JPH01161159A - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は半導体ウェハーＬに形成されたチップの電気
的特性を測定するプローバにおいて用いられるプローブ
カードに関する。

［従来の技術］ 一般にプローバにおいて被測定体である半導体チップの
電極とテスタを接続するための測定針はプローブカード
と呼ばれる絶縁基板に植設されたおり、このプローブカ
ードをプローバに取り付け、テスタ側の端子と接続を図
っている。例えば、第５図に示すようにプローブカード
１００は絶縁基板に形成された開口１００ａに先端が臨
むように測定針であるプローブ針１０１が多数放射線状
に配設されると共に絶縁基板の側縁にテスタなどの外部
回路と接続するための端子１０２が並設され、プローブ
針１０１と端子１０２との間には銅、アルミニウム等の
導体の薄膜によるパターンが形成されている。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、このような従来のプローブカードにおいては
プローブ針１０１先端、つまり被測定チップの電極との
接点から端子１０２までの距離がプローブ針によって異
なるため例えばプローブ釧１０１ａからその対応する端
子１０２ａまでとプローブ針１０１ｂからその対応する
端子１０２　ｂまでとでは信号の伝搬時間にずれを生じ
、高速測定時にはこの時間のずれが測定波形の乱れとな
り高精度の測定ができなかった。このため、従来高精度
が要求される測定の場合、テスタ側のケーブルを測定側
の一端に直接ハンダ付しＪシ、測定信号のマツチングを
とることが行なわれてきた。しかし、高密度に配設され
た測定針にケーブルをハンダ付けする作業は多大な手間
と時間を要し、しかもプローブカードはウェハの品種や
大きさにより随時交換するものであるからハンダ付けさ
れたプローブカードは取り外した後に扱いにくく、ハン
ダ部分がとれるおそれがあり、更に外観も悪いという問
題点があった。

本発明はこのような従来の問題点を解決し、プローブカ
ードの導体パターンの表面抵抗を均一にすることにより
、ハンダ付けによるマツチングを不要とし、高精度、高
速度測定を可能とするプローブカードを提供せんとする
ものである。

［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成する本発明のプローブカードは絶
縁基板上に複数の測定針を配設し且つ各測定針に一端が
接続され前記絶縁基板に設けられた複数の導体パターン
を形成して成るプローブカードにおいて、前記各導体パ
ターンの表面抵抗が実質的に同一であることを特徴とす
る。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面に基き説明する。

第１図に示すようにプローブカード１において＃ｌ縁基
板１０はその略中央付近に開口部１．０　ａを有し、開
口部１０ａに先端が突出するように測定側であるプロー
ブ針２０が放射状に埋め込まれている。プローブ針２０
の先端は例えば第２図に示す被測定体である半導体ウェ
ハ６に形成されたチップ７の電極に圧接することにより
、チップ７にテスタ２からの信号を送り、その電気的性
能を試験するものである。プローブカード１の−・側縁
部ｉ　ａは外部回路例えばテスタ２のハモニカコネクタ
３を接続するための端子部でハモニカコネクタ３に配設
された複数の端子に対応し且つプローブ１２０に対応す
る端子３０が配設される。これら端子３０とプローブ針
２０との間の絶縁基板１０Ｆには銅、アルミ等の導体の
薄膜をエツチングして成るプリント配線すなわち導体パ
ターン４０が形成され、各プローブ針と各端子とを連結
している。そして導体パターン４０の端子３０とプロー
ブ釧２０との間には外部への信号取出し用スルポール５
０（以下、スルホールと略す）が設けられる。スルホー
ル５０は第３図に示すようにテスタなどの外部回路から
のケーブル４に接続されたピン５を差し込むことにより
プローブ針２０を外部回路に接続し、信号の授受を可能
にするもので多様な外部回路側のコネクタに対応するた
め、一般にプローブカードに設けられるものである。

更に本発明のプローブカードにおいては各プローブ釦か
ら各端子までの各導体パターンの表面抵抗かそれぞれ実
質的に同一であり、且つ各プローブ針から各スルホール
までの各導体パターンの表面抵抗がそれぞれ実質的に同
一どなるように構成される。例えば、第１図に示す実施
例においては各プローブ針２０から各スルホール５０ま
での各導体パターン４０　ａはそれぞれ同一の線幅とし
且つパターン長（距離）が同一となるようにスルーホル
５０が設けられる。更に各スルホール５０と各端子３０
までの各導体パターン４．　Ｏｂはそれぞれの距離に比
例して各パターン幅が広くなるように形成される。パタ
ーンの厚さを変えてもよい。

これによってプローブ針と端子との距離に関りなく、そ
の間の導体パターンの表面抵抗は同一になるので距離に
よる電気信号の遅延が解消される。

また、スルホール５０から信号を取り出す場合でも、プ
ローブ劃からスルホールまでの各導体パターンの距離が
それぞれ同一であるので信号の遅延はなく、高精度の測
定が可能となる。

本実施例とは逆に、端子３０からスルホール５０までの
各導体パターン距離を同一にして、スルホール５０から
プローブ針２０までの導体パターン幅を距離に応じて変
えるようにしても同様の効果を得ることができる。

更に、第４図に示すようにスルホール５０′をプローブ
針２０と導体パターン４０′との間に設り、スルホール
５０′から端子３０までの各導体パターン４０’　をそ
の距離に応じてパターン幅（線幅）あるいは線厚を変え
て形成してもよい。

［発明の効果］ 以上の実施例からも明らかなように本発明のプローブカ
ー１くにおいては、各プローブ針から各信号取出端子ま
での距離に関わらず、その間の導体パターンの表面抵抗
を同一となるように構成したので、高速測定時間におい
ても各測定信号のインピーダンスマツチングをとること
ができ高精度測定が可能となる。

更に外部接続端子の多様性に合わせてスルホールを設け
た場合においてもプローブ針とスルホールとの間の各導
体パターンの表面抵抗を同一・どなるようにしたので、
多様な測定系において常に高速、高精度測定が可能であ
る。

更に、ハンダ付は等を必要としないのでプローバへの着
脱が容易で自動交換を可能にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図はプローブ
カードの使用方法を説明する図、第３図は第１図の実施
例の部分拡大図、第４図は本発明の他の実施例を示す図
、第５図は従来のプローブカードを示す図である。 ］、１′・・・・・・・プローブカード２・・・・・・
・・・・・・・テスタ（外部回路）１０・・・・・・・
・・・・絶縁基板 ２０・・・・・・・・・・・プローブ針３０・・・・・
・・・・・・端子部 ４０．４０ａ、４０ｂ、４０’・−・導体パターン５０
．５０’　・・・・・・スルホール代理人　弁理士　　
守　谷　−雄 第１図 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、絶縁基板上に複数の測定針を配設し且つ各測定針に
   一端が接続され前記絶縁基板に設けられた複数の導体パ
   ターンを形成して成るプローブカードにおいて、前記各
   導体パターンの表面抵抗が実質的に同一であることを特
   徴とするプローブカード。 ２、前記導体パターンは前記測定針と前記端子部分との
   間に信号取出し用スルホールを有し、前記測定針と前記
   スルホールとの間の各導体パターンの距離がそれぞれ同
   一であり且つ前記スルホールと前記端子部分との間の各
   導体パターンはその距離に応じて線幅又は線厚が異なる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のプローブ
   カード。