JPH01143037A - デイスク製造用原盤並びにその製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序で本発明を説明する。

Ａ産業上の利用分野 Ｂ発明の概要 Ｃ従来の技術 り発明が解決しようとする問題点 Ｅ問題点を解決するための手段（第１図〜第４図Ｆ作用
（第１図〜第４図） Ｇ実施例 （Ｇ１）ディスク製造用原盤並びにその製造方法（第１
図〜第３図） （Ｇ２）ディスク製造用原盤の製造装置（第４図）（Ｇ
３）他の実施例 Ｈ発明の効果 Ａ産業上の利用分野 本発明はディスク製造用原盤並びにその製造方法及び製
造装置に関し、特に定線速度（ＣＬＶ　（ｃｏｎｓｔａ
ｎｔ　１ｉｎｅａｒ　ｖｅｌｏｃｉｔｙ）　）方式の追
記型（ＷＯ（ｉｎｒｉｔｅ　ｏｎｃｅ）　）又は消去可
能型（ｅｒａｓａｂｌｅ）光ディスクの製造に用いるデ
ィスク製造用原盤並びにその製造方法及び製造装置に適
用して好適なものである。

Ｂ発明の概要 本発明は、ディスク製造用原盤並びにその製造方法及び
製造装置において、ポジ型フォトレジスト膜が形成され
た円盤状ガラス原盤上に対して、第１及び第２のレーザ
スポットを所定の記録情報に基づいて、それぞれガラス
原盤の半径方向に同相で振ると共に、常にガラス原盤が
１回転したとき、内周側の第１のレーザスポットが１回
転前の外周側の第２のレーザスポットの所定分だけ外周
側にずれた位置に位置決めするように照射してグルーブ
部を感光することにより、現像後のディスク製造−川原
盤上に、所定の記録情報に基づいてディスク製造用原盤
の半径方向に振られたランド部を形成できる。

また加工用レーザ装置から射出されたレーザビームから
、レーザビーム分割整形手段を用いて、レーザ出力が等
しくかつ所定の間隔を有する平行光でなる２本のレーザ
ビームを形成し、この２本のレーザビームをレーザビー
ム偏向手段を用いて任意の記録情報に応じて所定の方向
に振ると共に、ガラス原盤が１回転したとき、内周側の
第１のレーザスポットが１回転前の外周側の第２のレー
ザスポットの外周側に所定量だけ重なる位置に、位置決
めされるような速度で移動するようになされたヘッド可
動手段を介して、ガラス原盤上に照射するようにしたこ
とにより、ポジ型フォトレジスト膜が形成されたガラス
原盤上に、所定の記録情報をランド部上に記録したディ
スク製造用原盤を製造し得る。

Ｃ従来の技術 従来、この種のＣＬＶ方式の追記型又は消去可能型光デ
ィスクとして、例えばコンパクトディスク（ＣＤ）形状
の光磁気ディスクにおいては、螺線状に配された記録ト
ラックとしてのランド部に沿うように連続溝でなるグル
ーブ部（いわゆるプリグルーブ）を形成し、このプリグ
ルーブを用いてトラッキングサーボをかけるようになさ
れたものが用いられている。

すなわちこの種の光磁気ディスクにおいては、光ヘッド
から照射されるレーザビームに対して、グルーブ部とラ
ンド部から得られる反射光に含まれる信号レベルの差に
より、その光ヘッドの記録トラックの中心からのずれ量
を検出し、この検出結果を用いてトラッキングサーボを
施すようになされている。

なお一般に、この種の光磁気ディスクの記録トラック、
すなわちランド部上には例えばピット形状で時間情報、
アドレス番号等の識別情報が形成されており、これによ
りデータの記録時には、まず再生モードにて識別情報を
取り出して記録すべき記録トラック上の位置を検出し、
かくして所望の記録トラック上にデータを記録し得るよ
うになされている。

ところで最近これに代え、グルーブ部をトラッキングサ
ーボの追従し得ないＦＭ変調周波数で、光磁気ディスク
の半径方向に振る（以下、これをグルーブウォーブリン
グと呼ぶ）ことにより、時間情報、アドレス番号等の識
別情報をグルーブ部上に記録し、再生時にプッシュプル
信号としてこれを取り出し、かくして全体として記録ト
ラックに対する記録密度を向上するようになされた光磁
気ディスクが提案されている。

Ｄ発明が解決しようとする問題点 ところが、このような光磁気ディスクを製造する際に用
いる光磁気ディスク製造用原盤（以下、これをマスク原
盤と呼ぶ）の作成においては、感光した部分が溶解する
ようになされたポジ型フォトレジスト膜が塗布された円
盤状ガラス原盤に対してレーザ光を走査し、この感光軌
跡でグルーブ部を形成するようになされていることによ
り、現像後のグルーブ部間に残されてなるランド部にお
いて、隣合うグルーブ部間の位相が絶えず変化する。

このため、ランド部から得られる再生信号にグルーブウ
ォーブリングの揺れ成分が混入し、結局グルーブウォー
ブリングからプッシュプル信号を取り出せないおそれを
回避し得なかった。

この問題を解決するため、ランド部自体をマスク原盤の
半径方向に振る（以下、これをランドウォーブリングと
呼ぶ）ことにより、時間情報、アドレス番号等の識別情
報をランド部上に記録することが考えられる。

ところが、このランドウォーブリングをマスク原盤上に
形成する方法として、感光した部分が残るようになされ
たネガ型フォトレジスト膜が塗布されたマスク原盤を用
いる方法があるが、実際上ネガ型フォトレジストは分解
能が悪く、解決策としては未だ不十分であった。− 本発明は以上の点を考慮してなされたもので、ディスク
のランド部に確実にウォーブリング情報を形成し得るよ
うにしたディスク製造用原盤並びにその製造方法及び製
造装置を提案しようとするものである。

Ｅ問題点を解決するための手段 かかる問題点を解決するため第１の発明においては、ガ
ラス原盤２上にポジ型フォトレジスト膜５が形成され、
そのポジ型フォトレジスト膜５上にレーザスポットＳＰ
Ｉ、ＳＦ３を照射して螺線状のグルーブ部３を感光して
なるディスク製造用原盤１において、現像後のグルーブ
部３間には半径方向に所定の記録信号に応じて、その半
径方向に常に一定の幅を有して振られたランド部４を設
けるようにした。

また第２の発明においては、ガラス原盤２上にポジ型フ
ォトレジスト膜５が形成され、そのポジ型フォトレジス
ト膜５上にレーザスポットＳＰＩ、ＳＦ３を照射して螺
線状のグルーブ部３を感光してなるディスク製造用原盤
の製造方法において、第１及び第２のレーザスポットＳ
Ｐｌ及びＳＦ３を所定の記録情報に基づいて、ガラス原
盤２の半径方向に同相で振ると共に、その第１及び第２
のレーザスポットＳＰＩ及びＳＦ３をガラス原盤２が１
回転したとき、常にガラス原盤２の内周側を照射する第
１のレーザスポットＳＰＩが、１回転前のガラス原盤の
外周側を照射する第２のレーザスポットＳＰ２に対して
所定分だけ外周側にずれた位置を照射するように移動さ
せ、現像後のディスク製造用原盤１上に、所定の記録情
報に応じて半径方向に常に一定の幅を有して振られたラ
ンド部４を形成するようにした。

さらに第３の発明においては、ガラス原盤２上にポジ型
フォトレジスト膜５が形成され、そのポジ型フォトレジ
スト膜５上にレーザスポットＳＰ１、ＳＦ３を照射して
螺線状のグルーブ部３を感光してなるディスク製造用原
盤の製造装置１０において、加工用のレーザ出力でなる
レーザビームＬ０を射出する加工用レーザ装置１１と、
その加工用レーザ装置１１から射出されたレーザビーム
Ｌ０より、レーザ出力が等しくかつ所定の間隔を有する
平行光でなる２本のレーザビームＬＩｓＬ２を形成する
レーザビーム分割整形手段１２．１３．１５．１６と、
そのレーザビーム分割整形手段１２．１３．１５．１６
から入射される２本のレーザビームＬ、　、Ｌ、を、任
意の記録情報ＳＩＤに応じて所定の方向に振るレーザビ
ーム偏向手段１４と、そのレーザビーム偏向手段１４か
ら射出された２本のレーザビームＬ＋　、Ｌｘを、ガラ
ス原盤２上に照射すると共に、その２本のレーザスポッ
トＳＰＩ、ＳＦ３を、ガラス原盤２が１回転したとき、
常にガラス原盤２の内周側を照射する第１のレーザスポ
ットＳＰＩが、その１回転前のガラス原盤２の外周側を
照射する第２のレーザスポラｌ−３Ｐ２に対して所定分
だけ外周側にずれた位置を照射するように移動させるヘ
ッド可動手段１７とを設けるようにした。

Ｆ作用 第１並びに第２の発明によれば、ポジ型フォトレジスト
膜５が形成された円盤状ガラス原盤２上に対して、第１
及び第２のレーザスポットＳＰＩ及びＳＦ３を所定の記
録情報に基づいて、それぞれガラス原盤２の半径方向に
同相で振ると共に、常にガラス原盤２が１回転したとき
、内周側の第１のレーザスポットＳＰＩが１回転前の外
周側の第２のレーザスポットＳＰ２の所定分だけ外周側
にずれた位置に位置決めするように照射してグルーブ部
３を感光することにより、現像後のディスク製造用原盤
１上に、所定の記録情報に基づいてディスク製造用原盤
１の半径方向に振られたランド部４を形成できる。

また第３の発明によれば、加工用レーザ装置１１から射
出されたレーザビームＬ０か□ら、レーザビーム分割整
形手段１２．１３．１５．１６を用いて、レーザ出力が
等しくかつ所定の間隔を有する平行光でなる２本のレー
ザビームＬ＋　、Ｌ！を形成し、この２本のレーザビー
ムＬ＋　、Ｌｘ　をレーザビーム偏向手段１４を用いて
任意の記録情報５ｌｆｌに応じて所定の方向に振ると共
に、マスク原盤１が１回転したとき、第１のレーザスポ
ットＳＰ１が、１回転前の第２のレーザスポットＳＰ２
の外周側に所定量だけ重なる位置に位置決めされるよう
な速度で移動するようになされたヘッド可動手段１７を
介して、ディスク製造用原盤１上に照射するようにした
ことにより、ポジ型フォトレジスト膜５が形成されたデ
ィスク製造用原盤１上のランド部４上に所定の記録情報
を記録したディスク製造用原盤ｌを製造し得る。

Ｇ実施例 以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。

（Ｇ１）ディスク製造用原盤並びにその製造方法第１図
において、１は全体として第１の発明の光磁気ディスク
製造用原盤（マスク原盤）を示し、その中心０を軸とし
て矢印ａ方向に所定の速度で回転するようになされた円
盤状のガラス原盤２上に塗布等によって形成されたポジ
型フォトレジスト膜５に対して、マスク原盤１の半径方
向上の矢印す方向へ所定の速度で移動するようになされ
た、第１及び第２のレーザスポットＳＰ１及びＳＦ３を
用いて感光することにより螺線状のグルーブ部３をカッ
ティングするようになされている。

ここで、マスク原盤１の回転速度と、第１及び第２のレ
ーザスポットＳＰＩ及びＳＰ２のマスク原盤ｌの半径方
向への移動速度との関係は、マスク原盤上が１回転した
ときに第１のレーザスポットＳＰ１が１回転前の第２の
レーザスポット５Ｐ１２の外周側に所定量だけ重なる位
置に位置決めされるように選定されている。

さらにこれに加えて、第１及び第２のレーザスポラ）Ｓ
Ｐ　１及びＳＰ２は時間情報、アドレス番号等の識別情
報に基づいてマスク原盤１の半径方向に同時に振られる
ようになされており、かくして第１のレーザスポラ）Ｓ
Ｐ　１の外周側端部を用いてランド部４の内周側を形成
すると共に、第２のレーザスポットＳＰ２の内周側端部
を用いてランド部４の外周側を形成するようになされて
いる。

これにより、現像後のマスク原盤１上に第２図に示すよ
うに、時間情報、アドレス番号等の識別情報に基づいて
マスク原盤１の半径方向に振るいわゆるランドウォーブ
リングが施されたランド部４を形成することができる。

ここで第１及び第２のレーザスポラｌ−５ＰＩ及びＳＰ
２のアライメント設定方法は、第３図に示すように、マ
スク原盤１上の記録トラック（すなわちランド部４〕の
トラックピッチをＰ１第１及び第２のレーザスポットＳ
ＰＩ及びＳＰ２のスポット径をＲ、スポット間隔をＬ１
％グルーブ部３及びランド部４の幅をそれぞれＷ、及び
ｗＬ、時間情報、アドレス番号等の識別情報に基づくマ
スク原盤１上の半径方向のウオーブル量をΔＷ、とする
と、スポット間隔り、は、次式、 Ｐ−Ｒ＋ΔＷ０≦Ｌｌｌ：５　Ｐ−ΔＷ０・・・・・・
（１） で表され、グルーブ部３の幅ＷＧは、次式、Ｒ＋ΔＷ０
≦ＷＧ≦２Ｒ−ΔＷｏ　　−−（２）で表され、さらに
ランド部４の幅ＷＬは、次式、Ｐ−２Ｒ＋ΔＷ０≦ＷＬ
≦Ｐ−Ｒ−４ｗ０・・・・・・（３） で表される。

従って、ランド部４及びグルーブ部３の幅を第１及び第
２のレーザスポットＳＰＩ及びＳＰ２　（ＳＰ１２Ａ、
５Ｐ１２Ｂ）のスポット間隔Ｌｍによって任意に選定す
ることができる。

因に、トラックピッチＰをＰ＝１．６（μｍ〕、第１及
び第２のレーザスポットＳＰｌ及びＳＰ２のスポット径
ＲをＲ＝０．５Ｃμｍ〕、時間情報、アドレス番号等の
識別情報に基づくマスク原盤１上の半径方向のウオーブ
ル■ΔＷ、をΔＷｏ　”０゜１　〔μｍ〕に選定すると
、ランド部４の幅ＷＬは、次式、 ０．７（μｍ）≦ＷＬ≦１．０　（μｍ）　　−（４）
で表される値を有する。

以上の方法によれば、ポジ型フォトレジスト膜が塗布さ
れた円盤状のガラス原盤上に対して、第１及び第２のレ
ーザスポットを時間情報、アドレス番号等の識別情報に
基づいて、それぞれガラス原盤の半径方向に同相で振る
と共に、常にガラス原盤が１回転したとき、内周側の第
１のレーザスポットが１回転前の外周側の第２のレーザ
スポットの所定分だけ外周側にずれた位置に位置決めす
るように照射して、グルーブ部を感光することにより、
現像後のマスク原盤上に、時間情報、アドレス番号等の
識別情報に基づいてマスク原盤の半径方向に振るいわゆ
るランドウォーブリングが施されたランド部を容易に形
成することができる。

さらに上述の構成によれば、ランドウォーブリングを形
成することにより、時間情報、アドレス番号等の識別情
報をランド部上に記録したマスク原盤を容易に実現でき
る。

（Ｇ２）ディスク製造用原盤の製造装置第１図から第３
図との対応する部分に同一符号を付して示す第４図にお
いて、１０は全体として第３の発明によるマスク原盤製
造装置を示し、例えばＹＡＧレーザ等でなる加工用レー
ザ装置１１から射出された第１のレーザビームＬ０は、
第１の偏光ビームスプリッタ１２に入射し、第２及び第
３のレーザビームＬ、及びり、に分割される。

すなわち第１の偏光ビームスプリッタ１２においては、
第１のレーザビームＬ０に含まれるＰ成分を偏光面で反
射して折り曲げて第２のレーザビームＬ、とじ、第２の
偏光ビームスプリッタ１３の偏光面に入射する。

またこれと共に第１の偏光ビームスプリッタ１２は、第
１のレーザビームＬ０に含まれるｓ成分を透過して第３
のレーザビームＬ２とし、第１及び第２のミラー１５及
び１６を用いてその光路を所定の方向に折り曲げて第２
の偏光ビームスプリッタ１３の偏光面に入射する。

なおこのとき、第１の偏光ビームスプリッタ１２の偏光
面は、第２及び第３のレーザビームＬ＋及びＬ２のレー
ザ出力を、第１のレーザビームＬ０のレーザ出力に対し
てそれぞれ５０％の値とするように選定されている。

第２の偏光ビームスプリッタ１３は、入射する第２のレ
ーザビームＬ、を反射すると共に、第３のレーザビーム
Ｌ２を透過し、これにより第２及び第３のレーザビーム
Ｌ１１Ｌ２は、所定のビーム間隔を有する平行なレーザ
ビームとなされて音響光学偏向素子（ＡＯＤ）１４に入
射される。

ここでＡＯＤ１４のトランスジューサ１４Ａには、時間
情報、アドレス番号等の識別情報に応じた識別制御信号
５ｌｆｌが入力されており、これにより入射される第２
及び第３のレーザビームＬ、及びＬ２を識別制御信号５
ｌｔｌに基づいて矢印Ｃ方向に振りながら射出して、可
動ヘッド部１７のミラー１７Ａに照射して折り曲げ、か
くして対物レンズ１７Ｂを介してマスク原盤１上に集光
して第１及び第２のレーザスポットｓＰ１及びＳＰ２を
形成するようになされている。

なお可動ヘッド部１７は、マスク環ｆｆ１ｌが軸０を中
心として矢印ａ方向に１回転したとき、第１のレーザス
ポットＳＰＩが１回転前の第２のレーザスポラｌ−５Ｐ
２の外周側に所定量だけ重なる位置に位置決めされるよ
うな速度で矢印す方向に移動するようになされており、
これによりマスク原盤１上に第１図から第３図について
上述したランドウォーブリングを形成し、時間情報、ア
ドレス番号等の識別情報をランド部４上に記録したマス
ク原盤を製造するようになされている。

以上の構成によれば、加工用レーザ装Ｗ１１から射出さ
れたレーザビームＬ０から、レーザビーム分割整形手段
１２．１３．１５．１６を用いて、レーザ出力が等しく
かつ所定の間隔を有する平行光でなる２本のレーザビー
ムＬ１、Ｌｔを形成し、この２本のレーザビームＬ＋−
Ｌｘを音響光学偏向素子１４を用いて時間情報、アドレ
ス番号等の識別情報に応じて所定の方向Ｃに振ると共に
、マスク原盤ｌが１回転したとき、第１のレーザスポッ
トＳＰ　１が１回転前の第２のレーザスポットＳＰ２の
外周側に所定量だけ重なる位置に位置決めされるような
速度で移動するようになされた可動ヘッド部１７を介し
て、マスク原盤ｌ上に照射するようにしたことにより、
簡易な構成でポジ型フォトレジスト膜が形成されてなる
マスク原盤１上に、ランドウォーブリングを形成するこ
とにより、時間情報、アドレス番号等の識別情報をラン
ド部４上に記録したマスク原盤１を製造し得るマスク原
盤製造装置１０を容易に実現できる。

（Ｇ３）他の実施例 （１）　　上述の実施例においては、第３の発明のマス
ク原盤製造袋ＷＩＯのレーザビーム偏向手段として、音
響光学偏向素子１４に記録情報に応じた記録制御信号５
ｉ１１を供給し、これにより２本のレーザビームＬｌ、
Ｌｔを記録情報に応じて振るようにしたが、レーザビー
ム偏向手段の構成はこれに限らず、例えばガルバノミラ
−等の光学的な偏向手段を用いて、２本のレーザビーム
Ｌｌ　、Ｌｔ　を記録情報に応じて振るようにしても、
上述の実施例と同様の効果を得ることができる。

（２）上述の実施例においては、第１、第２及び第３の
発明を、ＣＤ型の光磁気ディスクに適用したが、これに
限らず、他のＣＬＶ方式の光ディスクの製造に用いるデ
ィスク製造用原盤並びにその製造方法及び製造装置に広
く適用し得るものである。

Ｈ発明の効果 上述のように第１並びに第２の発明によれば、ポジ型フ
ォトレジスト膜が形成された円盤状ガラス原盤に対して
、第１及び第２のレーザスポットを所定の記録情報に基
づいて、それぞれガラス原盤の半径方向に同相で振ると
共に、常にガラス原盤が１回転したとき、内周側の第１
のレーザスポットが１回転前の外周側の第２のレーザス
ポットの所定分だけ外周側にずれた位置に位置決めされ
るように照射してグルーブ部を感光することにより、現
像後のディスク製造用原盤上に、所定の記録情報に基づ
いてディスク製造用原盤の半径方向に振るいわゆるラン
ドウォーブリングが施されたランド部を容易に形成する
ことができ、かくするにつき、所定の記録情報をランド
部上に記録したディスク製造用原盤を容易に実現できる
。

また第３の発明によれば、加工用レーザ装置から射出さ
れたレーザビームから、レーザビーム分割整形手段を用
いて、レーザ出力が等しくかつ所定の間隔を有する平行
光でなる２本のレーザビームを形成し、この２本のレー
ザビームをレーザビーム偏向手段を用いて任意の記録情
報に応じて所定の方向に振ると共に、マスク原盤が１回
転したとき、第１のレーザスポットが１回転前の第２の
レーザスポットの外周側に所定量だけ重なる位置に位゛
置決めされるような速度で移動するようになされたヘッ
ド可動手段を介してディスク製造用原盤上に照射するよ
うにしたことにより、簡易な構成でポジ型フォトレジス
ト膜が形成されてなるディスク製造用原盤上に、ランド
ウォーブリングを形成することにより、所定の記録情報
をランド部上に記録したディスク製造用原盤を製造し得
るディスク製造用原盤の製造装置を容易に実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１の発明の一実施例を示す路線的平面図、第
２図はそのマスク原盤を■−■線でとった一部断面で示
す路線的斜視図、第３図は第２の発明によるマスク原盤
の製造方法の説明に供する路線的平面図、第４図は第３
の発明によるマスク原盤製造装置の一実施例を示す路線
的系統図である。 ■・・・・・・マスク原盤、２・・・・・・ガラス原盤
、３・・・・・・グルーブ部、４・・・・・・ランド部
、５・・・・・・ポジ型フォトレジスト膜、１０・・・
・・・マスタ原盤製造装置、１１・・・・・・加工用レ
ーザ装置、１２．１３・旧・・偏光ビームスプリッタ、
１４・・・・・・音響光学偏向素子、１５．１６・・・
・・・ミラー、１７・・・・・・可動ヘッド部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ガラス原盤上にポジ型フォトレジスト膜が形成さ
   れ、当該ポジ型フォトレジスト膜上にレーザスポットを
   照射して螺線状のグルーブ部を感光してなるディスク製
   造用原盤において、 現像後の上記グルーブ部間には半径方向に所定の記録信
   号に応じて、当該半径方向に常に一定の幅を有して振ら
   れたランド部 を具えることを特徴とするディスク製造用原盤。
2. （２）ガラス原盤上にポジ型フォトレジスト膜が形成さ
   れ、当該ポジ型フォトレジスト膜上にレーザスポットを
   照射して螺線状のグルーブ部を感光してなるディスク製
   造用原盤の製造方法において、第１及び第２のレーザス
   ポットを所定の記録情報に基づいて、上記ガラス原盤の
   半径方向に同相で振ると共に、当該第１及び第２のレー
   ザスポットを上記ガラス原盤が１回転したとき、常に上
   記ガラス原盤の内周側を照射する上記第１のレーザスポ
   ットが、当該１回転前の上記ガラス原盤の外周側を照射
   する上記第２のレーザスポットに対して所定分だけ外周
   側にずれた位置を照射するように移動させ、 現像後の上記ディスク製造用原盤上に、上記所定の記録
   情報に応じて半径方向に常に一定の幅を有して振られた
   ランド部を形成するようにしたことを特徴とするディス
   ク製造用原盤の製造方法。
3. （３）ガラス原盤上にポジ型フォトレジスト膜が形成さ
   れ、当該ポジ型フォトレジスト膜上にレーザスポットを
   照射して螺線状のグルーブ部を感光してなるディスク製
   造用原盤の製造装置において、加工用のレーザ出力でな
   るレーザビームを射出する加工用レーザ装置と、 上記加工用レーザ装置から射出されたレーザビームより
   、レーザ出力が等しくかつ所定の間隔を有する平行光で
   なる２本のレーザビームを形成するレーザビーム分割整
   形手段と、上記レーザビーム分割整形手段から入射され
   る上記２本のレーザビームを、任意の記録情報に応じて
   所定の方向に振るレーザビーム偏向手段と、上記レーザ
   ビーム偏向手段から射出された上記２本のレーザビーム
   を、上記ガラス原盤上に照射して第１及び第２のレーザ
   スポットを形成すると共に、当該第１及び第２のレーザ
   スポットを、上記ガラス原盤が１回転したとき、常に上
   記ガラス原盤の内周側を照射する上記第１のレーザスポ
   ットが、当該１回転前の上記ガラス原盤の外周側を照射
   する上記第２のレーザスポットに対して所定分だけ外周
   側にずれた位置を照射するように移動させるヘッド可動
   手段と を具えることを特徴とするディスク製造用原盤の製造装
   置。