JPS6236139Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は集積回路の電気的特性を検査、測定を
行なう際にプローブカード（商品名、以下同じ）
等に取付けて用いる多探針形プローブステーシヨ
ンに関するものである。

〔従来の技術〕

従来、集積回路の製造工程において、その電気
的特性を検査、測定する際は、プローブカードに
取付けた探針をウエハ上に形成された回路のパツ
ド等に接触させて行なつていた。このプローブカ
ードは、プリント回路基板の中に大きな穴をあ
け、この穴の周辺から多数のアームを放射状にの
ばし、このアームの先端に探針を固定したもので
ある。この探針はアーム、プリント回路を経て基
板の端部に形成された端子から外部の測定器に電
気的に接続されている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかし、集積回路の集積度が増すにしたがつ
て、アームの数が増加してくるため、互いにアー
ムが接触するという問題が起こつてくる。このた
めカードの基板の上下各面からアームを出した
り、基板を２枚重ねて立体的に構成したりしてア
ームの数を増加する改良が行なわれている。

しかし、さらに集積度が増して１個のウエハ上
に100個程度の集積回路が形成されるようになる
と、必要とする探針の数が多くなり、もはや従来
の構造のものではアームを配置することはできな
い。

本考案はこのような点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、探針の設置数を増
やして集積度の高い集積回路が形成されたウエハ
でも容易に検査、測定が可能となるような多探針
形プローブステーシヨンを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

このような目的を達成するために、本考案は、
基板からのびその先端がほぼ同一面にかつ重なら
ないように所定範囲内に配置された複数のアーム
の先に絶縁板の中央部を固定し、この絶縁板の周
辺部に複数個のパイプを貫通して固定し、このパ
イプ内に移動自在に探針を挿入するとともにこの
探針をスプリングで下方に付勢し、このスプリン
グの一端と基板の対応する端子回路とをリード線
で接続したものである。

〔作 用〕

複数のアームの先端の周囲にさらに複数の探針
が互いにぶつからないように配列され、探針を高
密度に配置することができる。

〔実施例〕

以下、本考案を実施例によつて詳細に説明す
る。

第１図は本考案に係る多探針形プローブステー
シヨンの一実施例の正面図、第２図はその平面図
である。図において、１は上下に移動するととも
に前後左右に微細寸法で位置調整可能に移動自在
に取付けられた基台、２はこの基台１上にセツト
されたウエハ、３，４，５は支柱ねじ６によつて
一定間隔に保持され図示しない本体に取付けられ
たプリント基板、７，８，９はプリント基板３，
４，５の端に取付体１０，１１，１２を介してそ
れぞれ固定されたアームである。アーム７，８，
９は取付体１０，１１，１２から水平にのびた水
平部分とこの先端から下方にほぼ垂直にのびた垂
直部分とからなり、一つのプリント基板に複数本
設けられている。また、プリント基板３，４，５
の反対側に配置されたプリント基板（図示せず）
からも同様にアーム１７，１８，１９がのびてい
る。各アームは水平部分、垂直部分とも固定する
プリント基板によつてその長さが異なり、アーム
の先端がほぼ同一平面上に、しかもウエハ２の表
面上に形成された集積回路の位置に応じて互いに
重ならないように配置されるようになつている。

各アームの先端には角形の絶縁板２０がそれぞ
れ固定されている。この絶縁板２０にはその周辺
部に複数個の探針パイプ２１が固定されている。
各探針パイプ２１からはリード線（第１図、第２
図には図示せず）が引出され、このリード線の先
端はプリント基板３，４，５の回路にはんだ付け
されている。この回路はプリント基板３，４，５
の外端部に形成された端子に接続されており、こ
の端子にはそれぞれソケツト１３，１４，１５が
はめ込まれている。１３ａ，１４ａ，１５ａはソ
ケツト１３，１４，１５のフレキシブルフラツト
ケーブルである。したがつて、各探針パイプ２１
はこのフレキシブルフラツトケーブルによつて外
部の測定器等に電気的に接続されることになる。

次に、探針部分の構造について詳細に説明す
る。

第３図は探針パイプ２１を固定した絶縁板２０
の部分の斜視図、第４図は探針パイプ２１の断面
図である。第３図において、アーム７の先端は絶
縁板２０のほぼ中央部に固着され、絶縁板２０の
周辺部にはニツケル、ステンレススチール等の薄
板からなる探針パイプ２１が複数個貫通して固定
されている。そして、探針パイプ２１にはタング
ステン、リン青銅、銀パラジウム等の細線からな
る探針２２が上下に移動自在に挿入されている。
また、探針パイプ２１の上端には、絶縁被覆を施
した金、銅、ニツケル等の細線からなるリード線
２３がそれぞれはんだ付けされている。このリー
ド線２３は束ねてプリント基板の回路まで引のば
されている。

第４図において、探針パイプ２１の中にはスプ
リング２４が収容されており、その上端はリード
線２３とともに探針パイプ２１にはんだ付けさ
れ、その下端は探針２２の頭にはんだ付けされて
いる。探針２２はスプリング２４によつて下方に
付勢され、かつリード線２３とは電気的に接続さ
れる。探針２２は直径が250μｍ、細くなつた先
端部は直径が30〜50μｍに作られ、これを収容す
る探針パイプ２１は直径が300〜350μｍに作ら
れ、また、各探針パイプ２１の間隔は中心間で
500μｍ程度に保たれる。

このような構成において、第１図で基台１を上
方に移動すると、ウエハ２上の集積回路のパツド
に各探針２２の先端が接触し、スプリング２４に
よつて所定の接触圧が与えられる。これによつ
て、集積回路の各チツプは外部の測定器等に接続
され、その電気特性の検査、測定が行なわれる。
１個のアームの先端には数10個の探針を取付けら
れるので高密度の集積回路ウエハでも取扱うこと
ができる。

第５図は他の実施例の正面図である。図におい
て、３０は取付具で、アーム３１を調整つまみ３
０ａ，３０ｂ，３０ｃをまわすことにより３方向
に位置調整することができる。取付具３０は底に
固定した磁石３２によつて鉄板の本体３３に取付
けられるようになつている。アーム３１は水平部
３１ａと垂直部３１ｂが別体になつており、接続
部３４で角度や取付位置を調整できるようになつ
ている。垂直部３１ｂの先端には探針パイプ２１
を有する絶縁板２０が固着されている。この実施
例によると、磁石３２によつて取付具３０を本体
３３上の任意の位置に取付けることができ、ま
た、探針パイプ２１の位置を接続部３４によつて
大きく、調整つまみ３０ａ，３０ｂ，３０ｃによ
つて細かく調整することができる。

第６図は他の実施例の正面図である。図におい
て、第３図と同一部分には同一符号を付してあ
る。４０はアームの水平部としての機能を有する
アーム板、４１はアーム板４０に立設された支
柱、４２は支柱４１に支持されたプリント基板で
ある。アーム板４０にはねじ孔４０ａと貫通孔４
０ｂ，４０ｃが形成されており、ねじ孔４０ａに
はアームの垂直部としての機能を有するアーム棒
４３が螺合されている。このアーム棒４３をまわ
してその先端に固定された絶縁板２０の上下位置
が調整される。探針パイプ２１から引出されたリ
ード線２３は貫通孔４０ｂ，４０ｃを通つてプリ
ント基板４２に接続される。

第７図はプリント基板の他の実施例の平面図で
ある。プリント基板５０は中央部に開口５１が設
けられ、周辺部には端子５２が多数形成されてい
る。開口５１の周辺からはアーム５３が複数個内
方に向つて取付けられ、アーム５３の先端には絶
縁板２０が固定されている。絶縁板２０に設けら
れた探針パイプからはリード線２３が引出され端
子５２にはんだ付けされている。プリント基板５
０の全周辺に端子を形成できるので、端子の数を
十分に増やすことができる。同様のプリント基板
を何枚か重ねると開口内に全般に絶縁板２０を配
置させることができる。

〔考案の効果〕

このように、本考案に係る多探針形プローブス
テーシヨンによると、各アームの先端に絶縁板の
中央部を固定し、絶縁板の周辺部に複数のパイプ
を固定してこの内に探針を挿入することにより、
簡単な構造によつて探針を高密度に配置すること
ができ、集積度の高い集積回路が形成されたウエ
ハでも容易に検査、測定が可能になり生産性が向
上する効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る多探針形プローブステー
シヨンの一実施例の正面図、第２図はその平面
図、第３図は絶縁板の部分の斜視図、第４図は探
針パイプの断面図、第５図、第６図はそれぞれ他
の実施例の正面図、第７図はプリント基板の他の
実施例の平面図である。 １……基台、２……ウエハ、３，４，５……プ
リント基板、６……支柱ねじ、７，８，９……ア
ーム、１０，１１，１２……取付体、１３，１
４，１５……ソケツト、２０……絶縁板、２１…
…探針パイプ、２２……探針、２３……リード
線、２４……スプリング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 複数の端子回路を有する基板からのびて形成さ
   れ、その先端がほぼ同一面にかつ重ならないよう
   に所定範囲内に配置された複数のアームと、各ア
   ームの先端にそのほぼ中央部がそれぞれ固定され
   た絶縁板と、絶縁板の周辺部に貫通して固定され
   た複数のパイプと、各パイプの内に上下に移動自
   在に挿入された導電材からなる探針と、探針を下
   方に付勢するとともに、一端がパイプの上端に固
   定され他端が探針の上端に接触するスプリング
   と、各スプリングの一端と基板の対応する端子回
   路とをそれぞれ接続するリード線とを備えた多探
   針形プローブステーシヨン。