JP2011117767A - コンタクトプローブ及びそれを備えた検査用プローバ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査用プローバ100は、コンタクトプローブ10及びプリント基板44を備え、コンタクトプローブ10は、プランジャ11、コイルばね12、ワイヤ13、マイクロチューブ14を備え、コイルばね12は、一端がプランジャ11の基部11aに、他端がワイヤ13の先端に形成された塊状端子13aにそれぞれ接続されており、ワイヤ13の先端には、ワイヤ13の外径よりも大きい外径の球形状の塊状端子13aが形成され、塊状端子13aが形成された側と反対側の端部がプリント基板44の電極パッド44bに接続された構成を有する。
【選択図】図1
Description
(1)コンタクトプローブ80を用いた検査プローバでは、新規製作する場合、被検査体であるIC等の仕様ごとにプリント基板86を設計、製作する必要がある。また、新規製作後に、IC等の仕様変更(特に電極位置、電極形状の変更)があった場合、仕様変更に応じてプリント基板86を再設計、再製作する必要がある。したがって、プリント基板86の新規製作や再製作のたびに、作画費用やフィルム代、シルク版代等の高額なイニシャルコストが必要となる。特に、IC等は少量多品種化の傾向にあり、少量多品種生産のIC等を検査対象とする検査プローバではイニシャルコストが高額となり、その回収が困難となってきている。
(2)また、コンタクトプローブ80を用いた検査プローバでは、プリント基板86の材質として一般的には樹脂等の有機材料を用いるが、有機材料では線膨張係数が比較的大きく、周囲温度によりパターン間隔が変化しやすいので、IC等の電極間ピッチの極小化に対応できない。プリント基板86の材質をセラミックとすれば、線膨張係数を有機材料よりも小さくできてIC等の電極間ピッチの極小化に対応可能となるが、プリント基板86のコストアップにより検査プローバの製造コストが増大してしまう。
(3)一方、WST型の検査プローバ90では、IC等の電極間ピッチの極小化に対応できるが、コンタクトプローブを用いるものと比較すると下部ダイ91や上部ダイ93を設ける必要があり、装置構成が複雑となって製造コストが増大してしまう。さらに、基板96とケーブル97との接続箇所の加工処理及び金メッキ層97bの形成処理が必要となり製造コストが増大する。
(4)また、WST型の検査プローバ90では、上部端子94の先端は、良好な電気的接続を得るため鋭利に形成されているので、長期間使用されると上部端子94の先端と接触する金メッキ層97bが損傷する。したがって、基板96の底面96aを再切削して金メッキ層97bを再度形成しなければならないので、メンテナンスの面においても多大な工数を必要とする。
本発明に係る検査用プローバの第1実施形態について、図1を用いて説明する。
図3に示すように、本発明の第2実施形態における検査用プローバ200は、第1実施形態におけるコンタクトプローブ10(図1参照)の構成を一部変更したコンタクトプローブ20を備えたものである。したがって、検査用プローバ100と同様な構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図5に示すように、本発明の第3実施形態における検査用プローバ300は、第1実施形態におけるコンタクトプローブ10(図1参照)の構成を一部変更したコンタクトプローブ30を備えたものである。したがって、検査用プローバ100と同じ構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
11 プランジャ(接触端子)
11a 基部
11b 先端部
12 コイルばね(弾性体)
13 ワイヤ
13a 塊状端子
14、21 マイクロチューブ(収容体)
14a、21a 端面部
14b、21b 端面部
21c カシメ部
21d 絞り孔
31 導電性コイルばね(弾性体)
41 下部ハウジング
41a、42a、45a、46a 段加工部
41b、42b、45b、46b 貫通孔
42 上部ハウジング
43 ねじ
44 プリント基板
44a 貫通孔
44b 電極パッド
45 下部ハウジング(収容体)
46 上部ハウジング(収容体)
51 導電性接着剤(固定部)
52 半田(固定部)
60 IC
61 半田ボール
100、200、300 検査用プローバ
Claims (5)
- 被検査体に設けられた電極に接触する接触端子と、塊状に形成された塊状端子を先端に有するワイヤと、一端が前記接触端子に接触し他端が前記塊状端子に接触して前記一端と前記他端との間で伸縮する弾性体と、前記接触端子と前記弾性体の前記一端との接触部、前記塊状端子及び前記弾性体を収容する収容体と、を備えたことを特徴とするコンタクトプローブ。
- 前記塊状端子は、球体形状、楕円体形状、半球体形状、円錐体形状、多角錐体形状、円柱体形状、半円柱体形状、立方体形状、直方体形状のうちのいずれか1つの形状を有し、前記ワイヤの径方向における前記塊状端子の外形寸法が前記ワイヤの外径寸法よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記収容体は、前記塊状端子を収容する側の端面部において前記ワイヤ及び前記塊状端子の少なくとも一方を固定する固定部を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のコンタクトプローブ。
- 前記収容体の前記端面部に前記ワイヤを貫通させる絞り孔が形成されており、前記絞り孔の内径は、前記ワイヤの径方向における前記塊状端子の外形寸法よりも小さく、前記ワイヤの外径よりも大きいことを特徴とする請求項3に記載のコンタクトプローブ。
- 請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のコンタクトプローブを複数備えたことを特徴とする検査用プローバ。
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JP2009273619A JP2011117767A (ja) | 2009-12-01 | 2009-12-01 | コンタクトプローブ及びそれを備えた検査用プローバ |
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2009
- 2009-12-01 JP JP2009273619A patent/JP2011117767A/ja active Pending
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