS61222006A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-10-02 | Akai Electric Co Ltd | 垂直記録再生用磁気ヘツド |
-
1986
- 1986-02-27 JP JP61043614A patent/JPS62200517A/ja active Pending
- 1986-10-08 KR KR1019860008427A patent/KR900004743B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1987
- 1987-01-06 US US07/000,885 patent/US4811142A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4811142A (en) | 1989-03-07 |
| KR900004743B1 (ko) | 1990-07-05 |
| KR870008283A (ko) | 1987-09-25 |
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