JPH0789142B2 - Inspection equipment - Google Patents

Inspection equipment

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JPH0789142B2
JPH0789142B2 JP62322194A JP32219487A JPH0789142B2 JP H0789142 B2 JPH0789142 B2 JP H0789142B2 JP 62322194 A JP62322194 A JP 62322194A JP 32219487 A JP32219487 A JP 32219487A JP H0789142 B2 JPH0789142 B2 JP H0789142B2
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base
interface
probe
pin
tester
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JP62322194A
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Japanese (ja)
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巽 佐々木
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Tokyo Electron Ltd
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Tokyo Electron Ltd
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Publication date
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、例えば回路基板に各種電子部品を実装して組
み立てられた電子回路基板等を被測定体とし、この被測
定体を機能検査する検査装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Industrial field of application) The present invention uses, for example, an electronic circuit board assembled by mounting various electronic components on a circuit board as an object to be measured. The present invention relates to an inspection device for functionally examining a body.

(従来の技術) この種の検査装置では、回路基板とテスターとの間に、
テストフィクチャーと呼ばれる部材を配置し、回路基板
のパターン面とテスターの出力端子とを接続すること
で、前記回路基板の機能検査を実行するようになってい
る。
(Prior Art) In this type of inspection device, between the circuit board and the tester,
By arranging a member called a test fixture and connecting the pattern surface of the circuit board and the output terminal of the tester, the functional inspection of the circuit board is executed.

ここで、従来のテストフィクチャーは、第4図に示すよ
うに、プローブベース1,インターフェースベース2と称
される2枚のベース1,2をそれぞれ対向するように支持
ベース3に固定して構成される。
Here, as shown in FIG. 4, the conventional test fixture is configured by fixing two bases 1, 2 called probe base 1 and interface base 2 to a support base 3 so as to face each other. To be done.

前記プローブベース1とは、回路基板のパターンと対向
して配置され、一端5aが前記パターン面と接触し、他端
5b側に線材4が接続されるプローブピン5を配列支持し
たものであり、前記インターフェースベース2とは、前
記プローブピン5と対向する一端6aに前記線材4を接続
し、その他端6bをテスターの出力端子に接触させるイン
ターフェースピン6を配列支持したものである。
The probe base 1 is arranged to face the pattern of the circuit board, and one end 5a is in contact with the pattern surface and the other end is
The probe pins 5 to which the wire rods 4 are connected are arranged and supported on the 5b side. The interface base 2 connects the wire rods 4 to one end 6a facing the probe pins 5 and the other end 6b of the tester. The interface pins 6 that come into contact with the output terminals are arrayed and supported.

(発明が解決しようとする問題点) 上述した構成の検査装置では、前記プローブベース1と
インターフェースベース2とのそれぞれ対向する面側に
配置される前記ピン端子5b,6aに線材4を配線する必要
があり、2枚のベース1,2を前記支持ベース3に固定し
た状態では、手作業による前記配線を実行することが不
可能である。
(Problems to be Solved by the Invention) In the inspection device having the above-described configuration, it is necessary to wire the wire 4 to the pin terminals 5b and 6a arranged on the surfaces of the probe base 1 and the interface base 2 that face each other. However, in a state where the two bases 1 and 2 are fixed to the support base 3, it is impossible to perform the wiring manually.

そこで、従来は、第5図に示すように、プローブベース
1のみを前記支持ベース3に固定し、インターフェース
ベース2の前記ピン端子6aが外側に向くような状態で両
ピン端子5b,6aに配線をせざるを得なかった。
Therefore, conventionally, as shown in FIG. 5, only the probe base 1 is fixed to the support base 3 and the pin terminals 6a of the interface base 2 are wired to both pin terminals 5b and 6a in a state in which the pin terminals 6a face outward. I had no choice but to do it.

このため、前記線材4の長さは、インターフェースベー
ス2を第5図の状態に設定することができるように十分
長くする必要があった。
Therefore, the length of the wire 4 needs to be sufficiently long so that the interface base 2 can be set in the state shown in FIG.

ところで、このように線材4の長さを長くすると、この
線材4によって伝送される検査信号にノイズが重畳した
場合、特に、この検査信号が高周波信号の場合には、ノ
イズが信号として検出されてしまい、正確な機能検査が
実行できないという問題があった。
By the way, when the length of the wire 4 is increased as described above, noise is detected as a signal when noise is superimposed on the inspection signal transmitted by the wire 4, particularly when the inspection signal is a high frequency signal. Therefore, there is a problem that an accurate function test cannot be executed.

そこで、本発明の目的とするところは、上述した従来の
問題点を解決し、プローブピン,インターフェースピン
接続用の線材長さを従来よりも大幅に短くすることがで
き、もって検査信号に重畳するノイズを低減し、正確な
機能検査を実行することができる検査装置を提供するこ
とにある。
Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and to significantly reduce the length of the wire rod for connecting the probe pin and the interface pin as compared with the conventional one, thereby superimposing it on the inspection signal. An object of the present invention is to provide an inspection device capable of reducing noise and performing an accurate function inspection.

[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、多数の測定端が平面的に存在する被測定体
と、この被測定体の各測定端に対応して配置され、一端
が測定端に接触し、他端側がテスターに接続されるプロ
ーブピンを配列支持したプローブベースと、このプロー
ブベース及びテスター間を中継接続するインターフェー
スベースとを有する検査装置において、 前記インターフェースベースは、少なくとも横又は縦方
向の一列毎に分割された複数の分割ベースに前記インタ
ーフェースピンを支持した構成としている。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention is directed to an object to be measured having a large number of measuring ends in a plane, and the objects to be measured are arranged corresponding to the respective measuring ends. In contact with the measurement end, the other end side in the inspection device having a probe base array-supporting probe pins connected to the tester, and an interface base for relay connection between the probe base and the tester, the interface base is at least The interface pins are supported by a plurality of division bases divided in each row in the horizontal or vertical direction.

(作用) 本発明では、インターフェースベースを、縦又は横方向
でインターフェースピンの一列毎に分割した複数の分割
ベースとして構成している。そして、このテストフィク
チャーを製造する際には、先ず、プローブベースを支持
ベースに固定しておく。
(Operation) In the present invention, the interface base is configured as a plurality of divided bases which are divided into each row of the interface pins in the vertical or horizontal direction. When manufacturing this test fixture, the probe base is first fixed to the support base.

そして、端から順に分割ベースを前記支持ベースに取り
付けてゆき、この取り付けを行う毎に、分割ベースに支
持されたインターフェースピンと前記プローブベースに
支持されたプローブピンとを、検査装置の配線情報を基
に線材によって接続することになる。
Then, the split base is attached to the support base in order from the end, and every time this attachment is performed, the interface pin supported by the split base and the probe pin supported by the probe base are set based on the wiring information of the inspection device. It will be connected by a wire rod.

この場合、インターフェースベースが分割されているの
で、この分割ベースを裏返して作業し易い方向に向けて
線材の接続作業を行っても、従来の一枚のベースから成
るインターフェースベースを使用した場合に比べれば、
前記線材の長さをほぼ4分の1程度に短くすることが可
能となる。
In this case, the interface base is divided, so even if you turn the divided base over and connect the wires in the direction that is easier to work, compared to when using the conventional interface base consisting of a single base. If
It is possible to reduce the length of the wire rod to about 1/4.

尚、前記分割ベースを支持ベースに対して回転自在に構
成しておけば、上記作業をより簡易に実行することがで
き、作業性の向上をも図ることができる。
If the split base is configured to be rotatable with respect to the support base, the above work can be performed more easily and the workability can be improved.

(実施例) 以下、本発明を回路基板検査装置に適用した一実施例に
ついて、図面を参照して具体的に説明する。
(Example) Hereinafter, one example in which the present invention is applied to a circuit board inspection apparatus will be specifically described with reference to the drawings.

まず、実施例装置の全体の概要について、第3図を参照
して説明する。
First, an outline of the entire apparatus of the embodiment will be described with reference to FIG.

本実施例装置を大別すれば、被検査体である電子部品を
実装した回路基板10と、この回路基板10の機能検査を実
行するためのテスター20と、前記回路基板10を載置固定
し、かつ、この回路基板10のパターン面と前記テスター
20の出力端子とを接続するテストフィクチャー30とから
構成されている。
The apparatus of this embodiment is roughly classified into a circuit board 10 on which an electronic component, which is an object to be inspected, is mounted, a tester 20 for performing a functional test of the circuit board 10, and the circuit board 10 fixedly mounted. Also, the pattern surface of the circuit board 10 and the tester
It consists of a test fixture 30 that connects to 20 output terminals.

前記テスター20は、前記テストフィクチャー30を昇降可
能に支持するリフター21と、前記テストフィクチャー30
の後述する支持ベース60を位置決め案内する案内部材の
一例であるロケーティングピン22と、前記支持ベース60
を真空吸引するためのバキュームポート23と、前記テス
トフィクチャー30と対向する面上に、テスター20の出力
端子であるスプリング付きコンタクトプローブ24とを有
して構成されている。
The tester 20 includes a lifter 21 that supports the test fixture 30 so that the test fixture 30 can move up and down, and the test fixture 30.
Locating pin 22, which is an example of a guide member for positioning and guiding a support base 60 described later, and the support base 60.
A vacuum port 23 for vacuum suction of the test fixture, and a spring-loaded contact probe 24, which is an output terminal of the tester 20, on the surface facing the test fixture 30.

次に、本実施例装置の特徴的構成である前記テストフィ
クチャー30について、第1図,第2図を参照して説明す
る。
Next, the test fixture 30, which is a characteristic configuration of the apparatus of this embodiment, will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

前記テストフィクチャー30は、プローブベース40及びイ
ンターフェースベース50を有し、この各ベース40,50は
前記支持ベース60に離間して平行に配置固定されるよう
になっている。
The test fixture 30 has a probe base 40 and an interface base 50, and the bases 40, 50 are arranged and fixed in parallel with each other on the support base 60.

まず、プローブベース40,インターフェースピン50の取
り付け構造について説明すると、第1図に示すように前
記テストフィクチャー20の基台となる前記支持ベース60
に前記インターフェースベース50が固定されている。ま
た、前記支持ベース60には支柱61が垂直に支持固定され
ている。
First, the mounting structure of the probe base 40 and the interface pin 50 will be described. As shown in FIG. 1, the support base 60 that serves as the base of the test fixture 20.
The interface base 50 is fixed to the. Further, a support column 61 is vertically supported and fixed to the support base 60.

次に、前記プローブベース40について説明する。Next, the probe base 40 will be described.

前記プローブベース40は、前記回路基板1の部品実装面
とは反対側のパターン面と接触するプローブピン41を支
持するベースである。
The probe base 40 is a base that supports the probe pin 41 that contacts the pattern surface of the circuit board 1 opposite to the component mounting surface.

前記プローブピン41は、第1図に詳図するように、その
両端に電気的に導通する接続片41a,41bを有し、上側の
前記接続片41aは、同図の矢印方向である軸方向の一端
側に突出付勢されるように、スプリングピン構造となっ
ている。
As shown in detail in FIG. 1, the probe pin 41 has connection pieces 41a and 41b electrically connected to both ends thereof, and the connection piece 41a on the upper side is an axial direction which is an arrow direction in the figure. It has a spring pin structure so that it is urged toward one end of the.

このプローブピン41は、前記プローブベース40に形成し
た挿入穴40aに挿入されて支持固定されている。また、
前記プローブベース40の上面には、前記各プローブピン
41の配列位置に対応してガイド穴35aを有するピンガイ
ドプレート35がプレートガイド36によって取り付け案内
され、かつ、圧縮コイルスプリング37によって常時上方
に付勢されている。そして、前記ガイド穴35aに挿通さ
れることにより、前記プローブピン41を回路基板10のパ
ターン面に正確に接触できるように構成している。さら
に、前記ピンガイトプレート35上には、回路基板10用の
ガイドピン38が垂直に立設され、前記基板10をピンガイ
ドプレート35上で正確に位置決めできるようになってい
る。
The probe pin 41 is inserted into an insertion hole 40a formed in the probe base 40 and supported and fixed. Also,
On the upper surface of the probe base 40, each probe pin
A pin guide plate 35 having guide holes 35a corresponding to the arrangement position of 41 is attached and guided by a plate guide 36, and is constantly urged upward by a compression coil spring 37. The probe pin 41 can be accurately brought into contact with the pattern surface of the circuit board 10 by being inserted into the guide hole 35a. Further, guide pins 38 for the circuit board 10 are vertically provided on the pin guide plate 35 so that the board 10 can be accurately positioned on the pin guide plate 35.

次に、前記インターフェースベース50について説明す
る。
Next, the interface base 50 will be described.

このインターフェースベース50は、前記テスター20のス
プリング付きコンタクトプローブ24と接触して、インタ
ーフェースとしての機能を有するベースであり、このベ
ース50には、前記テスター20のスプリング付きコンタク
トプローブ24と対向する各位置に、インターフェースピ
ン51が支持されている。このインターフェースピン51
は、その両端に電気的に導通する接続片51a,51bを有し
て構成されている。
The interface base 50 is a base that comes into contact with the spring-loaded contact probe 24 of the tester 20 and has a function as an interface, and the base 50 has various positions facing the spring-loaded contact probe 24 of the tester 20. The interface pin 51 is supported by the. This interface pin 51
Has connection pieces 51a, 51b electrically connected to both ends thereof.

また、前記インターフェースベース50には、前記テスタ
ー20のロケーティングピン22に挿通される被案内部材で
あるガイド穴が形成され、前記テスター側との正確な位
置決めが成されるようになっている。
Further, the interface base 50 is formed with a guide hole which is a guided member to be inserted into the locating pin 22 of the tester 20, so that the interface base 50 can be accurately positioned with respect to the tester side.

尚、このインターフェースベース50は、後述するよう
に、テスター20側に真空吸引されるので、テスター20側
に空気の流入を防止する構造となっている。
As will be described later, the interface base 50 is vacuum-sucked to the tester 20 side, and thus has a structure that prevents air from flowing into the tester 20 side.

次に、前記インターフェースベース50の特徴的構成につ
いて説明する。
Next, a characteristic configuration of the interface base 50 will be described.

このインターフェースベース50は、第2図に示すよう
に、マトリクス状の各位置に配置されたインターフェー
スピン51の一列ごとに、例えば縦方向に分割された複数
の分割ベース52から構成されている。
As shown in FIG. 2, the interface base 50 is composed of, for example, a plurality of division bases 52 divided in the vertical direction for each row of the interface pins 51 arranged at respective positions in a matrix.

そして、この各分割ベース52は、前記支持ベース60の両
側よりボルト53によって独立して固定できるように構成
されている。すなわち、前記支持ベース60の両縁60aに
は、対向した穴65が設けられ、一方、前記各分割ベース
52には前記穴65に対向する位置にネジ穴52aを有してい
る。そして、前記ボルト53を前記支持ベース60の穴65を
介し前記ネジ穴52aに螺合することで、前記分割ベース5
2を支持ベース60に固定できるようになっている。尚、
前記ボルト53を完全に締め付けない状態にあっては、前
記ボルト53が回転軸となって穴65に支持されて回転自在
であり、この結果、前記分割ベース52が回転できるよう
になっている。
Each of the divided bases 52 is constructed so that it can be independently fixed from both sides of the support base 60 by bolts 53. That is, the both edges 60a of the support base 60 are provided with the facing holes 65, while the divided bases
52 has a screw hole 52a at a position facing the hole 65. Then, the bolt 53 is screwed into the screw hole 52a through the hole 65 of the support base 60, whereby the split base 5
2 can be fixed to the support base 60. still,
When the bolt 53 is not completely tightened, the bolt 53 serves as a rotation shaft and is supported by the hole 65 so as to be freely rotatable. As a result, the split base 52 can be rotated.

また、前記プローブベース40に固定されたプローブピン
41の接続片41aと、前記インターフェースベース50に支
持されたインターフェースピン51の接続片51aとは、線
材70によって接続されるようになっている。
Also, the probe pin fixed to the probe base 40.
The connecting piece 41a of 41 and the connecting piece 51a of the interface pin 51 supported by the interface base 50 are connected by a wire rod 70.

次に、作用について説明する。Next, the operation will be described.

まず、この検査装置の組み立てについて説明する。First, the assembly of this inspection apparatus will be described.

この検査装置は、各種基板の種類に合わせて個別的に製
造する必要があり、このために線材70を回路基板10に合
わせて前記プローブピン41とインターフェースピン51と
にラッピングする必要がある。
This inspection apparatus needs to be individually manufactured according to the types of various boards, and for this reason, it is necessary to wrap the wire 70 on the circuit board 10 and wrap the probe pins 41 and the interface pins 51.

そこで、第2図の例えば左端の分割ベース52から順に一
つづつ分割ベース52を前記支持ベース60にボルト53によ
って仮止めし、この仮止めの状態で前記プローブピン41
に一端を接続した線材70の他端を、所定のインターフェ
ースピン51にラッピングによって接続する。
Therefore, for example, the divided bases 52 are temporarily fixed to the support base 60 by bolts 53 in order from the divided base 52 at the left end, for example, in the state shown in FIG.
The other end of the wire 70 having one end connected to is connected to a predetermined interface pin 51 by wrapping.

ここで、このラッピングを実行する場合、前記分割ベー
ス52上のインターフェースピン51に前記線材70を接続す
べき接続片51aが外側(前記プローブピン41に対向しな
い向き)になるように、前記ボルト53を回転軸として分
割ベース52を回転して行う。このようにすれば、外側に
向いた前記接続片51aに対するラッピングを容易に実行
することができる。
Here, when performing this wrapping, the bolt 53 is arranged so that the connecting piece 51a to which the wire 70 is connected to the interface pin 51 on the split base 52 is located outside (in a direction not facing the probe pin 41). Is performed by rotating the division base 52 with the rotation axis as the rotation axis. By doing so, it is possible to easily perform the wrapping on the connecting piece 51a facing outward.

そして、一枚の前記分割ベース52に対する前記ラッピン
グが終了したら、この分割ベース52を回転して前記プロ
ーブピン41の下側接続片41bとインターフェースピン51
の上側接続片51aとが対向するように設定し、その後前
記ボルト53の本締めにより固定する。
Then, when the lapping for one of the divided bases 52 is completed, the divided bases 52 are rotated and the lower connection piece 41b of the probe pin 41 and the interface pin 51 are rotated.
The upper connection piece 51a is set to face each other, and then the bolt 53 is fixed by final tightening.

以降、第2図の例えば左側の分割ベース52から順に上記
作業を繰り返すことで、全ての分割ベース52に対するラ
ッピング処理を容易に実行することができる。
After that, the lapping process for all the split bases 52 can be easily executed by repeating the above-described work in order from the split base 52 on the left side in FIG. 2, for example.

ここで、一列に分割された分割ベース52毎に線材70の接
続を実行しているので、従来の第5図に示すもののよう
に、一枚の大きなインターフェースベース上のインター
フェースピンにラッピングを行うものに比べれば、前記
線材の長さが明らかに短くて済む。
Here, since the wire rod 70 is connected for each of the division bases 52 divided into one row, the interface pins on one large interface base are lapped as shown in FIG. 5 of the related art. Compared with the above, the length of the wire is obviously shorter.

このようにして構成されるテストフィクチャー30を用い
ての前記回路基板10の検査について説明する。
The inspection of the circuit board 10 using the test fixture 30 thus configured will be described.

前記テスター20のバキュームポート23によって前記テス
トフィクチャー30の基台である支持ベース60をテスター
20側に吸引し、前記インターフェースベース50に支持さ
れているインターフェースピン51の接続片51bを前記テ
スター20のスプリング付きコンタクトプローブ24に接触
させる。
The support port 60, which is the base of the test fixture 30, is tested by the vacuum port 23 of the tester 20.
The connection piece 51b of the interface pin 51 supported by the interface base 50 is brought into contact with the spring-loaded contact probe 24 of the tester 20 by suction to the 20 side.

このような状態に設定した後、前記テスター20によっ
て、前記回路基板10に通電し、所定の機能検査を実行す
ることができる。
After setting in such a state, the circuit board 10 can be energized by the tester 20 to execute a predetermined function test.

ここで、前記プローブピン41とインターフェースピン51
とを接続する前記線材70の長さが従来よりも大幅に短く
なっているので、線材70の引き回し時に重畳するノイズ
が大幅に少なくなり、たとえ高周波信号が伝送される場
合であっても、重畳するノイズが少ないのでより正確な
機能検査を実行することが可能となる。
Here, the probe pin 41 and the interface pin 51
Since the length of the wire rod 70 for connecting to and is significantly shorter than the conventional one, the noise superimposed when the wire rod 70 is routed is significantly reduced, and even if a high frequency signal is transmitted, Since less noise is generated, it is possible to perform a more accurate function test.

尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention.

例えば、上記実施例では、分割ベース52を回転自在に構
成し、線材70の接続作業の簡易化を図ったが、必ずしも
これに限定されるものではなく、要はインターフェース
ベース50を各列毎に分割しておけば、線材70の長さを短
くできるという本発明の効果を奏することができる。
For example, in the above-described embodiment, the split base 52 is configured to be rotatable and the connection work of the wire rod 70 is simplified, but the invention is not necessarily limited to this, and the point is that the interface base 50 is provided for each row. If divided, the effect of the present invention that the length of the wire 70 can be shortened can be achieved.

また、より作業の簡易化を図るためには、前記分割ベー
ス52を回転自在とすると共に、この分割ベース52が作業
しやすい位置で停止できるように回転ストッパーを具備
するようにしても良い。
Further, in order to further simplify the work, the split base 52 may be rotatable and a rotation stopper may be provided so that the split base 52 can be stopped at a position where it is easy to work.

尚、前記分割ベース52を得るための分割方向について言
及すれば、この分割の方法はテスター20の出力端子のグ
ループ毎に対応するものが好ましく、すなわち、インタ
ーフェースピン51への接続は、テスター20の出力端子の
配置と対応関係があるからである。従って、上記実施例
のように縦方向で分割するものに限らず、横方向に分割
してもよいことは言うまでもない。
Incidentally, referring to the dividing direction for obtaining the dividing base 52, it is preferable that this dividing method corresponds to each group of output terminals of the tester 20, that is, the connection to the interface pin 51 is made by the tester 20. This is because there is a correspondence relationship with the arrangement of the output terminals. Therefore, it is needless to say that the division is not limited to the vertical division as in the above embodiment, but may be the horizontal division.

また、上記実施例では、回路基板検査装置について説明
したが、マトリックス液晶表示装置の駆動回路等に適用
しても同様な効果が得られる。
Further, although the circuit board inspecting apparatus has been described in the above-mentioned embodiments, the same effect can be obtained by applying the circuit board inspecting apparatus to a drive circuit of a matrix liquid crystal display device.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によればインターフェース
ベースを一列毎に分割した構成であるので、プローブベ
ース上のプローブピンとインターフェースピンとの接続
のための線材を従来より短くして接続することが可能と
なり、もって、信号に重畳するノイズの低減が図れるの
で、特に検出信号が高周波信号であっても常時的確な機
能検査を実行することが可能となる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, since the interface base is divided into each row, the wire rod for connecting the probe pin on the probe base and the interface pin is made shorter than before. Since it is possible to reduce the noise superimposed on the signal, it is possible to always perform an accurate functional test even when the detection signal is a high frequency signal.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例である回路基板装置における
テストフィクチャーの断面構造を示す断面図、 第2図は第1図のテストフィクチャーにおけるインター
フェースベースの平面図、 第3図は第1図のテストフィクチャーを用いた検査装置
の全体構成を示す概略説明図、 第4図は従来の検査装置の概略説明図、 第5図は従来のテストフィクチャーの組み立て作業を示
す概略説明図である。 10……回路基板、 20……テスター、 30……テストフィクチャー、 40……プローブベース、 41……プローブピン、 50……インターフェースベース、 51……インターフェースピン、 52……分割ベース、 60……支持ベース、 70……線材。
1 is a sectional view showing a sectional structure of a test fixture in a circuit board device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of an interface base in the test fixture of FIG. 1, and FIG. 1 is a schematic explanatory view showing the overall configuration of an inspection device using the test fixture of FIG. 1, FIG. 4 is a schematic explanatory diagram of a conventional inspection device, and FIG. 5 is a schematic explanatory diagram showing an assembly work of a conventional test fixture. Is. 10 …… Circuit board, 20 …… Tester, 30 …… Test fixture, 40 …… Probe base, 41 …… Probe pin, 50 …… Interface base, 51 …… Interface pin, 52 …… Split base, 60… … Supporting base, 70… Wire rod.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】多数の測定端が平面的に存在する被測定体
と、この被測定体の各測定端に対応して配置され、一端
が測定端に接触し、他端側がテスターに接続されるプロ
ーブピンを配列支持したプローブベースと、このプロー
ブベース及びテスター間をインターフェースピンを介し
て中継接続するインターフェースベースとを有する検査
装置において、 前記インターフェースベースは、少なくとも横又は縦方
向の一列毎に分割された複数の分割ベースに前記インタ
ーフェースピンを支持して構成したことを特徴とする検
査装置。
1. An object to be measured in which a large number of measuring ends are present in a plane and arranged corresponding to each of the measuring ends of the object to be measured, one end of which contacts the measuring end and the other end of which is connected to a tester. In an inspection device having a probe base that supports arrayed probe pins, and an interface base that relay-connects the probe base and the tester via an interface pin, the interface base is divided at least in each row in a horizontal or vertical direction. An inspection apparatus, wherein the interface pin is supported by a plurality of divided bases.
【請求項2】各分割ベースは、前記プローブピンとの接
続端側を、前記プローブベースと対面しない側に回転で
きるように、回転自在に支持されるものである特許請求
の範囲第1項記載の検査装置。
2. The split base is rotatably supported so that the connection end side with the probe pin can be rotated to the side not facing the probe base. Inspection device.
【請求項3】被測定体は回路基板である特許請求の範囲
第1項又は第2項記載の検査装置。
3. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the device under test is a circuit board.
【請求項4】被測定体は液晶駆動回路である特許請求の
範囲第1項又は第2項記載の検査装置。
4. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the device under test is a liquid crystal drive circuit.
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