JPH01124779A - プローブカード及びプローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明はプローブカードの自動交換方法に関する。

（従来の技術） ウェハ上に形成されたチップの電極（パッド）とプロー
ブ針とを接触させてチップの電気的特性を測定するプロ
ーバにおいて、一般にプローブ針はプローブカードに植
設されており、ウェハの種類に応じて対応するプローブ
針を備えたプローブカードを取り付けるようになってい
る。

ところで、このようなプローブカードの交換は従来、オ
ペレータがプローバ本体にネジ止め等によって着脱を行
っていたが、近年、無人化、無塵化の要請に伴ない自動
交換方法が開発されている。

プローブカードの自動交換において大きな問題点は第４
図に示すようにプローブカード　１′をプローバに固定
した時のプローブ針２の位置とウェハ７、チップパッド
７２の位置がわずかではあるが回転（θ）方向にずれ（
Δ０）を生じ、しかもそのずれは個々のプローブカード
によって異なることである。このようなずれを調整する
ため従来の自動交換方法においては、プローブカードを
プローバに固定した後、マイクロスコープあるいはテレ
ビカメラ等によってずれを検知し、それに基づきプロー
ブカードを０方向に回転させて微調整している。

さらに特開昭６１−２８３１３８号公報に開示されたも
のもある。

（発明が解決しようとする課題） しかし、このような従来の自動交換方法においては、プ
ローブカードを交換するたびにこのような微調整を行わ
なければならず、特にマイクロスコープによる微調整は
オペレータに多大の負担がかかり、また、テレビカメラ
等を用いた場合でも測定前にはプローブ針とパッドとの
ＸＹ調＋！１（ウェハ側の調ｍ＞　をも行うため調整に
要する手間と時間は少なくなかった。

本発明はこのような従来のプローブカードの自動交換方
法の難点を解消し、プローブカードの取付と共に各プロ
ーブカードに対応したプローブ針とパッドとの位置合わ
せが自動的に行えるプローブカード自動交換方法を提供
することを目的とする。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） このような目的を達成する本発明のプローブカード自動
交換方法は、プローブカードを自動交換した後、プロー
ブ針と被測定体との位置合わせデータが記憶された前記
プローブカードからの位置合わせデータに基き、自動的
に前記プローブ針と前記被測定体との位置合わせを行う
ようにしたことを特徴とする。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面に基き説明する。

プローブカード１は１例えば円板状プリント基板１００
のプリント配線に複数のプローブ針２が半田付けにより
接続されると共にプローブ装置のプローブカード取付部
の端子（ポゴピン等）と接続するための端子部３が備え
られている。この端子部３は、プローブカード取付部の
端子の構造に対応し、ピン等で構成することができる。

更にプローブカード１には後述の位置合わせデータや自
己経歴及びライフ情報等を担持することのできる記憶媒
体４がプリント配線に接続され備えられている。

記憶媒体４としてはバーコード、磁気メモリあるいはＳ
ＲＡＭや他一般メモリ等の各種記憶媒体が使用できるが
、書き替え自由であること、プローブ装置の読取り手段
としてＳＲＡＭ用端子等のパッケージされたメモリが設
置しやすい等の観点からＳＲＡＭ等が好敵に用いられる
。

一方、プローブ装置５は第２図に示すようにプローブカ
ード取付部６とウェハ７を搭載するためのチャックトッ
プ８及びステージ９が備えられており、プローブカード
取付部６はプローブ装置５下側からの斜視図である第３
図（ａ）に示すようにプローブカード１の端子部３に対
応する端子ｌＯとプローブカード１を固定するための係
止手段１１とプローブカード１の記憶媒体４に書き込ま
れた情報（位置合わせデータ等）を読み取るための読取
り手段１２を備えている。又、この読取り手段は、読取
り手段のみではなく、記憶媒体４に情報を記憶させるた
め、書込み手段を兼ねても良い。読取り手段１２は記憶
媒体４に対応して磁気ヘッド。

ＳＲＡＭ等のメモリ用端子等が備えられる。また、同図
（ｂ）に示すようにチャックトップ８にはウェハ７が搭
載されており、ウェハ７は図示しないアライメント機構
によってチップ７１の配列がステージ９のＸＹ軸と整合
するように調整されている。

このような構成において、本発明の自動交換の実行にお
いては、予め、各プローブカード１に適合した位置合わ
せデータ及び品種等の自己経歴データ等を各カードの記
憶媒体４に記憶させて、このようなカードを複数種カー
ドストッカに保存する。即ち、予めプローブカード１を
プローブ装置５のプローブカード取付部６に取付け、そ
のプローブカード１の針２とチップ７１のパッド（電極
）７２が合致するようにプローブカード１をθ調整する
。この時のθ調ｖｉ量すなわち位置合わせデータを記憶
媒体４に書き込む。又、同品種のプローブカード１にお
いてもそれぞれプローブ針２の先端座標位置が異なるの
で、テスタ（図示せず）の判断によると、同品種のもの
は全部共通と判断してしまうため、各プローブカード１
の各プローブ針２の１本１本の先端座標位置を記憶媒体
４に書き込む。これは使用されるすべての種類のプロー
ブカードについてそれぞれ行われる。

このように位置合わせデータ及びプローブ針２先端座標
位置データを記憶させた各種のブローブーカード１を各
々プローブ装置５（第２図）のストツカ−１３にセット
しておく。

測定に際しては被測定体であるウェハの種類に応じて記
憶媒体４にプローブカード１の品種等の自己経歴情報を
要求し所望のプローブカード１を選択し、ロボットアー
ム１４等の交換手段でストッカー１３から所望のプロー
ブカード１を取り出し。

プローブカード取付部６に搬送し、係止手段１１によっ
て固定する。これによりプローブカード１の端子部３と
プローブカード取付部６の端子１０とが接続される。次
いで、読取り手段１２によって記憶媒体４に書込まれた
位置合わせデータを読み取る。

読取り手段１２は例えば読み取ったデータを信号として
プローブ装置の中央制御部（図示せず）に送り、中央制
御部はこの信号に基き、プローブカード取付部の駆動機
構を制御しθ方向に回転させる。

これによってプローブカード１は被測定体であるチップ
７１のパッド７２と合致するように位置決めされる。

この後１通常の方法でキャリア１５よりウェハ７をチャ
ックトップ８に搬送搭載し、アライメント後、チャック
トップ８を移動しウェハ７とプローブカード１とを接触
させる。この時、プローブカード１はすでにチップ７１
のパッド７２と合致するように位置決めされているので
、必要な接触圧で当接させることにより直ちに測定が開
始できる。又。

記憶媒体４にコンタクト（接触）回数を書き込み、当該
品のプローブカード１のライフ情報を記憶させて、プロ
ーブカード１の寿命予想をすることも可能である。

ウェハの品種が変わった場合でも中央制御装置からプロ
ーブカード記憶媒体４へ情報を送りプローブカードを選
択し、そのウェハに対応するプローブカードをストッカ
ー１３から取り出して自動交換すれば、ストッカー１３
内のプローブカードは予めその記憶媒体４内に位置合わ
せデータを担持しているので交換と同時に所定の位置合
わせを行うことができ、直ちに測定が開始できる。又、
プローブカード記憶媒体にプローブカードピン配置情報
等も入力し、その情報をもとに針跡インスペクションを
実行することも可能となる。

〔発明の効果〕

以上の説明からも明らかなように、本発明のプローブカ
ード自動交換方法によれば、プローブカードに予め被Ｈ
１’ｌ定体との位置合わせのためのデータを担持させて
おくので、交換と同時に位置合わせができ、プローブカ
ード取付時毎の位置調整を不要とし、測定プロセスの時
間の短縮と簡略化が可能となる。

また１本発明によってプローブカードの完全な自動化が
実現し、これによりプローブ装置の完全な自動化、無人
化を可能とする。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に用いられるプローブカードの平面図、
第２図は本発明が適用されるプローブ装置の概略図、第
３図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ第２図のプローブ装置の
要部を示す図、第４図はプローブカードとチップパッド
とのずれを示す図である。 １・・・プローブカード　　２・・・プローブ針４・・
・記憶媒体　　　　　５・・・プローブ装置６・・・プ
ローブカード取付部 ７・・・ウェハ（被測定体）７１・・・チップ（被測定
体）７２・・・パッド（電極）　　　１２・・・読取り
手段特許出願人　東京エレクトロン株式会社第１図 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　プローブカードを自動交換した後、プローブ針と被測
   定体との位置合わせデータが記憶された前記プローブカ
   ードからの位置合わせデータに基き、自動的に前記プロ
   ーブ針と前記被測定体との位置合わせを行うようにした
   ことを特徴とするプローブカード自動交換方法。