JP2764854B2 - Probe card and inspection method - Google Patents

Probe card and inspection method

Info

Publication number
JP2764854B2
JP2764854B2 JP5349498A JP34949893A JP2764854B2 JP 2764854 B2 JP2764854 B2 JP 2764854B2 JP 5349498 A JP5349498 A JP 5349498A JP 34949893 A JP34949893 A JP 34949893A JP 2764854 B2 JP2764854 B2 JP 2764854B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
wafer
wiring board
chips
probe card
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP5349498A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07201935A (en
Inventor
義栄 長谷川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NIPPON MAIKURONIKUSU KK
Original Assignee
NIPPON MAIKURONIKUSU KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NIPPON MAIKURONIKUSU KK filed Critical NIPPON MAIKURONIKUSU KK
Priority to JP5349498A priority Critical patent/JP2764854B2/en
Publication of JPH07201935A publication Critical patent/JPH07201935A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2764854B2 publication Critical patent/JP2764854B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はウェーハ上の多数の集
積回路チップを検査するためのプローブカードに関し、
また、これを用いた検査方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe card for testing a large number of integrated circuit chips on a wafer.
Further, the present invention relates to an inspection method using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】DRAMやSRAMなどのICメモリの
分野では高集積化がどんどん進み、それに伴って、これ
らのメモリを検査する時間も長くなる傾向にある。IC
メモリは、一般に、Siウェーハ上に同一のチップの形
で多数形成される。そして、ウェーハの状態で検査され
てから、ダイシングにより個別のチップに分離される。
ウェーハ上の多数のチップを検査するにはプローブカー
ドとテスタとが用いられる。すなわち、プローブカード
のプローブ針でチップの電極に接触し、テスト回路を有
するテスタによって各チップの検査が実行される。
2. Description of the Related Art In the field of IC memories such as DRAMs and SRAMs, the degree of integration has been steadily increasing, and the time required for testing these memories has tended to increase. IC
Generally, a large number of memories are formed on a Si wafer in the form of the same chip. Then, after being inspected in a wafer state, the wafer is separated into individual chips by dicing.
A probe card and a tester are used to inspect a large number of chips on a wafer. That is, the probe needle of the probe card comes into contact with the electrode of the chip, and the test of each chip is performed by a tester having a test circuit.

【0003】プローブカードのプローブ針は、検査すべ
きチップの電極配置に対応するように配列されていて、
ひとつのチップのすべての被接触電極に同時にプローブ
針が接触するようになっている。
[0003] The probe needles of the probe card are arranged so as to correspond to the electrode arrangement of the chip to be inspected.
The probe needle comes into contact with all the contacted electrodes of one chip at the same time.

【0004】ウェーハ上の多数のチップを検査するには
次のようにする。まず、検査すべき最初のチップの電極
に対面するようにプローブカードとウェーハとの相対位
置関係を位置決めする。そして、プローブカードのプロ
ーブ針を被検査チップの電極に押し付けて検査を実行す
る。次に、別のチップに対してプローブカードを位置決
めして同様の検査を実行する。このようにして、順次チ
ップを検査していく。
In order to inspect a large number of chips on a wafer, the following is performed. First, the relative positional relationship between the probe card and the wafer is determined so as to face the electrode of the first chip to be inspected. Then, the inspection is executed by pressing the probe needle of the probe card against the electrode of the chip to be inspected. Next, the same inspection is performed by positioning the probe card with respect to another chip. In this way, the chips are sequentially inspected.

【0005】しかし、このようにひとつずつチップを検
査していくと、ウェーハ上のすべてのチップを検査する
には非常に時間がかかる。しかも、メモリの高集積化が
進むにつれて、ひとつのチップを検査する時間が長くな
っているので、ウェーハ上のすべてのチップを検査する
のに要する時間は非常に長くなる傾向にある。
However, when the chips are inspected one by one as described above, it takes a very long time to inspect all the chips on the wafer. In addition, as memory integration increases, the time required to inspect one chip increases, and the time required to inspect all chips on a wafer tends to be very long.

【0006】ところで、ウェーハ1枚当りの検査時間が
長くなる場合に、複数のテスタを用いて複数のウェーハ
を同時に検査すれば、全体として検査時間の短縮にな
る。しかし、テスタは高価であり、設備費用の負担が大
きくなる。
By the way, when the inspection time per wafer is long, if a plurality of wafers are inspected at the same time using a plurality of testers, the inspection time can be shortened as a whole. However, the tester is expensive, and the burden of equipment cost increases.

【0007】そこで、ウェーハ1枚当りの検査時間を短
縮できるように、数個のチップに同時に接触できるよう
にしたプローブカードが開発されてきた。現在では、最
大16個のチップに同時に接触できるようなプローブカ
ードが知られている。ひとつのチップに40個の被接触
電極があると仮定すると、16個のチップに同時に接触
可能なプローブカードには、40×16=640本のプ
ローブ針が設けられていることになる。このようなプロ
ーブカードを用いるときは、テスタ側にも、16個のチ
ップに対して同時に信号を出力し、かつ、16個のチッ
プから同時に信号を受けて、並列に検査処理を実行でき
るような機能を設けることが必要である。このようにし
て複数チップを同時に検査することにより、検査時間は
格段に短縮された。
[0007] Therefore, probe cards have been developed which can simultaneously contact several chips so as to shorten the inspection time per wafer. At present, a probe card capable of simultaneously contacting a maximum of 16 chips is known. Assuming that there are 40 contact electrodes on one chip, a probe card capable of simultaneously contacting 16 chips has 40 × 16 = 640 probe needles. When such a probe card is used, a signal is output to the tester side simultaneously for 16 chips, and a signal can be simultaneously received from the 16 chips to perform an inspection process in parallel. It is necessary to provide functions. By simultaneously inspecting a plurality of chips in this way, the inspection time is significantly reduced.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
複数チップの同時検査を実行しても、まだ不十分であ
る。例えば、8インチのSiウェーハに250個のチッ
プが形成されているとすると、16個のチップを同時に
検査しても、ウェーハ上のすべてのチップを検査するに
は、少なくとも16回の検査が必要となる。この場合
に、1回の検査時間が20分だとすると、ウェーハ上の
すべてのチップを検査するには、少なくとも320分か
かることになる。さらに、16回の検査のそれぞれの間
には、ウェーハとプローブカードとの位置決め作業が必
要となり、所要時間はもっと増加する。
However, the simultaneous inspection of a plurality of chips as described above is still insufficient. For example, if 250 chips are formed on an 8-inch Si wafer, at least 16 tests are required to test all chips on the wafer, even if 16 chips are tested simultaneously. Becomes In this case, if one inspection time is 20 minutes, it takes at least 320 minutes to inspect all the chips on the wafer. Further, during each of the 16 inspections, a positioning operation between the wafer and the probe card is required, and the required time is further increased.

【0009】そこで、ウェーハ上のすべてのチップの電
極に同時に接触可能なプローブカードを開発することが
当然考えられる。しかし、極めて多数のプローブ針をひ
とつのプローブカードに固着して、ウェーハ上のあらゆ
る位置にあるチップのすべての電極にプローブ針を正し
く接触させるようにするのは、次のような理由で、ほと
んど不可能である。まず、プローブ針が非常に多数にな
ってしまう。各チップに40個の電極があってチップが
250個ある場合には、1万本のプローブ針が必要にな
る。これだけの多数のプローブ針を、ひとつのプローブ
カードの上に固着して、かつこれを正確に位置出しする
ことは、非常に困難である。また、もしできたとして
も、非常に高価なものになる。さらに、プローブ針を直
接支持する支持台も非常に大きくなるので、この支持台
が熱膨張や外力によって変形しやすくなる問題もある。
支持台が変形すると、プローブ針の設定位置がずれるこ
とになる。さらに、極めて多数のプローブ針と、そのた
めの多数の配線とが存在するので、これらのどこかで故
障が生じる可能性も高くなる。そして、この故障が原因
で高価なプローブカード全体を交換するような事態にな
れば、その損害は非常に大きくなる。
Therefore, it is naturally conceivable to develop a probe card capable of simultaneously contacting the electrodes of all chips on a wafer. However, securing a very large number of probe needles to a single probe card so that the probe needles correctly contact all the electrodes of the chip at every location on the wafer is almost always: Impossible. First, the number of probe needles becomes very large. If each chip has 40 electrodes and 250 chips, 10,000 probe needles are required. It is very difficult to fix such a large number of probe needles on a single probe card and accurately locate them. And if it did, it would be very expensive. In addition, the size of the support that directly supports the probe needles becomes very large, and there is a problem that the support is easily deformed by thermal expansion or external force.
When the support base is deformed, the set position of the probe needle is shifted. Furthermore, since there are a very large number of probe needles and a large number of wirings for them, there is a high possibility that a failure will occur somewhere. If the failure causes the entire expensive probe card to be replaced, the damage becomes extremely large.

【0010】この発明は上述の問題点を解消するために
なされたものであり、その目的は、1回または少数回
(例えば2〜3回)の接触でウェーハ上のすべてのチッ
プに接触可能なプローブカードを提供することにある。
この発明の別の目的は、複数のプローブユニットを組み
合わせることによって、製造が容易で、かつ、多数のチ
ップに同時に接触可能なプローブカードを提供すること
にある。この発明のさらに別の目的は、ウェーハ上の多
数のメモリチップを短時間で検査する検査方法を提供す
ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to make it possible to contact all the chips on a wafer with one or a small number of (for example, two to three) contacts. It is to provide a probe card.
Another object of the present invention is to provide a probe card which is easy to manufacture by combining a plurality of probe units and can simultaneously contact a large number of chips. Still another object of the present invention is to provide an inspection method for inspecting a large number of memory chips on a wafer in a short time.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】この発明のプローブカー
ドは、複数のプローブユニットと、これらのプローブユ
ニットを支持する基台と、この基台に形成されていて
記プローブユニットと外部のテスタとを電気的に接続す
るための第1の配線板とを備えている。そして、前記プ
ローブユニットは、複数の集積回路チップの電極に同時
に接触可能な多数のプローブ針と、前記ウェーハの表面
に対して垂直方向に延びる第2の配線板と、プローブユ
ニットを前記基台に取り付けるための支持体とを備えて
いる。
According to the present invention, there is provided a probe card comprising a plurality of probe units, a base for supporting the probe units, and a probe unit formed on the base and having a plurality of probe units. A first wiring board for electrically connecting to an external tester. The probe unit includes a plurality of probe needles capable of simultaneously contacting electrodes of a plurality of integrated circuit chips, a second wiring board extending in a direction perpendicular to the surface of the wafer, and a probe unit on the base. And a support for attachment.

【0012】プローブユニットの個数は特に制限はない
が、ウェーハ上のチップがN行×M列で配置されている
とすると、プローブユニットの個数は、N個,M個,
(N/2)個,(M/2)個などの個数が好ましい。例
えば、8インチのウェーハ上に12行×24列でチップ
が配列されている場合には、プローブユニットの個数
は、6個、12個、24個などの個数が好ましい。実際
にはチップ上の電極の配列方向に応じて、プローブユニ
ットをN個(またはその2分の1など)にするかM個
(またはその2分の1など)にするかが決まってくる。
The number of probe units is not particularly limited. If chips on a wafer are arranged in N rows × M columns, the number of probe units is N, M,
A number such as (N / 2) or (M / 2) is preferable. For example, when chips are arranged in 12 rows × 24 columns on an 8-inch wafer, the number of probe units is preferably 6, 12, 24, or the like. Actually, it is determined whether the number of probe units is N (or a half thereof) or M (or a half thereof) according to the arrangement direction of the electrodes on the chip.

【0013】このプローブカードで検査する対象はウェ
ーハ上の多数の集積回路チップであり、その集積回路の
種類に特に制限はないが、DRAMやSRAMなどのメ
モリチップに対しては特に有効である。
The object to be inspected by this probe card is a large number of integrated circuit chips on a wafer, and the type of the integrated circuit is not particularly limited, but is particularly effective for a memory chip such as a DRAM or an SRAM.

【0014】この発明では、ひとつのプローブユニット
に属するすべてのプローブ針の先端を、1本の直線上
か、あるいは、平行な2本の直線上に配列することがで
きる。検査すべきチップの電極がチップの中央に1列に
配列されている場合には、プローブ針の先端は1本の直
線上に配列するのが好ましい。また、検査すべきチップ
の電極がチップの両側に2列に配列されている場合に
は、プローブ針の先端は平行な2本の直線上に配列する
のが好ましい。
According to the present invention, the tips of all the probe needles belonging to one probe unit can be arranged on one straight line or on two parallel straight lines. When the electrodes of the chip to be inspected are arranged in one line at the center of the chip, it is preferable that the tips of the probe needles be arranged on one straight line. When the electrodes of the chip to be inspected are arranged in two rows on both sides of the chip, the tips of the probe needles are preferably arranged on two parallel straight lines.

【0015】この発明において、プローブカードの基台
は環状に形成することができ、この基台の中央の開口部
に前記プローブユニットの前記支持台を差し渡して、す
べてのプローブユニットを互いに平行に配置することが
できる。「環状」とは、中央に開口を備える形状を指
し、その外形は特に限定されないが、典型的には円形の
外形とすることが最適であり、必要に応じて矩形などの
その他の外形とすることができる。
In the present invention, the base of the probe card can be formed in an annular shape, and all the probe units are arranged in parallel with each other by extending the support base of the probe unit into the central opening of the base. can do. The term "annular" refers to a shape having an opening in the center, and its outer shape is not particularly limited, but it is typically optimal to have a circular outer shape, and other shapes such as a rectangle as necessary. be able to.

【0016】この発明の検査方法は、上述のプローブカ
ードを用いて、ウェーハ上に形成した多数の同一のメモ
リチップを1回または2回の同時検査によってすべて検
査するようにしたものである。
According to the inspection method of the present invention, a large number of identical memory chips formed on a wafer are inspected by one or two simultaneous inspections using the above-described probe card.

【0017】[0017]

【作用】複数のプローブユニットを組み合わせてひとつ
のプローブカードを構成したことにより、極めて多数の
プローブ針を有するプローブカードを従来と同様の技術
で製造できる。すなわち、各プローブユニットを別個に
製造することができ、プローブ針の位置出し作業が従来
と同様の技術で可能となる。また、プローブユニット自
体の大きさがあまり大きくならず、プローブ針を2次元
平面の広い範囲内で多数配列させる必要がなくなる。例
えば、プローブユニットに設けるプローブ針の先端は、
1列か2列に並ぶようにすることができ、プローブ針の
配列固定も比較的容易である。
Since a single probe card is constructed by combining a plurality of probe units, a probe card having an extremely large number of probe needles can be manufactured by the same technique as in the past. That is, each probe unit can be manufactured separately, and the positioning operation of the probe needle can be performed by the same technology as that of the related art. Further, the size of the probe unit itself is not so large, and it is not necessary to arrange a large number of probe needles within a wide range of a two-dimensional plane. For example, the tip of the probe needle provided in the probe unit is
The probe needles can be arranged in one or two rows, and the arrangement of the probe needles is relatively easy to fix.

【0018】いずれかのプローブユニットが故障した場
合には、そのプローブユニットを交換するだけで足り
る。また、プローブユニットのいくつかは互いに同一の
構成とすることができ、その場合は、互換性もある。
If any one of the probe units fails, it is sufficient to replace the probe unit. Some of the probe units can have the same configuration, and in that case, they are interchangeable.

【0019】プローブユニットの配線板はウェーハの表
面に対して垂直方向に延びているので、プローブユニッ
トを密に並べて配置することが可能になる。ウェーハ上
の隣り合うチップを同時に検査するためには、隣り合う
プローブユニットの間隔は、チップの寸法程度にする必
要がある。したがって、プローブユニットの配線板をウ
ェーハの表面に平行に配置することはほとんど不可能に
なり、この発明のようにウェーハの表面に対して垂直に
配置することが必要となる。
Since the wiring board of the probe unit extends in a direction perpendicular to the surface of the wafer, the probe units can be densely arranged. In order to inspect adjacent chips on a wafer at the same time, the interval between adjacent probe units needs to be about the size of the chips. Therefore, it is almost impossible to arrange the wiring board of the probe unit parallel to the surface of the wafer, and it is necessary to arrange the wiring board perpendicular to the surface of the wafer as in the present invention.

【0020】この発明のプローブカードは次のようにし
て用いる。ウェーハとプローブカードとの相対位置関係
を位置決めしたら、プローブカードのプローブ針をウェ
ーハに押し付ける。このとき、ウェーハ上のすべてのチ
ップの電極がプローブ針に接触する。そして、すべての
チップの検査を同時に実行する。あるいは、ウェーハ上
の全体のチップ数の2分の1のチップにプローブ針を接
触させて、これらを同時に検査し、その後、ウェーハを
所定距離だけ移動させて、残りの半分のチップを同時に
検査する。このように分割して検査する場合には、2分
の1に分割する以外にも、3分の1または4分の1など
に分割して、少数回に分けて検査を実行してもよい。た
だし、多数回に分けて検査をすると、検査時間の短縮の
効果が薄れるので、せいぜい、1回または2回の同時検
査で、すべてのチップの検査が完了するのが最も効果的
である。
The probe card of the present invention is used as follows. After positioning the relative positional relationship between the wafer and the probe card, the probe needles of the probe card are pressed against the wafer. At this time, the electrodes of all the chips on the wafer come into contact with the probe needles. Then, the inspection of all the chips is executed at the same time. Alternatively, the probe needle is brought into contact with a half of the total number of chips on the wafer to inspect them at the same time, and then the wafer is moved by a predetermined distance to inspect the other half of the chips simultaneously. . When the inspection is performed in such a manner, the inspection may be performed in a small number of times by dividing the inspection into one-third or one-fourth in addition to the half. . However, if the inspection is performed in a large number of times, the effect of shortening the inspection time is diminished. Therefore, it is most effective to complete the inspection of all the chips by one or two simultaneous inspections at most.

【0021】[0021]

【実施例】図1は、この発明の一実施例のプローブカー
ドにおいて、プローブユニットの配列を示す側面断面図
である。なお、この図では、図面を見易くするために、
プローブユニットの個数及びウェーハ上のチップの個数
を少なくしているが、実際には、これらの個数はもっと
多くなるのが普通である。
FIG. 1 is a side sectional view showing an arrangement of probe units in a probe card according to an embodiment of the present invention. In this figure, in order to make the drawing easier to see,
Although the number of probe units and the number of chips on the wafer are reduced, in practice these numbers are usually higher.

【0022】図1において、このプローブカードは11
個のプローブユニット10を備えている。検査すべきウ
ェーハ12(これは斜視図としてある。)には5行×1
1列のチップ14が形成されている。そして、この11
列のチップに対応して11個のプローブユニット10が
設けられている。なお、ウェーハ12は円形なので、5
行×11列のチップ(全部で55個)のうち、四隅に相
当する領域には、チップが形成されていない。したがっ
て、図面では39個のチップが形成されている。
In FIG. 1, the probe card is 11
Probe units 10 are provided. The wafer 12 to be inspected (this is a perspective view) has 5 rows × 1
One row of chips 14 is formed. And this 11
Eleven probe units 10 are provided corresponding to the chips in the row. Since the wafer 12 is circular, 5
No chip is formed in the area corresponding to the four corners among the chips of row × 11 columns (55 in total). Therefore, in the drawing, 39 chips are formed.

【0023】各チップ14には、その中央に1列の電極
が配置されていて、プローブユニット10のプローブ針
16は、その中央の電極に接触するようになっている。
One row of electrodes is arranged at the center of each chip 14, so that the probe needles 16 of the probe unit 10 come into contact with the center electrode.

【0024】図2は、ひとつのプローブユニット10を
下から見た斜視図である。プローブ針16の先端は1本
の直線上に配列されている。この図示したプローブユニ
ット10は、図1のウェーハ12の中央のチップ列18
に対応するものであり、このチップ列18に属する5個
のチップの電極に対応するすべてのプローブ針を備えて
いる。ひとつのチップに40個の電極があると仮定する
と、40×5=200本のプローブ針がある。
FIG. 2 is a perspective view of one probe unit 10 as viewed from below. The tips of the probe needles 16 are arranged on one straight line. The illustrated probe unit 10 is provided with a chip row 18 at the center of the wafer 12 in FIG.
And all the probe needles corresponding to the electrodes of the five chips belonging to the chip row 18 are provided. Assuming one chip has 40 electrodes, there are 40 × 5 = 200 probe needles.

【0025】プローブユニット10の金属製の支持体2
0の両端には取り付け部22が一体に形成されていて、
この取り付け部22には、ネジを挿入する孔24があい
ている。正面側に見える孔26には、ネジをロックする
ためのロック剤を充填することができる。支持体20は
線膨張率の小さい金属(例えば、商品名ノビナイト)で
作られている。
The metal support 2 of the probe unit 10
The mounting portions 22 are integrally formed at both ends of the zero.
The mounting portion 22 has a hole 24 into which a screw is inserted. The hole 26 visible on the front side can be filled with a locking agent for locking the screw. The support 20 is made of a metal having a small coefficient of linear expansion (for example, Novinite (trade name)).

【0026】支持体20にはセラミック製のプローブ針
支持台28が接着剤で固定され、このプローブ針支持台
28にプローブ針16が樹脂30で固着されている。ま
た、支持体20には配線板32(第2の配線板)が固定
されている。この配線板32は、検査すべきウェーハの
表面に対して垂直方向(図面では上下方向)に延びてい
る。この配線板32の上縁と両側の側縁36,37には
多数の電極38が形成されている。これらの電極38
は、配線板32の内部の配線パターンを経由してプロー
ブ針16につながっている。
A probe needle support 28 made of ceramic is fixed to the support 20 with an adhesive, and the probe needle 16 is fixed to the probe needle support 28 with a resin 30. A wiring board 32 (second wiring board) is fixed to the support 20. The wiring board 32 extends in a direction perpendicular to the surface of the wafer to be inspected (vertically in the drawing). A large number of electrodes 38 are formed on the upper edge and both side edges 36 and 37 of the wiring board 32. These electrodes 38
Is connected to the probe needle 16 via a wiring pattern inside the wiring board 32.

【0027】図3は、プローブユニット10の拡大側面
断面図である。支持体20に配線板32とプローブ針支
持台28が固定され、このプローブ針支持台28にプロ
ーブ針16が樹脂30で固着されている。プローブ針1
6の基端は配線板32上の電極40に接続され、配線板
32の内部の配線パターン42を経由して、配線板32
の上縁または側縁の電極38に接続されている。配線板
32の上縁と側縁にはコネクタ44を結合することがで
きて、このコネクタ44の配線は、プローブカードの基
台に設けた配線板(第1の配線板)と接続することがで
きる。
FIG. 3 is an enlarged side sectional view of the probe unit 10. The wiring board 32 and the probe needle support 28 are fixed to the support 20, and the probe needle 16 is fixed to the probe needle support 28 with the resin 30. Probe needle 1
6 is connected to an electrode 40 on the wiring board 32, and passes through a wiring pattern 42 inside the wiring board 32,
Is connected to the electrode 38 on the upper edge or the side edge. A connector 44 can be connected to the upper edge and the side edge of the wiring board 32, and the wiring of the connector 44 can be connected to a wiring board (first wiring board) provided on a base of the probe card. it can.

【0028】配線板32の背面には所定個数のリレー4
6が固定されている。このリレー46の個数は、プロー
ブユニット10が1度に接触可能なチップ数(この実施
例では5個)に等しい。検査中に何らかの原因で特定の
チップに過大電流が流れた場合には、そのチップに対応
するリレー46が遮断されて、問題のチップがテスタか
ら切り離されるようになっている。
A predetermined number of relays 4
6 is fixed. The number of the relays 46 is equal to the number of chips that the probe unit 10 can contact at one time (five in this embodiment). If an excessive current flows through a particular chip during the inspection for some reason, the relay 46 corresponding to that chip is cut off, and the chip in question is disconnected from the tester.

【0029】図4は、プローブユニット10の一部の正
面断面図であり、プローブカードの基台48に取り付け
た状態を示している。なお、プローブカードの基台側は
断面図で示してある。プローブユニット10の支持体2
0の取り付け部22は、プローブカードの基台48にネ
ジ50で固定される。また、ネジ50の緩みを防ぐため
に、孔26からロック剤を充填することができる。
FIG. 4 is a front sectional view of a part of the probe unit 10 and shows a state where the probe unit 10 is mounted on a base 48 of the probe card. The base side of the probe card is shown in a sectional view. Support 2 for probe unit 10
The mounting portion 22 is fixed to a base 48 of the probe card with screws 50. In order to prevent the screw 50 from being loosened, a lock agent can be filled through the hole 26.

【0030】ウェーハチャック52の上にはウェーハ1
2が吸着固定され、プローブユニット10のプローブ針
16の先端がウェーハ12上のチップの電極に接触す
る。プローブ針16は配線板32(第2の配線板)を経
由して電極38につながり、さらにコネクタ44を経由
して、プローブカードの基台48上の配線板56(第1
の配線板)の内側電極58につながっている。この内側
電極58は配線板56の内部の配線パターン60を経由
して外側電極62につながっている。この外側電極62
にテスタの端子(ポゴピン)64が押し付けられるよう
になっている。
The wafer 1 is placed on the wafer chuck 52.
2, the tip of the probe needle 16 of the probe unit 10 contacts the electrode of the chip on the wafer 12. The probe needle 16 is connected to the electrode 38 via the wiring board 32 (second wiring board) , and further via the connector 44 to the wiring board 56 (first wiring board) on the base 48 of the probe card .
(The wiring board) . The inner electrode 58 is connected to the outer electrode 62 via a wiring pattern 60 inside the wiring board 56. This outer electrode 62
The terminal (pogo pin) 64 of the tester is pressed against the tester.

【0031】プローブユニット10の配線板32がウェ
ーハ12の表面に対して垂直に配置されているのに対し
て、基台48の上の配線板56はウェーハ12の表面に
平行に配置されている。これらの配線板32,56は、
多数の配線経路を必要とするので、必要に応じて多層配
線パターンとすることができる。
The wiring board 32 of the probe unit 10 is arranged perpendicular to the surface of the wafer 12, whereas the wiring board 56 on the base 48 is arranged parallel to the surface of the wafer 12. . These wiring boards 32 and 56 are
Since a large number of wiring paths are required, a multilayer wiring pattern can be formed as necessary.

【0032】図5はプローブカードの全体を示す平面図
である。ただし、プローブユニット10は一点鎖線で示
してある。プローブカードの基台は円形の環状であり、
その中央には、開口66が形成されている。この開口6
6の近傍にプローブユニット10の支持体の取り付け部
22が固定される。基台の上に固定された円環状の配線
板56の上面には、内側電極58と外側電極60が周方
向に密に配置されている。なお、内側電極58は図面で
はコネクタの形状として描いてある。
FIG. 5 is a plan view showing the entire probe card. However, the probe unit 10 is indicated by a dashed line. The base of the probe card is a circular ring,
An opening 66 is formed at the center. This opening 6
The mounting portion 22 of the support of the probe unit 10 is fixed near 6. On the upper surface of the annular wiring board 56 fixed on the base, the inner electrodes 58 and the outer electrodes 60 are densely arranged in the circumferential direction. The inner electrode 58 is drawn as a connector in the drawing.

【0033】各プローブユニット10の支持台は、基台
の中央の開口66に差し渡されていて、互いに平行に配
置されている。各プローブユニットの長さは、対応する
ウェーハ部分に応じて異なった寸法となっている。すな
わち、中央に配置される5個のプローブユニットは5個
のチップをカバーするように長くなっており、その外側
の合計4個のプローブユニットは3個のチップをカバー
するような長さになっており、一番外側の合計2個のプ
ローブユニットは1個のチップをカバーするように短く
なっている。そして、互いに長さの等しいプローブユニ
ットは互いに同一の構成になっていて互換性がある。
The support of each probe unit 10 extends across the central opening 66 of the base and is arranged parallel to each other. The length of each probe unit has different dimensions depending on the corresponding wafer portion. That is, the five probe units arranged in the center are long so as to cover five chips, and the total four probe units outside the four probe units are long enough to cover three chips. The outermost two probe units are short so as to cover one chip. The probe units having the same length have the same configuration and are compatible with each other.

【0034】次に、このプローブカードの使用方法を説
明する。図4において、ウェーハ12にはDRAMまた
はSRAMからなる多数の同一のメモリチップが形成さ
れている。プローブカードは11個のプローブユニット
を備えていて、全体として、ウェーハ12上のすべての
メモリチップの電極に同時に接触できるだけのプローブ
針を備えている。プローブカードに対してウェーハ12
を位置決めしてから、ウェーハ12をプローブカードに
押し付けると、すべてのチップの電極がプローブ針に接
触する。そして、テスタを用いてすべてのチップを同時
に検査する。テスタではチップの個数分の検査を並列に
実行する。このようにして、1回の検査時間で、ウェー
ハ上のすべてのチップの検査が完了し、検査時間が格段
に短縮される。
Next, a method of using the probe card will be described. In FIG. 4, a large number of identical memory chips made of DRAM or SRAM are formed on a wafer 12. The probe card has eleven probe units, and as a whole, has probe needles capable of simultaneously contacting the electrodes of all the memory chips on the wafer 12. Wafer 12 for probe card
Then, when the wafer 12 is pressed against the probe card, the electrodes of all the chips come into contact with the probe needles. Then, all the chips are inspected simultaneously using a tester. In the tester, tests for the number of chips are executed in parallel. In this way, the inspection of all the chips on the wafer is completed in one inspection time, and the inspection time is significantly reduced.

【0035】図6はこの発明の第2実施例における図1
と同様の側面断面図である。この実施例では、検査すべ
きウェーハ12a上の各チップ14aが、両側に2列の
電極を備えている。この電極配置に対応して、プローブ
ユニット10aは2列のプローブ針16aを備えてい
る。すなわち、ひとつのプローブユニット10aに属す
るプローブ針16aの先端は、平行な2本の直線上に配
列されている。また、5個のプローブユニット10a
は、ひとつおきのチップ列に対応するように配置されて
いる。したがって、このプローブカードを用いてウェー
ハ12a上のチップを検査するには、2回の同時検査が
必要となる。すなわち、最初の検査で、第1列、第3
列、第5列、第7列、第9列、第11列のチップをすべ
て同時に検査する。次に、ウェーハ12aをチップ幅分
だけ矢印70の方向に移動して、第2列、第4列、第6
列、第8列、第10列のチップを同時に検査する。
FIG. 6 shows a second embodiment of the present invention.
It is a side sectional view similar to. In this embodiment, each chip 14a on the wafer 12a to be inspected has two rows of electrodes on both sides. In accordance with this electrode arrangement, the probe unit 10a has two rows of probe needles 16a. That is, the tips of the probe needles 16a belonging to one probe unit 10a are arranged on two parallel straight lines. In addition, five probe units 10a
Are arranged so as to correspond to every other chip row. Therefore, in order to inspect chips on the wafer 12a using this probe card, two simultaneous inspections are required. That is, in the first inspection, the first row, the third row
The chips in the rows, the fifth row, the seventh row, the ninth row, and the eleventh row are all inspected simultaneously. Next, the wafer 12a is moved by the chip width in the direction of arrow 70, and the second row, fourth row,
The rows, the eighth row, and the tenth row of chips are inspected simultaneously.

【0036】図7はこの発明の第3実施例における図1
と同様の側面断面図である。この実施例では、検査すべ
きウェーハ12は図1のものと全く同じであるが、プロ
ーブユニット10の個数を5個にしている。そして、1
列おきのチップを同時に検査するようになっている。し
たがって、図6に示す第2実施例と同様に、2回の同時
検査でウェーハ上のすべてのチップの検査が完了する。
FIG. 7 shows a third embodiment of the present invention.
It is a side sectional view similar to. In this embodiment, the wafer 12 to be inspected is exactly the same as that of FIG. 1, but the number of probe units 10 is five. And 1
Chips in every other row are inspected simultaneously. Therefore, as in the second embodiment shown in FIG. 6, inspection of all chips on the wafer is completed by two simultaneous inspections.

【0037】この発明のプローブカードを用いると、検
査時間が短縮されるだけでなく、ウェーハとプローブカ
ードとの相対移動機構が極めて簡単になる。図1に示す
方式のように1回の検査でウェーハ上のすべてのチップ
の検査が完了する場合には、ウェーハとプローブカード
とを相対位置関係を順次変更してチップを順次検査する
ようなことが必要なくなり、大きな距離を移動するため
の相対移動機構は全く不要になる。最初の位置決めのた
めの数mm程度の相対移動機能があれば十分である。ま
た、図6や図7に示すような2回の同時検査を必要とす
る方式においても、せいぜい一つのチップ幅程度の相対
移動機能があれば足りる。
When the probe card of the present invention is used, not only the inspection time is shortened, but also the relative movement mechanism between the wafer and the probe card becomes extremely simple. When the inspection of all chips on a wafer is completed in a single inspection as in the method shown in FIG. 1, it is necessary to sequentially inspect the chips by sequentially changing the relative positional relationship between the wafer and the probe card. Is not required, and a relative movement mechanism for moving a large distance is not required at all. A relative movement function of about several mm for the first positioning is sufficient. Further, even in a system requiring two simultaneous inspections as shown in FIGS. 6 and 7, it is sufficient if there is a relative movement function of at most one chip width.

【0038】図8は、本発明のプローブカードを適用す
るのに効果的な実際のウェーハの平面図である。このS
iウェーハ12bは、12行×24列のチップ配列をも
ち、全部で232個のチップ14bがある。このウェー
ハを図1の方式で検査する場合には、24個のプローブ
ユニットを必要とする。また、図6または図7の方式で
検査する場合には12個のプローブユニットが必要とな
る。
FIG. 8 is a plan view of an actual wafer effective for applying the probe card of the present invention. This S
The i-wafer 12b has a chip arrangement of 12 rows × 24 columns, and has a total of 232 chips 14b. Inspection of this wafer by the method shown in FIG. 1 requires 24 probe units. Further, in the case of performing the inspection by the method shown in FIG. 6 or 7, 12 probe units are required.

【0039】[0039]

【発明の効果】この発明によれば、ウェーハ上のすべて
のチップを1回または少数回の同時検査で検査が完了
し、検査時間が格段に短縮される。また、複数のプロー
ブユニットを組み合わせたことにより、極めて多数のプ
ローブ針を有するプローブカードを従来と同様の技術で
製造できるようになり、また、故障時にも問題のプロー
ブカードだけを交換できるようになった。さらに、プロ
ーブユニットの配線板をウェーハの表面に対して垂直に
配置したことにより、複数のプローブユニットを密に配
置することが可能となった。
According to the present invention, inspection of all chips on a wafer is completed by one or a small number of simultaneous inspections, and the inspection time is significantly reduced. In addition, by combining a plurality of probe units, a probe card having an extremely large number of probe needles can be manufactured by the same technology as in the past, and even when a failure occurs, only the probe card in question can be replaced. Was. Further, by arranging the wiring boards of the probe units perpendicular to the surface of the wafer, a plurality of probe units can be densely arranged.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例のプローブカードのプロー
ブユニットの配列を示す側面断面図である。
FIG. 1 is a side sectional view showing an arrangement of probe units of a probe card according to an embodiment of the present invention.

【図2】プローブユニットを下から見た斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the probe unit viewed from below.

【図3】プローブユニットの拡大側面断面図である。FIG. 3 is an enlarged side sectional view of a probe unit.

【図4】プローブユニットの一部の正面断面図である。FIG. 4 is a front sectional view of a part of the probe unit.

【図5】プローブカードの全体を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing the entire probe card.

【図6】この発明の第2実施例における図1と同様の側
面断面図である。
FIG. 6 is a side sectional view similar to FIG. 1 in a second embodiment of the present invention.

【図7】この発明の第3実施例における図1と同様の側
面断面図である。
FIG. 7 is a side sectional view similar to FIG. 1 in a third embodiment of the present invention.

【図8】本発明のプローブカードを適用するのに効果的
な実際のウェーハの平面図である。
FIG. 8 is a plan view of an actual wafer effective for applying the probe card of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 プローブユニット 12 ウェーハ 14 チップ 16 プローブ針 20 支持体 22 取り付け部 28 プローブ針支持台 30 樹脂 32 配線板 48 基台 50 ネジ 52 ウェーハチャック 56 配線板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Probe unit 12 Wafer 14 Chip 16 Probe needle 20 Support 22 Mounting part 28 Probe needle support 30 Resin 32 Wiring board 48 Base 50 Screw 52 Wafer chuck 56 Wiring board

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 21/66 G01R 1/073 G01R 31/28Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H01L 21/66 G01R 1/073 G01R 31/28

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ウェーハ上の多数の集積回路チップを検
査するためのプローブカードにおいて、 複数のプローブユニットと、これらのプローブユニット
を支持する基台と、この基台に形成されていて前記プロ
ーブユニットと外部のテスタとを電気的に接続するため
第1の配線板とを備え、 前記プローブユニットは、複数の集積回路チップの電極
に同時に接触可能な多数のプローブ針と、前記ウェーハ
の表面に対して垂直方向に延びる第2の配線板と、プロ
ーブユニットを前記基台に取り付けるための支持体とを
備え、前記第2の配線板の上縁と両側の側縁には多数の電極が
形成されていて、これらの電極は、第2の配線板に形成
された配線パターンを経由して前記多数のプローブ針に
つながっており、 前記基台は環状に形成され、この基台の中央の開口部に
前記支持体が差し渡されて、前記支持体の長手方向の両
端が前記基台に取り付けられていて、すべてのプローブ
ユニットが互いに平行に配置されており、 前記第2の配線板の上縁と両側の側縁に形成された電極
が、前記第1の配線板の電極に接続されている ことを特
徴とするプローブカード。
1. A probe card for inspecting a large number of integrated circuit chips on a wafer, comprising: a plurality of probe units; a base supporting the probe units; and the probe unit formed on the base. A first wiring board for electrically connecting the probe unit and an external tester, wherein the probe unit has a number of probe needles capable of simultaneously contacting electrodes of a plurality of integrated circuit chips, and a surface of the wafer. A second wiring board extending in a direction perpendicular to the first wiring board; and a support for attaching the probe unit to the base. A large number of electrodes are provided on an upper edge and both side edges of the second wiring board.
These electrodes are formed on the second wiring board.
To the large number of probe needles
The base is formed in an annular shape, and the base has a central opening.
The support is passed over and both sides of the support in the longitudinal direction are
All probes with their ends attached to the base
Units are arranged in parallel with each other, and electrodes formed on the upper edge and both side edges of the second wiring board
Is connected to an electrode of the first wiring board .
【請求項2】 ひとつのプローブユニットに属するすべ
てのプローブ針の先端を、1本の直線上に配列したこと
を特徴とする請求項1記載のプローブカード。
2. The probe card according to claim 1, wherein the tips of all the probe needles belonging to one probe unit are arranged on one straight line.
【請求項3】 ひとつのプローブユニットに属するすべ
てのプローブ針の先端を、平行な2本の直線上に配列し
たことを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
3. The probe card according to claim 1, wherein the tips of all the probe needles belonging to one probe unit are arranged on two parallel straight lines.
【請求項4】 請求項1記載のプローブカードを用い
て、ウェーハ上に形成した多数の同一のメモリチップを
1回または2回の同時検査によってすべて検査すること
を特徴とする検査方法。
4. An inspection method, wherein all the same memory chips formed on a wafer are inspected once or twice simultaneously by using the probe card according to claim 1.
JP5349498A 1993-12-28 1993-12-28 Probe card and inspection method Expired - Fee Related JP2764854B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5349498A JP2764854B2 (en) 1993-12-28 1993-12-28 Probe card and inspection method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5349498A JP2764854B2 (en) 1993-12-28 1993-12-28 Probe card and inspection method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07201935A JPH07201935A (en) 1995-08-04
JP2764854B2 true JP2764854B2 (en) 1998-06-11

Family

ID=18404157

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5349498A Expired - Fee Related JP2764854B2 (en) 1993-12-28 1993-12-28 Probe card and inspection method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2764854B2 (en)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3604233B2 (en) * 1996-05-24 2004-12-22 株式会社日本マイクロニクス Inspection head
JP4010588B2 (en) * 1996-12-19 2007-11-21 株式会社日本マイクロニクス Inspection head
JP3188876B2 (en) 1997-12-29 2001-07-16 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレ−ション Method, test head and test apparatus for testing product chip
US6271674B1 (en) 1999-04-07 2001-08-07 Kabushiki Kaisha Nihon Micronics Probe card
JP4355127B2 (en) * 2002-06-04 2009-10-28 株式会社日本マイクロニクス Contact block and electrical connection device
KR100720122B1 (en) * 2005-03-30 2007-05-22 주식회사 세지 Probe device of semiconductor wafer inspector
KR101106607B1 (en) 2007-03-28 2012-01-20 후지쯔 세미컨덕터 가부시키가이샤 Test device for semiconductor device
JP4783825B2 (en) * 2008-11-01 2011-09-28 株式会社ヨコオ Clip-type relay connector
KR102605620B1 (en) * 2018-09-13 2023-11-23 삼성전자주식회사 Probe card inspection wafer, Probe card inspection system and probe card inspection method

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0740577B2 (en) * 1987-04-21 1995-05-01 東京エレクトロン株式会社 Probe card
JPH02148751A (en) * 1988-11-29 1990-06-07 Citizen Watch Co Ltd Pad layout for semiconductor device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07201935A (en) 1995-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101095057B (en) Probe head array
JP2764854B2 (en) Probe card and inspection method
US6836130B2 (en) Method and apparatus for wafer scale testing
US5014003A (en) Conductive pattern for electric test of semiconductor chips
JP2003297887A (en) Manufacturing method for semiconductor integrated circuit device and semiconductor inspection device
JP3730340B2 (en) Semiconductor test equipment
JP3214420B2 (en) Film carrier type semiconductor device, inspection probe head, and alignment method
JP3076831B2 (en) Device test equipment
JPS612338A (en) Inspection device
KR100543191B1 (en) Probe guide assembly
JP3553731B2 (en) Probe card
JP2657315B2 (en) Probe card
KR100472700B1 (en) Probe card for testing semiconductor device
JP3135135B2 (en) Semiconductor device, its manufacturing method, its testing method and its testing device
US7459925B1 (en) Probe card
KR200181401Y1 (en) Multi interface board for testing semiconductor ic
JP3564399B2 (en) Probe card
KR0127639B1 (en) Probing test method and apparatus
JPS6170734A (en) Probe card
KR0119296Y1 (en) Prober card
JPH04314344A (en) Probing card
JPH01263572A (en) Apparatus for testing semiconductor mounted substrate
KR200285963Y1 (en) Probe card by Parallel Probing Method
JPH04206753A (en) Semiconductor wafer and inspecting method for semiconductor element thereof
JPH07183341A (en) Probe test head

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100403

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110403

Year of fee payment: 13

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees