JPS60138088A - 情報記録金型の製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は光デイスク製造用情報記録金型の製法に関する
。

従来技術と問題点 光ディスク製造用情報記録゛金型の製造において電鋳用
電極としてニッケル・クロムの二層膜を形成するには、
蒸着またはスパッタリング法方法がある。蒸着は電極膜
に突起状欠陥を生じ易く、他方スパッタリングはこの欠
陥を大幅に減少することができるが、電鋳によって形成
した金型のパターンに微細な粒状欠陥を生ずる。

発明の目的 本発明の目的は、上記スパッタリング法の欠点を解消す
る情報記録金型の製法を提供することである。

発明の構成 本発明の上記目的は、ガラス基板の上に凹凸ツクターン
を有する感光性膜を形成して原盤とし、この原盤の上に
金属薄膜を設けて電極として電鋳する情報記録金型の製
法において、金属薄膜を設ける前に、感光性膜の上に有
機物薄膜を被覆することを特徴とする、情報記録金型の
製法によって達成することができる。

有機物薄膜は感光性膜よシ薄いことが有利である。もし
感光性膜より厚いときは、有機物薄膜が垂れを生じて、
パターンの精密さを損なう。この有機物としては、蒸着
することができる樹脂たとえばポリパラキシリレン、ま
たは二硫化炭素などのプラズマ重合膜を使用することが
便宜である。

実施例 次に第１図を参照して本発明の一実施例を示す。

ガラス基板１の上に、ガラスと感光性膜との接着を良好
にする媒体としてヘキサメチルジシラザン層２をスピン
コードし、この上に感光性膜３として５ｈｉｐｌｅｙ社
、商品名マイクロポジットを厚み７００Ｘにスピンコー
ドし、レーザービームによって幅約０．７μｍの溝を削
って凹凸パターンを有する原盤１０とした（ａ）。次に
本発明によって、この上にポリパラキシリレン（Ｕ、Ｃ
，Ｃ，社、パリレンＮ）を厚み３００Ｘに蒸着して有機
物薄膜７を形成した（ｂ）。その後、常法によってクロ
ム膜４ついでニッケル膜５をそれぞれ厚み３００Ｘにス
ｉ４　ｙタリングして電極膜１１とし、この上にニッケ
ル膜６を電鋳によって形成した（、）。これらの金属膜
４゜５および６金原盤１０から取脱し、ノ４ターン面に
付着した・臂リレン膜７を酸素プラズマアッシングによ
って除去して金型２０を形成した（ｄ）。

発明の効果 本発明によれば、原盤から転写した情報記録金型はノ９
ターンに微細な欠陥を生ずることがないので、この金型
を使用してビットエラーの少ない光ディスクを製造する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の情報記録金型の製造工程を示す断面
図である。 １・・・ガラス基板、２・・・接着層、３・・・感光性
膜、４・・・クロムＷＬ　５・・・ニッケル膜、６・・
・ニッケル電鋳膜、７・・・有機物薄膜、１０・・・原
盤、１１・・・電極膜、２０・・・情報記録金型。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士　青　木　朗 弁理士　西　舘　和　之 弁理士　内　１）幸　男 弁理士　山　口　昭　之

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　ガラス基板の上に凹凸／ｆターンを有する感光性
   膜を形成して原盤とし、この原盤の上に金属薄膜を設け
   て電極として電鋳する情報記録金型の製法において、金
   属薄膜を設ける前に、感光性膜の上に有機物薄膜を被覆
   することを特徴とする、情報記録金型の製法。 ２、有機物薄膜は感光性膜よフ薄いことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の製法。