JPH01121866U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01121866U JPH01121866U JP1714888U JP1714888U JPH01121866U JP H01121866 U JPH01121866 U JP H01121866U JP 1714888 U JP1714888 U JP 1714888U JP 1714888 U JP1714888 U JP 1714888U JP H01121866 U JPH01121866 U JP H01121866U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- measured
- probe card
- chip
- needles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 16
- 239000011111 cardboard Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案のプローブカード及びこれを用
いたプロービング状態を示す平面図、第２図は本
考案のプローブカードにおけるチエツク時の顕微
鏡の視野を示す図、第３図は従来のプローブカー
ド及びこれを用いたプロービング状態の平面図、
第４図はプロービング時のアライメント状態を示
す模式的断面図、第５図は顕微鏡の高倍率状態の
視野を示す図、第６図は顕微鏡の低倍率状態の視
野を示す図である。 １，１Ａ……プローブカード、２……プローブ
カード基板、３……試験装置接続ピン部、４……
プローブ針、５……識別マーク、１０……測定ウ
エハ、１１ａ〜１１ｄ……被測定ＩＣチツプ、１
２……電極パツド、１３……テストヘツド部、１
４……目視穴、１５……顕微鏡。
いたプロービング状態を示す平面図、第２図は本
考案のプローブカードにおけるチエツク時の顕微
鏡の視野を示す図、第３図は従来のプローブカー
ド及びこれを用いたプロービング状態の平面図、
第４図はプロービング時のアライメント状態を示
す模式的断面図、第５図は顕微鏡の高倍率状態の
視野を示す図、第６図は顕微鏡の低倍率状態の視
野を示す図である。 １，１Ａ……プローブカード、２……プローブ
カード基板、３……試験装置接続ピン部、４……
プローブ針、５……識別マーク、１０……測定ウ
エハ、１１ａ〜１１ｄ……被測定ＩＣチツプ、１
２……電極パツド、１３……テストヘツド部、１
４……目視穴、１５……顕微鏡。
Claims (1)
- プローブカード基板に複数本のプローブ針を支
持させ、これらプローブ針を被測定ＩＣチツプの
電極パツドに接触させて被測定ＩＣチツプを試験
装置に電気的に接続させるプローブカードにおい
て、前記プローブ針は複数個の被測定ＩＣチツプ
の各電極パツドに同時に接触するように構成され
ると共に、これらプローブ針に対応する前記プロ
ーブカード基板の上面には、異なる被測定ＩＣチ
ツプに対応するプローブ針を夫々区別するための
識別マークを施したことを特徴とするプローブカ
ード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1714888U JPH01121866U (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1714888U JPH01121866U (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01121866U true JPH01121866U (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=31230673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1714888U Pending JPH01121866U (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01121866U (ja) |
-
1988
- 1988-02-12 JP JP1714888U patent/JPH01121866U/ja active Pending
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