JPH01138787A - フレキシブル配線基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はフレキシブル配線板を製造する上で好適なフレ
キシブル配線基板に関する。

〈従来の技術〉 フレキシブル配線板は、通常の電線や、硬質基板に比べ
て、小型軽量化、配線レイアウトの単純化、配線作業の
簡素化、回路特性および信頼性の向上等が可能であるこ
とがら、電子卓上計算機、電話機、カメラの内部配線、
或いは自動車の配線パネル等に広く使用されている。

上記フレキシブル配線板は、ポリイミドなどの可撓性を
有する絶縁ベースフィルムの片面または両面に、接着剤
を介して１オンス（約３５μｍ）銅箔ないしは１／２オ
ンス銅箔からなる金属薄膜を張り合わせ、得られたフレ
キシブル配線基板の上記金属薄膜にエツチング等によっ
て導体回路を形成して回路基板を得ると共に、上記導体
回路を保護するため、導体回路の所定部を、フィルムオ
ーバーレイまたはオーバーコートすることにより作製さ
れている。

しかしながら、上記の方法により得られたフレキシブル
配線基板は、金属薄膜と絶縁ベースフィルムとの間に接
着剤層が介在するので、フレキシブル配線基板、ひいて
はフレキシブル配線板を薄肉化することが困難であるだ
けでな（、耐屈曲性が劣るという問題がある。また、上
記接着剤が耐。

熱性に劣るため、耐熱性等に優れる上記絶縁ベースフィ
ルムを用いる利点がなくなる。

上記要請に応えるため、金属薄膜に芳香族ポリアミドカ
ルボン酸溶液を直接塗布し、１００℃以下の温度にて少
なくとも５０重量％の溶媒を除去した後、残りの溶媒を
加熱除去するとともに上記芳香族ポリアミドカルボン酸
をイミド化することにより金属薄膜に芳香族ポリイミド
層が形成されたフレキシブル配線基板を製造する方法が
提案されている（特開昭６１−１９００９３号公報）。

〈発明が解決しようとする問題点〉 上記の製造方法は、絶縁ベースフィルムと金属薄膜との
間に接着剤層が介在しないので、フレキシブル配線基板
を薄肉化できると共に、耐熱性に優れるという利点があ
る。

一方、近年、フレキシブル配線基板の需要、用途が拡大
するにつれて、該配線板に要求される特性も非常に厳し
くなっている。例えば、フレキシブル配線基板において
は、半田処理が必要であることから半田浸漬に充分耐え
得る耐熱性、回路基板に対する強固な密着性、電気絶縁
性や、フレキシブル配線基板の薄肉化とカールの防止と
いう相反する特性とともに、可撓性および耐屈曲性のよ
り優れたものが必要とされている。

しかしながら、上記製造方法によれば、金属薄膜に芳香
族ポリアミドカルボン酸溶液を直接塗布しているため、
金属薄膜と芳香族ポリイミドとの接着性が十分でなく、
フレキシブル配線板の製造時、例えば、エツチング時や
、フレキシブル配線基板の各種機器への装着作業、例え
ば、半田付は作業時などに支障を来すという問題がある
。

〈発明の目的〉 本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、薄肉
化が可能で、半田耐熱性、可撓性、耐屈曲性および電気
絶縁性に優れるとともに、金属薄膜との密着性に優れる
フレキシブル配線基板を提供することを目的とする。

く問題を解決するための手段および作用〉上記目的を達
成するため、本発明のフレキシブル配線基板は、金属薄
膜と芳香族ポリイミド層とからなるフレキシブル配線基
板であって、上記芳香族ポリイミド層が、無機微粉末を
含有することを特徴とする。

上記構成のフレキシブル配線基板によれば、芳香族ポリ
イミド層が無機微粉末を含有するので、耐熱性などの特
性を損うことなく、金属薄膜との密告性を高めることが
できる。

以下に、本発明の詳細な説明する。

本発明のフレキシブル配線基板は、金属薄膜に、無機微
粉末を含有する芳香族ポリイミド層が形成されている。

上記金属薄膜としては、導電性を有する種々のもの、例
えば、銅、アルミニウム、銀、金、白金、ニッケル、鉄
、モリブデン等が使用し得る。また、上記金属薄膜は、
適宜の厚みを有していてもよいが、基板の薄肉化を図る
ため、１０〜１００μｍの膜厚を有するものが好ましく
、金属薄膜の表面は粗面加工されているものが好ましい
。

また、上記無機微粉末としては、特に限定されず、種々
のものが使用できるが、電気絶縁性を有する無機微粉末
、例えば、酸化亜鉛、酸化鉄、酸化カルシウム、炭酸カ
ルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒
化アルミニウム、二酸化硅素、炭化硅素、窒化硅素、炭
化ホウ素、窒化ホウ素、酸化チタン、酸化クロム、二酸
化マンガン、炭酸マンガン、酸化ニッケル、炭酸ニッケ
ル、硫酸ニッケル、炭酸バリウム、硫酸バリウム、酸化
マグネシウム、炭酸マグネシウム、水酸化マグネシウム
、酸化銅、酸化ジルコニウムなど、化学的、物理的に安
定であり、前記芳香族ポリイミド層の諸特性に悪影響を
及ぼさない無機化合物が好ましい。特に、金属薄膜との
密着性および電気絶縁性を高めるため、Ｌｉ、、ＡＪＳ
ＳｉＳＣｍ。

ＴｉＳＣｒＳＭｎ、、Ｆｅ、Ｃｏ１．Ｍｇ５Ｐｂ。

Ｃｕ５ＮｉＳＺｎ、５ｂＳＢａからなる群から選ばれた
少なくとも２つの元素を含有する複合酸化物であるのが
好ましい。上記複合酸化物としては、Ｓ　ｉｏｚ　−Ａ
ｌ１０ｓ　、Ｚｎ０−Ｆ　ｅｚ　０３、ＺｎＯ−Ｆｅ２
０ｓ　−Ｃｒｚ　Ｏｓ　、Ｃｕ０−Ｆｅｚ　Ｏ３−Ｍｎ
ｚ　Ｏｓ　、Ｔｉ０ｚ　−５ｂｚ　０３−Ｃｒ２０３　
、ＴｉＯ２−ＢａＯ−Ｎ１ｐ。

Ｔｉ０ｚ　−Ｃｏｏ−ＮｉＯ−ＺｎＯＳＬｉｚ　０−Ａ
Ｊ２０３５ｉ０２、Ｃａ０−ＡＪ２０３−３ｉ０２、Ｂ
ａＯＡｌ１０３−３ｉ０２、ＭｇＯ−３ｉｏｚ　、Ｍｇ
０−Ａｌ１　０３　　、　　ＰｂＯ−ＴｉＯ２などが例
示される。上記無機微粉末は一種または二種以上混合し
て使用される。

上記無機微粉末としては適宜の形状、大きさのものが使
用されるが、平均粒径１μｍ以下、好ましくは０．５〜
１μｍのものが好ましい。無機微粉末の粒径が１声を越
えると芳香族ポリイミド層の機械的強度が低下する。

また、上記芳香族ポリイミド層は、芳香族ポリイミドま
たは芳香族ポリイミド前駆体により形成されている。上
記芳香族ポリイミドまたは芳香族ポリイミド前駆体とし
ては、テトラカルボン酸またはその酸無水物などのポリ
カルボン酸成分およびポリアミン成分のいずれか一方の
成分が芳香族系のものであってもよいが、耐熱性、電気
絶縁性等を高めるため、芳香族テトラカルボン酸または
その酸無水物と、芳香族第１級ジアミンとの反応により
得られる芳香族ポリイミドまたは芳香族ポリイミド前駆
体により形成されたものが好ましい。

また、上記芳香族ポリイミド前駆体は、芳香族ポリアミ
ドカルボン酸とジフェニルエーテル−４゜４′−ジイソ
シアネート等のジイソシアネート化合物とで構成し、該
前駆体を加熱すること′によりポリアミドカルボン酸の
未閉環部を閉環させてポリイミド層を形成してもよいが
、芳香族ポリアミドカルボン酸であるのが好ましい。な
お、芳香族ポリイミド前駆体としてのポリアミドカルボ
ン酸と無機微粉末とを含有する塗布液を用いて上記芳香
族ポリイミド層を形成する場合、上記塗布液を金属薄膜
に塗布した後、加熱してイミド化することにより形成す
ることができる。また、芳香族ポリイミドと無機微粉末
とを含有する塗布液を用いて芳香族ポリイミド層を形成
する場合、塗布液を金属薄膜に塗布し、乾燥させること
により形成することができる。

上記芳香族テトラカルボン酸またはその酸無水物として
は、ピロメリット酸、３．３’　、４゜４′−ビフェニ
ルテトラカルボン酸、２，３゜３’　、４’　−ビフェ
ニルテトラカルボン酸等のビフェニルテトラカルボン酸
、２，２−ビス（３゜４−ジカルボキシフェニル）プロ
パン、３ｒ　　３’　＋４．４′−ビフェニルエーテル
テトラカルボン酸、２．３．３’　、４’　−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸、３．３’　、４．４’　−ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸等のベンゾフェノンテト
ラカルボン酸またはこれらの酸無水物が例示される。上
記芳香族テトラカルボン酸またはその酸無水物のうち、
ビフェニルテトラカルボン酸またはその酸無水物が好ま
しい。なお、ビフェニルテトラカルボン酸等と他の芳香
族テトラカルボン酸等とを併用してもよく、この場合、
他の芳香族テトラカルボン酸等は、１０モル％以下の量
で使用するのが好ましい。上記芳香族テトラカルボン酸
またはその種以上混合して用いられる。

また、芳香族第１級ジアミンとしては、種々の酸無水物
は、一種または二ものが使用できるが、少なくとも置換
基を有さない対称型の芳香族第１級ジアミンを用いるの
が好ましい。上記置換基を有さない対称型の芳香族第１
級ジアミンとしては、種々のものが使用し得るが、ｐ−
フェニレンジアミン、４．４’　−ジアミノジフェニル
などの対称型ジアミン、２，６−リアミツピリジンなど
のピリジン誘導体の他、下記一般式（１）で表されるも
のが好ましい。

（式中、Ｘは酸素原子、メチレン基、ジメチルメチレン
基、硫黄原子、カルボニル基、スルホニル基またはスル
フィニル基を示し、アミノ基はそれぞれＸ基に対して対
称の位置に置換している。）上記の一般式（１）で表さ
れる芳香族第１級ジアミンのうち好ましいものとしては
、４，４′　−ジアミノジフェニルエーテル、４．４’
　−ジアミノジフェニルチオエーテル、４．４′−ジア
ミノベンゾフェノン、４．４’　−ジアミノジフェニル
メタン、４．４’−ジアミノジフェニルスルホン、２゜
２−ビス（４−アミノフェニル）プロパン等が例示され
る。上記芳香族第１級ジアミンは、一種または二種以上
混合して用いられる。

また、耐熱性、密着性等の特性を高めるだけでなく、フ
レキシブル配線基板がカールするのを防止するため、上
記置換基を有さない対称型の芳香族第１級ジアミンと共
に、シロキサン系ジアミン、置換基を有する対称型芳香
族第１級ジアミン、置換基を有する非対称型芳香族第１
級ジアミンまたは置換基を有さない非対称型芳香族第１
級ジアミンと併用するのが好ましい。

より詳細には、置換基を有さない対称型の芳香族第１級
ジアミンと共にシロキサン系ジアミンを併用すると、金
属薄膜との密着性、耐屈曲性に優れると共に、カールの
ないフレキシブル配線基板が得られる。

上記シロキサン系ジアミンとしては、種々のものが使用
しえるが、下記一般式（Ｉｌで表されるものが好ましい
。

（以下、余白） （式中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ同一または異なっ
て、低級アルキレン基またはフェニレン基を示し、Ｒ３
、Ｒ４、Ｒ５およびＲ６は、それぞれ同一または異なっ
て、低級アルキル基、低級アルコキシ基、フェニル基ま
たはフェノキシ基を示し、ノは１以上の整数を示す） 上記低級アルキレン基としては、メチレン、エチレン、
トリメチレン、テトラメチレン、ペンタメチレン、ヘキ
サメチレン基等の炭素数１〜６のアルキレン基が例示さ
れる。低級アルキル基としては、メチル、エチル、プロ
ピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル％　ｔｅｒｔ
−ブチル、ペンチル、ヘキシル基等の炭素数１〜６のア
ルキル基が例示される。低級アルコキシ基としては、メ
トキシ、エトキシ、プロポキシ、イソプロポキシ、ブト
キシ、インブトキシ、ｔｅｒｔ−ブトキシ、ペンチルオ
キシ、ヘキシルオキシ基等の炭素数１〜６のアルコキシ
基が例示される。

上記一般式（ｍｌで表されるシロキサン系ジアミンのう
ち、好ましいものとしては、１，１，３，３−テトラメ
チル−１，３−ビス（４−アミノフェニル）ジシロキサ
ン、１，１，３．３−テトラフェノキシー１，３−ビス
（４−アミノエチル）ジシロキサン、１，１，３，３，
５．５−へキサメチル−１，５−ビス（４−アミノフェ
ニル）トリシロキサン、１，１，３．３−テトラフェニ
ル−１，３−ビス（２−アミノエチル）ジシロキサン、
１．１，３．３−テトラフェニル−１，３−ビス（３−
アミノプロピル）ジシロキサン、１，１゜５．５−テト
ラフェニル−３，３−ジメチル−１゜５−ビス（３−ア
ミノプロピル）トリシロキサン、１．１，５．５−テト
ラフェニル−３，３−ジメトキシ−１，５−ビス（４−
アミノブチル）トリシロキサン、１．１，５．５−テト
ラフェニル−３，３−ジメトキシ−１，５−ビス（５−
アミノペンチル）トリシロキサン、１，１．３．３−テ
トラメチル−１，３−ビス（２−アミノエチル）ジシロ
キサン、１，１，３．３−テトラメチル−１，３−ビス
（３−アミノプロピル）ジシロキサン、１，１．３．３
−テトラメチル−１，３−ビス（４−アミノブチル）ジ
シロキサン、１．３−ジメチル−１，３−ジメトキシ−
１，３−ビス（４−アミノブチル）ジシロキサン、１，
１，５゜５−テトラメチル−３，３−ジメトキシ−１，
５−ビス（２−アミノエチル）トリシロキサン、１゜１
．５．５−テトラメチル−３，３−ジメトキシ−１，５
−ビス（３−アミノプロピル）トリシロキサン、１，１
，５．５−テトラメチル−３，３−ジメトキシ−１，５
−ビス（４−アミノブチル）トリシロキサン、１，１，
５．５−テトラメチル−３，３−ジメトキシ−１，５−
ビス（５−アミノペンチル）トリシロキサン、１，１．
３，３゜５．５−ヘキサメチル−１，５−ビス（３−ア
ミノプロピル）トリシロキサン、１，１，３，３゜５．
５−へキサエチル−１，５−ビス（３−アミノプロピル
メトリシロキサン、１，１，３．３゜５．５−へキサプ
ロピル−１，５−ビス（３−アミノプロピル）トリシロ
キサン等が例示される。

上記シロキサン系ジアミンは、一種または二種以上混合
して用いられる。また、シロキサン系ジアミンは、適宜
の割合で使用できるが、全ジアミン化合物中、１〜２０
モル％、特に、５〜１５モル％使用するのが好ましい。

全ジアミン化合物中のシロキサン系ジアミンの量が１モ
ル％未満であると、金属薄膜との密着性、耐屈曲性を十
分に改善することが困難であり、フレキシブル配線基板
のカールを十分に抑制することができず、２０モル％を
越えると、耐熱性が低下する。

また、上記置換基を有さない対称型の芳香族第１級ジア
ミンと共に置換基を有する対称型の芳香族第１級ジアミ
ンを併用したものは、耐屈曲性、電気絶縁性に優れると
共に、カールのないフレキシブル配線基板が得られる。

置換基を有する対称型の芳香−族第１級ジアミンにおけ
る置換基としては、前記と同様の炭素数１〜６の低級ア
ルキル基、炭素数１〜６の低級アルコキシ基が例示でき
る。上記芳香族第１級ジアミンは、少なくとも１個の上
記置換基を有していればよく、例えば、２．５−トルエ
ンジアミン、３゜３′−ジメチルベンジジン、２．５’
　−ジメチルベンジジン、３−メチルベンジジン、３．
３’　−ジエチルベンジジン、３．３’　−ジプロピル
ベンジジン、３．３’　−ジイソプロピルベンジジン、
３．３′−ジブチルベンジジン、３．３′−ジイソブチ
ルベンジジン、３．３’　−ジベンチルベンジジン、３
．３’−ジェキシベンジジン、３−メチル−３′−メト
キシベンジジン、３．３’　−ジメトキシベンジジン、
２．５’　−ジェトキシベンジジン、３．３’−ジェト
キシベンジジン、３゜３′−ジプロポキシベンジジン、
３．３’　−ジブトキシベンジジン、３．３’　−ジペ
ンチルオキシへ／ンン、’、３．３’　−ジヘキシルオ
キシベンジジン等が例示される。なお、低級アルキル基
を有するものは電気絶縁性に、低級アルコキシ基を有す
るものは耐屈曲性に優れる。上記置換基を有する対称型
の芳香族第１級ジアミンのうち、ベンジジン系、中でも
３．３′−ジメチルベンジジン、３．３′　−ジメトキ
シベンジジンが好ましい。上記置換基を有する対称型の
芳香族第１級ジアミンは、一種または二種以上混合して
用いられる。また、置換基を有する対称型の芳香族第１
級ジアミンは、適宜の割合で使用できるが、全芳香族第
１級ジアミン中、１〜２０モル％、特に、５〜１５モル
％使用するのが好ましい。全芳香族第１級ジアミン中の
置換基を有する対称型の芳香族第１級ジアミンの量がｌ
Ｔｌ１−ル％未満であると、電気絶縁性、耐屈曲性を十
分に改善できないと共に、フレキシブル配線基板のカー
ルを十分に抑制することができず、２０モル％を越える
と耐熱性が低下する。

また、置換基を有さない対称型の芳香族第１級ジアミン
と共に置換基を有する非対称型の芳香族第１級ジアミン
とを併用したものは、電気絶縁性に優れると共に、カー
ルのないフレキシブル配線基板が得られる。

上記置換基を有する非対称型の芳香族第１級ジアミンと
しては、２，４−ジアミノトルエン等の他、下記一般式
圓で表されるものが好ましい。

［式中、Ｒ７およびＲ８は、同一または異なって、低級
アルキル基または低級アルコキシ基を示し、Ｘは、酸素
原子、メチレン基、ジメチルメチレン基、硫黄原子、カ
ルボニル基、スルホニル基、スルフィニル基、フェニレ
ンジオキシ基または基：（式中、Ｙはジメチルメチレン
基、スルホニル基またはスルフィニル基を示す）を示す
。ｍおよびｎは０または１以上の整数である。但し、ｍ
およびｎは同時に０とならないものとする。アミノ基は
、それぞれＸ基に対して非対称の位置に置換している。

］ 上記低級アルキル基および低級アルコキシ基としては、
前記と同様、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６
のアルコキシ基が例示される。

上記フェニレンジオキシ基としては、１，２−フェニレ
ンジオキシ、１，３−フェニレンジオキシ、１，４−フ
ェニレンジオキシ基が例示される。

上記一般式口で表される芳香族第１級ジアミンの好まし
い例としては、２．３’　−ジアミノ−４−メチルシフ
、エニルエーテル、２．３’　−ジアミノ−４，５′−
ジメチルジフェニルエーテル、２゜３′−ジアミノ−４
，６′−ジメチルジフェニルエーテル、２，３′−ジア
ミノ−４，４′　−ジメチルジフェニルエーテル、２．
３’　−ジアミノ−５，６′−ジメチルジフェニルエー
テル、３゜４′−ジアミノ−２′、６−ジメチルジフェ
ニルエーテル、３，４′−ジアミノ−６，６′−ジメチ
ルジフェニルエーテル、２．３’　−ジアミノ−４，５
′−ジエチルジフェニルエーテル、２゜３′−ジアミノ
−４，５′　−ジプロピルジフェニルエーテル、２．３
′−ジアミノ−４，５′−ジブチルジフェニルエーテル
、２．３’　−ジアミノ−４，５’−ジベンチルジフェ
ニルエーテル、２゜３′−ジアミノ−４，５′−ジェキ
シジフェニルエーテル、２．３′−ジアミノ−４，５′
−ジメトキシジフェニルエーテル、２．３’　−ジアミ
ノ−４，６′　−ジェトキシジフェニルエーテル、２．
３′−ジアミノ−４，４′−ジプロポキシジフェニルエ
ーテル、２．３’　−ジアミノ−５゜６′−ジブトキシ
ジフェニルエーテル、３．４’−ジアミノ−２，２′　
−ジベンチルオキシジフェニルエーテル、３，４′−ジ
アミノ−６，２’　−ジェトキシジフェニルエーテル、
２，３′　−ジアミノ−４，５′−ジェトキシジフェニ
ルエーテル、２．３′−ジアミノ−４，５′−ジプロポ
キシジフェニルエーテル、２．３′−ジアミノ−４゜５
′−ジブトキシジフェニルエーテル、２．３’−ジアミ
ノ−４，５′−ジヘキシルオキシジフェニルエーテル、
２，３′−ジアミノ−４，６’　　−ジメチルジフェニ
ルチオエーテル、３．４’　−ジアミノ−６，２′−ジ
メチルジフェニルチオエーテル、２，３′−ジアミノ−
４，６′−ジメチルベンゾフェノン、２．３′−ジアミ
ノ−４，６′−ジメトキシベンゾフェノン、３．４’　
　−ジアミノベンゾフェノン、２．３’　　−ジアミノ
−４゜６′−ジメチルジフェニルメタン、２．３’　−
ジアミノ−４，６′　−ジエチルジフェニルメタン、３
．４′−ジアミノ−６，２′−ジメトキシジフェニルメ
タン、３．４′−ジアミノ−６，２’　−ジェトキシジ
フェニルメタン、２．３’　−ジアミノ−４，６′−ジ
メチルジフェニルスルホン、３゜４′−ジアミノ−６，
２′−ジメトキシジフェニルスルホン、２．２−　（２
，３′　−ジアミノ−４゜６′−ジエチルジフェニル）
プロパン、２．２−（２，３’−ジアミノ−４，６′−
ジメトキシジフェニル）プロパン、２．２−（３，４’
　−ジアミノ−４，２′−ジエチルジフェニル）プロパ
ン、２．２−　（３，４’−ジアミノ−６，２′−ジェ
トキシジフェニル）プロパン、１−（２−アミノ−４−
メチルフェノキシ）　−４−（３−アミノ−６−メチル
フェノキシ）ベンゼン、１−（２−アミノ−４−エチル
フェノキシ）−４−（３−アミノ−６−エチルフェノキ
シ）ベンゼン、１−（３−アミノ−６−メドキシフエノ
キシ）　　−４−（４−アミノ−６−メドキシフエノキ
シ）ベンゼン、１−（３−アミノ−６−ニトキシフエノ
キシ）−４−（４−アミノ−６−ニトキシフエノキシ）
ベンゼン、２−　［４−（２−アミノ−４−メチルフェ
ノキシ）フェニル］　−２−［４−（３−アミノ−５−
メチルフェノキシ）フェニル］プロパン、２−　［４−
（３−アミノ−６−メチルフェノキシ）フェニルコー２
−　［４−（４−アミノ−６−メチルフェノキシ）フェ
ニル］プロパン、［４−（２−アミノ−４−メチルフェ
ノキシ）フェニル］−［４−（３’　−アミノ−５′　
−メチルフェノキシ）フェニル］スルホン、［４−（３
−アミノ−６−メチルフェノキシ）フェニル］　−［４
−（４’　−アミノ−６′−メチルフェノキシ）フェニ
ル］スルホン、［４−（２−アミノ−４−メチルフェノ
キシ）フェニルコー［４−（３’　−アミノ−５′−メ
チルフェノキシ）フェニルコスルホキシド、［４−（３
−アミノ−６−メチルフェノキシ）フェニル］　−［４
−（４’　−アミノ−６′−メチルフェノキシ）フェニ
ルコスルホキシド等が例示される。上記置換基を有する
非対称型の芳香族第１級ジアミンは、一種または二種以
上混合して用いられる。また、置換基を存する非対称型
の芳香族第１級ジアミンは、適宜の割合で使用できるが
、全芳香族第１級ジアミン中、１〜２０モル％、特に、
５〜１５モル％使用するのが好ましい。全芳香族第１級
ジアミン中の置換基を有する非対称型の芳香族第１級ジ
アミンの量が１モル％未満であると、電気的特性、耐屈
曲性を十分に改善することが困難であると共にフレキシ
ブル配線基板のカールを十分に抑制することができず、
２０モル％を越えると、耐熱性が低下する。

さらには、置換基を有さない対称型の芳香族第１級ジア
ミンと共に置換基を有さない非対称型の芳香族第１級ジ
アミンとを併用したものは、耐屈曲性に優れると共に、
カールのないフレキシブル配線基板が得られる。

上記置換基を有さない非対称型の芳香族第１級ジアミン
としては、２，５−ジアミノピリジン、３．４−ジアミ
ノピリジンなどのピリジン誘導体、ｍ−フェニレンジア
ミン等の他、前記一般式（Ｉ）において、アミノ基がそ
れぞれＸ基に対して非対称の位置に置換しているものが
好ましく、好ましい例としては、２．３’　−ジアミノ
ジフェニルエーテル、３．４’　−ジアミノジフェニル
エーテル、２．３′−ジアミノジフェニルチオエーテル
、３゜４′−ジアミノジフェニルチオエーテル、２゜３
′−ジアミノベンゾフェノン、３．４’　−ジアミノベ
ンゾフェノン、２．３′　−ジアミノジフェニルメタン
、３．４’　−ジアミノジフェニルメタン、２．３’−
ジアミノジフェニルスルホン、３゜４′−ジアミノジフ
ェニルスルホン、２．２−（２，３’−ジアミノジフェ
ニル）プロパン、２゜２−　（３，４’−ジアミノジフ
ェニル）プロパン等が例示される。上記置換基を有さな
い非対称型の芳香族第１級ジアミンは、一種または二種
以上混合して用いられる。また、置換基を有さない非対
称型の芳香族第１級ジアミンは、適宜の割合で使用でき
るが、全芳香族第１級ジアミン中、１〜２０モル％、特
に、５〜１５モル％使用するのが好ましい。全芳香族第
１級ジアミン中の置換基を有さない非対称型の芳谷族第
１級ジアミンの量が１モル％未満であると耐屈曲性を十
分改善することが困難であるとともに、フレキシブル配
線基板のカールを十分に抑制することができず、２０モ
ル％を越えると耐熱性が低下する。

上記芳香族テトラカルボン酸またはその無水物と芳香族
第１級ジアミン等との反応は、従来公知の方法に準じて
行なうことができ、例えば、前記芳香族ポリアミドカル
ボン酸を得るには、略化学量論量の芳香族テトラカルボ
ン酸またはその無水物と芳香族第１級ジアミン等とを、
Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセ
トアミド、Ｎ、−メチル−２−ピロリドン等の有機溶媒
中で、０〜８０℃の温度で反応させればよく、前記芳香
族ポリイミドを得るには、上記芳香族ボリア加熱したり
、必要に応じて脱水剤を添加し、芳香族ポリアミドカル
ボン酸を縮合して芳香族ポリイミドに変換すればよい。

上記芳香族ポリイミド、芳香族ポリアミドカルボン酸の
うち、金属薄膜との密着性等に優れる芳香族ポリアミド
カルボン酸が好ましい。なお、上記芳香族ポリアミドカ
ルボン酸または芳香族ポリイミドは、適宜の濃度、例え
ば５〜５０重量％の溶液として用いることができる。

また、前記芳香族ポリイミド層中の無機微粉末の含有量
は、無機微粉末、芳香族ポリイミドなどの種類などによ
り変化するので特に限定されず広く選択されるが、通常
０．０１〜５．０重量％である。無機微粉末の含有量が
０．０１重量％未満であると金属薄膜との密着性を十分
に高めることが困難であり、５．０重量％を越えると芳
香族ポリイミド層の機械的強度および均質性が低下する
。

なお、無機微粉末としてＺｎＯ−Ｆｅ２０３−Ｃｒ２０
３などの電気絶縁性無機微粉末を用いた場合を例にとっ
て説明すると、芳香族ポリイミド層は、上記無機微粉末
を０４０１〜１重量％、特に０．０５〜０．５重量％含
有するのが好ましく、この場合、少量の無機微粉末にて
金属薄膜との密石性を高めることができる。

また、無機微粉末を含有する芳香族ポリイミド層は、適
宜の厚みに形成することができるが、通常５〜３０μｍ
程度に形成される。

なお、上記無機微粉末を含有する芳香族ポリイミド層は
、前記芳香族ポリイミドまたは芳香族ポリイミド前駆体
の溶液に前記無機微粉末を分散した塗布液を調製し、該
塗布液を前記金属薄膜に塗布し、加熱し溶媒を除去する
ことにより形成することができる。

上記塗布操作としては、流延塗布によるのが好ましく、
塗布手段としては、従来慣用の手段、例えば、ナイフコ
ーター、ロールコータ−、デイツプコーター、フローコ
ーター、ドクターブレード等が採用できる。

なお、上記芳香族ポリイミドまたは芳香族ポリイミド前
駆体とともに無機微粉末を含有する塗布液を前記金属薄
膜に塗布し、加熱することにより芳香族ポリイミド層を
形成することができるが、ボリイミード層と金属薄膜と
からなる基板がカールするのを防止するため、乾燥初期
においては、低温で溶媒を除去するとともに、徐々に温
度を高めて芳香族ポリイミド層を形成するのが好ましく
、特に、上記芳香族ポリアミドカルボン酸を含有する塗
布液を金属薄膜に塗布し、芳香族ポリイミド層を形成す
る場合、塗布した後、１００℃以下の温度にて少なくと
も５０重量％の溶媒を除去し、温度を徐々に高めるとと
もに最終的には２５０〜４００℃程度の温度で残りの溶
媒を加熱除去し、イミド化するのが好ましい。上記の加
熱方法により、溶媒除去および芳香族ポリアミドカルボ
ン酸の体積収縮により基板がカールするのを防止でき、
平坦な基板を形成することができる。

なお、フレキシブル配線板は上記構造のフレキシブル配
線基板を用いて、従来慣用の方法により製造することが
できる。すなわち、上記構造のフレキシブル配線基板の
金属薄膜にフォトレジストを塗布し、所定のパターンを
露光し、現像し、エツチング等の手段により金属薄膜に
所定の回路パターンを形成することにより導体回路を形
成し、残留するレジストを除去することにより回路基板
を作製する。次いで、上記導体回路を保護するため、前
記オーバーレイ、オーバーコートや、プラズマ重合膜に
より導体回路の所定部を被覆することにより、フレキシ
ブル配線板とすることができる。

前記のフレキシブル配線基板は、金属薄膜と芳香族ポリ
イミド層との間に接若剤層が介在しないので、耐熱性、
可撓性、耐屈曲性などの特性を低下させることなく、該
配線基板を薄肉化することができる。また、芳香族ポリ
イミド層が無機微粉末を含有するので、耐熱性などの特
性を損うことなく、金属薄膜との密着性を高めることが
できる。

従って、本発明のフレキシブル配線基板は、金属薄膜と
の強固な密着性などが要求されるフレキシブル配線基板
を製造する上で特に有用である。

〈実施例〉 以下に、実施例に基づき、本発明をより詳細に説明する
。

実施例１〜３および比較例 ３．３’　、４．４’　−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物１モル、ｐ−フ二二レンジアミン０．８モルお
よび４，４′−ジアミノジフェニルエーテル０．２モル
をＮ−メチル−２−ピロリドン中で反応させるとともに
、Ｎ−メチル−２−ピロリドンの量を調整することによ
り、固形分２０重量％の芳香族ポリアミドカルボン酸溶
液を調製した。

次いで、上記溶液に、複合酸化物である平均粒径約０．
６μｍのＺｎＯ−Ｆｅ２Ｏ３−Ｃｒｚ　０３を、上記溶
液中の芳香族ポリアミドカルボン酸（固形分）に対して
、０，５重量％（実施例１）、０．２重量％（実施例２
）、０．０５重量％（実施例３）およびＯ重量％（比較
例）となるように添加し、混合分散することにより塗布
液を調製した。

そし２て、上記塗布液を、厚み約３５μｍの銅箔に直接
塗布した後、１００℃以下の温度にて少なくとも５０重
量９６のに機溶媒を除去り、、残存溶媒の加熱除去およ
びイミド化を行なうことにより、フレキシブル配線基板
を作製した。

実施例４ ３．３’　、４．４’　−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物１モル、４．４’　−ジアミノジフェニルエー
テル０．９８モルおよび４，４′−ジアミノジフェニル
スルホン０．０２モルをＮ−メチル−２−ピロリドン中
で反応させるとともに、Ｎ−メチル−２−ピロリドンの
量を調整することにより、固形分２０重量％の芳香族ポ
リアミドカルボン酸溶液を調製し、芳香族ポリアミドカ
ルボン酸（固形分）に対して、平均粒子径約０，５μｍ
のＴｉＯ２−ＢａＯ−Ｎ１Ｏを０．５重量％添加し１、
Ｉ：記実施例１と同様にしてフレキシブル配線基板を作
製した。

実施例５ ３．３’　、４．４’　−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物１モル、４，４．’　−ジアミノジフェニルエ
ーテル０．９９モルおよび３，３′−ジメチルベンジジ
ン０．０１モルをＮ−メチル−２−ピロリドン中で反応
させるとともに、Ｎ−メチル−２−ピロリドンの量を調
整することにより、固形分２０重量％の芳香族ポリアミ
ドカルボン酸溶液を調製し、芳香族ポリアミドカルボン
酸（固形分）に対して、平均粒子径約０．５μｍのＣｕ
０−Ｆ　ｅｚ　Ｏ３−Ｍｎｚ　Ｏｓを０．２重量％添加
し、上記実施例１と同様にしてフレキシブル配線基板を
作製した。

実施例６ ３．３’　、４．４’　−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物１モル、４．４’　−ジアミノジフェニルメタ
ン０．９８モルおよび１，１．３．３−テトラメチル−
１，３−ビス（３−アミノプロピル）ジシロキサン０．
０２モルをＮ−メチル−２−ピロリドン中で反応させる
とともに、Ｎ−メチル−２−ピロリドンの量を調整する
ことにより、固形分２０重量％の芳香族ポリアミドカル
ボン酸溶液を調製し、芳香族ポリアミドカルボン酸（固
形分）に対して、平均粒子径約０．５μｍのＴ　ｉ　０
２−Ｓ　ｂ２０３−Ｃｒｚ　０３を０．８重量％添加し
、上記実施例１と同様にしてフレキシブル配線基板を作
製した。

実施例７ ３．３’　、４．４’　−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物１モル、４．４’　−ジアミノジフェニルエー
テル０，９８モルおよび２，３′−ジアミノ−４，６′
−ジメチルジフェニルメタン０゜０２モルをＮ−メチル
−２−ピロリドン中で反応させるとともに、Ｎ−メチル
−２−ピロリドンの量を調整することにより、固形分２
０重量％の芳香族ポリアミドカルボン酸溶液を調製し、
芳香族ポリアミドカルボン酸（固形分）に対して、平均
粒子径約０．５碑のＴＬＯｚ　−Ｃｏｏ−ＮｉＯ−Ｚｎ
Ｏを０．５重量％添加し、上記実施例１と同様にしてフ
レキシブル配線基板を作製した。

上記実施例１〜７および比較例のフレキシブル配線基板
の諸特性を調べたところ、次長に示す結果を得た。

なお、表中、体積固有抵抗および早口１耐熱性について
は、ＪＩＳ　　Ｃ−６４８１に準じ調べた。

耐屈曲性については、屈曲半径Ｑ、８ｍｍ５荷重０．５
Ｋｇで屈佃させ、クラック、剥離等が生じるまでの屈曲
回数を示した。

耐電圧は、ＪＩＳ−２１２０に準じて測定した。

銅箔との接着力は、幅１０ｍｍの試料を用い、引張り速
度５０ｍｍ／分、１８０’剥離の条件で銅箔を引張り、
測定した。

表より明らかなように、無機微粉末を含宵しない比較例
のフレキシブル配線基板は、電気絶縁性が十分でなく、
特に銅箔との接着力が小さい。

これに対して、実施例１〜７のフレキシブル配線基板は
、いずれも耐熱性、耐屈曲性、耐電圧特性に優れるのみ
ならず、電気絶縁性、銅箔との接着性に優れ、これらの
特性を同時に満足するものであることが判明した。なお
、実施例１〜７のフレキシブル配線基板は、いずれもカ
ールが殆ど生じなかった。

（以下、余白） 〈発明の効果〉 以上のように、本発明のフレキシブル配線基板によれば
、金属薄膜と芳香族ポリイミド層との間に接着剤層が介
在しないだけでなく、芳香族ポリイミド層が無機微粉末
を含有しているので、該配線基板を薄肉化することがで
き、耐熱性、電気絶縁性、可撓性、耐屈曲性などの特性
と共に、金属薄膜との密着性に優れるという特有の効果
を奏する。

特許出願人　　住友電気工業株式会社 （は、か２名）

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. １．金属薄膜と芳香族ポリイミド層とからなるフレキシ
   ブル配線基板であって、上記芳香族ポリイミド層が、無
   機微粉末を含有することを特徴とするフレキシブル配線
   基板。
2. ２．無機微粉末が、電気絶縁性を有するものである上記
   特許請求の範囲第１項記載のフレキシブル配線基板。
3. ３．無機微粉末が、複合酸化物である上記特許請求の範
   囲第１項記載のフレキシブル配線基板。
4. ４．無機微粉末が、Ｌｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｃ
   ｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｇ、Ｐｂ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｚｎ
   、Ｓｂ、Ｂａからなる群から選ばれた少なくとも２つの
   元素を含有する複合酸化物である上記特許請求の範囲第
   ３項記載のフレキシブル配線基板。
5. ５．無機微粉末が、平均粒径１μｍ以下のものである上
   記特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれかに記載
   のフレキシブル配線基板。
6. ６．芳香族ポリイミド層が、無機微粉末を０．０１〜５
   ．０重量％含有する上記特許請求の範囲第１項記載のフ
   レキシブル配線基板。
7. ７．芳香族ポリイミド層が、芳香族テトラカルボン酸ま
   たはその酸無水物と、芳香族第１級ジアミンとの反応に
   より得られる芳香族ポリイミドまたは芳香族ポリイミド
   前駆体により形成されたものである上記特許請求の範囲
   第１項記載のフレキシブル配線基板。
8. ８．芳香族ポリイミド前駆体が、芳香族ポリアミドカル
   ボン酸である上記特許請求の範囲第７項記載のフレキシ
   ブル配線基板。
9. ９．芳香族テトラカルボン酸またはその酸無水物が、ビ
   フェニルテトラカルボン酸またはその酸無水物である上
   記特許請求範囲第７項記載のフレキシブル配線基板。
10. １０．芳香族第１級ジアミンが、置換基を有さない芳香
    族第１級ジアミンである上記特許請求範囲第７項記載の
    フレキシブル配線基板。
11. １１．芳香族第１級ジアミンが、置換基を有さない対称
    型芳香族第１級ジアミンとシロキサン系ジアミンとから
    なる上記特許請求の範囲第７項記載のフレキシブル配線
    基板。
12. １２．芳香族第１級ジアミンが、置換基を有さない対称
    型芳香族第１級ジアミンと置換基を有する対称型芳香族
    第１級ジアミンとからなる上記特許請求の範囲第７項記
    載のフレキシブル配線基板。
13. １３．芳香族第１級ジアミンが、置換基を有さない対称
    型芳香族第１級ジアミンと置換基を有する非対称型芳香
    族第１級ジアミンとからなる上記特許請求の範囲第７項
    記載のフレキシブル配線基板。
14. １４．芳香族第１級ジアミンが、置換基を有さない対称
    型芳香族第１級ジアミンと置換基を有さない非対称型芳
    香族第１級ジアミンとからなる上記特許請求の範囲第７
    項記載のフレキシブル配線基板。