JPH01118783A - プローブカード - Google Patents

プローブカード

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JPH01118783A
JPH01118783A JP62276472A JP27647287A JPH01118783A JP H01118783 A JPH01118783 A JP H01118783A JP 62276472 A JP62276472 A JP 62276472A JP 27647287 A JP27647287 A JP 27647287A JP H01118783 A JPH01118783 A JP H01118783A
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JP
Japan
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units
probe card
tested
needle
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JP62276472A
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Hiroyuki Takagi
啓行 高木
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INTER TEC KK
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INTER TEC KK
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、たとえば、半導体集積回路装置における半
導体ウェーハ上の集積回路素子、混成集積回路装置の基
板上に形成された回路素子、液晶表示器などのガラス基
板に形成された透明導電膜の電極と、特性試験装置との
間の接続媒体としてのプローブカードに関する。
〔従来の技術〕
従来、プローブカードについては、米国特許筒７９９、
４７２号、特公昭５４−４３３５４号、特公昭５４−２
３４７２号などがある。
従来のプローブカードは、試験対象としての半導体素子
のパッド位置に対応する多数の金属細線からなるプロー
ブ針を備え、その針先端は探査部位に向けて放射状でし
かも円錐状を成して配列させ、また、その針先端部とは
反対側の基端部側は、プローブカードの基板に固定され
て配線導体を通して特性試験装置側に電気的に接続する
ように成っている。
〔発明が解決しようとする問題点） ところで、このプローブカードにおいて、プローブ針は
線径０．２５＋ｎｍ程度の細線の先端をテーパ状に加工
し、集積回路素子などの０．２　ｍｍ程度以下のパッド
間隔に対応してその先端を配列させているが、このよう
な構造から必然的にプローブ針の形態は放射状を成す。
このような形態は、試験対象ごとに対応したパッド位置
に応じたものとなるため、チップの寸法、数、配列間隔
などによって、パッド間隔が同一でも、プローブ針の配
置構造が異なってしまうため、プローブ針の配列でプロ
ーブカードが個性化されるので、規格化や共通化を困難
にしている。
このため、従来、プローブカードは、その製造上、規格
化や共通化が困難であり、製造に手間を要するとともに
、手作業に頼らざるを得ず、高価になる欠点があった。
そこで、この発明は、プローブ針の構成最小単位として
の単位プローブユニットを形成して共通化構造を取って
、組立て構造の簡略化を図ったものである。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明のプローブカードは、第１図に示すように、複
数のプローブ針２２を平行に配列させたプローブユニッ
ト４Ａ〜４Ｄを形成し、試験対象に対応してブローブユ
ニッ１−４Ａ〜４Ｄの１または２以上を基板（ベース基
板１６）に固定してなるものである。
〔作　　　用〕
このように構成すると、プローブ針２２の配列形態が、
任意の試験対象の電極形態を成す基本的な配列に適合す
るように設定されて、汎用化されたブローブユニッ１−
４Ａ〜４Ｄが形成され、このプローブユニット４Ａ〜４
Ｄの組合せで任意の試験対象に対応させることができる
ので、試験対象に対応する個性化はプローブユニット４
Ａ〜４Ｄの組合せ、配置によって行われる。そして、こ
のプローブカードでは、プローブユニット４Ａ〜４Ｄを
試験対象の電極形態を考慮することなく製造することが
でき、製造効率の改善が図られるのである。
〔実　施　例〕
第１図および第２図は、この発明のプローブカードの実
施例を示し、第１図はその表面側、第２図はその裏面側
を表す。
このプローブカードは、プリント基板２上に４組のプロ
ーブユニット４Ａ、４Ｂ、４Ｃ１４Ｄを設置して試験対
象であるＩＣチップ上のパッドに対応させたものである
。プリント基板２は、この場合、矩形状を成し、その中
央部に円形の開口部６を設け、表裏面にプローブユニッ
ト４Ａ〜４Ｄの複数の導体８に対応して配線導体１０を
配設し、その−側辺部に試験装置側との接続を図るため
に、配線導体１０に連続しかつその一部でコネクタと結
合するための端子部１２が形成されている。
このプリント基板２の開口部６の周縁には、第３図に示
すように、開口部６を中心として開口する凹部１４が形
成されて、ベース基板１６が設置され、このベース基板
１６上にプローブユニット４Ａ〜４Ｄが固定治具１８に
よって位置決めされて固定されている。
プローブユニット４Ａ〜４Ｄは、第４図に示すように、
平板上に形成された絶縁性材料を以て、対向辺側を狭く
、非対向辺側を広く設定してほぼ台形状にし、かつ、対
向辺側から非対向辺側に下降する傾斜面を形成した固定
片２０の表面に、複数のプローブ針２２を設置したもの
である。この場合、固定片２０は、複数のプローブユニ
ット４Ａ〜４Ｄを結合させるために、対向辺とその側面
に基準面Ｆ、　、Ｆ、を設定し、また、プローブ・　針
２２の針先端の配列形態は、試験対象であるＩＣのパッ
ドの配列形態の基本的な形態に対応させ、たとえば、直
線上に等ピッチで並ぶ列とする。
なお、ｐはプローブ針２２の針間隔である。
また、プローブユニット４Ａ〜４Ｄは、たどえば、セラ
ミックなどの絶縁性材料で所定の形状に形成した固定片
２０の表面に銅張を行い、その表面にプローブ針２２の
基礎材料であるタングステン板を固定し、このタングス
テン板とともに固定片２０の表面の一部の研削加工によ
って溝切りを行ってプローブ針２２を形成し、その針先
端をエツチング処理によって先鋭化したものである。そ
の場合、各プローブ針２２に合わせて銅張部分をエツチ
ング処理し、各プローブ針２２の端部と銅張部分からな
る導体８とを電気的に接続するとともに、端子部２４を
形成する。
プローブ針２２は、第５図の（Ａ）に示すように、その
針先端を一列に配列させるとともに、第５図の（Ｂ）に
示すように、固定片２０の上面から基準高さｌ＋、固定
片２０の基準面Ｆ、から基準長さ！２になるように、針
先端の一部を下方に折り曲げる。
そして、プローブユニット４Ａ〜４Ｄは、第６図に示す
ように、ベース基板１６上に基準面Ｆ３、Ｆ２を互いに
位置的な基準にして配置する。この場合、プローブ針２
２の位置を試験対象に対応させるため、プローブユニッ
ト４Ａ、４Ｃの間隔２□いプローブカード１−４Ｂ、４
Ｄの間隔１２□を制御し、各間隔１２５、β２□Ｃ１！
ｚ＋＝ｌｚ□、に≠１！、ｚｚ）は試験対象に対応して
任意に設定される。
そして、ベース基板１６上の固定孔２６に第７図に示す
固定治具１８を用いて位置決めしてビス２８およびナツ
ト３０を用いて固定される。
固定治具１８は、第７図に示すように、ブローブユニッ
）４Ａ〜４Ｄの間隔内に挿入される本体部３２の両側に
固定片２０の傾斜面に合致する傾斜面を形成した腕部３
４を備え、本体部３２の中央に固定孔３６を形成したも
のである。第８図および第９図は、固定治具１８を用い
た場合のベース基板１６に対するプローブユニット４Ａ
〜４Ｄの固定状態を示し、第９図において、３８はプロ
ーブユニット４Ａ〜４Ｄを固定するための背面部材を示
す。
そして、プローブユニット４Ａ〜４Ｄは、第１０図に示
すように、基準面Ｆｌ、Ｆ２を設定した矩形形状にして
もよく、また、固定片２０のベース基板１６に対する固
定は接着剤を用いて行ってもよい。
なお、実施例では、４組のプローブユニットの組合せに
ついて説明したが、この発明は、単一のプローブユニッ
トを３Ｍｉ以下で用いることもでき、また、５組以上を
組み合せて用いることもできる。
その場合、基準面Ｆｔ　、Ｆｚの形態は、組合せ数に応
じて変更するものとする。
〔発明の効果〕
この発明によれば、プローブ針の構成最小単位としての
プローブユニットを形成し、そのユニットを組み合せる
ことにより、試験対象に対応するプローブカードとして
構成することができ、共通化構造を取って、組立て構造
の筒略化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明のプローブカードの実施例を示す平面
図、第２図は第１図に示したプローブカードの背面図、
第３図は第１図に示したプローブカードの要部断面図、
第４図は第１図に示したプローブカードの単位プローブ
ユニットを示す図、第５図は第１図に示したプローブカ
ードのプローブ針の固定部分を示す図、第６図はプロー
ブユニットの固定を示す図、第７図はプローブユニット
の固定治具を示す分解斜視図、第８図および第９図はプ
ローブユニットの固定構造を示す図、第１０図はプロー
ブユニットの変形例を示す図である。 ４八〜４Ｄ・・・プローブユニット １６・・・ベース基板（基板） ２２・・・プローブ針 ＡＱ 第４図 第５図 第６図 第７図 第９図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　複数のプローブ針を平行に配列させたプローブユニッ
    トを形成し、試験対象に対応して前記プローブユニット
    の１または２以上を基板に固定してなるプローブカード
    。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000059158A (ko) * 2000-07-19 2000-10-05 홍영희 프로브, 프로브 카드 및 프로브의 제조 방법
KR20000059206A (ko) * 2000-07-21 2000-10-05 홍영희 수직 동작형 프로브 및 프로브 카드

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000059158A (ko) * 2000-07-19 2000-10-05 홍영희 프로브, 프로브 카드 및 프로브의 제조 방법
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