JPH01162176A - 検査装置 - Google Patents

検査装置

Info

Publication number
JPH01162176A
JPH01162176A JP62322194A JP32219487A JPH01162176A JP H01162176 A JPH01162176 A JP H01162176A JP 62322194 A JP62322194 A JP 62322194A JP 32219487 A JP32219487 A JP 32219487A JP H01162176 A JPH01162176 A JP H01162176A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base
interface
divided
probe
bases
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62322194A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0789142B2 (ja
Inventor
Tatsumi Sasaki
佐々木 巽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to JP62322194A priority Critical patent/JPH0789142B2/ja
Publication of JPH01162176A publication Critical patent/JPH01162176A/ja
Publication of JPH0789142B2 publication Critical patent/JPH0789142B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、例えば回路基板に各種電子部品を実装して組
み立てられた電子回路基板等を被測定体とし、この被測
定体を機能検査する検査装置に関する。
(従来の技術) この種の検査装置では、回路基板とテスターとの間に、
テストフィクチャーと呼ばれる部材を配置し、回路基板
のパターン面とテスターの出力端子とを接続することで
、前記回路基板の機能検査を実行するようになっている
ここで、従来のテストフィクチャーは、第4図に示すよ
うに、プローブベース1.インターフェースベース2と
称される2枚のベース1,2をそれぞれ対向するように
支持ベース3に固定して構成される。
前記プローブベース1とは、回路基板のパターンと対向
して配置され、一端5aが前記パターン面と接触し、他
端5b側に線材4が接続されるプローブピン5を配列支
持したものであり、前記インターフェースベース2とは
、前記プローブビン5と対向する一端6aに前記線材4
を接続し、その他端6bをテスターの出力端子に接触さ
せるインターフェースピン6を配列支持したものである
(発明が解決しようとする問題点) 上述した構成の検査装置では、前記プローブベース1と
インターフェースベース2とのそれぞれ対向する面側に
配置される前記ピン端子5b。
6aに線材4を配線する必要があり、2枚のベース1.
2を前記支持ベース3に固定した状態では、手作業によ
る前記配線を実行することが不可能である。
そこで、従来は、第5図に示すように、プローブベース
1のみを前記支持ベース3に固定し、インターフェース
ベース2の前記ピン端子6aが外側に向くような状態で
両ビン端子5b、6aに配線をせざるを得なかった。
このため、前記線材4の長さは、インターフェースベー
ス2を第5図の状態に設定することができるように十分
長くする必要があった。
ところで、このように線材4の長さを長くすると、この
線材4によって伝送される検査信号にノイズが重畳した
場合、特に、この検査信号が高周波信号の場合には、ノ
イズが信号として検出されてしまい、正確な機能検査が
実行できないという問題があった。
そこで、本発明の目的とするところは、上述した従来の
問題点を解決し、プローブビン、インターフェースピン
接続用の線材長さを従来よりも大幅に短くすることがで
き、もって検査信号に重畳するノイズを低減し、正確な
機能検査を実行することができる検査装置を提供するこ
とにある。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、多数の測定端が平面的に存在する被測定体と
、この被測定体の各測定端に対応して配置され、一端が
測定端に接触し、他端側かテスターに接続されるプロー
ブビンを配列支持したプローブベースと、このプローブ
ベース及びテスター間を中継接続するインターフェース
ベースとを有する検査装置において、 前記インターフェースベースは、少なくとも横又は縦方
向の一列毎に分割された複数の分割ベースに前記インタ
ーフェースピンを支持した構成としている。
(作用) 本発明では、インターフェースベースを、縦又は横方向
でインターフェースピンの一列毎に分割した複数の分割
ベースとして構成している。そして、このテストフィク
チャーを製造する際には、先ず、プローブベースを支持
ベースに固定しておく。
そして、端から順に分割ベースを前記支持ベースに取り
付けてゆき、この取り付けを行う毎に、分割ベースに支
持されたインターフェースピンと前記プローブベースに
支持されたプローブビンとを、検査装置の配線情報を基
に線材によって接続することになる。
この場合、インターフェースベースが分割されているの
で、この分割ベースを裏返して作業し易い方向に向けて
線材の接続作業を行っても、従来の一枚のベースから成
るインターフェースベースを使用した場合に比べれば、
前記線材の長さをほぼ4分の1程度に短くすることが可
能となる。
尚、前記分割ベースを支持ベースに対して回転自在に構
成しておけば、上記作業をより簡易に実行することがで
き、作業性の向上をも図ることができる。
(実施例) 以下、本発明を回路基板検査装置に適用した一実施例に
ついて、図面を参照して具体的に説明する。
まず、実施例装置の全体の概要について、第3図を参照
して説明する。
本実施例装置を大別すれば、被検査体である電子部品を
実装した回路基板10と、この回路基板10の機能検査
を実行するためのテスター20と、前記回路基板10を
載置固定し、かつ、この回路基板10のパターン面と前
記テスター20の出力端子とを接続するテストフィクチ
ャー的0とから構成されている。
前記テスター20は、前記テストフィクチャー30を昇
降可能に支持するりフタ−21と、前記テストフィクチ
ャー30の後述する支持ベース60を位置決め案内する
案内部材の一例であるロケーティングピン22と、前記
支持ベース60を真空吸引するためのバキュームポート
23と、前記テストフィクチャー30と対向する面上に
、テスター20の出力端子であるスプリング付きコンタ
クトプローブ24とを有して構成されている。
次に、本実施例装置の特徴的構成である前記テストフィ
クチャー30について、第1図、第2図を参照して説明
する。
前記テストフィクチャー30は、プローブベース40及
びインターフェースベース50を有し、この各ベース4
0.50は前記支持ベース60に離間して平行に配置固
定されるようになっている。
まず、プローブベース40.インターフェースピン50
の取り付は構造について説明すると、第1図に示すよう
に前記テストフィクチャー20の基台となる前記支持ベ
ース60に前記インターフェースベース50が固定され
ている。また、前記支持ベース60には支柱61が垂直
に支持固定されている。
次に、前記プローブベース40について説明する。
前記プローブベース40は、前記回路基板1の部品実装
面とは反対側のパターン面と接触するプローブピン41
を支持するベースである。
前記プローブビン41は、第1図に詳図するように、そ
の両端に電気的に導通する接続片41a。
41bを有し、上側の前記接続片41aは、同図の矢印
方向である軸方向の一端側に突出付勢されるように、ス
プリングピン構造となっている。
このプローブビン41は、前記プローブベース40に形
成した挿入穴40aに挿入されて支持固定されている。
また、前記プローブベース40の上面には、前記各プロ
ーブビン41の配列位置に対応してガイド穴35aを有
するピンガイドプレート35がプレートガイド36によ
って取り付は案内され、かつ、圧縮コイルスプリング3
7によって常時上方に付勢されている。そして、前記ガ
イド穴35aに挿通されることにより、前記プローブビ
ン41を回路基板10のパターン面に正確に接触できる
ように構成している。さらに、前記ピンガイドプレート
35上には、回路基板10用のガイドピン38が垂直に
立設され、前記基板10をピンガイドプレート35上で
正確に位置決めできるようになっている。
次に、前記インターフェースベース50について説明す
る。
このインターフェースベース50は、前記テスター20
のスプリング付きコンタクトプローブ24と接触して、
インターフェースとしての機能を有するベースであり、
このベース50には、前記テスター20のスプリング付
きコンタクトプローブ24と対向する各位置に、インタ
ーフェースピン51が支持されている。このインターフ
ェースピン51は、その両端に電気的に導通する接続片
51a、51bを有して構成されている。
また、前記インターフェースベース50には、前記テス
ター20のロケーティングピン22に挿通される被案内
部材であるガイド穴が形成され、前記テスター側との正
確な位置決めが成されるようになっている。
尚、このインターフェースベース50は、後述するよう
に、テスター20側に真空吸引されるので、テスター2
0側に空気の流入を防止する構造となっている。
次に、前記インターフェースベース50の特徴的構成に
ついて説明する。
このインターフェースベース50は、第2図に示すよう
に、マトリクス状の各位置に配置されたインターフェー
スピン51の一列ごとに、例えば縦方向に分割された複
数の分割ベース52から構成されている。
そして、この各分割ベース52は、前記支持ベース60
の両側よりボルト53によって独立して固定できるよう
に構成されている。すなわち、前記支持ベース60の両
縁60aには、対向した穴65が設けられ、一方、前記
各分割ベース52には前記穴65に対向する位置にネジ
穴52aを有している。そして、前記ボルト53を前記
支持ベース60の穴65を介し前記ネジ穴52aに螺合
することで、前記分割ベース52を支持ベース60に固
定できるようになっている。尚、前記ボルト53を完全
に締め付けない状態にあっては、前記ボルト53が回転
軸となって穴65に支持されて回転自在であり、この結
果、前記分割ベース52が回転できるようになっている
また、前記プローブベース40に固定されたプローブビ
ン41の接続片41aと、前記インターフェースベース
50に支持されたインターフェースピン51の接続片5
1aとは、線材70によって接続されるようになってい
る。
次に、作用について説明する。
まず、この検査装置の組み立てについて説明する。
この検査装置は、各種基板の種類に合わせて個別的に製
造する必要があり、このなめに線材7゜を回路基板10
に合わせて前記プローブビン41とインターフェースピ
ン51とにラッピングする必要がある。
そこで、第2図の例えば左端の分割ベース52から順に
一つづつ分割ベース52を前記支持ベース60にボルト
53によって仮止めし、この仮止めの状態で前記プロー
ブビン41に一端を接続した線材70の他端を、所定の
インターフェースピン51にラッピングによって接続す
る。
ここで、このラッピングを実行する場合、前記分割ベー
ス52上のインターフェースピン51に前記線材70を
接続すべき接続片51aが外側(前記プローブビン41
に対向しない向き)になるように、前記ボルト53を回
転軸として分割ベース52を回転して行う。このように
すれば、外側に向いた前記接続片51aに対するラッピ
ングを容易に実行することができる。
そして、−枚の前記分割ベース52に対する前記ラッピ
ングが終了したら、この分割ベース52を回転して前記
プローブビン41の下側接続片41bとインターフェー
スピン51の上側接続片51aとが対向するように設定
し、その後前記ボルト53の本締めにより固定する。
以降、第2図の例えば左側の分割ベース52がら凧に上
記作業を繰り返すことで、全ての分割ベース52に対す
るラッピング処理を容易に実行することができる。
ここで、−列に分割された分割ベース52毎に線材70
の接続を実行しているので、従来の第5図に示すものの
ように、−枚の大きなインターフェースベース上のイン
ターフェースピンにラッピングを行うものに比べれば、
前記線材の長さが明らかに短くて済む。
このようにして構成されるテストフィクチャー30を用
いての前記回路基板10の検査について説明する。
前記テスター20のバキュームポート23によって前記
テストフィクチャー30の基台である支持ベース60を
テスター、20側に吸引し、前記インターフェースベー
ス50に支持されているインターフェースピン51の接
続片51bを前記テスター20のスプリング付きコンタ
クトプローブ24に接触させる。
このような状態に設定した後、前記テスター20によっ
て、前記回路基板10に通電し、所定の機能検査を実行
することができる。
ここで、前記プローブビン41とインターフェースピン
51とを接続する前記線材70の長さが従来よりも大幅
に短くなっているので、線材70の引き回し時に重畳す
るノイズが大幅に少なくなり、たとえ高周波信号が伝送
される場合であっても、重畳するノイズが少ないのでよ
り正確な機能検査を実行することが可能となる。
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
例えば、上記実施例では、分割ベース52を回転自在に
構成し、線材70の接続作業の簡易化を図ったが、必ず
しもこれに限定されるものではなく、要はインターフェ
ースベース50を各列毎に分割しておけば、線材70の
長さを短くできるという本発明の効果を奏することがで
きる。
また、より作業の簡易化を図るためには、前記分割ベー
ス52を回転自在とすると共に、この分割ベース52が
作業しやすい位置で停止できるように回転ストッパーを
具備するようにしても良い。
尚、前記分割ベース52を得るための分割方向について
言及すれば、この分割の方法はテスター20の出力端子
のグループ毎に対応するものが好ましく、すなわち、イ
ンターフェースピン51への接続は、テスター20の出
力端子の配置と対応関係があるからである。従って、上
記実施例のように縦方向で分割するものに限らず、横方
向に分割してもよいことは言うまでもない。
また、上記実施例では、回路基板検査装置について説明
したが、マトリックス液晶表示装置の駆動回路等に適用
しても同様な効果が得られる。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によればインターフェース
ベースを一列毎に分割した構成であるので、プローブベ
ース上のプローブピンとインターフェースピンとの接続
のための線材を従来より短くして接続することが可能と
なり、もって、信号に重畳するノイズの低減が図れるの
で、特に検出信号が高周波信号であっても常時的確な機
能検査を実行することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例である回路基板装置における
テストフィクチャーの断面構造を示す断面図、 第2図は第1図のテストフィクチャーにおけるインター
フェースベースの平面図、 第3図は第1図のテストフィクチャーを用いた検査装置
の全体構成を示す概略説明図、第4図は従来の検査装置
の概略説明図、第5図は従来のテストフィクチャーの組
み立て作業を示す概略説明図である。 10・・・回路基板、 20・・・テスター、 30・・・テストフィクチャー、 40・・・プローブベース、 41・・・プローブピン、 50・・・インターフェースベース、 51・・・インターフェースピン、 52・・・分割ベース、 60・・・支持ベース、 70・・・線材。 代理人 弁理士 井 上  −(他1名)第2図 60G           60 第3図 2oテスター 箆5図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)多数の測定端が平面的に存在する被測定体と、こ
    の被測定体の各測定端に対応して配置され、一端が測定
    端に接触し、他端側がテスターに接続されるプローブピ
    ンを配列支持したプローブベースと、このプローブベー
    ス及びテスター間をインターフェースピンを介して中継
    接続するインターフェースベースとを有する検査装置に
    おいて、前記インターフェースベースは、少なくとも横
    又は縦方向の一列毎に分割された複数の分割ベースに前
    記インターフェースピンを支持して構成したことを特徴
    とする検査装置。
  2. (2)各分割ベースは、前記プローブピンとの接続端側
    を、前記プローブベースと対面しない側に回転できるよ
    うに、回転自在に支持されるものである特許請求の範囲
    第1項記載の検査装置。
  3. (3)被測定体は回路基板である特許請求の範囲第1項
    又は第2項記載の検査装置。
  4. (4)被測定体は液晶駆動回路である特許請求の範囲第
    1項又は第2項記載の検査装置。
JP62322194A 1987-12-18 1987-12-18 検査装置 Expired - Lifetime JPH0789142B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62322194A JPH0789142B2 (ja) 1987-12-18 1987-12-18 検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62322194A JPH0789142B2 (ja) 1987-12-18 1987-12-18 検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01162176A true JPH01162176A (ja) 1989-06-26
JPH0789142B2 JPH0789142B2 (ja) 1995-09-27

Family

ID=18140995

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62322194A Expired - Lifetime JPH0789142B2 (ja) 1987-12-18 1987-12-18 検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0789142B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008191064A (ja) * 2007-02-07 2008-08-21 Produce:Kk アクティブプローブを備えた電気特性検査装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008191064A (ja) * 2007-02-07 2008-08-21 Produce:Kk アクティブプローブを備えた電気特性検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0789142B2 (ja) 1995-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3388307B2 (ja) プローブカード及びその組立方法
CA2324135C (en) Apparatus for testing bare-chip lsi mounting board
JPH01162176A (ja) 検査装置
KR0155573B1 (ko) 반도체 디바이스의 검사장치
JPH07201935A (ja) プローブカード及び検査方法
JPH1019960A (ja) 印刷配線板テスタ用のトランスレータ固定装置
JPH07122601A (ja) プローブ装置及びそのメンテナンス用治具
KR20050067759A (ko) 반도체 검사장치
JP3361982B2 (ja) 複数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法
KR0163850B1 (ko) 시퀀스부품검사장치
KR100276102B1 (ko) 웨이퍼 검사기의 헤드캐비넷 구조와 프로브 카드 장착구조
JPH026376Y2 (ja)
JPS59147277A (ja) 半導体集積回路の測定装置
JPH01131472A (ja) 回路基板検査装置
JPS6161560B2 (ja)
JPH0729636Y2 (ja) 半導体ウェハー検査装置
JPH08297150A (ja) Icソケットの検査装置
KR20050067760A (ko) 반도체 검사장치
JPH022901A (ja) 配線基板端子ピンの長さ検査機構
JPS63211642A (ja) 半導体試験装置
JPH01263572A (ja) 半導体塔載基板試験装置
JPH01287476A (ja) 回路基板の電気検査装置
JPH05164822A (ja) 実装回路装置の検査方法
JPH03185361A (ja) プロービング装置
JPH05133992A (ja) 回路基板検査方法と検査基板並びに回路基板検査装置