JPH01147837A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH01147837A
JPH01147837A JP62308055A JP30805587A JPH01147837A JP H01147837 A JPH01147837 A JP H01147837A JP 62308055 A JP62308055 A JP 62308055A JP 30805587 A JP30805587 A JP 30805587A JP H01147837 A JPH01147837 A JP H01147837A
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    • H01L2924/1301Thyristor

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、エレメントの主電極および補助電極をパッケ
ージの主電極および補助電極に圧接して電気的に接触さ
せる半導体装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の半導体装置はサイリスク装置として特開
昭62−79669号公報に開示され、第4図に示すよ
うに構成されている。これを同図に基づいて概略説明す
ると、同図において、符号1はサイリスクエレメント、
2はサイリスクエレメント1のカソード電極、3はサイ
リスクエレメントlのアノード電極、4はサイリスクエ
レメント1のゲート電極、5は有底筒状の外部カソード
電極、6は外部アノード電極、7はゲートリート、8は
ゲートリード7を支持する環状の絶縁体、°9はゲート
リード7を覆う絶縁管、10は絶縁筒、11はゲート端
子、12はカソード電極2と外部カソード電極5との間
に介装された温度補(H板、13は皿ばねである。
このように構成されたサイリスク装置の組み立ては次に
示す方法によって行われる。
すなわち、先ずゲートリード7を絶縁体8の孔8aと絶
縁管9に挿通させることにより組立体Aとし、次にこれ
を外部カソード電極5に取り付けた後、温度補償板12
を絶縁体8の外周面に係合するように外部カソード電極
5の上部に設置し、サイリスクエレメントlを絶縁筒l
O内に挿入してから外部アノード電極6を設置する。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところで、この種の半導体装置においては、外部カソー
ド電極5に対して絶縁体8および温度補償板12を位置
決めする機能を備えておらず、このため装置の組立時に
第5図(a)に示すように絶縁体8の孔径aとゲートリ
ード7の外径すの差によるクリアランスおよび絶縁体8
の外径Cと外部カソード電極5の孔径dの差によるクリ
アランスによって同図(b)に示すように位置ずれが生
じ、また温度補償板12が絶縁体8の外径Cと外部カソ
ード電極5の孔径dの差によるクリアランスおよび絶縁
体8の外径Cと温度補償板12の孔径eの差によるクリ
アランスによって位置ずれが生じ、サイリスクエレメン
ト1のカソード電極2とサイリスクエレメント1のゲー
ト電極4に対して温度補償板12の接触面とゲートリー
ド7の電極先端部を高精度に位置合わせすることができ
ず、パターン精度が低下するという問題があった。この
ことが、静電誘導形サイリスクやゲートターンオフサイ
リスク、大電力トランジスタ等のパターンサイズの小さ
い半導体装置については大口径化、ファインパターン化
に対してネックとなっていた。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、第2電
極および温度補償板の位置合わせを確実に行うことがで
き、もってパターン精度を大幅に高めることができる半
導体装置を提供するものである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明に係る半導体装置は、電極挿入孔を有する第1電
極と、この第1電極の電極挿入孔内に保持された円柱状
の第2電極と、この第2電極の軸線方向に開口する挿通
孔を有し第1電極上に保持された温度補償板とを備え、
この温度補償板の挿通孔と第2電極間および電極挿入孔
と第2電極間に筒状の絶縁体を介装し、この絶縁体の内
周面と第2電極の外周面との間に弾性リングを介装した
ものである。
〔作 用〕
本発明においては、第2電極が筒状の絶縁体内に圧入さ
れると共に、この絶縁体が温度補償板の挿通孔内と第1
電極の電極挿入孔内に圧入され、第2電極と絶縁体間お
よび温度補償板と絶縁体間のクリアランスを吸収する。
〔実施例〕
以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。第1図は本発明に係る半導体装置(サイリス
タ装置)を示す断面図、第2図は同じく本発明における
第2電極と○リングの組立状態を示す斜視図で、同図以
下において第4図および第5図と同一の部材については
同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。同図におい
て、符号21で示すものはその端面に開口する電極挿入
孔22を有する第1電極としての外部カソード電極で、
全体がフランジ付の円柱状に形成されている。23は第
2電極としての外部ゲート電極で、前記電極挿入孔22
内に保持されており、全体が前記外部カソード電極21
と同様に円柱状に形成されている。この外部ゲート電極
23の外周面には、弾性リングとしてのOリンク:24
を装着する環状溝25が設けられており、また前記ゲー
ト端子11を有するゲートリード26が取り付けられて
いる。27は前記外部ゲート電極23の軸線方向に開口
する挿通孔27aを有する温度補償板で、前記外部カソ
ード電極21と前記カソード電極2との間に保持されて
いる。28は筒状の弾性絶縁体で、前記電極挿入孔22
と前記外部ゲート電極23問および前記挿通孔27aと
前記外部ゲート電極23間に介装されている。29は円
形状の絶縁板で、前記電極挿入孔22内に設けられ、か
つ前記器ばね13と外部ゲート電極23との間に介装さ
れている。
このように構成されたサイリスク装置においては、外部
ゲート電極23を弾性絶縁体28内に圧入すると共に、
この弾性絶縁体28を温度補償板27の挿通孔27a内
と外部カソード電極21の電極挿入孔22内に圧入し、
外部ゲート電極23と弾性絶縁体23問および温度補償
板27と弾性絶縁体28間のクリアランスを吸収するこ
とができる。このとき、外部ゲート電極23は弾性絶縁
体28によって電極挿入孔22の軸線上に位置付けられ
ている。
次に、前記構成したサイリスク装置の組立方法について
説明する。
先ず、外部ゲート電極23の環状溝25にQ IJソン
グ4を装着すると共に、絶縁管9の内部にゲートリード
26を、挿入する。次に、外部カソード電極21の電極
挿入孔22内に皿ばね13.絶縁板292弾性絶縁体2
8を順次取り付けた後、この弾性絶縁体28の内部に外
部ゲート電極23゜0リング24.ゲートリード26お
よび絶縁管9からなる組立体Bを圧入する。そして、弾
性絶縁体28の外周面に温度補償板27を圧入し、サイ
リスクエレメント1を絶縁筒10内に挿入してから外部
アノード電極6を取り付ける。
このようにして、サイリスク装置を組み立てることがで
きる。
ここで、本発明におけるOリング24の装着前の内径は
環状溝25の溝底の外径より小さい寸法に設定すること
が望ましく、また装着後の外径は電極挿入孔22の口径
から弾性絶縁体28の肉厚の2倍を減じた寸法より大き
い寸法に設定することが必要である。さらに、温度補償
板27と弾性絶縁体28の保合部の内径は、電極挿入孔
22の口径より小さい寸法に設定することが望ましい。
なお、本実施例においては、センターゲート形のサイリ
スク装置について説明したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、第3図に示すようにリングゲート形の
サイリスク装置にも適用することができる。この他、本
発明は静電誘導形サイリスクやパターン精度の高いゲー
トターンオフサイリスク、大電力トランジスタ等の半導
体装置にも適用可能である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、電極挿入孔を有す
る第1電極と、この第1電極の電極挿入孔内に保持され
た円柱状の第2電極と、この第2電極の軸線方向に開口
する挿通孔を有し第1電極上に保持された温度補償板と
を備え、この温度補償板の挿通孔と第2電極間および電
極挿入孔と第2電極間に筒状の絶縁体を介装し、この絶
縁体の内周面と第2電極の外周面との間に弾性リングを
介装したので、第2電極と絶縁体間および温度補償板と
絶縁体間のクリアランスを吸収することができる。した
がって、第2電極および温度補償板の位置合わせを確実
に行うことができるから、パターン精度を大幅に高める
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る半導体装置を示す断面図、第2図
は同じく本発明における第2電極とOリングの組立状態
を示す斜視図、第3図は他の実施例を示す断面図、第4
図は従来の半導体装置を示す断面図、第5図(alおよ
び(b)は半導体装置における組立部品の位置ずれを説
明するための断面図である。 21・・・・外部カソード電極、22・・・・電極挿入
孔、23・・・・外部ゲート電極、24・・・・0リン
グ、25・・・・環状溝、27・・・・温度補償板、2
7a・・・・挿通孔、28・・・・弾性絶縁体。 代 理 人 大岩増雄 第1図 第3図 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  その端面に開口する電極挿入孔を有する第1電極と、
    この第1電極の電極挿入孔内に保持された円柱状の第2
    電極と、この第2電極の軸線方向に開口する挿通孔を有
    し前記第1電極上に保持された温度補償板とを備え、こ
    の温度補償板の挿通孔と前記第2電極間および前記電極
    挿入孔と前記第2電極間に筒状の絶縁体を介装し、この
    絶縁体の内周面と前記第2電極の外周面との間に弾性リ
    ングを介装したことを特徴とする半導体装置。
JP30805587A 1987-12-03 1987-12-03 半導体装置 Expired - Lifetime JPH0831488B2 (ja)

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