JPH03185361A - プロービング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、プロービング装置に関し、例えば液晶セル
あるいは液晶セル駆動用プリント配線板の配線パターン
などの回路基板上に形成された微細、微小導体における
短絡、断線、配線抵抗、導通抵抗などを検査するための
プロービング装置に係わるものである。

〔従来の技術〕

第６図は例えば実開昭６２−１４３９８６号公報に開示
された従来のプロービング装置を示し、図において、１
は被検査回路基板、２はこの回路基板１上に設けた検査
端子列、５はゴム系弾性体、７は可撓性回路基板を構成
する可撓性絶縁シート、１３は押圧部材である。上記可
撓性絶縁シート７の先端部には上記被検査回路基板ｌの
検査端子列と同一ピンチのコンタクトパッド列６が形成
され、引出し線１０の終端に終端パッド１１が形成され
ている。また、可視性絶縁シート７は押圧部材１３の下
方においてコンタクトバンド列６が表面に露出するよう
にゴム系弾性体５に貼合されている。

次に動作について説明する。検査にあたっては被検査回
路基板１の検査端子列ｚ上にコンタクトパッド列６を位
置合せした後、押圧部材１３の上面を加圧することによ
り、ゴム系弾性体５のもつ弾性力で被検査回路基板１の
検査端子列２とコンタクトパッド列６を加圧接触させて
電気的導通を得、同時に終端バンド１１からコネクタな
どを介して検査回Ｂ（図示せず）へ電気信号を送ること
により被検査回路基板１の配線パターンの短絡。

断線などを検査する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のプロービング装置では、コンタクトパッド列６を
有する可撓性絶縁シート７及びゴム系弾性体５、押圧部
材１３が一体的にｔＩＩＩ或されているため、−列に並
んだ多数の端子を有する被検査回路基板１に対するプロ
ービングにおいては、被検査回路基板１や可撓性絶縁シ
ート７の寸法変化による端子ピッチずれが発生したり、
全検査端子にわたり一体型プローバで均一に加圧接触さ
せることが極めて困難で加圧ムラによる部分的な接触不
良が起こりやすい等の問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、端子ピッチのずれやプローバの加圧むらによ
る接触不良を発生させることのないプロービング装置を
得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係わるプロービング装置は、−列に並設した
多数の被検査端子列を有する回路基板の電気的検査を行
なうためのプロービング装置において、プローバに取付
けた弾性体の先端部に、検査回路基板の上記被検査端子
列と相対応したコンタクトパッドを有する可撓性回路基
板を設け、上記プローバを硬質支持体に形成したガイド
溝に一列に複数嵌込み固定したことを特徴とする。

〔作　用〕

この発明においては、−列に並設した検査端子に対して
プローバが複数個に分割されているため、分割された検
査端子毎の部分的な位置合せや加圧調整が可能となり、
検査端子の一括したプロービングが容易となる。また、
可撓性回路基板のコンタクトパッドが弾性体上に表面を
露出した状態で取付けられているため、被検査回路基板
の検査端子とコンタクトパッドは押圧により弾性体の弾
力性により基板表面の凹凸が吸収されて良好な電気的特
性が得られる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明によるプロービング装置の斜視図、第２図
＋ａｌ、（ｂｌは隣り合うプローブの断面図、第３図は
可撓性回路基板の平面図である。各図において、■は被
検査回路基板、２はこの被検査回路基板１上に一列に形
成した検査端子列、３は硬質支持体、４はこの支持体３
の下面に形成したガイド溝３ａに嵌込まれて固定された
複数のプローブ、１２は硬質支持体３とプローブ４を固
定する軸受、１４は上記プローブ４を硬質支持体３に支
持しているクランプである。５はプローブ４に固定され
たゴム系弾性体、７は可撓性回路基板を構成する可撓性
絶縁シートで、この可撓性絶縁ンート７の先端部には導
体パターンとして被検査回路基板ｌの検査端子列と同一
ピッチのコンタクトパッド列６が形成され、引出しｍｉ
ｏの終端には終端バッド１１が形成されている。また、
可撓性絶縁シート７は上記コンタクトパッド列６が表面
に露出するようにゴム系弾性体５に貼合されている。

次に動作について説明する。被検査回路基Ｆｉ、ｌの検
査端子列２にプローブ４の先端部のコンタクトパフドロ
を位置合せしたのち、クランプ１４でプローブ４を固定
する０次にプローブ４を下降あるいは被検査回路基板１
を上昇させて圧接する。

これによって、コンタクトパフドロは可撓性ｍｔ！シー
ト７よりｗ４箔の隈み分、もしくはさらにめっきの厚み
分だけ突出しているため、圧接により検査端子２と容易
に電気的導通が得られる。さらにコンタクトパッド６の
裏面にはゴム系弾性体５が配設されているため、その弾
性力により接続がより確かなものとなる。

上記したこの発明によるプロービング装置ではプローブ
４を複数個に分割されているため、−列に並んだ多数の
検査端子列２に対しても一括して検査可能である。

なお、実施例では硬質支持体３に設けたガイド溝３ａに
複数のプローバを被検査回路基板１上の検査端子列２に
位置合せしたのち、固定するようにしたが、その他、ガ
イド溝３ａに嵌込まれたプロービングの距離が任意に調
整できる機構、例えば、第４図に示すように一方のプロ
ーバ４に対して他方のプローバ４がマイクロメータ８に
よって微動させて相対位置を調整するようにしてもよい
。

このようにすれば、−括プロービングの際の検査端子の
ピッチずれが容易に調整可能となる。

また、その他の実施例として第５図に示すようにプロー
バ４の加圧を単独に行なうために硬質支持体３にエアシ
リンダや加圧棒などの加工治具（図示せず）を挿入する
ため加圧治具穴１５を設けることにより、−括プロービ
ングの際の加圧むらに対しても調整できる。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によれば、プローバに取付
けた弾性体の先端部に、検査回路基板の被検査端子列と
相対応したコンタクトパッドを有する可撓性回路基板を
設け、上記プローバを硬質支持体に形成したガイド溝に
複数嵌込み固定したことにより、上記検査回路基板の被
検査端子とコンタクトパッドとの電気的接続が容易に行
なえると共に、長尺な被検査端子列に対しても基板の寸
法変化や接触、加圧むらによるプロービング不良を発生
させることなく、検査端子の一括したプロービングが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるプロービング装置の
斜視図、第２図（ａｌ、　（ｂｌは隣接するプローバと
硬質支持体との構成を示す断面図、第３図は可撓性回路
基板としての絶縁シートの平面図、第４図および第５図
はこの発明の他の実施例によるそれぞれのプロービング
装置の斜視図、第６図は従来のプロービング装置の斜視
図である。 ｌ・・・被検査回路基板、２・・・検査端子列、３・・
・硬質支持体、４・・・プローバ、５・・・ゴム系弾性
体、６・・・コンタクトパッド、７・・・可撓性絶縁シ
ート、８・・・マイクロメータ、ｌＯ・・・引出し線、
１１・・・Ｐ：端パッド。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　一列に並設した多数の被検査端子列を有する回路基板
   の電気的検査を行なうためのプロービング装置において
   、プローバに取付けた弾性体の先端部に、検査回路基板
   の上記被検査端子列と相対応したコンタクトパッドを有
   する可撓性回路基板を設け、上記プローバを硬質支持体
   に形成したガイド溝に一列に複数嵌込み固定したことを
   特徴とするプロービング装置。