JPH0814610B2 - Circuit board inspection equipment - Google Patents

Circuit board inspection equipment

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JPH0814610B2
JPH0814610B2 JP62290162A JP29016287A JPH0814610B2 JP H0814610 B2 JPH0814610 B2 JP H0814610B2 JP 62290162 A JP62290162 A JP 62290162A JP 29016287 A JP29016287 A JP 29016287A JP H0814610 B2 JPH0814610 B2 JP H0814610B2
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base
probe
pin
circuit board
contact
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巽 佐々木
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Tokyo Electron Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、回路基板に各種電子部品を実装して組み立
てられた電子回路基板を被検査体とし、この実装電子回
路基板を機能検査する回路基板検査装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention uses an electronic circuit board assembled by mounting various electronic components on a circuit board as an object to be inspected. The present invention relates to a circuit board inspection device that inspects the function of

(従来の技術) この種の回路基板検査装置では、回路基板とテスター
との間に、テストフィクスチャーと呼ばれる部材を配置
し、回路基板のパターン面とテスターの出力端子とを接
続することで、前記回路基板の機能テストを実行するよ
うになっている。
(Prior Art) In this type of circuit board inspection device, a member called a test fixture is arranged between the circuit board and the tester, and by connecting the pattern surface of the circuit board and the output terminal of the tester, A functional test of the circuit board is performed.

ここで、従来のテストフィクスチャーは、基板の種類
が変更となる度に、テストフィクスチャー全体で交換す
る必要があり、回路基板毎に固有のテストフィクスチャ
ーを作成せざるを得なかった。
Here, the conventional test fixture needs to be replaced with the entire test fixture each time the type of the substrate is changed, and it is inevitable to create a unique test fixture for each circuit board.

また、第5図に示すように、テストフィクスチャーを
回路基板側に配置されるプローブベース100と、テスタ
ー側に配置されるコネクターベース101と、このプロー
ブベース100とコネクターベース101とを接続するための
接続交換ベース102とで構成し、プローブベース100は基
板の種類に拘らず共通化することも考えられる。
Further, as shown in FIG. 5, in order to connect the test fixture to the probe base 100 arranged on the circuit board side, the connector base 101 arranged on the tester side, and the probe base 100 and the connector base 101. It is also conceivable that the probe base 100 and the connection exchange base 102 of FIG.

しかし、この場合、前記接続交換ベース102とコネク
ターベース101との接続にあたり、補助コネクターベー
ス103を使用し、かつ、この配線を同図のように引き回
して行う他なかった。
However, in this case, when connecting the connection exchange base 102 and the connector base 101, the auxiliary connector base 103 was used and this wiring was laid out as shown in the figure.

(発明が解決しようとする問題点) 上述したように、テストフィクスチャーを回路基板毎
に用意して、基板の種類が変わる度に交換するのでは、
コストも高くなり、かつ、近年の多品種少量生産の場合
に交換作業が極めて煩雑である等の問題がある。
(Problems to be Solved by the Invention) As described above, a test fixture may be prepared for each circuit board and replaced every time the type of board changes.
There is a problem that the cost becomes high and the replacement work is extremely complicated in the case of recent production of small quantities of various products.

また、第5図に示すテストフィクスチャーにあって
は、一部部品の共通化が図れても、接続交換ベース102
とコネクターベース101,補助コネクターベース103との
接続が手作業による配線であり、作業者の負担の軽減に
はならない。
Further, in the test fixture shown in FIG. 5, even if some parts can be standardized, the connection exchange base 102
The connection between the connector base 101 and the auxiliary connector base 103 is manual wiring, which does not reduce the burden on the operator.

さらに、大きな問題として、第5図に示すものにあっ
ては、テスターからプローブベース100のプローブ先端
までの信号系の導電距離が、100cm程度と長くなり、テ
スターからの信号が回路基板に正確に伝わらないという
ことが多く、正確な検査を実行することが困難となって
いた。
Further, as a big problem, in the case shown in FIG. 5, the conductive distance of the signal system from the tester to the probe tip of the probe base 100 is as long as about 100 cm, so that the signal from the tester can be accurately transmitted to the circuit board. It was often not transmitted, making it difficult to perform accurate inspections.

そこで、本発明の目的とするところは、上述した従来
の問題点を解決し、回路基板の種類が変わっても、一部
の部品の交換のみで容易に対処することができ、しか
も、回路基板とテスターとを最短距離で接続することに
より、正確な検査を実行することができる回路基板検査
装置を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and even if the type of the circuit board is changed, it can be easily dealt with by exchanging only some of the components. It is an object of the present invention to provide a circuit board inspection device capable of performing an accurate inspection by connecting a tester and a tester at the shortest distance.

[発明の構成] (問題点を解決するための手段) 本発明は、回路基板をテストフィクスチャー上に載置
固定し、このテストフィクスチャーによって回路基板と
テスターとを接続することで、回路基板の機能検査を行
う回路基板検査装置において、 回路基板のパターン面と対向して配置され、所定ピッ
チでマトリクス状の各位置に第1のプローブピンを配列
支持したプローブベースと、 テスターの各出力端子に接触可能に第2のプローブピ
ンを配列支持したコネクターベースと、 前記プローブベースとコネクターベースとの間に配置
され、検査対象の種類に応じて前記第1のプローブピン
を前記回路基板と接触させ、かつ、前記第1、第2のプ
ローブピンを電気的に接続させる接続ピンを配列支持し
た接続変換ベースと、 前記プローブベースと前記接続交換ベースとの間の対
向間距離を可変する第1の駆動手段と、 前記接続変換ベースと前記コネクタベースとの間の対
向間距離を可変する第2の駆動手段と、 前記第1、第2の駆動手段の駆動後に、前記第1のプ
ローブピン、前記接続ピン及びいい前記第2のブローブ
ピンが接触したことを検出するセンサーと、 を有することを特徴とする。
[Structure of the Invention] (Means for Solving Problems) According to the present invention, a circuit board is mounted and fixed on a test fixture, and the circuit board and the tester are connected to each other by the test fixture. In a circuit board inspecting device that performs a function test of a circuit board, a probe base that is arranged so as to face the pattern surface of the circuit board and has first probe pins arranged and supported at each matrix position at a predetermined pitch, and each output terminal of the tester. Is disposed between the connector base and the connector base in which the second probe pins are arrayed and supported so that the first probe pins can be brought into contact with the circuit board according to the type of the inspection target. And a connection conversion base having arrayed connection pins for electrically connecting the first and second probe pins, and the probe base. First driving means for varying a facing distance between the connection conversion base and the connection exchange base; second driving means for varying a facing distance between the connection conversion base and the connector base; A sensor for detecting contact between the first probe pin, the connection pin and the second probe pin after driving the second drive means.

他の発明は、回路基板をテストフィクスチャー上に載
置固定し、このテストフィクスチャーによって回路基板
とテスターとを接続することで、回路基板の機能検査を
行う回路基板検査装置において、 回路基板のパターン面と対向して配置され、所定ピッ
チでマトリクス状の各位置に第1のプローブピンを配列
支持したプローブベースと、 テスターの各出力端子に接触可能に第2のプローブピ
ンを配列支持したコネクターベースと、 前記プローブベースとコネクターベースとの間に配置
され、検査対象の種類に応じて前記第1のプローブピン
を前記回路基板と接触させ、かつ、前記第1、第2のプ
ローブピンを電気的に接続させる接続ピンを配列支持し
た接続変換ベースと、 を有し、接続変換ベースに支持される前記接続ピンとし
て、 前記第1のプローブピンを押し上げて回路基板と接触
させ、かつ、前記第2のプローブピンとは接触しないリ
フターピンと、 前記第1のプローブピンを押し上げずかつこのピンと
接触せず、第2のプローブピンに接触するコネクターピ
ンと、 前記第1のプローブピンを押し上げ、かつ、第2のプ
ロープピンに接触するスルーピンと、 前記第1のプローブピンを絶縁キャップを介して押し
上げ、かつ、前記第2のプローブピンと接触する一対の
交換アダプターピンと、 を有し、 前記リフターピンとコネクターピンとを電気的に接続
し、かつ、一対の前記交換アダプターピンの一方と、他
方の交換アダプターピンによって押し上げられる第1の
プローブピンとを、前記絶縁キャップ上に取り付けられ
た導電体を利用して相互に電気的に接続して構成したこ
とを特徴とする。
Another invention is to mount and fix a circuit board on a test fixture, and connect the circuit board and the tester by this test fixture to perform a function inspection of the circuit board. A probe base that is arranged so as to face the pattern surface and that supports and supports a first probe pin at each position in a matrix at a predetermined pitch, and a connector that supports and supports a second probe pin so that it can contact each output terminal of the tester. The base is disposed between the probe base and the connector base, and the first probe pin is brought into contact with the circuit board according to the type of the inspection target, and the first and second probe pins are electrically connected. And a connection conversion base that supports connection pins arranged in an array, and the connection conversion base is supported by the connection conversion base. A lifter pin that pushes up one probe pin to bring it into contact with the circuit board and does not come into contact with the second probe pin; and a pusher pin that does not push up the first probe pin and does not come into contact with this pin, but comes into contact with the second probe pin. Connector pin, a through pin that pushes up the first probe pin and contacts the second probe pin, and a pair that pushes up the first probe pin via an insulating cap and contacts the second probe pin. And a first probe pin that is electrically connected to the lifter pin and the connector pin and that is pushed up by one of the pair of replacement adapter pins and the other replacement adapter pin. Constructed by electrically connecting to each other using a conductor mounted on the cap Characterized in that was.

(作用) 本発明では、回路基板の種類に応じて接続変換ベース
を用意しておき、被検査対象に応じた前記接続変換ベー
スを、前記プローブベースとコネクターベースとの間に
配置する。
(Operation) In the present invention, the connection conversion base is prepared according to the type of the circuit board, and the connection conversion base according to the inspection object is arranged between the probe base and the connector base.

ここで、接続変換ベースには、被検査対象となる回路
基板の種類に応じて接続ピンが配列支持されていて、こ
の接続ピンによって、プローブベースの第1のプローブ
ピンと、コネクターベースの第2まプローブピンとを接
続することができ、前記第1のプローブピンを回路基板
に、第2のプローブピンをテスターに接触させること
で、回路基板とテスターとを容易に接続することができ
る。
Here, connection pins are arranged and supported on the connection conversion base according to the type of the circuit board to be inspected, and the connection pins support the first probe pins of the probe base and the second pins of the connector base. By connecting the first probe pin to the circuit board and the second probe pin to the tester, the circuit board and the tester can be easily connected.

この際、回路基板の種類が変更される場合には、接続
変換ベースのみを交換するのみで足り、交換作業及び費
用が大幅に軽減される。
At this time, when the type of the circuit board is changed, only the connection conversion base needs to be replaced, and the replacement work and the cost are greatly reduced.

しかも、テスターと回路基板とは、第1のプローブピ
ン,接続ピン及び第2のプローブピンの接触によって確
保できるので、テスターと回路基板とを最短距離で接続
することができ、常時的確な検査を実行することができ
る。
Moreover, the tester and the circuit board can be secured by the contact of the first probe pin, the connection pin, and the second probe pin, so that the tester and the circuit board can be connected at the shortest distance, and the accurate inspection is always performed. Can be executed.

さらに、本発明では、3つのベースの対向間距離を可
変駆動することで、第1,第2のプローブピン及び接続ピ
ンの相互の接触を可能としてる。このため、接続変換ベ
ースの交換時期では、接続ピンが第1,第2のプローブピ
ンと非接触な状態であるため、接続変換ベースの交換を
容易に行うことができる。
Further, in the present invention, the first and second probe pins and the connecting pin can be brought into contact with each other by variably driving the distance between the three bases facing each other. Therefore, at the time of replacement of the connection conversion base, the connection pins are in non-contact with the first and second probe pins, so that the connection conversion base can be easily replaced.

さらに加えて、回路基板の機能検査を行う前には、第
1,第2のプローブピン及び接続ピンの相互の接触がセン
サーにより予め検出されるため、接続不良の状態での不
正確な検査を未然に防止することできる。
In addition, before performing a functional inspection of the circuit board,
Since mutual contact between the first and second probe pins and the connection pin is detected by the sensor in advance, it is possible to prevent an inaccurate inspection in a poor connection state.

本発明の他の態様によれば、第1のプローブピンと上
下にて対向関係にある第2のプローブピン同士を単純に
接続することができない場合に、コネクタピン、スルー
ピン、一対交換アダプタピンを用いることで、上下にて
対向関係にない第1,第2のプローブピン同士を電気的に
接続することが可能となる。
According to another aspect of the present invention, the connector pin, the through pin, and the pair exchange adapter pin are used when it is not possible to simply connect the second probe pins, which are vertically opposed to the first probe pin, to each other. This makes it possible to electrically connect the first and second probe pins that do not face each other vertically.

(実施例) 以下、本発明を適用した一実施例について、図面を参
照して具体的に説明する。
(Example) Hereinafter, one example to which the present invention is applied will be specifically described with reference to the drawings.

まず、実施例装置の全体の概要について、第3図を参
照して説明する。
First, an outline of the entire apparatus of the embodiment will be described with reference to FIG.

本実施例装置を大別すれば、被検査体である電子部品
を実装した回路基板1と、この回路基板1の機能検査を
実行するためのテスター10と、前記回路基板1を設置固
定し、かつ、この回路基板1のパターン面と接続される
各種ピンを介して、前記テスタ10と回路基板1とを接続
するテストフィクスチャー20とから構成されている。
The apparatus of the present embodiment is roughly classified into a circuit board 1 on which an electronic component, which is an object to be inspected, is mounted, a tester 10 for executing a function test of the circuit board 1, and the circuit board 1 are fixedly installed. In addition, the test fixture 20 is configured to connect the tester 10 and the circuit board 1 through various pins connected to the pattern surface of the circuit board 1.

前記テスター10は、前記テストフィクスチャー20を昇
降可能に支持するリフター11と、前記テストフィクスチ
ャー20の後述する支持ベース21を位置決め案内する案内
部材の一例であるロケーティングピン12と、前記支持ベ
ース21を真空吸引するためのバキュームポート13と、前
記テストフィクチャー20と対向する面上に、テスター10
の出力端子であるスプリング付きコンタクトプローブ14
とを有して構成されている。
The tester 10 includes a lifter 11 that supports the test fixture 20 so that the test fixture 20 can move up and down, a locating pin 12 that is an example of a guide member that positions and guides a support base 21 of the test fixture 20, which will be described later, and the support base. The vacuum port 13 for vacuum suction of 21 and the tester 10 on the surface facing the test fixture 20.
Contact probe with spring 14 which is the output terminal of
And is configured.

次に、本実施例装置の特徴的構成である前記テストフ
ィクチャー20について、第1図,第2図を参照して説明
する。
Next, the test fixture 20 which is a characteristic configuration of the apparatus of this embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

前記テストフィクスチャー20は、プローブベース30,
接続変換ベース(以下、CTBと略記する)40及びコネク
ターベース50を有し、この各ベース30,40,50に後述する
各種接続ピンを配置して、前記回路基板1とテスター10
との接続を行うようになっている。尚、本実施例の場
合、前記プローブベース30及びコネクターベース50は、
前記回路基板1の種類に拘らず共通に使用することがで
きるものであり、回路基板1の種類が変わった場合に
は、前記CTB40のみを基板1に固有なものに変更すれば
よいようになっている。
The test fixture 20 includes a probe base 30,
It has a connection conversion base (hereinafter abbreviated as CTB) 40 and a connector base 50, and various connection pins, which will be described later, are arranged on each of the bases 30, 40, 50, and the circuit board 1 and the tester 10
It is designed to connect with. In the case of the present embodiment, the probe base 30 and the connector base 50 are
It can be commonly used regardless of the type of the circuit board 1, and when the type of the circuit board 1 changes, only the CTB 40 needs to be changed to a unique one for the board 1. ing.

まず、各ベース30,40,50の取り付け構造について説明
すると、第1図に示すように前記テストフィクスチャー
20の基台となる支持ベース21が設けられ、この支持ベー
ス21に前記コネクターベース50が固定されている。ま
た、前記支持ベース21には支柱22が垂直に支持固定され
ており、この支柱22をガイドとして前記プローブベース
30とCTB40とが上下動可能に支持されている。
First, the mounting structure of each base 30, 40, 50 will be described. As shown in FIG.
A support base 21 serving as a base of 20 is provided, and the connector base 50 is fixed to the support base 21. A support 22 is vertically supported and fixed to the support base 21, and the support 22 is used as a guide for the probe base.
30 and CTB40 are supported so that they can move up and down.

前記CTB40は、各種回路基板1の種類に応じて容易に
交換できるように、下記のようにして支持されている。
すなわち、前記支柱22に沿って移動自在であって、対向
する面に溝23aを具備した移動案内部材23を有し、この
移動案内部材23の前記溝23aには、コ字状断面の移動レ
ール24を配置している。そして、前記CTB40は、前記移
動レール24に沿って、第2図の表面より裏面に向かう方
向に移動自在に支持されている。
The CTB 40 is supported as follows so that it can be easily replaced according to the type of various circuit boards 1.
That is, it has a movement guide member 23 that is movable along the column 22 and has a groove 23a on the opposite surface, and the groove 23a of the movement guide member 23 has a U-shaped cross-section movement rail. 24 are arranged. The CTB 40 is movably supported along the moving rail 24 in the direction from the front surface to the back surface in FIG.

また、前記支持ベース21に対して前記プローブベース
30,コネクターベース50を移動させるために、第1,第2
のエアーシリンダー25,26が設けられている。
Further, the probe base with respect to the support base 21.
30, 1st, 2nd to move connector base 50
Air cylinders 25 and 26 are provided.

そして、前記移動案内部材23に固定された前記第1の
エアーシリンダー25によって、前記プローブベース30に
近づく方向に移動案内部材23すなわちCTB40を移動可能
とし、前記支持ベース21に固定された第2のエアーシリ
ンダー26によって、前記プローブベース30を支持ベース
21側に移動可能としている。
The first air cylinder 25 fixed to the movement guide member 23 allows the movement guide member 23, that is, the CTB 40, to move in a direction approaching the probe base 30, and the second air cylinder 25 fixed to the support base 21. Support base for the probe base 30 by the air cylinder 26
It is possible to move to the 21st side.

次に、前記プローブベース30について説明する。 Next, the probe base 30 will be described.

前記プローブベース30は、前記回路基板1の部品実装
面とは反対側のパターン面と接触する第1のプローブピ
ン31を支持するベースである。本実施例では、前記第1
のプローブピン31を縦,横共に例えば1/10inchのピッチ
で、総数約2万本をマトリクス状の各点に配列支持して
いる。
The probe base 30 is a base that supports the first probe pin 31 that is in contact with the pattern surface of the circuit board 1 opposite to the component mounting surface. In this embodiment, the first
The probe pins 31 are vertically and horizontally arranged at a pitch of, for example, 1/10 inch, and a total of about 20,000 pieces are arranged and supported at each point in a matrix.

このように、本実施例においてマトリクス状の各位置
に細分して第1のプローブピン31を配置している理由
は、このプローブベース30を各種回路基板1に共通に使
用できるようにするためである。
As described above, the reason why the first probe pins 31 are subdivided at the respective matrix-shaped positions in the present embodiment is that the probe base 30 can be commonly used for various circuit boards 1. is there.

すなわち、電子部品の最少端子ピッチである1/10inch
で縦横に第1のプローブピン31を配置することで、回路
基板1のパータンの相違に拘らず、このいずれかの第1
のプローブピン31を必要に応じて前記回路基板1のパタ
ーン面に接触させることができ、プローブベース30の変
更を要せずに各種回路基板1の検査に使用することが可
能となる。
That is, the minimum terminal pitch of electronic parts is 1/10 inch
Thus, by arranging the first probe pins 31 in the vertical and horizontal directions, the first probe pin 31 of any one of these can be used regardless of the pattern difference of the circuit board 1.
The probe pins 31 can be brought into contact with the pattern surface of the circuit board 1 as needed, and can be used for inspection of various circuit boards 1 without changing the probe base 30.

前記第1のプローブピン31は、第2図に詳図するよう
に、その両端に電気的に導通する接続片32を有し、中間
部より上側にストッパー33を備えている。そして、前記
接続片32は、同図の矢印方向である軸方向の両端側に突
出付勢されるように、ダブルスプリングプローブピン構
造となっている。
As shown in detail in FIG. 2, the first probe pin 31 has connection pieces 32 electrically connected to both ends thereof, and a stopper 33 provided above the intermediate portion. The connecting piece 32 has a double spring probe pin structure so as to be urged toward both ends in the axial direction, which is the arrow direction in the figure.

この第1のプローブピン31は、前記プローブベース30
に形成した挿入穴30aに挿入され、かつ、前記ストッパ
ー33が前記挿入穴30aの上端に当接することで、その自
重によって所定位置に支持されるようになっている。
The first probe pin 31 is connected to the probe base 30.
When the stopper 33 is inserted into the insertion hole 30a formed in the above, and the stopper 33 contacts the upper end of the insertion hole 30a, it is supported at a predetermined position by its own weight.

また、前記プローブベース30の上面には、前記各第1
のプローブピン31の配列位置に対応してガイド穴35aを
有するピンガイドプレート35がプレートガイド36によっ
て取り付け案内され、かつ、圧縮コイルスプリング37に
よって常時上方に付勢されている。そして、前記ガイド
穴35aに挿通されることにより、前記第1のプローブピ
ン31を回路基板1のパターン面に正確に接触できるよう
に構成している。さらに、前記ピンガイドプレート35上
には、回路基板1用のガイドピン38が垂直に立設され、
前記基板1をピンガイドプレート35上で正確に位置決め
できるようになっている。
In addition, on the upper surface of the probe base 30, each of the first
A pin guide plate 35 having guide holes 35a corresponding to the arrangement position of the probe pins 31 is attached and guided by a plate guide 36, and is constantly urged upward by a compression coil spring 37. The first probe pin 31 can be accurately brought into contact with the pattern surface of the circuit board 1 by being inserted into the guide hole 35a. Further, guide pins 38 for the circuit board 1 are vertically installed on the pin guide plate 35,
The substrate 1 can be accurately positioned on the pin guide plate 35.

次に、前記コネクターベース50について説明する。 Next, the connector base 50 will be described.

このコネクターベース50は、前記テスター10のスプリ
ング付きコンタクトプローブ14と接触し、かつ、前記CT
B40の各種ピンと接触して、コネクターとしての機能を
有するベースであり、このベース50には、前記テスター
10のスプリング付きコンタクトプローブ14と対向する各
位置に、第2のプローブピン51が支持されている。尚、
この第2のプローブピン51は、その上端の接続片52がス
プリングによって常時上方に付勢されている。また、図
示していないが、このコネクターベース50には、前記テ
スター10のロケーティングピン12に挿通される被案内部
材であるガイド穴が形成され、前記テスター側との正確
な位置決めが成されるようになっている。
The connector base 50 contacts the spring contact probe 14 of the tester 10 and the CT
It is a base that has a function as a connector by contacting various pins of B40.
A second probe pin 51 is supported at each position facing the contact probe with spring 14 of FIG. still,
The connecting piece 52 at the upper end of the second probe pin 51 is constantly urged upward by a spring. Further, although not shown, a guide hole which is a guided member to be inserted into the locating pin 12 of the tester 10 is formed in the connector base 50, and accurate positioning with the tester side is performed. It is like this.

尚、このコネクターベース50は、後述するように、テ
スター10側に真空吸引されるので、テスター10側への空
気の流入を防止する構造となっている。
Since the connector base 50 is vacuum-sucked to the tester 10 side, as will be described later, it has a structure for preventing air from flowing into the tester 10 side.

次に、実動作状態における第2図を使用して、前記CT
B40の構成について説明する。
Next, using FIG. 2 in the actual operating state, the CT
The configuration of B40 will be described.

このCTB40には、前記プローブベース30とコネクター
ベース50とを、各種基板1に共通に使用するため、4種
類の接続ピンを各種回路基板1のパターンに応じて配列
支持するようになっている。
In this CTB 40, the probe base 30 and the connector base 50 are commonly used for various boards 1, so that four types of connection pins are arranged and supported according to the pattern of various circuit boards 1.

この4種類の接続ピンについて第2図を参照して説明
すると、リフターピン41とは、前記プローブベース30側
の第1のプローブピン31と接触してこれを上方に突き上
げる寸法であり、かつ、下方のコネクターベース50側の
第2のプローブピン5とは接触しない寸法に形成されて
いる。
The four types of connection pins will be described with reference to FIG. 2. The lifter pin 41 has a size such that it contacts the first probe pin 31 on the probe base 30 side and pushes it upward. It is formed so as not to contact the second probe pin 5 on the lower connector base 50 side.

コネクターピン42とは、前記プローブベース30側の第
1のプローブピン31とは接触しない寸法であり、かつ、
下方のコネクターベース50側の第2のプローブピン51と
は接触してこれを下方に押し下げる寸法に形成されてい
る。
The connector pin 42 has a size that does not contact the first probe pin 31 on the probe base 30 side, and
The second probe pin 51 on the lower connector base 50 side is in contact with and pushed down by the second probe pin 51.

尚、前記リフターピン41とコネクターピン42とは、接
続電線43によって電気的に接続されるようになってい
る。従って、前記リフターピン41とコネクターピン42と
を使用することで、上下に対向関係のない第1,第2のプ
ローブピン31,51を接続可能となっている。
The lifter pin 41 and the connector pin 42 are electrically connected by a connecting wire 43. Therefore, by using the lifter pin 41 and the connector pin 42, it is possible to connect the first and second probe pins 31, 51 which are not vertically opposed to each other.

スルーピン44とは、上下の第1,第2のプローブピン3
1,51を共に突き上げ,押し下げる寸法となっていて、上
下に対向関係にある第1,第2のプローブピン31,51の接
続を行うようになっている。
The through pin 44 means the upper and lower first and second probe pins 3
The dimensions are such that both 1,51 are pushed up and pushed down, and the first and second probe pins 31,51 which are vertically opposed to each other are connected.

交換アダプターピン45とは、寸法的には前記スルーピ
ン44と同様に、上下の第1のプローブピン31,51を突き
上げ,押し下げる寸法であるが、その上端には上面に導
電層46aを形成した絶縁キャップ46が装着されている。
この結果、前記第1のプローブピン31と導電層46aとは
導通するが、交換アダプターピン45と前記第1のプロー
ブピン31とは絶縁されるようになっている。
The exchange adapter pin 45 is dimensionally similar to the through pin 44 in that the upper and lower first probe pins 31 and 51 are pushed up and pushed down, but an insulating layer having a conductive layer 46a formed on the upper surface is formed at the upper end thereof. The cap 46 is attached.
As a result, the first probe pin 31 is electrically connected to the conductive layer 46a, but the replacement adapter pin 45 and the first probe pin 31 are insulated.

この交換アダプターピン45は、2本を一対として使用
され、一方の交換アダプターピン45の中間部に巻回した
交換配線47の端部を、他方の交換アダプターピン45の前
記絶縁キャップ46上の前記導電層46aに接続して使用す
るようになっている。
The two exchange adapter pins 45 are used as a pair, and one end of the exchange wiring 47 wound around the middle portion of the one exchange adapter pin 45 is connected to the insulation cap 46 of the other exchange adapter pin 45. It is designed to be used by connecting to the conductive layer 46a.

この結果、回路基板1のパターンに接触する2本の第
1のプローブピン31,31を、前記一対の交換アダプター
ピン45を使用することにより、上下関係に無い逆の第2
のプローブピン51にそれぞれ接続できるようになってい
る。
As a result, by using the pair of exchange adapter pins 45 for the two first probe pins 31, 31 that come into contact with the pattern of the circuit board 1, there is a second reverse
It can be connected to each probe pin 51 of.

次に、上記検査装置の作用について説明する。 Next, the operation of the inspection device will be described.

まず、この検査装置に被検査体としての回路基板1を
セットし、セットされた回路基板1に固有の前記CTB40
を選択し、これを前記移動案内部材23の移動レール24に
挿入して装着する。そして、このCTB40を前記移動レー
ル24に沿って移動させ、前記回路基板1がセットされる
ピンガイドプレート35に対向する下方に配置する。
First, the circuit board 1 as the object to be inspected is set in this inspection apparatus, and the CTB40 unique to the set circuit board 1 is set.
Is selected, and this is inserted into the movement rail 24 of the movement guide member 23 and mounted. Then, the CTB 40 is moved along the moving rail 24 and is arranged below the pin guide plate 35 on which the circuit board 1 is set.

次に、第1のエアーシリンダー25を駆動し、前記CTB4
0を保持する移動案内部材23を上方に移動させる。この
後、前記第2のエアーシリンダー26を駆動し、前記プロ
ーブベース30及びCTB40を一体的に下降移動させる。
Next, the first air cylinder 25 is driven to drive the CTB4
The movement guide member 23 holding 0 is moved upward. After that, the second air cylinder 26 is driven, and the probe base 30 and the CTB 40 are integrally moved downward.

このような移動によって、第2図に示すような各種ピ
ンの接続状態を確保することができる。
By such movement, it is possible to secure the connection state of various pins as shown in FIG.

ここで、前記回路基板1と接触するプローブベース30
上の第1のプローブピン31とは、リフターピン41に突き
上げられたもの、スルーピン44に突き上げられたもの、
交換アダプターピン45に突き上げられたものの3種類で
ある。他の第1のプローブピン31は、前記ピンガイドプ
レート35よりも突出されることがないので、回路基板1
との接続が行われない。
Here, the probe base 30 in contact with the circuit board 1
The first probe pin 31 above is the one pushed up by the lifter pin 41, the one pushed up by the through pin 44,
There are three types, one pushed up by the exchange adapter pin 45. Since the other first probe pins 31 are not projected beyond the pin guide plate 35, the circuit board 1
Is not connected.

ここで、本実施例では、前記第1のプローブピン31
を、電子部品の最少端子ピッチでマトリクス状の各位置
に備え、セットされる回路基板1に固有の前記CTB40の
上述したピン41,44,45によって、接続が必要な第1のプ
ローブピン31のみを突き上げて使用している。
Here, in the present embodiment, the first probe pin 31
Is provided at each position of the matrix with the minimum terminal pitch of the electronic component, and the above-mentioned pins 41, 44, 45 of the CTB 40 specific to the circuit board 1 to be set are used to connect only the first probe pin 31. Is pushed up and used.

この結果、多種類の回路基板1をこの検査装置で使用
する場合であっても、回路基板1に応じたCTB40を予め
作成しておき、基板1に応じてこのCTB40のみを交換す
るだけで、他に何等の変更を要せずに検査装置を兼用す
ることができ、従来のように、回路基板1に合わせて多
数の部品の変更を要し、また多数の部材を使用するもの
に比べれば、汎用性が大幅に向上し、検査者の負担を格
段に軽減することができる。
As a result, even when many types of circuit boards 1 are used in this inspection device, a CTB40 corresponding to the circuit board 1 is created in advance, and only this CTB40 is replaced according to the board 1. It can be used as an inspection device without any other change. Compared to the conventional one, which requires a large number of parts to be changed according to the circuit board 1, and which uses a large number of members. The versatility is greatly improved and the burden on the inspector can be significantly reduced.

また、このようにプローブベース30及びコネクターベ
ース50を、回路基板1の種類に拘らず兼用する場合、プ
ローブベース30の第1のプローブピン31を、これと上下
関係にあるコネクターベース50上の第2のプローブピン
51に単純に接続することが、前記テスター10の検査機能
との関係で制限されることがある。
In addition, when the probe base 30 and the connector base 50 are used in common regardless of the type of the circuit board 1 as described above, the first probe pin 31 of the probe base 30 is arranged on the connector base 50 which is in a vertical relationship with the first probe pin 31. 2 probe pins
Simple connection to 51 may be limited in connection with the test function of the tester 10.

そこで、本実施例では前記CTB40に4種類のピン41,4
2,44,45を各種回路基板1に応じて配置し、接続される
第1,第2のプローブピン31,51の関係を変更可能として
いる。
Therefore, in this embodiment, the CTB 40 has four types of pins 41, 4
2, 44, 45 are arranged according to various circuit boards 1, and the relationship between the connected first and second probe pins 31, 51 can be changed.

以上のように、テストフィクスチャー20における接続
状態の設定終了後、前記テスター10のバキュームポート
13によって真空吸引し、前記テストフィクチャー20の基
台である支持ベース21をテスター10側に吸引し、前記コ
ネクターベース50に支持されている第2のプローブピン
51の下端を、前記テスター10のスプリング付きコンタク
トプローブ14に接触させる。
As described above, after the setting of the connection state in the test fixture 20 is completed, the vacuum port of the tester 10 is set.
The second probe pin supported by the connector base 50 is vacuum-sucked by 13, and the support base 21 that is the base of the test fixture 20 is sucked toward the tester 10.
The lower end of 51 is brought into contact with the contact probe with spring 14 of the tester 10.

ここで、前記テスター10によって、前記回路基板1に
通電を行い、所定の機能検査を実行することができる。
Here, the tester 10 can energize the circuit board 1 to perform a predetermined function test.

尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
The present invention is not limited to the above embodiment,
Various modifications can be made within the scope of the present invention.

例えば、上記実施例装置に下記の各部材を付加し、検
査の確実性と作業性の向上とを確保するようにしてもよ
い。
For example, the following members may be added to the apparatus of the above embodiment to ensure the reliability of inspection and the improvement of workability.

すなわち、第4図に示すように、この検査装置の制御
を司どるCPU60に下記の各部材を接続している。
That is, as shown in FIG. 4, the following members are connected to the CPU 60 which controls the inspection device.

まず、第1のセンサー61は、前記第1のエアーシリン
ダー25によって接続されるプローブベース30とCTB40と
のの接続状態を検出するものであり、このセンサー61と
しては、例えば第1のプローブピン31とリフターピン41
とを使用し、この両ピン31,41の接触抵抗が所定値以下
になったことを検出するように構成することができる。
First, the first sensor 61 detects the connection state between the CTB 40 and the probe base 30 connected by the first air cylinder 25. As the sensor 61, for example, the first probe pin 31 is used. And lifter pin 41
Can be used to detect that the contact resistances of the pins 31 and 41 are below a predetermined value.

第2のセンサー62は、前記第2のエアーシリンダー26
によって接続される3つのベース30,40,50の接続状態を
検出するものである。
The second sensor 62 is connected to the second air cylinder 26.
The connection state of the three bases 30, 40, 50 connected by is detected.

この第2のセンサー62としては、前記第1のセンサー
61と同様に、各ベース30,40,50に支持されているピンの
うち、例えば第1,第2のプローブピン31,51とスルーピ
ン44とを使用することができ、この間の接触抵抗が所定
値以下となったことを検出するように構成できる。
As the second sensor 62, the first sensor
Similar to 61, of the pins supported by the bases 30, 40, 50, for example, the first and second probe pins 31, 51 and the through pin 44 can be used, and the contact resistance between them is predetermined. It can be configured to detect when the value is less than or equal to the value.

尚、上記第1,第2のセンサー61,62としては、上述し
たようにベースに支持されたピンを利用するものに限ら
ず、光センサー等他の種々のセンサーを使用することが
できる。
The first and second sensors 61 and 62 are not limited to those using the pins supported by the base as described above, and various other sensors such as an optical sensor can be used.

駆動モータ63は、前記CTB40を移動レール24に沿って
自動搬送するものであり、例えば操作キー64での入力に
基づき駆動されるものである。また、第4図に示す第1,
第2のエアーシリンダー25,26は、第1図に示したもの
と同一機能を有するものである。
The drive motor 63 automatically conveys the CTB 40 along the moving rail 24, and is driven based on an input from the operation key 64, for example. Also, as shown in FIG.
The second air cylinders 25 and 26 have the same functions as those shown in FIG.

ここで、検査を行うに際して、前記CTB40を移動レー
ル24にセットし、前記操作キー64を操作すると、駆動モ
ータ63がCPU60によって駆動され、前記CTB40を基板1と
対向する位置まで自動搬送することになる。
Here, when performing the inspection, when the CTB 40 is set on the moving rail 24 and the operation key 64 is operated, the drive motor 63 is driven by the CPU 60, and the CTB 40 is automatically conveyed to a position facing the substrate 1. Become.

次に、前記第1のエアーシリンダー25がCPU60によっ
て駆動され、前記CTB40をプローブベース30側に移動さ
せることになる。
Next, the first air cylinder 25 is driven by the CPU 60 to move the CTB 40 to the probe base 30 side.

そして、前記第1のセンサー61によって、上記両ベー
ス30,40のピンの接続状態が確認された後に、CPU60は第
2のエアーシリンダー26を駆動し、プローブベース30及
びCTB40を前記コネクターベース50側に移動することに
なる。
After the first sensor 61 confirms the connection state of the pins of the bases 30 and 40, the CPU 60 drives the second air cylinder 26 to move the probe base 30 and the CTB 40 to the connector base 50 side. Will be moved to.

そして、その後、前記第2のセンサー62によって、各
ベース30,40,50のピンの接続状態が確認された後に、以
降の工程に移行することになる。
Then, after the second sensor 62 confirms the connection state of the pins of each of the bases 30, 40, 50, the subsequent steps are performed.

このように、各ベースの移動後に、センサーによって
接続状態を確認しているので、接続不良の下での検査を
排除することができ、常時確実な検査を実行することが
可能となる。また、CTB40を自動搬送することで、検査
のための負担が大幅に軽減される。
In this way, since the connection state is confirmed by the sensor after each base is moved, it is possible to eliminate the inspection under the connection failure, and it is possible to always perform the reliable inspection. Also, by automatically transporting the CTB40, the burden of inspection is greatly reduced.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によればプローブベース
とコネクターベースは、検査対象なる回路基板の種類が
変わった場合にも共通に使用でき、この場合には各種基
板について予め作成された接続変換ベースのみを交換す
ればよいので、従来よりも汎用性が大幅に向上し、検査
費用の低減を図ることができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the probe base and the connector base can be used in common even when the type of the circuit board to be inspected is changed. Since only the connected connection conversion base needs to be exchanged, the versatility is significantly improved as compared with the conventional one, and the inspection cost can be reduced.

しかも、3種のベースに支持されたピンの接続によっ
て、回路基板とテスターとを接続しているので、最短距
離での接続が可能となり、特に高周波において検査信号
が改善され、的確な検査を実行することができる。
Moreover, since the circuit board and the tester are connected by connecting the pins supported by the three types of bases, the connection can be made in the shortest distance, and the inspection signal is improved especially at high frequencies, and accurate inspection is performed. can do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例である回路基板多機能検査装
置におけるテストフィクスチャーの概略断面図、 第2図は第1図の検査装置におけるテストフィクスチャ
ーでの各種ピンの接続状態を、実動作状態において寸法
的に示す概略説明図、 第3図は第1図のテストフィクスチャーを用いた回路基
板検査装置の全体構成を示す概略斜視図、 第4図は第1図の実施例装置に適用される制御系のブロ
ック図、 第5図は従来の検査装置におけるテストフィクスチャー
の構造を示す概略説明図である。 1……回路基板、10……テスター、 20……テストフィクスチャー、 21……支持ベース、 25……第1のエアーシリンダー、 26……第2のエアーシリンダー、 30……プローブベース、 31……第1のプローブピン、 40……接続変換ベース、41……リフターピン、 42……コネクターピン、44……スルーピン、 45……交換アダプターピン、 50……コネクターベース、 51……第2のプローブピン、 61,62……センサー。
FIG. 1 is a schematic sectional view of a test fixture in a circuit board multifunctional inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a connection state of various pins in the test fixture in the inspection apparatus of FIG. FIG. 3 is a schematic explanatory view showing dimensionally in an actual operation state, FIG. 3 is a schematic perspective view showing an overall configuration of a circuit board inspection device using the test fixture of FIG. 1, and FIG. 4 is an embodiment device of FIG. FIG. 5 is a block diagram of a control system applied to, and FIG. 5 is a schematic explanatory view showing the structure of a test fixture in a conventional inspection device. 1 ... Circuit board, 10 ... Tester, 20 ... Test fixture, 21 ... Support base, 25 ... First air cylinder, 26 ... Second air cylinder, 30 ... Probe base, 31 ... ... 1st probe pin, 40 ... connection conversion base, 41 ... lifter pin, 42 ... connector pin, 44 ... through pin, 45 ... replacement adapter pin, 50 ... connector base, 51 ... second Probe pins, 61, 62 ... Sensors.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】回路基板をテストフィクスチャー上に載置
固定し、このテストフィクスチャーによって回路基板と
テスターとを接続することで、回路基板の機能検査を行
う回路基板検査装置において、 回路基板のパターン面と対向して配置され、所定ピッチ
でマトリクス状の各位置に第1のプローブピンを配列支
持したプローブベースと、 テスターの各出力端子に接触可能に第2のプローブピン
を配列支持したコネクターベースと、 前記プローブベースとコネクターベースとの間に配置さ
れ、検査対象の種類に応じて前記第1のプローブピンを
前記回路基板と接触させ、かつ、前記第1、第2のプロ
ーブピンを電気的に接続させる接続ピンを配列支持した
接続変換ベースと、 前記プローブベースと前記接続交換ベースとの間の対向
間距離を可変する第1の駆動手段と、 前記接続変換ベースと前記コネクタベースとの間の対向
間距離を可変する第2の駆動手段と、 前記第1、第2の駆動手段の駆動後に、前記第1のプロ
ーブピン、前記接続ピン及び前記第2のプローブピンが
接触したことを検出するセンサーと、 を有することを特徴とする回路基板検査装置。
1. A circuit board inspecting device for inspecting the function of a circuit board by mounting and fixing the circuit board on a test fixture and connecting the circuit board and the tester by the test fixture. A probe base that is arranged so as to face the pattern surface and that supports and supports a first probe pin at each position in a matrix at a predetermined pitch, and a connector that supports and supports a second probe pin so that it can contact each output terminal of the tester. The base is disposed between the probe base and the connector base, and the first probe pin is brought into contact with the circuit board according to the type of the inspection target, and the first and second probe pins are electrically connected. The connection conversion base, which supports the connection pins to be connected electrically, and the facing distance between the probe base and the connection exchange base. A first driving unit that changes; a second driving unit that changes a facing distance between the connection conversion base and the connector base; and a first driving unit that drives the first and second driving units. And a sensor that detects that the probe pin, the connection pin, and the second probe pin are in contact with each other.
【請求項2】接続変換ベースは、前記プローブベース及
びコネクターベースに対してスライド移動可能な移動部
材に支持され、かつ、この移動部材に対して、前記回路
基板に対向する位置としない位置とにスライド移動自在
に支持されたものである特許請求の範囲第1項記載の回
路基板検査装置。
2. The connection conversion base is supported by a moving member that is slidable with respect to the probe base and the connector base, and at a position that is opposed to the circuit board with respect to the moving member. The circuit board inspection device according to claim 1, which is supported so as to be slidably movable.
【請求項3】回路基板をテストフィクスチャー上に載置
固定し、このテストフィクスチャーによって回路基板と
テスターとを接続することで、回路基板の機能検査を行
う回路基板検査装置において、 回路基板のパターン面と対向して配置され、所定ピッチ
でマトリクス状の各位置に第1のプローブピンを配列支
持したプローブベースと、 テスターの各出力端子に接触可能に第2のプローブピン
を配列支持したコネクターベースと、 前記プローブベースとコネクターベースとの間に配置さ
れ、検査対象の種類に応じて前記第1のプローブピンを
前記回路基板と接触させ、かつ、前記第1、第2のプロ
ーブピンを電気的に接続させる接続ピンを配列支持した
接続変換ベースと、 を有し、接続変換ベースに支持される前記接続ピンとし
て、 前記第1のプローブピンを押し上げて回路基板と接触さ
せ、かつ、前記第2のプローブピンとは接触しないリフ
ターピンと、 前記第1のプローブピンを押し上げずかつこのピンと接
触せず、第2のプローブピンに接触するコネクターピン
と、 前記第1のプローブピンを押し上げ、かつ、第2のプロ
ーブピンに接触するスルーピンと、 前記第1のプローブピンを絶縁キャップを介して押し上
げ、かつ、前記第2のプローブピンと接触する一対の交
換アダプターピンと、 を有し、 前記リフターピンとコネクターピンとを電気的に接続
し、かつ、一対の前記交換アダプターピンの一方と、他
方の交換アダプターピンによって押し上げられる第1の
プローブピンとを、前記絶縁キャップ上に取り付けられ
た導電体を利用して相互に電気的に接続して構成したこ
とを特徴とする回路基板検査装置。
3. A circuit board inspecting device for inspecting the function of a circuit board by mounting and fixing the circuit board on a test fixture and connecting the circuit board and the tester by the test fixture. A probe base that is arranged so as to face the pattern surface and that supports and supports a first probe pin at each position in a matrix at a predetermined pitch, and a connector that supports and supports a second probe pin so that it can contact each output terminal of the tester. The base is disposed between the probe base and the connector base, and the first probe pin is brought into contact with the circuit board according to the type of the inspection target, and the first and second probe pins are electrically connected. And a connection conversion base that supports connection pins arranged in an array, and the connection conversion base is supported by the connection conversion base. A lifter pin that pushes up one probe pin to bring it into contact with the circuit board and does not come into contact with the second probe pin; and a pusher pin that does not push up the first probe pin and does not come into contact with this pin, but comes into contact with the second probe pin. Connector pin, a through pin that pushes up the first probe pin and contacts the second probe pin, and a push pin that pushes up the first probe pin through an insulating cap and contacts the second probe pin A pair of exchange adapter pins, and electrically connecting the lifter pin and the connector pin, and one of the pair of exchange adapter pins and a first probe pin pushed up by the other exchange adapter pin, Constructed by electrically connecting to each other using a conductor mounted on an insulating cap Circuit board inspection device, characterized in that the.
【請求項4】各ベースは、支持ベースに支持され、この
支持ベースをテスター側に移動させて、前記第2のプロ
ーブピンとテスターの出力端子とを接続する特許請求の
範囲第3項記載の回路基板検査装置。
4. The circuit according to claim 3, wherein each base is supported by a support base, and the support base is moved to the tester side to connect the second probe pin and the output terminal of the tester. Substrate inspection device.
【請求項5】支持ベースは、テスター側に配置された案
内部材と係合する被案内部材を有し、前記支持ベースの
移動を案内するように構成した特許請求の範囲第4項記
載の回路基板検査装置。
5. The circuit according to claim 4, wherein the support base has a guided member that engages with a guide member arranged on the tester side, and is configured to guide the movement of the support base. Substrate inspection device.
【請求項6】プローブベースに対して接続変換ベースを
スライド移動する第1のエアーシリンダーと、 支持ベースに固定されたコネクターベースに対して前記
プローブベースをスライド移動させる第2のエアーシリ
ンダーと、 プローブベースの第1のプローブピンと接続変換ベース
の接続ピンとが接触したことを検知するセンサーとを有
し、 このセンサーで接触が検知された後に、前記第2のエア
ーシリンダーを駆動するように構成した特許請求の範囲
第3項乃至第5項のいずれかに記載の回路基板検査装
置。
6. A first air cylinder for slidingly moving the connection conversion base with respect to the probe base, a second air cylinder for slidingly moving the probe base with respect to a connector base fixed to the support base, and a probe. A sensor having a sensor for detecting contact between the first probe pin of the base and the connecting pin of the connection conversion base, and configured to drive the second air cylinder after the contact is detected by this sensor. The circuit board inspection device according to any one of claims 3 to 5.
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