JPH01162176A - Testing device - Google Patents

Testing device

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JPH01162176A
JPH01162176A JP62322194A JP32219487A JPH01162176A JP H01162176 A JPH01162176 A JP H01162176A JP 62322194 A JP62322194 A JP 62322194A JP 32219487 A JP32219487 A JP 32219487A JP H01162176 A JPH01162176 A JP H01162176A
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divided
probe
bases
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Tatsumi Sasaki
佐々木 巽
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce the length of a wire rod and lower noises overlapping with a testing signal, by constituting an interface base of a plurality of bases divided every lateral or longitudinal row. CONSTITUTION:An interface base 50 is constituted of a plurality of bases 52 which are divided every row of interface pins 51 in a lateral or longitudinal direction. In manufacturing a test fixture 30, first of all, a probe base is fixed to a supporting base 60. Then, the divided bases are sequentially mounted from a first one on the supporting base 60. Every time the divided base is mounted on the supporting base, the interface pin 51 supported by the divided base 52 is connected to a probe pin 41 supported by the probe base 40 by a wire rod based on wiring informations of a testing device. In this case, since the base 50 is divided into many bases 52, it is possible to shorten the length of the wire rod to be approximately 1/4 of that in the case where an interface base constituted by one single base is used.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、例えば回路基板に各種電子部品を実装して組
み立てられた電子回路基板等を被測定体とし、この被測
定体を機能検査する検査装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Field of Application) The present invention uses, for example, an electronic circuit board assembled by mounting various electronic components on a circuit board as an object to be measured. The present invention relates to a testing device for functionally testing the body.

(従来の技術) この種の検査装置では、回路基板とテスターとの間に、
テストフィクチャーと呼ばれる部材を配置し、回路基板
のパターン面とテスターの出力端子とを接続することで
、前記回路基板の機能検査を実行するようになっている
(Prior art) In this type of testing equipment, there is a gap between the circuit board and the tester.
A functional test of the circuit board is performed by arranging a member called a test fixture and connecting the pattern surface of the circuit board to the output terminal of the tester.

ここで、従来のテストフィクチャーは、第4図に示すよ
うに、プローブベース1.インターフェースベース2と
称される2枚のベース1,2をそれぞれ対向するように
支持ベース3に固定して構成される。
Here, as shown in FIG. 4, the conventional test fixture has a probe base 1. It is constructed by fixing two bases 1 and 2, called interface bases 2, to a support base 3 so as to face each other.

前記プローブベース1とは、回路基板のパターンと対向
して配置され、一端5aが前記パターン面と接触し、他
端5b側に線材4が接続されるプローブピン5を配列支
持したものであり、前記インターフェースベース2とは
、前記プローブビン5と対向する一端6aに前記線材4
を接続し、その他端6bをテスターの出力端子に接触さ
せるインターフェースピン6を配列支持したものである
The probe base 1 is arranged to support an array of probe pins 5, which are disposed facing the pattern of the circuit board, one end 5a is in contact with the pattern surface, and the other end 5b is connected to the wire rod 4. The interface base 2 has the wire rod 4 at one end 6a facing the probe bin 5.
The interface pins 6 are arrayed and supported, and the other end 6b is brought into contact with the output terminal of the tester.

(発明が解決しようとする問題点) 上述した構成の検査装置では、前記プローブベース1と
インターフェースベース2とのそれぞれ対向する面側に
配置される前記ピン端子5b。
(Problems to be Solved by the Invention) In the inspection apparatus configured as described above, the pin terminals 5b are arranged on opposing surfaces of the probe base 1 and the interface base 2, respectively.

6aに線材4を配線する必要があり、2枚のベース1.
2を前記支持ベース3に固定した状態では、手作業によ
る前記配線を実行することが不可能である。
It is necessary to wire the wire 4 to the base 6a, and the two bases 1.
2 is fixed to the support base 3, it is impossible to carry out the wiring manually.

そこで、従来は、第5図に示すように、プローブベース
1のみを前記支持ベース3に固定し、インターフェース
ベース2の前記ピン端子6aが外側に向くような状態で
両ビン端子5b、6aに配線をせざるを得なかった。
Therefore, conventionally, as shown in FIG. 5, only the probe base 1 is fixed to the support base 3, and wires are wired to both the pin terminals 5b and 6a with the pin terminal 6a of the interface base 2 facing outward. I had no choice but to.

このため、前記線材4の長さは、インターフェースベー
ス2を第5図の状態に設定することができるように十分
長くする必要があった。
Therefore, the length of the wire 4 had to be sufficiently long so that the interface base 2 could be set in the state shown in FIG.

ところで、このように線材4の長さを長くすると、この
線材4によって伝送される検査信号にノイズが重畳した
場合、特に、この検査信号が高周波信号の場合には、ノ
イズが信号として検出されてしまい、正確な機能検査が
実行できないという問題があった。
By the way, if the length of the wire 4 is increased in this way, if noise is superimposed on the test signal transmitted by the wire 4, especially if this test signal is a high frequency signal, the noise will not be detected as a signal. Therefore, there was a problem that an accurate functional test could not be performed.

そこで、本発明の目的とするところは、上述した従来の
問題点を解決し、プローブビン、インターフェースピン
接続用の線材長さを従来よりも大幅に短くすることがで
き、もって検査信号に重畳するノイズを低減し、正確な
機能検査を実行することができる検査装置を提供するこ
とにある。
Therefore, it is an object of the present invention to solve the above-mentioned conventional problems, and to make it possible to significantly shorten the length of the wire for connecting probe bins and interface pins compared to the conventional method, thereby reducing superimposition on inspection signals. An object of the present invention is to provide an inspection device that can reduce noise and perform accurate functional inspection.

[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、多数の測定端が平面的に存在する被測定体と
、この被測定体の各測定端に対応して配置され、一端が
測定端に接触し、他端側かテスターに接続されるプロー
ブビンを配列支持したプローブベースと、このプローブ
ベース及びテスター間を中継接続するインターフェース
ベースとを有する検査装置において、 前記インターフェースベースは、少なくとも横又は縦方
向の一列毎に分割された複数の分割ベースに前記インタ
ーフェースピンを支持した構成としている。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention provides an object to be measured in which a large number of measuring ends are present in a plane, and one end of the object is arranged corresponding to each measuring end of the object to be measured. In an inspection device, the inspection device has a probe base that supports an array of probe bins that are in contact with a measurement end and are connected to a tester at the other end, and an interface base that connects the probe base and the tester via relay, the interface base comprising: The interface pins are supported by a plurality of divided bases divided into at least one row in the horizontal or vertical direction.

(作用) 本発明では、インターフェースベースを、縦又は横方向
でインターフェースピンの一列毎に分割した複数の分割
ベースとして構成している。そして、このテストフィク
チャーを製造する際には、先ず、プローブベースを支持
ベースに固定しておく。
(Function) In the present invention, the interface base is configured as a plurality of divided bases divided into each row of interface pins in the vertical or horizontal direction. When manufacturing this test fixture, first, the probe base is fixed to the support base.

そして、端から順に分割ベースを前記支持ベースに取り
付けてゆき、この取り付けを行う毎に、分割ベースに支
持されたインターフェースピンと前記プローブベースに
支持されたプローブビンとを、検査装置の配線情報を基
に線材によって接続することになる。
Then, the divided bases are attached to the support base in order from the end, and each time the divided bases are attached, the interface pins supported by the divided bases and the probe bins supported by the probe base are connected based on the wiring information of the inspection device. It will be connected by wire.

この場合、インターフェースベースが分割されているの
で、この分割ベースを裏返して作業し易い方向に向けて
線材の接続作業を行っても、従来の一枚のベースから成
るインターフェースベースを使用した場合に比べれば、
前記線材の長さをほぼ4分の1程度に短くすることが可
能となる。
In this case, since the interface base is divided, even if you turn the divided base over and face it in the direction that is easier to work with when connecting the wires, it will be easier to connect the wire than when using the conventional interface base consisting of a single base. Ba,
It becomes possible to shorten the length of the wire to approximately one-fourth.

尚、前記分割ベースを支持ベースに対して回転自在に構
成しておけば、上記作業をより簡易に実行することがで
き、作業性の向上をも図ることができる。
Incidentally, if the divided base is configured to be rotatable with respect to the support base, the above-mentioned work can be performed more easily, and work efficiency can also be improved.

(実施例) 以下、本発明を回路基板検査装置に適用した一実施例に
ついて、図面を参照して具体的に説明する。
(Example) Hereinafter, an example in which the present invention is applied to a circuit board inspection device will be specifically described with reference to the drawings.

まず、実施例装置の全体の概要について、第3図を参照
して説明する。
First, the overall outline of the embodiment apparatus will be explained with reference to FIG. 3.

本実施例装置を大別すれば、被検査体である電子部品を
実装した回路基板10と、この回路基板10の機能検査
を実行するためのテスター20と、前記回路基板10を
載置固定し、かつ、この回路基板10のパターン面と前
記テスター20の出力端子とを接続するテストフィクチ
ャー的0とから構成されている。
The apparatus of this embodiment can be roughly divided into a circuit board 10 on which an electronic component is mounted as an object to be inspected, a tester 20 for performing a functional test of this circuit board 10, and a tester 20 on which the circuit board 10 is placed and fixed. , and a test fixture 0 connecting the pattern surface of the circuit board 10 and the output terminal of the tester 20.

前記テスター20は、前記テストフィクチャー30を昇
降可能に支持するりフタ−21と、前記テストフィクチ
ャー30の後述する支持ベース60を位置決め案内する
案内部材の一例であるロケーティングピン22と、前記
支持ベース60を真空吸引するためのバキュームポート
23と、前記テストフィクチャー30と対向する面上に
、テスター20の出力端子であるスプリング付きコンタ
クトプローブ24とを有して構成されている。
The tester 20 includes a lid 21 that supports the test fixture 30 in a vertically movable manner, a locating pin 22 that is an example of a guide member that positions and guides a support base 60 of the test fixture 30, which will be described later. It has a vacuum port 23 for vacuum suctioning the support base 60, and a contact probe 24 with a spring, which is an output terminal of the tester 20, on the surface facing the test fixture 30.

次に、本実施例装置の特徴的構成である前記テストフィ
クチャー30について、第1図、第2図を参照して説明
する。
Next, the test fixture 30, which is a characteristic configuration of the apparatus of this embodiment, will be explained with reference to FIGS. 1 and 2.

前記テストフィクチャー30は、プローブベース40及
びインターフェースベース50を有し、この各ベース4
0.50は前記支持ベース60に離間して平行に配置固
定されるようになっている。
The test fixture 30 has a probe base 40 and an interface base 50, each of which has a probe base 40 and an interface base 50.
0.50 are arranged and fixed to the support base 60 at a distance and parallel to each other.

まず、プローブベース40.インターフェースピン50
の取り付は構造について説明すると、第1図に示すよう
に前記テストフィクチャー20の基台となる前記支持ベ
ース60に前記インターフェースベース50が固定され
ている。また、前記支持ベース60には支柱61が垂直
に支持固定されている。
First, probe base 40. interface pin 50
Regarding the installation structure, as shown in FIG. 1, the interface base 50 is fixed to the support base 60, which serves as the base of the test fixture 20. Further, a column 61 is vertically supported and fixed to the support base 60.

次に、前記プローブベース40について説明する。Next, the probe base 40 will be explained.

前記プローブベース40は、前記回路基板1の部品実装
面とは反対側のパターン面と接触するプローブピン41
を支持するベースである。
The probe base 40 has a probe pin 41 that contacts the pattern surface of the circuit board 1 on the opposite side from the component mounting surface.
This is the basis for supporting.

前記プローブビン41は、第1図に詳図するように、そ
の両端に電気的に導通する接続片41a。
As shown in detail in FIG. 1, the probe bin 41 has a connecting piece 41a electrically connected to both ends thereof.

41bを有し、上側の前記接続片41aは、同図の矢印
方向である軸方向の一端側に突出付勢されるように、ス
プリングピン構造となっている。
41b, and the upper connection piece 41a has a spring pin structure so as to be biased to protrude toward one end in the axial direction, which is the direction of the arrow in the figure.

このプローブビン41は、前記プローブベース40に形
成した挿入穴40aに挿入されて支持固定されている。
The probe bottle 41 is inserted into an insertion hole 40a formed in the probe base 40 and is supported and fixed.

また、前記プローブベース40の上面には、前記各プロ
ーブビン41の配列位置に対応してガイド穴35aを有
するピンガイドプレート35がプレートガイド36によ
って取り付は案内され、かつ、圧縮コイルスプリング3
7によって常時上方に付勢されている。そして、前記ガ
イド穴35aに挿通されることにより、前記プローブビ
ン41を回路基板10のパターン面に正確に接触できる
ように構成している。さらに、前記ピンガイドプレート
35上には、回路基板10用のガイドピン38が垂直に
立設され、前記基板10をピンガイドプレート35上で
正確に位置決めできるようになっている。
Further, on the upper surface of the probe base 40, a pin guide plate 35 having guide holes 35a corresponding to the array positions of the probe bins 41 is installed and guided by a plate guide 36, and a compression coil spring 3
7, it is always urged upward. The probe bin 41 is configured to be able to accurately contact the pattern surface of the circuit board 10 by being inserted into the guide hole 35a. Furthermore, guide pins 38 for the circuit board 10 are vertically provided on the pin guide plate 35, so that the board 10 can be accurately positioned on the pin guide plate 35.

次に、前記インターフェースベース50について説明す
る。
Next, the interface base 50 will be explained.

このインターフェースベース50は、前記テスター20
のスプリング付きコンタクトプローブ24と接触して、
インターフェースとしての機能を有するベースであり、
このベース50には、前記テスター20のスプリング付
きコンタクトプローブ24と対向する各位置に、インタ
ーフェースピン51が支持されている。このインターフ
ェースピン51は、その両端に電気的に導通する接続片
51a、51bを有して構成されている。
This interface base 50 is connected to the tester 20.
in contact with the spring-loaded contact probe 24 of
It is a base that functions as an interface,
Interface pins 51 are supported on this base 50 at respective positions facing the spring-equipped contact probes 24 of the tester 20. This interface pin 51 has connecting pieces 51a and 51b electrically connected to each other at both ends thereof.

また、前記インターフェースベース50には、前記テス
ター20のロケーティングピン22に挿通される被案内
部材であるガイド穴が形成され、前記テスター側との正
確な位置決めが成されるようになっている。
Further, a guide hole is formed in the interface base 50, which is a guided member through which the locating pin 22 of the tester 20 is inserted, so that accurate positioning with respect to the tester can be achieved.

尚、このインターフェースベース50は、後述するよう
に、テスター20側に真空吸引されるので、テスター2
0側に空気の流入を防止する構造となっている。
Incidentally, as will be described later, this interface base 50 is vacuum-suctioned toward the tester 20.
It has a structure that prevents air from flowing into the 0 side.

次に、前記インターフェースベース50の特徴的構成に
ついて説明する。
Next, the characteristic configuration of the interface base 50 will be explained.

このインターフェースベース50は、第2図に示すよう
に、マトリクス状の各位置に配置されたインターフェー
スピン51の一列ごとに、例えば縦方向に分割された複
数の分割ベース52から構成されている。
As shown in FIG. 2, this interface base 50 is composed of a plurality of divided bases 52 that are divided, for example, in the vertical direction, for each row of interface pins 51 arranged at respective positions in a matrix.

そして、この各分割ベース52は、前記支持ベース60
の両側よりボルト53によって独立して固定できるよう
に構成されている。すなわち、前記支持ベース60の両
縁60aには、対向した穴65が設けられ、一方、前記
各分割ベース52には前記穴65に対向する位置にネジ
穴52aを有している。そして、前記ボルト53を前記
支持ベース60の穴65を介し前記ネジ穴52aに螺合
することで、前記分割ベース52を支持ベース60に固
定できるようになっている。尚、前記ボルト53を完全
に締め付けない状態にあっては、前記ボルト53が回転
軸となって穴65に支持されて回転自在であり、この結
果、前記分割ベース52が回転できるようになっている
Each divided base 52 is connected to the support base 60.
It is constructed so that it can be fixed independently with bolts 53 from both sides. That is, opposing holes 65 are provided on both edges 60a of the support base 60, and each divided base 52 has a screw hole 52a at a position opposite to the hole 65. The split base 52 can be fixed to the support base 60 by screwing the bolt 53 into the screw hole 52a through the hole 65 of the support base 60. Note that when the bolt 53 is not completely tightened, the bolt 53 becomes a rotating shaft and is supported in the hole 65 and is rotatable, and as a result, the divided base 52 can rotate. There is.

また、前記プローブベース40に固定されたプローブビ
ン41の接続片41aと、前記インターフェースベース
50に支持されたインターフェースピン51の接続片5
1aとは、線材70によって接続されるようになってい
る。
Further, a connection piece 41a of the probe bin 41 fixed to the probe base 40 and a connection piece 5 of the interface pin 51 supported by the interface base 50 are provided.
1a is connected by a wire 70.

次に、作用について説明する。Next, the effect will be explained.

まず、この検査装置の組み立てについて説明する。First, the assembly of this inspection device will be explained.

この検査装置は、各種基板の種類に合わせて個別的に製
造する必要があり、このなめに線材7゜を回路基板10
に合わせて前記プローブビン41とインターフェースピ
ン51とにラッピングする必要がある。
This inspection device needs to be manufactured individually according to the type of each board, and for this purpose, a 7° wire rod is attached to the circuit board 10.
It is necessary to wrap the probe bin 41 and interface pin 51 accordingly.

そこで、第2図の例えば左端の分割ベース52から順に
一つづつ分割ベース52を前記支持ベース60にボルト
53によって仮止めし、この仮止めの状態で前記プロー
ブビン41に一端を接続した線材70の他端を、所定の
インターフェースピン51にラッピングによって接続す
る。
Therefore, the divided bases 52 are temporarily fixed to the support base 60 one by one, starting from the left-most divided base 52 in FIG. The other end is connected to a predetermined interface pin 51 by wrapping.

ここで、このラッピングを実行する場合、前記分割ベー
ス52上のインターフェースピン51に前記線材70を
接続すべき接続片51aが外側(前記プローブビン41
に対向しない向き)になるように、前記ボルト53を回
転軸として分割ベース52を回転して行う。このように
すれば、外側に向いた前記接続片51aに対するラッピ
ングを容易に実行することができる。
Here, when performing this wrapping, the connection piece 51a to which the wire rod 70 is to be connected to the interface pin 51 on the split base 52 is placed on the outside (the probe bin 41
This is done by rotating the split base 52 using the bolt 53 as a rotation axis so that the split base 52 is oriented so that it is not facing the direction shown in FIG. In this way, it is possible to easily wrap the connecting piece 51a facing outward.

そして、−枚の前記分割ベース52に対する前記ラッピ
ングが終了したら、この分割ベース52を回転して前記
プローブビン41の下側接続片41bとインターフェー
スピン51の上側接続片51aとが対向するように設定
し、その後前記ボルト53の本締めにより固定する。
When the wrapping has been completed on - pieces of the divided bases 52, the divided bases 52 are rotated so that the lower connecting piece 41b of the probe bin 41 and the upper connecting piece 51a of the interface pin 51 are set to face each other. Then, the bolt 53 is fully tightened to fix it.

以降、第2図の例えば左側の分割ベース52がら凧に上
記作業を繰り返すことで、全ての分割ベース52に対す
るラッピング処理を容易に実行することができる。
Thereafter, by repeating the above-mentioned operation for the kite starting from, for example, the left divided base 52 in FIG. 2, the wrapping process for all the divided bases 52 can be easily performed.

ここで、−列に分割された分割ベース52毎に線材70
の接続を実行しているので、従来の第5図に示すものの
ように、−枚の大きなインターフェースベース上のイン
ターフェースピンにラッピングを行うものに比べれば、
前記線材の長さが明らかに短くて済む。
Here, for each divided base 52 divided into − rows, the wire rod 70
Compared to the conventional one shown in Figure 5, which wraps the interface pins on two large interface bases,
The length of the wire can be clearly shortened.

このようにして構成されるテストフィクチャー30を用
いての前記回路基板10の検査について説明する。
Inspection of the circuit board 10 using the test fixture 30 constructed in this way will be explained.

前記テスター20のバキュームポート23によって前記
テストフィクチャー30の基台である支持ベース60を
テスター、20側に吸引し、前記インターフェースベー
ス50に支持されているインターフェースピン51の接
続片51bを前記テスター20のスプリング付きコンタ
クトプローブ24に接触させる。
The support base 60, which is the base of the test fixture 30, is sucked toward the tester 20 side by the vacuum port 23 of the tester 20, and the connecting piece 51b of the interface pin 51 supported by the interface base 50 is moved to the tester 20. contact probe 24 with a spring.

このような状態に設定した後、前記テスター20によっ
て、前記回路基板10に通電し、所定の機能検査を実行
することができる。
After setting such a state, the tester 20 can energize the circuit board 10 and perform a predetermined functional test.

ここで、前記プローブビン41とインターフェースピン
51とを接続する前記線材70の長さが従来よりも大幅
に短くなっているので、線材70の引き回し時に重畳す
るノイズが大幅に少なくなり、たとえ高周波信号が伝送
される場合であっても、重畳するノイズが少ないのでよ
り正確な機能検査を実行することが可能となる。
Here, since the length of the wire 70 that connects the probe bin 41 and the interface pin 51 is significantly shorter than that of the conventional one, the noise superimposed when the wire 70 is routed is significantly reduced, and even when high-frequency signals Even in the case of transmission, since there is little superimposed noise, it is possible to perform a more accurate functional test.

尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
Note that the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made within the scope of the gist of the present invention.

例えば、上記実施例では、分割ベース52を回転自在に
構成し、線材70の接続作業の簡易化を図ったが、必ず
しもこれに限定されるものではなく、要はインターフェ
ースベース50を各列毎に分割しておけば、線材70の
長さを短くできるという本発明の効果を奏することがで
きる。
For example, in the above embodiment, the divided base 52 is configured to be rotatable to simplify the connection work of the wire rod 70, but the invention is not necessarily limited to this. By dividing the wire rod 70, the effect of the present invention that the length of the wire rod 70 can be shortened can be achieved.

また、より作業の簡易化を図るためには、前記分割ベー
ス52を回転自在とすると共に、この分割ベース52が
作業しやすい位置で停止できるように回転ストッパーを
具備するようにしても良い。
Further, in order to further simplify the work, the divided base 52 may be made rotatable and may be provided with a rotation stopper so that the divided base 52 can be stopped at a position where it is easy to work.

尚、前記分割ベース52を得るための分割方向について
言及すれば、この分割の方法はテスター20の出力端子
のグループ毎に対応するものが好ましく、すなわち、イ
ンターフェースピン51への接続は、テスター20の出
力端子の配置と対応関係があるからである。従って、上
記実施例のように縦方向で分割するものに限らず、横方
向に分割してもよいことは言うまでもない。
Regarding the direction of division to obtain the divided base 52, it is preferable that the division method corresponds to each group of output terminals of the tester 20. In other words, the connection to the interface pin 51 should be made according to the direction of the output terminal of the tester 20. This is because there is a correspondence with the arrangement of the output terminals. Therefore, it goes without saying that the division is not limited to the vertical direction as in the above embodiment, but may also be horizontal.

また、上記実施例では、回路基板検査装置について説明
したが、マトリックス液晶表示装置の駆動回路等に適用
しても同様な効果が得られる。
Further, in the above embodiments, a circuit board inspection device has been described, but similar effects can be obtained even if the present invention is applied to a drive circuit of a matrix liquid crystal display device, etc.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によればインターフェース
ベースを一列毎に分割した構成であるので、プローブベ
ース上のプローブピンとインターフェースピンとの接続
のための線材を従来より短くして接続することが可能と
なり、もって、信号に重畳するノイズの低減が図れるの
で、特に検出信号が高周波信号であっても常時的確な機
能検査を実行することが可能となる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, since the interface base is divided into rows, the wires for connecting the probe pins on the probe base and the interface pins can be made shorter than before. This makes it possible to reduce the noise superimposed on the signal, so that even if the detected signal is a high-frequency signal, it is possible to always carry out an accurate function test.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例である回路基板装置における
テストフィクチャーの断面構造を示す断面図、 第2図は第1図のテストフィクチャーにおけるインター
フェースベースの平面図、 第3図は第1図のテストフィクチャーを用いた検査装置
の全体構成を示す概略説明図、第4図は従来の検査装置
の概略説明図、第5図は従来のテストフィクチャーの組
み立て作業を示す概略説明図である。 10・・・回路基板、 20・・・テスター、 30・・・テストフィクチャー、 40・・・プローブベース、 41・・・プローブピン、 50・・・インターフェースベース、 51・・・インターフェースピン、 52・・・分割ベース、 60・・・支持ベース、 70・・・線材。 代理人 弁理士 井 上  −(他1名)第2図 60G           60 第3図 2oテスター 箆5図
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the cross-sectional structure of a test fixture in a circuit board device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of an interface base in the test fixture of FIG. 1, and FIG. 1 is a schematic explanatory diagram showing the overall configuration of an inspection device using the test fixture, FIG. 4 is a schematic explanatory diagram of a conventional inspection device, and FIG. 5 is a schematic explanatory diagram showing the assembly work of a conventional test fixture. It is. DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Circuit board, 20... Tester, 30... Test fixture, 40... Probe base, 41... Probe pin, 50... Interface base, 51... Interface pin, 52 ...Divided base, 60... Support base, 70... Wire rod. Agent Patent attorney Inoue - (1 other person) Figure 2 60G 60 Figure 3 2o Tester 5 Figure

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)多数の測定端が平面的に存在する被測定体と、こ
の被測定体の各測定端に対応して配置され、一端が測定
端に接触し、他端側がテスターに接続されるプローブピ
ンを配列支持したプローブベースと、このプローブベー
ス及びテスター間をインターフェースピンを介して中継
接続するインターフェースベースとを有する検査装置に
おいて、前記インターフェースベースは、少なくとも横
又は縦方向の一列毎に分割された複数の分割ベースに前
記インターフェースピンを支持して構成したことを特徴
とする検査装置。
(1) A device to be measured that has a large number of measurement ends in a plane, and a probe that is placed corresponding to each measurement end of the device, one end of which is in contact with the measurement end, and the other end of which is connected to a tester. In an inspection device having a probe base that supports an array of pins, and an interface base that connects the probe base and the tester via interface pins, the interface base is divided into at least one row in the horizontal or vertical direction. An inspection device characterized in that the interface pin is supported by a plurality of divided bases.
(2)各分割ベースは、前記プローブピンとの接続端側
を、前記プローブベースと対面しない側に回転できるよ
うに、回転自在に支持されるものである特許請求の範囲
第1項記載の検査装置。
(2) The inspection device according to claim 1, wherein each divided base is rotatably supported so that the end connected to the probe pin can be rotated to a side that does not face the probe base. .
(3)被測定体は回路基板である特許請求の範囲第1項
又は第2項記載の検査装置。
(3) The inspection device according to claim 1 or 2, wherein the object to be measured is a circuit board.
(4)被測定体は液晶駆動回路である特許請求の範囲第
1項又は第2項記載の検査装置。
(4) The inspection device according to claim 1 or 2, wherein the object to be measured is a liquid crystal drive circuit.
JP62322194A 1987-12-18 1987-12-18 Inspection equipment Expired - Lifetime JPH0789142B2 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008191064A (en) * 2007-02-07 2008-08-21 Produce:Kk Electric characteristic inspection device provided with active probe

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JP2008191064A (en) * 2007-02-07 2008-08-21 Produce:Kk Electric characteristic inspection device provided with active probe

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