JPH01131469A - Icの加熱方式 - Google Patents
Icの加熱方式Info
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- JPH01131469A JPH01131469A JP62288549A JP28854987A JPH01131469A JP H01131469 A JPH01131469 A JP H01131469A JP 62288549 A JP62288549 A JP 62288549A JP 28854987 A JP28854987 A JP 28854987A JP H01131469 A JPH01131469 A JP H01131469A
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- Japan
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- heating
- magazine
- pitch
- section
- heating section
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 61
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 101100514842 Xenopus laevis mtus1 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
本発明は、ICを高温試験するため等に用いられ、マガ
ジンに収納されたICを加熱部に送り込んで加熱するた
めのICの加熱方式に関するものである。
ジンに収納されたICを加熱部に送り込んで加熱するた
めのICの加熱方式に関するものである。
【従来の技術]
ICの試験を行うに際しては、常温状態での試験だけで
なく、低温状態及び高温状態での試験も行う必要かある
。そして、高温状態で試験を行うに際して、この試験を
自動化するために、マガジンから強制搬出手段によって
ICを連続的に送り出して、順次加熱部に送り込むこと
により該ICを加熱した後に、ICテスタにおけるテス
トヘッドに装着することによりその昇温時における性能
の試験が行われる。
なく、低温状態及び高温状態での試験も行う必要かある
。そして、高温状態で試験を行うに際して、この試験を
自動化するために、マガジンから強制搬出手段によって
ICを連続的に送り出して、順次加熱部に送り込むこと
により該ICを加熱した後に、ICテスタにおけるテス
トヘッドに装着することによりその昇温時における性能
の試験が行われる。
ここで、ICは、基板部と、該基板部の左右の両側に複
数の端子を連設してなるもので、通常は、その端子の連
設方向が長手となり、左右の端子間の間隔は短手となっ
ている。また、このようなICを収納するマガジンには
その底壁部を軸線方向に凸部を形設することにより該凸
部を跨ぐように装着されている。このように長手方向に
沿ってマガジン内に収納されたICを加熱部に送り込む
ために、従来技術においては、強制搬出手段を用いてI
Cをその長手方向に沿って送り出して、このICの搬送
方向に向けて配設した加熱部に導いて加熱するようにし
ていた。
数の端子を連設してなるもので、通常は、その端子の連
設方向が長手となり、左右の端子間の間隔は短手となっ
ている。また、このようなICを収納するマガジンには
その底壁部を軸線方向に凸部を形設することにより該凸
部を跨ぐように装着されている。このように長手方向に
沿ってマガジン内に収納されたICを加熱部に送り込む
ために、従来技術においては、強制搬出手段を用いてI
Cをその長手方向に沿って送り出して、このICの搬送
方向に向けて配設した加熱部に導いて加熱するようにし
ていた。
[発明が解決しようとする問題点]
ところで、前述したように、ICをその長手方向に送る
間に加熱部を通過させるように構成した場合には、加熱
部の全長か長くなる。特に近年におけるICの高集積化
を図るために、大型のICを試験する場合等においては
、該ICの長手方向の寸法も大きくなって、加熱部か特
に長くなる。
間に加熱部を通過させるように構成した場合には、加熱
部の全長か長くなる。特に近年におけるICの高集積化
を図るために、大型のICを試験する場合等においては
、該ICの長手方向の寸法も大きくなって、加熱部か特
に長くなる。
このように加熱部を長尺にすると、温度制御が面倒とな
るだけでなく、該加熱部の温度に偏在か生じて、ICの
均一な加熱を行うことができなくなり、試験精度に悪影
響を及ぼすという問題点がある。また、マガジンの延長
上に長尺の加熱部を配設すると、加熱装置の全長か著し
く長くなり、これとICテスタとを組み合せて、ICの
試験装置を構成した場合には、この装置全体の構成が著
しく大型化するという欠点がある。
るだけでなく、該加熱部の温度に偏在か生じて、ICの
均一な加熱を行うことができなくなり、試験精度に悪影
響を及ぼすという問題点がある。また、マガジンの延長
上に長尺の加熱部を配設すると、加熱装置の全長か著し
く長くなり、これとICテスタとを組み合せて、ICの
試験装置を構成した場合には、この装置全体の構成が著
しく大型化するという欠点がある。
本発明は叙上の点に鑑みてなされたものでありて、その
目的とするところは、小型でコンパクトな構成を有する
ICの加熱方式を提供することにある。
目的とするところは、小型でコンパクトな構成を有する
ICの加熱方式を提供することにある。
[問題点を解決するための手段1
前述した目的を達成するために、本発明は、マガジンに
収納されたICをその長手方向に送ることにより該IC
を前記マガジンから搬出し、加熱部の入口においてこの
ICの搬送方向を90°転換させて短手方向にピッチ送
りすることによって該加熱部内において加熱するように
したことをその特徴とするものである。
収納されたICをその長手方向に送ることにより該IC
を前記マガジンから搬出し、加熱部の入口においてこの
ICの搬送方向を90°転換させて短手方向にピッチ送
りすることによって該加熱部内において加熱するように
したことをその特徴とするものである。
[作用1
このようにICを加熱部において短手方向に送るように
することによって、加熱部の全長を短縮することができ
るようになる。この結果、加熱部における温度のばらつ
きを少なくすることができるようになるので、温度制御
を容易ならしめることができると共に、ICを均一な温
度となるように加熱することがてきて、試験精度の向上
が図れる。また、このように加熱部の全長を短縮し、し
かもこの加熱部に送り込む際にICの搬送方向を90°
方向転換させるようにしているので、加熱装置の長さを
短縮することかできるようになり、該加熱装置及びこれ
に連結されるICテスタ等を含めた装置全体を小型化、
コンパクト化することができるようになる。
することによって、加熱部の全長を短縮することができ
るようになる。この結果、加熱部における温度のばらつ
きを少なくすることができるようになるので、温度制御
を容易ならしめることができると共に、ICを均一な温
度となるように加熱することがてきて、試験精度の向上
が図れる。また、このように加熱部の全長を短縮し、し
かもこの加熱部に送り込む際にICの搬送方向を90°
方向転換させるようにしているので、加熱装置の長さを
短縮することかできるようになり、該加熱装置及びこれ
に連結されるICテスタ等を含めた装置全体を小型化、
コンパクト化することができるようになる。
【実施例1
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
まず、第1図に本発明の方式により加熱されるICと、
このICを収納するマガジンとを示す。
このICを収納するマガジンとを示す。
同図から明らかなように、ICIは基板部1aの左右の
両側にそれぞれ複数の端子1bが連設されており、この
端子1bの連設方向に長手となり、両側の端子間は短手
となっている。このような構成な有するIC1は、マガ
ジン2内において、該マガジン2の底壁部を上方に突出
させることにより形設した凸部2aに端子1bを跨がせ
るようにして収納されている。
両側にそれぞれ複数の端子1bが連設されており、この
端子1bの連設方向に長手となり、両側の端子間は短手
となっている。このような構成な有するIC1は、マガ
ジン2内において、該マガジン2の底壁部を上方に突出
させることにより形設した凸部2aに端子1bを跨がせ
るようにして収納されている。
ICIを収納したマガジン2は、第2図に示したように
、ローダ部10に設置されて、該ローダ部10から取り
出されて、個別分離部11において個別分離されて、加
熱部12に送り込まれるようになっている。このマガジ
ン2からICIを強制送りするために、第3図に示した
ように、ローダ部10から個別分離部11までの間にチ
ェーン13が設けられ、該チェーン13には押動杆14
が取り付けられて、該押動杆14をマガジン2に形成し
たスリット2bを介して該マガジン2内に収納されたI
CIを送り出すようにしている。
、ローダ部10に設置されて、該ローダ部10から取り
出されて、個別分離部11において個別分離されて、加
熱部12に送り込まれるようになっている。このマガジ
ン2からICIを強制送りするために、第3図に示した
ように、ローダ部10から個別分離部11までの間にチ
ェーン13が設けられ、該チェーン13には押動杆14
が取り付けられて、該押動杆14をマガジン2に形成し
たスリット2bを介して該マガジン2内に収納されたI
CIを送り出すようにしている。
そして、個別分離部11には、第3図からも明らかなよ
うに、ICIを跨いだ状態でガイドするガイド部材15
が設置されており、該ガイド部材15の先端にはシュー
ト16が設けられている。このシュート16は、ICI
を跨いだ状態でガイドする部材からなり、上下動可能と
なっている。また、該シュート16上に搭載されたIC
Iを加熱部12に送り出すためのブツシャ17が水平移
動可能に設けられている。このように構成される個別分
離部13において、ICIは後続のものからから分離さ
れて、同図に矢印Aで示したように、加熱部12に送り
込まれるようになっている。
うに、ICIを跨いだ状態でガイドするガイド部材15
が設置されており、該ガイド部材15の先端にはシュー
ト16が設けられている。このシュート16は、ICI
を跨いだ状態でガイドする部材からなり、上下動可能と
なっている。また、該シュート16上に搭載されたIC
Iを加熱部12に送り出すためのブツシャ17が水平移
動可能に設けられている。このように構成される個別分
離部13において、ICIは後続のものからから分離さ
れて、同図に矢印Aで示したように、加熱部12に送り
込まれるようになっている。
加熱部12は、第4図に示したように、ヒータフロック
20が所定間隔をもって多数並設されており、このヒー
タブロック20に沿ってICIを第2図に矢印B方向に
送る間に、このIC1を加熱するようにしている。即ち
、個別分離部11において、ICIはその長平方向に移
動させることにより加熱部12に搬入されて、該加熱部
12においては、その搬送方向を90″変更されて、短
手方向にヒータブロック20間の間隔を1ピツチとして
ピッチ送りされるようになっている。そして、該IC1
のピッチ送りを行うために、ヒータブロック20の両側
には、ICIの底面と当接して該ICIをピッチ送りす
るためのピッチ送り手段21が設けられている。このピ
ッチ送り手段21は、作動杆22にヒータブロック20
の間隔に対応する間隔をもって多数の送りピン23を立
設することにより構成され、この作動杆22はモータ、
カム等の駆動手段によって第4図に示したように、上昇
、前進、下降、後退を1サイクルとする矩形運動を行わ
せることができるようになっており、上昇時に、送りビ
ン23をICIの底面に当接させて、該ICIをヒータ
ブロック20から持ち上げて、前進時に該IC1を前方
のヒータブロック20上に送り、作動杆22の下降時に
当該前方のヒータブロック20上に設置して後退するこ
とになり、これによりICIを順送りにヒータブロック
20上を移行せしめられるようになり、この移行中に該
ヒータブロック20によって加熱されるようになってい
る。なお、この加熱部12には、必要に応してヒータブ
ロック20の熱の放散を防止するためにトンネル形状と
することかてきる。
20が所定間隔をもって多数並設されており、このヒー
タブロック20に沿ってICIを第2図に矢印B方向に
送る間に、このIC1を加熱するようにしている。即ち
、個別分離部11において、ICIはその長平方向に移
動させることにより加熱部12に搬入されて、該加熱部
12においては、その搬送方向を90″変更されて、短
手方向にヒータブロック20間の間隔を1ピツチとして
ピッチ送りされるようになっている。そして、該IC1
のピッチ送りを行うために、ヒータブロック20の両側
には、ICIの底面と当接して該ICIをピッチ送りす
るためのピッチ送り手段21が設けられている。このピ
ッチ送り手段21は、作動杆22にヒータブロック20
の間隔に対応する間隔をもって多数の送りピン23を立
設することにより構成され、この作動杆22はモータ、
カム等の駆動手段によって第4図に示したように、上昇
、前進、下降、後退を1サイクルとする矩形運動を行わ
せることができるようになっており、上昇時に、送りビ
ン23をICIの底面に当接させて、該ICIをヒータ
ブロック20から持ち上げて、前進時に該IC1を前方
のヒータブロック20上に送り、作動杆22の下降時に
当該前方のヒータブロック20上に設置して後退するこ
とになり、これによりICIを順送りにヒータブロック
20上を移行せしめられるようになり、この移行中に該
ヒータブロック20によって加熱されるようになってい
る。なお、この加熱部12には、必要に応してヒータブ
ロック20の熱の放散を防止するためにトンネル形状と
することかてきる。
前述のようにして加熱部12の出口部から送り出された
IC1は、ロボット30により取り出されて、第2図の
矢示C方向に搬送され、ICテスタ31に装着されて、
該ICIの高温試験が行われるようになっている。そし
て、このICテスタ31による試験が完了すると、ロボ
ット30か作動して、ICIは第2図の矢示り方向に運
ばれて、ローダ部10に隣接する位置に設けたアンロー
ダ部32に運ばれて、該アンローダ部32において、試
験結果に基づいて所定の分類分けしてローダ部10に設
置されたマガジン2と同じ構成を有するマガジン33内
に収納させるように構成されている。
IC1は、ロボット30により取り出されて、第2図の
矢示C方向に搬送され、ICテスタ31に装着されて、
該ICIの高温試験が行われるようになっている。そし
て、このICテスタ31による試験が完了すると、ロボ
ット30か作動して、ICIは第2図の矢示り方向に運
ばれて、ローダ部10に隣接する位置に設けたアンロー
ダ部32に運ばれて、該アンローダ部32において、試
験結果に基づいて所定の分類分けしてローダ部10に設
置されたマガジン2と同じ構成を有するマガジン33内
に収納させるように構成されている。
本発明に係る方式を実施するための装置は、概略前述の
ように構成されるもので、次にこの装置を用いてICI
の加熱を行う方法について説明する。
ように構成されるもので、次にこの装置を用いてICI
の加熱を行う方法について説明する。
まず、加熱部12におけるヒータブロック20を加熱し
た状態に保持し、マガジン2に試験を行うIC1を収納
させて、このマガジン2をローダ部10に装着する。而
して、ヒータブロック20は、IC1の長平方向の全長
と路間−の寸法で形成されているので、その全体を均一
に加熱することができるようになる。
た状態に保持し、マガジン2に試験を行うIC1を収納
させて、このマガジン2をローダ部10に装着する。而
して、ヒータブロック20は、IC1の長平方向の全長
と路間−の寸法で形成されているので、その全体を均一
に加熱することができるようになる。
そこで、チェーン13を駆動して、第3図(a)に示し
たように、該チェーン13に取り付けた押動杆14によ
りマガジン2内のICIをガイド部材15に送り込む。
たように、該チェーン13に取り付けた押動杆14によ
りマガジン2内のICIをガイド部材15に送り込む。
そして、ICIが該ガイド部材15の先端からシュート
16に移行したときに、所定の同図(b)に示したよう
に、該シュート16を下降させる。これによってこのシ
ュート16に載置されたICIは後続のものから分離さ
れ、然る後に同図(C)に示したようにブツシャ17を
作動させることによって、該ICIをヒータブロック2
0上に送り込む。そして、ピッチ送り手段21によりI
CIをその短手方向に送りなからヒータブロック20上
をピッチ送りする間に、該ヒータブロック20によって
順次所定の温度まで加熱されて、出口部部分にまで送り
出される。
16に移行したときに、所定の同図(b)に示したよう
に、該シュート16を下降させる。これによってこのシ
ュート16に載置されたICIは後続のものから分離さ
れ、然る後に同図(C)に示したようにブツシャ17を
作動させることによって、該ICIをヒータブロック2
0上に送り込む。そして、ピッチ送り手段21によりI
CIをその短手方向に送りなからヒータブロック20上
をピッチ送りする間に、該ヒータブロック20によって
順次所定の温度まで加熱されて、出口部部分にまで送り
出される。
そこで、ロボット30を作動させて、加熱部12におい
て加熱されたICIをICテスタ31のソケットに装着
させて、その試験が行われる。この試験が完了すると、
ロボット30によってこの試験済みのICIが取り出さ
れて、アンローダ部32に移行せしめられ、該アンロー
ダ部32において、試験結果に基づいて良品のICと不
良品等とを分けてそれぞれマガジン33に収納される。
て加熱されたICIをICテスタ31のソケットに装着
させて、その試験が行われる。この試験が完了すると、
ロボット30によってこの試験済みのICIが取り出さ
れて、アンローダ部32に移行せしめられ、該アンロー
ダ部32において、試験結果に基づいて良品のICと不
良品等とを分けてそれぞれマガジン33に収納される。
前述したように、加熱部12においては、IC1をその
短手方向にピッチ送る間にその加熱を行うようにしてい
るので、該加熱部12の長さを短縮することができるよ
うになる。特に、ヒータブロック20はICIの投手力
向の全長程度の長さとなっているので、加熱部12全体
の長さ寸法の短縮と相まって、ヒータブロック20を均
一に加熱することが容易となり、その温度のばらつきが
なくなるので、温度管理が容易になると共に、ICIを
ほぼ一定の温度となるように加熱することができるよう
になる。従って、試験されるべきICのすべてを同一の
条件下で試験することができるようになり、試験精度が
著しく向上することになる。
短手方向にピッチ送る間にその加熱を行うようにしてい
るので、該加熱部12の長さを短縮することができるよ
うになる。特に、ヒータブロック20はICIの投手力
向の全長程度の長さとなっているので、加熱部12全体
の長さ寸法の短縮と相まって、ヒータブロック20を均
一に加熱することが容易となり、その温度のばらつきが
なくなるので、温度管理が容易になると共に、ICIを
ほぼ一定の温度となるように加熱することができるよう
になる。従って、試験されるべきICのすべてを同一の
条件下で試験することができるようになり、試験精度が
著しく向上することになる。
また、このように加熱部12の軸線方向の長さの ・短
縮を図ると共に、ICIをローダ部10からの搬送方向
に対して90°方向転換させて、該加熱部12に送り込
むようにしているので、ローダ部と加熱部とを直線状に
配設するようにしたものと比較して、特にローダ部10
.アンローダ部32及び加熱部12の配置関係をコンパ
クトに化することができ、装置の全体構成を極めて小型
でコンパクトなものとすることができるようになる。
縮を図ると共に、ICIをローダ部10からの搬送方向
に対して90°方向転換させて、該加熱部12に送り込
むようにしているので、ローダ部と加熱部とを直線状に
配設するようにしたものと比較して、特にローダ部10
.アンローダ部32及び加熱部12の配置関係をコンパ
クトに化することができ、装置の全体構成を極めて小型
でコンパクトなものとすることができるようになる。
[発゛明の効果1
以上説明したように、本発明は、ICを投手力向に送り
出し、このICを90°方向転換させて短手方向に向け
て加熱部に導入するようにしたので、加熱部の長さを短
縮することができ、部内の温度を均一に保つことができ
るようになり、ICを精度良く加熱することができるよ
うになると共に、加熱装置の全体構成を小型化、コンパ
クト化することができるようになる。
出し、このICを90°方向転換させて短手方向に向け
て加熱部に導入するようにしたので、加熱部の長さを短
縮することができ、部内の温度を均一に保つことができ
るようになり、ICを精度良く加熱することができるよ
うになると共に、加熱装置の全体構成を小型化、コンパ
クト化することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の方式を実施するための装置構成を示すも
ので、第1図はIC及びこのICが収納されるマガジン
の外観図、第2図は加熱・試験装置の全体構成を示す説
明図、第3図(a)。 (b)、(c)はそれぞれ異なる作動状態を示す個別分
離部の作動説明図、第4図は第2図の矢示方向から視た
側面図である。 1:IC12:マガジン、10:ローダ部、11:個別
分離部、12:加熱部、20:ヒータブロック、21:
ピッチ送り手段、22:作動杆、23:送りピン、31
:■Cテスタ、32:アンローダ部、33:マガジン。 第4図 1フ
ので、第1図はIC及びこのICが収納されるマガジン
の外観図、第2図は加熱・試験装置の全体構成を示す説
明図、第3図(a)。 (b)、(c)はそれぞれ異なる作動状態を示す個別分
離部の作動説明図、第4図は第2図の矢示方向から視た
側面図である。 1:IC12:マガジン、10:ローダ部、11:個別
分離部、12:加熱部、20:ヒータブロック、21:
ピッチ送り手段、22:作動杆、23:送りピン、31
:■Cテスタ、32:アンローダ部、33:マガジン。 第4図 1フ
Claims (1)
- マガジンに収納されたICをその長手方向に送ること
により該ICを前記マガジンから搬出し、加熱部の入口
においてこのICの搬送方向を90゜転換させて短手方
向にピッチ送りすることによって該加熱部によって加熱
するようにしたことを特徴とするICの加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62288549A JPH01131469A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | Icの加熱方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62288549A JPH01131469A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | Icの加熱方式 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01131469A true JPH01131469A (ja) | 1989-05-24 |
Family
ID=17731682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62288549A Pending JPH01131469A (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | Icの加熱方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01131469A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997017619A1 (fr) * | 1995-11-06 | 1997-05-15 | Advantest Corporation | Transporteur, changeur de position et dispositif de prelevement pour circuits integres |
TWI583973B (zh) * | 2016-03-29 | 2017-05-21 | Bothhand Entpr Inc | Electronic component detection device |
CN113092994A (zh) * | 2021-06-08 | 2021-07-09 | 上海菲莱测试技术有限公司 | 一种大功率光芯片检测平台 |
-
1987
- 1987-11-17 JP JP62288549A patent/JPH01131469A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997017619A1 (fr) * | 1995-11-06 | 1997-05-15 | Advantest Corporation | Transporteur, changeur de position et dispositif de prelevement pour circuits integres |
US6074158A (en) * | 1995-11-06 | 2000-06-13 | Advantest Corporation | IC transporting apparatus, IC posture altering apparatus and IC take-out apparatus |
US6135699A (en) * | 1995-11-06 | 2000-10-24 | Advantest Corporation | IC transporting apparatus, IC posture altering apparatus and IC take-out apparatus |
TWI583973B (zh) * | 2016-03-29 | 2017-05-21 | Bothhand Entpr Inc | Electronic component detection device |
CN113092994A (zh) * | 2021-06-08 | 2021-07-09 | 上海菲莱测试技术有限公司 | 一种大功率光芯片检测平台 |
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