JPH011249A - ウエハプロ−バ - Google Patents
ウエハプロ−バInfo
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- JPH011249A JPH011249A JP62-155452A JP15545287A JPH011249A JP H011249 A JPH011249 A JP H011249A JP 15545287 A JP15545287 A JP 15545287A JP H011249 A JPH011249 A JP H011249A
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体集積回路装置(以下、Icという。)
の製造工程において、半導体ウェハ(以下、ウェハとい
う、)に作り込まれた半導体集積回路についての電気的
特性試験を行うための装置であるウエハプローハに関し
、例えば、試験時に大電流が使用されるバイポーラIc
等の電気特性を測定するのに利用して有効なものに関す
る。
の製造工程において、半導体ウェハ(以下、ウェハとい
う、)に作り込まれた半導体集積回路についての電気的
特性試験を行うための装置であるウエハプローハに関し
、例えば、試験時に大電流が使用されるバイポーラIc
等の電気特性を測定するのに利用して有効なものに関す
る。
従来のウエハプローバとして、例えば、株式会社工業調
査会発行「電子材料1983年11月号別冊−1昭和5
8年11月15日発行 PI95〜PI98に記載され
ているように、複数本のプローブニードルがウェハ上の
電極バッドに接触されることにより、テスタと′!J積
回路との間の電気的接続が確保されるように構成されて
いるものがある。
査会発行「電子材料1983年11月号別冊−1昭和5
8年11月15日発行 PI95〜PI98に記載され
ているように、複数本のプローブニードルがウェハ上の
電極バッドに接触されることにより、テスタと′!J積
回路との間の電気的接続が確保されるように構成されて
いるものがある。
ところが、このようなウエハプローバにおいては、プロ
ーブニードルの先端に異物や酸化物が付着する等により
接触抵抗が変動するため、試験結果に悪影響が発生する
。そこで、このようなプローブニードルの接触抵抗によ
る問題に対処するため、ウエハプローバにはプローブニ
ー1′ル先端の異物等を除去するためのクリーニング装
置が設けられることがある。
ーブニードルの先端に異物や酸化物が付着する等により
接触抵抗が変動するため、試験結果に悪影響が発生する
。そこで、このようなプローブニードルの接触抵抗によ
る問題に対処するため、ウエハプローバにはプローブニ
ー1′ル先端の異物等を除去するためのクリーニング装
置が設けられることがある。
このようなりリーニング装置として、セラミック等から
成るffFs坂にプローブニードルを接触させることに
より、ニードル先端の異物等を削除するように構成され
ているものがある。
成るffFs坂にプローブニードルを接触させることに
より、ニードル先端の異物等を削除するように構成され
ているものがある。
このようなウェハブローバにおけるクリーニング装置に
おいては、プローブニードルの接触抵抗増加による特性
試験上の問題が発生する時期(すなわち、使用頻度)を
予測、あるいは、トラブル(歩留り低下等)が発生した
場合の原因をニードルの接触抵抗の増加であると予想し
た上での対策であるため、不要なりリーニングによるニ
ードルの寿命低下、予測した使用頻度以前に接触抵抗が
増加することによるトラブル発生に至る等々の問題があ
る。
おいては、プローブニードルの接触抵抗増加による特性
試験上の問題が発生する時期(すなわち、使用頻度)を
予測、あるいは、トラブル(歩留り低下等)が発生した
場合の原因をニードルの接触抵抗の増加であると予想し
た上での対策であるため、不要なりリーニングによるニ
ードルの寿命低下、予測した使用頻度以前に接触抵抗が
増加することによるトラブル発生に至る等々の問題があ
る。
本発明の目的は、プローブニードルの接触抵抗を実際に
測定することにより、接触抵抗の定量的な管理を行うこ
とができるものを提供することにある。
測定することにより、接触抵抗の定量的な管理を行うこ
とができるものを提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
C問題点を解決するための手段〕
本順において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。
を説明すれば、次の通りである。
すなわち、プローブニードルと電気抵抗を測定する測定
器との間において閉回路を形成し、プローブニードル先
端部の接触抵抗を測定するように構成されている接触抵
抗測定装置を設けたものである。
器との間において閉回路を形成し、プローブニードル先
端部の接触抵抗を測定するように構成されている接触抵
抗測定装置を設けたものである。
前記した手段によれば、接触抵抗測定装置によりプロー
ブニードルの接触抵抗を任意(定期的、あるいは歩留り
低下等の特性試験に異常が生じた時点)に測定すること
ができるため、予め設定されている管理値を越えた場合
はプローブニードル先端のクリーニングを実施させたり
、プローバを停止させアラームを発生させることができ
る。それによって、接触抵抗の異常増加による特性試験
の誤測定、歩留り低下を未然に防止、あるいは、早期に
発見し対策することができる。
ブニードルの接触抵抗を任意(定期的、あるいは歩留り
低下等の特性試験に異常が生じた時点)に測定すること
ができるため、予め設定されている管理値を越えた場合
はプローブニードル先端のクリーニングを実施させたり
、プローバを停止させアラームを発生させることができ
る。それによって、接触抵抗の異常増加による特性試験
の誤測定、歩留り低下を未然に防止、あるいは、早期に
発見し対策することができる。
〔実施例1〕
第1図は本発明の一実施例であるウエハプローバにおけ
る接触抵抗測定装置を示す回路図、第2図(at (b
lはそのウエハプローハの電気特性試験を行っている状
態を示す平面図および正面図、第3図(al fblは
同しく接触抵抗測定を行っている状態を示す平面図およ
び正面図、第4図、第5図、第6図、第7図、第8図お
よび第9図はその使用方法の各応用例をそれぞれ示す各
フローチャート図である。
る接触抵抗測定装置を示す回路図、第2図(at (b
lはそのウエハプローハの電気特性試験を行っている状
態を示す平面図および正面図、第3図(al fblは
同しく接触抵抗測定を行っている状態を示す平面図およ
び正面図、第4図、第5図、第6図、第7図、第8図お
よび第9図はその使用方法の各応用例をそれぞれ示す各
フローチャート図である。
本実施例において、ウエハプローバはプローブニードル
lの接触抵抗を測定するための装置としての接触抵抗測
定回路lOを備えており、この回路IOにおける一対の
端子はウニ/%プローノ\におけるプローブニードルl
、およびプレートステージ3を介してXJ導電性プレー
トにそれぞれ電気的に接続されている。導電性プレート
2は導電性の良好な材料を用いて形成されているため、
このプレート2にプローブニードルlが接触されると、
接触抵抗測定回路IOは閉回路を構成することになる。
lの接触抵抗を測定するための装置としての接触抵抗測
定回路lOを備えており、この回路IOにおける一対の
端子はウニ/%プローノ\におけるプローブニードルl
、およびプレートステージ3を介してXJ導電性プレー
トにそれぞれ電気的に接続されている。導電性プレート
2は導電性の良好な材料を用いて形成されているため、
このプレート2にプローブニードルlが接触されると、
接触抵抗測定回路IOは閉回路を構成することになる。
また、この測定回路10は測定用電源11と、測定する
プローブニードルlを切り換える複数個のスイッチ12
と、電源1]とスイッチ12群との間に介設されている
接触抵抗−1定器としての電流計13とを備えている。
プローブニードルlを切り換える複数個のスイッチ12
と、電源1]とスイッチ12群との間に介設されている
接触抵抗−1定器としての電流計13とを備えている。
ウエハブローハはプローブニードルlが複数本付設され
ている特性試験ボード4を備えており、このボード4は
ウェハステージ6上に保持されたウェハ5における電極
パッド(図示せず)にプローブニードル1を機械的に接
触させることにより、ケーブル7を介してテスタ(図示
せず)とウェハ5の各ペレットに作り込まれた集積回路
とを電気的に接続させるように構成されている。そして
、ウェハステージ6および前記プレートステージ3は特
性試験ボード4の真下に移動することにより、入れ替わ
るように構成されている。
ている特性試験ボード4を備えており、このボード4は
ウェハステージ6上に保持されたウェハ5における電極
パッド(図示せず)にプローブニードル1を機械的に接
触させることにより、ケーブル7を介してテスタ(図示
せず)とウェハ5の各ペレットに作り込まれた集積回路
とを電気的に接続させるように構成されている。そして
、ウェハステージ6および前記プレートステージ3は特
性試験ボード4の真下に移動することにより、入れ替わ
るように構成されている。
次に作用を説明する。
ウェハ5についての電気特性試験を実施する際、ウェハ
ステージ6が特性試験ボード4の真下に位Wされており
、プレートステージ3はその脇に位置される。このボー
ド4は試験時に相対的に下降され、プローブニードル1
群がウェハステージ6に保持されているウェハ5におけ
るペレットの電極パッドに機械的に接触される。これに
より、ボード4に接続されているテスタとペレットに作
り込まれた集積回路とが、テスターボード→プローブニ
ードルーペレフトの電極パッド−集積回路の経路で電気
的に接続され、テスタと集積回路との間で交信さ、れる
ことにより、電気特性試験が実施される。
ステージ6が特性試験ボード4の真下に位Wされており
、プレートステージ3はその脇に位置される。このボー
ド4は試験時に相対的に下降され、プローブニードル1
群がウェハステージ6に保持されているウェハ5におけ
るペレットの電極パッドに機械的に接触される。これに
より、ボード4に接続されているテスタとペレットに作
り込まれた集積回路とが、テスターボード→プローブニ
ードルーペレフトの電極パッド−集積回路の経路で電気
的に接続され、テスタと集積回路との間で交信さ、れる
ことにより、電気特性試験が実施される。
以降、前記作動が繰り返されることにより、ウェハ5に
おける全ペレットについて電気特性試験が実施されて行
く。
おける全ペレットについて電気特性試験が実施されて行
く。
他方、プローブニードル1群の接触抵抗を測定する際、
プレートステージ3が特性試験ボード4の真下に移動さ
れ、ウェハステージ6がその脇に移動される。
プレートステージ3が特性試験ボード4の真下に移動さ
れ、ウェハステージ6がその脇に移動される。
続いて、ボード4は相対的に下降され、プローブニード
ル1群がプレートステージ3上の4電性プレート2に同
時に接触される。この接触により、接触抵抗測定回路1
0は、一方の端子−プローブニードルト→導電性プレー
ト2−プレートステージ3−他方の端子、を通じて閉回
路を構成されることになる。
ル1群がプレートステージ3上の4電性プレート2に同
時に接触される。この接触により、接触抵抗測定回路1
0は、一方の端子−プローブニードルト→導電性プレー
ト2−プレートステージ3−他方の端子、を通じて閉回
路を構成されることになる。
次いで、スイッチ12群が順次閉じられて行くと、測定
用電源11の電流が各プローブニードル1の先端に順次
流れるため、電流計13により各プローブニードル1の
先端における接触抵抗が順次測定されて行く。
用電源11の電流が各プローブニードル1の先端に順次
流れるため、電流計13により各プローブニードル1の
先端における接触抵抗が順次測定されて行く。
この接触抵抗の測定結果に基づき後述するようなフロー
チャートにより、必要に応じてプローブニードルlにつ
いてクリーニング装置等を用いて異物の除去が実施され
る。
チャートにより、必要に応じてプローブニードルlにつ
いてクリーニング装置等を用いて異物の除去が実施され
る。
次ぎに、前述した接触抵抗測定結果を活用するための使
用方法を第4図〜第9図に示されているフローチャート
図について説明する。
用方法を第4図〜第9図に示されているフローチャート
図について説明する。
第4図に示されているフローチャートは、従来の場合を
示すものであり、指定されたウェハ枚数の着工が終了し
た時点で、プローブニードルの接触抵抗の増大如何にか
かわらず、プローブニードルのクリーニング作業を行う
ようになっている。
示すものであり、指定されたウェハ枚数の着工が終了し
た時点で、プローブニードルの接触抵抗の増大如何にか
かわらず、プローブニードルのクリーニング作業を行う
ようになっている。
第5図に示されているフローチャートは、指定されたウ
ェハ枚数の着工が終了した時点で、プローブニードルの
接触抵抗を測定し、抵抗値が管理値を越えた時にのみ、
プローブニードルのクリーニング作業を行うようになっ
ている。このため、不必要なりリーニングによるニード
ルの劣化を防止することができるとともに、ウェハブロ
ーバの稼働率を高めることができる。
ェハ枚数の着工が終了した時点で、プローブニードルの
接触抵抗を測定し、抵抗値が管理値を越えた時にのみ、
プローブニードルのクリーニング作業を行うようになっ
ている。このため、不必要なりリーニングによるニード
ルの劣化を防止することができるとともに、ウェハブロ
ーバの稼働率を高めることができる。
第6図に示されているフローチャートは、着工ペレット
数によっても管理するように構成したものである。ウェ
ハ内のペレット数は、品種により個々に異なるため、プ
ローブニードルの使用頻度の管理は、ウェハによるもの
より一層正確なものとなる。
数によっても管理するように構成したものである。ウェ
ハ内のペレット数は、品種により個々に異なるため、プ
ローブニードルの使用頻度の管理は、ウェハによるもの
より一層正確なものとなる。
第7図に示されているフローチャートは、歩留りが一定
以下に低下した場合に、接触抵抗を測定するように構成
されている。これにより歩留り低下要因が、プローブニ
ードルの接触抵抗であるか否かの判断により可能となる
。
以下に低下した場合に、接触抵抗を測定するように構成
されている。これにより歩留り低下要因が、プローブニ
ードルの接触抵抗であるか否かの判断により可能となる
。
第8図に示されているフローチャートは、ウェハ着工前
に接触抵抗を測定するように構成されている。これによ
り、プローブニードルの接触抵抗値が異常な状態で、特
性試験が行われてしまうのを防止することができ、る。
に接触抵抗を測定するように構成されている。これによ
り、プローブニードルの接触抵抗値が異常な状態で、特
性試験が行われてしまうのを防止することができ、る。
以上で述べたフローチャートによって、測定された接触
抵抗値を、第9図に示されているように、ウエハプロー
パに装備されたプリンタにより紙に印字させる。これに
より、接触抵抗値の変動推移が明瞭になり、さらに不良
解析等を実施する上で、プローブニードルの接触抵抗の
影響を即座に確認することができる。
抵抗値を、第9図に示されているように、ウエハプロー
パに装備されたプリンタにより紙に印字させる。これに
より、接触抵抗値の変動推移が明瞭になり、さらに不良
解析等を実施する上で、プローブニードルの接触抵抗の
影響を即座に確認することができる。
前記実施例によれば次の効果が得られる。
10 ウエハプローハに接触抵抗測定装置を組み込む
ことにより、プローブニードル群の接触抵抗を任意に測
定することができるため、プローブニードル群の接触抵
抗を適正に管理することができる。
ことにより、プローブニードル群の接触抵抗を任意に測
定することができるため、プローブニードル群の接触抵
抗を適正に管理することができる。
(2)プローブニードル群の接触抵抗を適正に管理する
ことにより、ウエハプローバによる電気特性試験を正確
に実施することができるため、製品の品質および信頼性
を高めることができ、また、プローブニードルのクリー
ニング作業等を適正比することができるため、ウエハプ
ローハの稼働効率を高めることができるとともに、不必
要なりリーニング作業を回避することができるため、プ
ローブニードルの寿命を実質的に延長させることができ
る。
ことにより、ウエハプローバによる電気特性試験を正確
に実施することができるため、製品の品質および信頼性
を高めることができ、また、プローブニードルのクリー
ニング作業等を適正比することができるため、ウエハプ
ローハの稼働効率を高めることができるとともに、不必
要なりリーニング作業を回避することができるため、プ
ローブニードルの寿命を実質的に延長させることができ
る。
(3110一プニードル群の接触抵抗についての変動の
推移等を知ることにより、不良解析等に役立たせること
ができるため、不良対策を−早く講することかできろ。
推移等を知ることにより、不良解析等に役立たせること
ができるため、不良対策を−早く講することかできろ。
〔実施例2〕
第10図(al (blは本発明の他の実施例であるウ
エハプローバを示す平面図および正面図、第11図(a
l (blはその接触抵抗測定状態を示す平面図および
正面図である。
エハプローバを示す平面図および正面図、第11図(a
l (blはその接触抵抗測定状態を示す平面図および
正面図である。
本実施例2が前記実施例1と異なる点は、接触抵抗測定
回路10をプローブニードル1群に必要時のみに接続さ
せるための信号伝達アーム8が設備されている点にある
。
回路10をプローブニードル1群に必要時のみに接続さ
せるための信号伝達アーム8が設備されている点にある
。
本実施例2において、電気特性試験時、接触抵抗測定回
路10は信号伝達アーム8によりプローブニードル1群
から第10図に示されているように切り離されており、
接触抵抗測定時、この回路lOは信号伝達アーム8によ
りプローブニードル1群に第11図に示されているよう
に電気的に接続される。
路10は信号伝達アーム8によりプローブニードル1群
から第10図に示されているように切り離されており、
接触抵抗測定時、この回路lOは信号伝達アーム8によ
りプローブニードル1群に第11図に示されているよう
に電気的に接続される。
本実施例2によれば、電気特性試験時には接触抵抗測定
回路10がプローブニードル1群から電気的に切り離さ
れているため、この測定回路10が特性試験に悪影響を
与えるのを回避することができる。
回路10がプローブニードル1群から電気的に切り離さ
れているため、この測定回路10が特性試験に悪影響を
与えるのを回避することができる。
〔実施例3〕
第12図は本発明の実施例3を示す回路図、第13図は
その応用例に使用されるウェハを示す平面図である。
その応用例に使用されるウェハを示す平面図である。
本実施例3が前記実施例1と異なる点は、接触抵抗測定
回路+OAにおけるスィッチ12A群が各プローブニー
ドル1相互および電流計13との間でON・OFFを適
宜切り換え得るように構成されている点にある。
回路+OAにおけるスィッチ12A群が各プローブニー
ドル1相互および電流計13との間でON・OFFを適
宜切り換え得るように構成されている点にある。
本実施例3において、測定用電源11からの電流は、電
流計13−ONされたスイッチ12A→接触抵抗が測定
されるプローブニードルl−導電性プレート2−残りの
プローブニードル1群−0FFされたスイッチ+2A群
−測定用電源11を経由して流れる。このとき、被測定
プローブニードル以外のニードル群は全て短絡するため
、これらのニードル群に生ずる接触抵抗は無視し得るレ
ベルとなる。つまり、各プローブニードル毎についての
接触抵抗の測定は充分に可能である。そして、スィッチ
12A群のON・OFFが各プローブニードル1毎に切
り換えられることにより、全てのプローブニードル1に
ついて接触抵抗の測定が順次実施されて行く。
流計13−ONされたスイッチ12A→接触抵抗が測定
されるプローブニードルl−導電性プレート2−残りの
プローブニードル1群−0FFされたスイッチ+2A群
−測定用電源11を経由して流れる。このとき、被測定
プローブニードル以外のニードル群は全て短絡するため
、これらのニードル群に生ずる接触抵抗は無視し得るレ
ベルとなる。つまり、各プローブニードル毎についての
接触抵抗の測定は充分に可能である。そして、スィッチ
12A群のON・OFFが各プローブニードル1毎に切
り換えられることにより、全てのプローブニードル1に
ついて接触抵抗の測定が順次実施されて行く。
本実施例3によれば、被測定ニードル−導電性プレート
2−残りのニードル群によって閉回路が形成されるため
、第13図に示されているように、ウェハ5の一部(例
えば、ダミーペレット部)に導電性プレート部2Aを予
め作り込んでおくことにより、ウェハ5自体を利用して
プローブニードル1群についての接触抵抗を測定するこ
とができる。つまり、この場合、測定用電流は、被測定
ニードル−ウェハ5上の導電性プレート部2A−残りの
ニードル群、と流れることになる。
2−残りのニードル群によって閉回路が形成されるため
、第13図に示されているように、ウェハ5の一部(例
えば、ダミーペレット部)に導電性プレート部2Aを予
め作り込んでおくことにより、ウェハ5自体を利用して
プローブニードル1群についての接触抵抗を測定するこ
とができる。つまり、この場合、測定用電流は、被測定
ニードル−ウェハ5上の導電性プレート部2A−残りの
ニードル群、と流れることになる。
このように、ウェハ5に形成された導電性プレート部2
Aを接触抵抗の測定に使用することにより、導電性プレ
ートステージを省略することができるため、接触抵抗測
定時におけるウェハステージ6とプレートステージ3と
の間の入れ替え作業を省略することにより、作業性をよ
り一層高めることができる。
Aを接触抵抗の測定に使用することにより、導電性プレ
ートステージを省略することができるため、接触抵抗測
定時におけるウェハステージ6とプレートステージ3と
の間の入れ替え作業を省略することにより、作業性をよ
り一層高めることができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
例えば、接触抵抗測定装置はプローブニードル毎に測定
が実施されるように構成するに躍らず、クリーニング作
業が一括的に実施される場合等のように、接触抵抗が増
大したプローブニードルを特定化する必要がない場合に
はプローブニードル群全体について一括して測定が実施
されるように構成してもよい。
が実施されるように構成するに躍らず、クリーニング作
業が一括的に実施される場合等のように、接触抵抗が増
大したプローブニードルを特定化する必要がない場合に
はプローブニードル群全体について一括して測定が実施
されるように構成してもよい。
接触抵抗測定装置は、導電性プレート、またはウェハの
一部に形成された導電性プレート部を使用して閉回路を
形成するように構成するに限らず、ウェハステージ等の
ような既存の導電部を使用して閉回路を形成するように
構成してもよい。
一部に形成された導電性プレート部を使用して閉回路を
形成するように構成するに限らず、ウェハステージ等の
ような既存の導電部を使用して閉回路を形成するように
構成してもよい。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て15られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである
。
て15られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである
。
ウエハブローハに接触抵抗/[lI+定装置を組み込む
ことにより、プローブニードル群の接触抵抗を任意に測
定することができるため、プローブニードル群の接触抵
抗を適正に管理することができる。
ことにより、プローブニードル群の接触抵抗を任意に測
定することができるため、プローブニードル群の接触抵
抗を適正に管理することができる。
その結果、プローブニードルのクリーニング作業や不良
解析等を適正化することができる。
解析等を適正化することができる。
第1図は本発明の一実施例であるウエハプローバにおけ
る接触抵抗測定装置を示す回路図、第2図fal (b
lはそのウエハプローバの電気特性試験を行っている状
態を示す平面図および正面図、第3図(al (blは
同しく接触抵抗測定を行っている状態を示す平面図およ
び正面図、 第4図、第5図、第6図、第7図、第8図および第9図
はその使用方法の各応用例をそれぞれ示す各フローチャ
ート図である。 第10図fat (blは本発明の他の実施例であるウ
エハプローバを示す平面図および正面図、第11図ca
t山)はその接触抵抗測定状態を示す平面図および正面
図、 第12図は本発明の実施例3を示す回路図、第13図は
その応用例に使用されるウェハを示す平面図である。 ■・・・プローブニードル、2・・・導電性プレート、
2A・・・導電性プレート部(ダミーペレット部)、3
・・・プレートステージ、4・・・特性試験ボード、5
・・・ウェハ、6・・・ウェハステージ、7・・・ケー
ブル、8・・・信号伝達アーム、10.IOA・・・プ
ローブニードル接触抵抗測定回路(装置)、11・・・
測定用電源、12.12A・・・スイッチ、13・・・
電流計(接触抵抗測定器)。 1 フ宅−フニードル 5 1勺エバ o
優1z周電Jz−4電江ブし一部 6 ウェハス
テージ IZ、12A−又イツナ3 7°レトステージ
g−aダI云ΔLアーム 13 搾争覧1医坑兼
1]林4・ 孕引法移(馬鰹水゛−ド 10 持
角弧拒4L演1ぴ9鰹t第4図 第5図 第8図 第13図 5
る接触抵抗測定装置を示す回路図、第2図fal (b
lはそのウエハプローバの電気特性試験を行っている状
態を示す平面図および正面図、第3図(al (blは
同しく接触抵抗測定を行っている状態を示す平面図およ
び正面図、 第4図、第5図、第6図、第7図、第8図および第9図
はその使用方法の各応用例をそれぞれ示す各フローチャ
ート図である。 第10図fat (blは本発明の他の実施例であるウ
エハプローバを示す平面図および正面図、第11図ca
t山)はその接触抵抗測定状態を示す平面図および正面
図、 第12図は本発明の実施例3を示す回路図、第13図は
その応用例に使用されるウェハを示す平面図である。 ■・・・プローブニードル、2・・・導電性プレート、
2A・・・導電性プレート部(ダミーペレット部)、3
・・・プレートステージ、4・・・特性試験ボード、5
・・・ウェハ、6・・・ウェハステージ、7・・・ケー
ブル、8・・・信号伝達アーム、10.IOA・・・プ
ローブニードル接触抵抗測定回路(装置)、11・・・
測定用電源、12.12A・・・スイッチ、13・・・
電流計(接触抵抗測定器)。 1 フ宅−フニードル 5 1勺エバ o
優1z周電Jz−4電江ブし一部 6 ウェハス
テージ IZ、12A−又イツナ3 7°レトステージ
g−aダI云ΔLアーム 13 搾争覧1医坑兼
1]林4・ 孕引法移(馬鰹水゛−ド 10 持
角弧拒4L演1ぴ9鰹t第4図 第5図 第8図 第13図 5
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、機械的接触により電気的接続を行うように構成され
ているプローブニードルと、電気抵抗を測定する測定器
との間において閉回路を形成し、プローブニードル先端
部の接触抵抗を測定するように構成されている接触抵抗
測定装置を備えていることを特徴とするウエハプローバ
。 2、閉回路が、プローブニードルに接触するように構成
されている導電性プレートを介して形成されることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載のウエハプローバ。 3、閉回路が、プローブニードル相互間を通して形成さ
れることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のウエ
ハプローバ。 4、閉回路が、ウェハ上に形成された導電性プレート部
を介して形成されることを特徴とする特許請求の範囲第
3項記載のウエハプローバ。 5、接触抵抗測定装置が、電気特性試験時にプローブニ
ードル群から電気的に切り離されるように構成されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のウエハ
プローバ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62-155452A JPH011249A (ja) | 1987-06-24 | ウエハプロ−バ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62-155452A JPH011249A (ja) | 1987-06-24 | ウエハプロ−バ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS641249A JPS641249A (en) | 1989-01-05 |
JPH011249A true JPH011249A (ja) | 1989-01-05 |
Family
ID=
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