JPH01143036A - 光ディスク用スタンパー - Google Patents
光ディスク用スタンパーInfo
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- JPH01143036A JPH01143036A JP30089287A JP30089287A JPH01143036A JP H01143036 A JPH01143036 A JP H01143036A JP 30089287 A JP30089287 A JP 30089287A JP 30089287 A JP30089287 A JP 30089287A JP H01143036 A JPH01143036 A JP H01143036A
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- stamper
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- optical disk
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Links
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は光ディスクを大量複製する場合に利用される光
ディスク用スタンパ−に関するものである。
ディスク用スタンパ−に関するものである。
〈従来技術とその問題点〉
コンパクトディスク（以下ＣＤと言う）に代表される光
ディスクは、一般にスタンパ−を作成して、インジェク
ションにより大量複製される。
ディスクは、一般にスタンパ−を作成して、インジェク
ションにより大量複製される。
該スタンパ−は、ガラス原盤上にレジストを設け、レー
ザーによる露光を行ない、現像をしたのち、レジスト上
に導電層（Ｎｌ、Ａｇ等）を蒸着等で設け、Ｎｉメツキ
を行なうことにより得られている。このようにして得ら
れたスタンパ−は、第２図に示す如く、ピットを形成す
る凸部４を有する形状になっている。該ピットの高さは
、０．１μ、幅は１μ程度となっており、非常に高精密
であり、高精度を要求される。
ザーによる露光を行ない、現像をしたのち、レジスト上
に導電層（Ｎｌ、Ａｇ等）を蒸着等で設け、Ｎｉメツキ
を行なうことにより得られている。このようにして得ら
れたスタンパ−は、第２図に示す如く、ピットを形成す
る凸部４を有する形状になっている。該ピットの高さは
、０．１μ、幅は１μ程度となっており、非常に高精密
であり、高精度を要求される。
このため通常このようなスタンパ−は、ピット面の摩耗
やキズによりインジェクション枚数１０００〜５０００
シ四ツト程度しか使用出来ない。
やキズによりインジェクション枚数１０００〜５０００
シ四ツト程度しか使用出来ない。
く問題点を解決するための手段〉
本発明は以上の如くの現況に鑑みてなされたものであり
、 スタンパ−本体の金属材料とは別の金属材料により非常
に薄い層が該スタンパ−本体の表面上に均一に形成され
であるスタンパ−とすることで、耐久性にすぐれた光デ
ィスク用スタンバ−を提供するものである。
、 スタンパ−本体の金属材料とは別の金属材料により非常
に薄い層が該スタンパ−本体の表面上に均一に形成され
であるスタンパ−とすることで、耐久性にすぐれた光デ
ィスク用スタンバ−を提供するものである。
〈実施例〉
以下本発明について、一実施例により図面を参照しなが
ら詳細に説明する。
ら詳細に説明する。
まず本発明のスタンパ−を作成するには、ガラス原盤上
にレジスト層を設け、レーザーにより露光する。しかる
後、現像することで第２図に示す如（、ガラス原盤８上
に現像処理されたレジスト１０が残される０次に本発明
により、該レジスト１０上にＭＯを５００人の厚さにな
るように蒸着で形成する。なお必要に応じてさらに別の
金属であるＷを５００人の厚さになるように蒸着で形成
してもよく、さらに第３、第４層を加えてもよ（、この
場合Ｔａ％Ｃｒなどが使用可である。ただし最上層にＣ
ｒ等のＮｉめっき、不着力が弱い金属を使用した場合、
更にその上にＮｉ層を加えることが好ましい。
にレジスト層を設け、レーザーにより露光する。しかる
後、現像することで第２図に示す如（、ガラス原盤８上
に現像処理されたレジスト１０が残される０次に本発明
により、該レジスト１０上にＭＯを５００人の厚さにな
るように蒸着で形成する。なお必要に応じてさらに別の
金属であるＷを５００人の厚さになるように蒸着で形成
してもよく、さらに第３、第４層を加えてもよ（、この
場合Ｔａ％Ｃｒなどが使用可である。ただし最上層にＣ
ｒ等のＮｉめっき、不着力が弱い金属を使用した場合、
更にその上にＮｉ層を加えることが好ましい。
このようにして、Ｎｉメツキを行ない、所望の工程を得
て、第１図に示す如くの本発明による光ディスク用スタ
ンバ−が得られる。
て、第１図に示す如くの本発明による光ディスク用スタ
ンバ−が得られる。
すなわち、ピットを形成する凸部６を表面に有するＮｉ
のスタンパ−本体２に対し、その表面にＷ層１２、また
ＭＯ層１４が形成された状態となる。
のスタンパ−本体２に対し、その表面にＷ層１２、また
ＭＯ層１４が形成された状態となる。
このようなスタンパ−２を用いて通常５０００シッット
位の光ディスクを複製すると、表面にキズ、磨耗が生じ
て正確な複製が出来なくなる。
位の光ディスクを複製すると、表面にキズ、磨耗が生じ
て正確な複製が出来なくなる。
そこで劣化したＭＯ層１４をアンモニア水と過酸化水素
水の混合水によりエツチング除去することで、次のキズ
なしのＷ層１２が表面に表われる。
水の混合水によりエツチング除去することで、次のキズ
なしのＷ層１２が表面に表われる。
このことで新たに５０００シ町ツトプレスが可能になる
。
。
なおプレス後劣化したＷ層は、赤血塩とＮａＯＨと水の
混合水によりエツチング処理することできれいに除去さ
れ、新たに５０００ショット程度のプレスが可能となる
。
混合水によりエツチング処理することできれいに除去さ
れ、新たに５０００ショット程度のプレスが可能となる
。
その他−船釣にスタンパ−本体上に形成される金属層は
、１層５００〜１０００人程度がエツチングに手間がか
からず、なおかつ下層へのキズの影響を与えないもっと
も好ましい層厚であり、また１層から５層以下が実用的
で、それ以上になると、ピットの凹凸が層厚によりぼけ
てしまう場合がある。
、１層５００〜１０００人程度がエツチングに手間がか
からず、なおかつ下層へのキズの影響を与えないもっと
も好ましい層厚であり、また１層から５層以下が実用的
で、それ以上になると、ピットの凹凸が層厚によりぼけ
てしまう場合がある。
該金属層の材料については、となり合う金属層と、選択
的エツチング可能な異種金属になっていればよく、最上
層はＮｉメツキの密着力が良い金属であれば特に限定は
ない。
的エツチング可能な異種金属になっていればよく、最上
層はＮｉメツキの密着力が良い金属であれば特に限定は
ない。
く効果〉
本発明は以上の如くであり、ピット面に積層した金属膜
の数の倍数だけスタンパ−の寿命が延びさらに耐食性の
ある金属膜の積層により保存性を向上させ、また耐磨耗
性のある金属を積層することにより、耐磨耗性が向上す
るものとなる。
の数の倍数だけスタンパ−の寿命が延びさらに耐食性の
ある金属膜の積層により保存性を向上させ、また耐磨耗
性のある金属を積層することにより、耐磨耗性が向上す
るものとなる。
第１図は本発明の一例を示すスタンパ−の断面説明図、
第２図はスタンパ−の製造工程を示す説明図、第３図は
従来のスタンパ−を示す断面説明図。 ２・・・スタンパ−４・・・スタンパ−本体６・・・ピ
ット ８・・・ガラス原盤１０・・・レジスト
１２・・・ＭＯ層１４・・・Ｗ層 １２図 ｖ３囚 ブ つ
第２図はスタンパ−の製造工程を示す説明図、第３図は
従来のスタンパ−を示す断面説明図。 ２・・・スタンパ−４・・・スタンパ−本体６・・・ピ
ット ８・・・ガラス原盤１０・・・レジスト
１２・・・ＭＯ層１４・・・Ｗ層 １２図 ｖ３囚 ブ つ
Claims (1)
- １）表面にピット状の凹凸を有する金属からなるスタン
パー本体に対して、該表面上にスタンパー本体と選択エ
ッチング可能な異種金属層が薄く均一に形成されてある
ことにより、表面のエッチングを行うことによりリフレ
ッシュ可能であるようにしたことを特徴とする光ディス
ク用スタンパー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62300892A JPH0827997B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 光ディスク用スタンパー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62300892A JPH0827997B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 光ディスク用スタンパー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143036A true JPH01143036A (ja) | 1989-06-05 |
| JPH0827997B2 JPH0827997B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=17890379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62300892A Expired - Lifetime JPH0827997B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 光ディスク用スタンパー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0827997B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5990245A (ja) * | 1982-11-15 | 1984-05-24 | Hitachi Ltd | 光方式情報記憶部材成形用スタンパおよびその製造方法 |
| JPS6148146A (ja) * | 1984-08-13 | 1986-03-08 | Ricoh Co Ltd | 光デイスク用スタンパ |
| JPS6190344A (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-08 | Ricoh Co Ltd | 光デイスク成形用スタンパ |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP62300892A patent/JPH0827997B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5990245A (ja) * | 1982-11-15 | 1984-05-24 | Hitachi Ltd | 光方式情報記憶部材成形用スタンパおよびその製造方法 |
| JPS6148146A (ja) * | 1984-08-13 | 1986-03-08 | Ricoh Co Ltd | 光デイスク用スタンパ |
| JPS6190344A (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-08 | Ricoh Co Ltd | 光デイスク成形用スタンパ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0827997B2 (ja) | 1996-03-21 |
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